JP2017008342A - 成膜マスク及び成膜マスクの製造方法 - Google Patents
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- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
Abstract
【課題】補強部の直下の領域における加工を容易とし、成膜基板上に規則的なパターンと不規則的なパターンとを容易に作製し得る成膜マスクを提供する。【解決手段】成膜対象の成膜基板上に形成されるパターンに応じた複数の第1スリット6を設けた樹脂層2と、上記樹脂層2に積層され、上記第1スリット6に対応する位置に第2スリット7を設けると共に、上記第2スリット7に交差して接続された補強部4を所定の間隔で複数個所に設けた金属層3と、を備え、上記積層された樹脂層2にレーザ加工が施されることにより、上記金属層3の上記補強部4の領域からは、積層された上記樹脂層2の樹脂が除去され、上記樹脂層2は、規則的な開口パターンと、上記開口パターンを分断する不規則な遮蔽パターンと、を有するものである。【選択図】図1
Description
本発明は、複数の開口を有する成膜マスクに関し、詳しくは、金属メッシュ等の高精細なパターンを容易に作製し得る成膜マスク及び成膜マスクの製造方法に係るものである。
従来から、開口部の変形を防ぐために、その開口部を横切るように接続された補強部を備えた成膜マスクの製造方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。従来例では、例えば、エッチング法を用いて、補強部を備えた成膜マスクを製造している。
しかしながら、従来例では、例えば、10μm以下のオーダの高精細な開口部を有する成膜マスクを製造することが困難であった。そこで、高精細な開口部を有する成膜マスクを製造しようとした場合、補強部の直下の領域における加工が問題となる。これは、成膜マスクを用いた成膜基板上へのパターンの形成の際、その成膜マスクの補強部が特定の方向から飛来してくる物質を遮るため、その補強部の直下の領域にポリイミド等の樹脂が積層されていると、その分、成膜されにくくなるからである。また、従来例では、成膜される成膜基板上に規則的なパターンと不規則的なパターンとを形成させることについて、特に着眼していない。
そこで、このような問題点に対処し、本発明が解決しようとする課題は、補強部の直下の領域における加工を容易とし、成膜基板上に規則的なパターンと不規則的なパターンとを容易に作製し得る成膜マスク及び成膜マスクの製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明による成膜マスクは、成膜対象の成膜基板上に形成されるパターンに応じた複数の第1スリットを設けた樹脂層と、上記樹脂層に積層され、上記第1スリットに対応する位置に第2スリットを設けると共に、上記第2スリットに交差して接続された補強部を所定の間隔で複数個所に設けた金属層と、を備え、上記積層された樹脂層にレーザ加工が施されることにより、上記金属層の上記補強部の領域からは、積層された上記樹脂層の樹脂が除去され、上記樹脂層は、規則的な開口パターンと、上記開口パターンを分断する不規則な遮蔽パターンと、を有するものである。
また、上記課題を解決するために、本発明による成膜マスクの製造方法は、成膜対象の成膜基板上に形成されるパターンに応じた複数の第1スリットを設けることが可能な樹脂層と、上記第1スリットに対応する位置に第2スリットを設けると共に、上記第2スリットに交差して接続された補強部を所定の間隔で複数個所に設けた金属層と、を積層する第1工程と、上記積層された樹脂層と前金属層の両面にレーザ光を予め選択した順番で照射することにより、上記補強部に積層されている樹脂を除去し、上記第1スリットに対応する規則的な開口パターンと、上記開口パターンを分断する不規則な遮蔽パターンと、を有する樹脂層を作製する第2工程と、を実行する。
本発明による成膜マスクによれば、上記補強部に積層された樹脂層に向けてレーザ加工が施されることにより、上記補強部の直下の領域における加工が容易となる。また、本発明による成膜マスクによれば、上記樹脂層が規則的な開口パターンと、上記開口パターンを分断する不規則な遮蔽パターンと、を有するので、上記成膜基板上に規則的なパターンと不規則的なパターンとを容易に作製し得る。
また、本発明による成膜マスクの製造方法によれば、成膜マスクの両面にレーザ光を照射することで、上記補強部に積層されている樹脂層を除去し、さらに、規則的な開口パターンと、その開口パターンを分断する不規則な遮蔽パターンと、を有する樹脂層を作製できる。そして、本発明による成膜マスクの製造方法によれば、補強部の直下の領域が影になりにくく、また、上記樹脂層の構成により、上記成膜基板上に規則的なパターンと不規則的なパターンとを容易に作製し得る成膜マスクを提供することができる。
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
図1は、第1実施形態における成膜マスクの一例を示す平面図及び断面図である。図1(a)は、フィルム層2の平面図であり、図1(b)は、磁性金属層3の平面図であり、図1(c)は、(a)、(b)に示す成膜マスク1のS−S線断面図である。図1に示す成膜マスク1は、開口幅を例えば数μm〜10μmの範囲内とした場合における高精細なパターンを作製するためのものであって、フィルム層2と磁性金属層3とを積層した構造を備える。詳細には、この成膜マスク1は、積層されたフィルム層2と磁性金属層3の両面にレーザ加工が施されることにより、磁性金属層3の補強部4の領域からは、積層されたフィルム層2の樹脂が除去され、規則的な開口パターンと、上記開口パターンを分断する不規則な遮蔽パターンと、を有するフィルム層2を備えるものである。これにより、この成膜マスク1は、成膜基板上に規則的なパターンと、それと異なる不規則的なパターンとを形成させることができる。
図1は、第1実施形態における成膜マスクの一例を示す平面図及び断面図である。図1(a)は、フィルム層2の平面図であり、図1(b)は、磁性金属層3の平面図であり、図1(c)は、(a)、(b)に示す成膜マスク1のS−S線断面図である。図1に示す成膜マスク1は、開口幅を例えば数μm〜10μmの範囲内とした場合における高精細なパターンを作製するためのものであって、フィルム層2と磁性金属層3とを積層した構造を備える。詳細には、この成膜マスク1は、積層されたフィルム層2と磁性金属層3の両面にレーザ加工が施されることにより、磁性金属層3の補強部4の領域からは、積層されたフィルム層2の樹脂が除去され、規則的な開口パターンと、上記開口パターンを分断する不規則な遮蔽パターンと、を有するフィルム層2を備えるものである。これにより、この成膜マスク1は、成膜基板上に規則的なパターンと、それと異なる不規則的なパターンとを形成させることができる。
より詳細には、図1(a)に示すフィルム層2は、樹脂層の一例であって、成膜対象の成膜基板上に形成される薄膜のパターン(規則的なパターンの領域と不規則的なパターンの領域を含む)を成膜するために利用するものである。フィルム層2は、例えば、厚みが5〜30μm程度のポリイミドのフィルムであって、成膜基板上の細線状のパターンに応じて規定される第1スリット6を有する。なお、フィルムの材質は、ポリイミドに限られず、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)であってもよく、高耐熱性を有し、可視光を透過する樹脂製のフィルムであることが好ましい。
詳細には、上記第1スリット6は、開口の一例であって、図1(a)に示すように、薄膜のパターンと同形状を有し、そのパターンに対応して縦横マトリクス状(m行n列)に配置されている。図1(a)では、説明の便宜上、4行4列の第1スリット6を示すが、実際には、高精細な薄膜のパターンを生成可能なスリット(開口)であることはいうまでもない。
また、図1(a)において、フィルム層2は、9つの正方形のマスクと、列方向に伸びる第1スリット6を交差して接続された5つの矩形のマスク(以下、「不規則部5」という。)を有する。この不規則部5は、成膜基板のパターンに応じて、予め定められた位置に設けられる。ここで、正方形のマスクの部分は、その周囲の第1スリット6の領域を成膜させ、成膜対象の成膜基板上に規則的なパターンを形成させる。また、不規則部5は、その領域を遮蔽することで成膜基板上に不規則的なパターンを形成させる。
また、図1(b)に示す磁性金属層3は、金属層の一例であって、第1スリット6に対応する位置に第2スリット7を設けると共に、第2スリット7に所定の方向(例えば、長手方向)から交差して接続された補強部4を所定の間隔で複数個所に設けた構造物である。この補強部4は、開口の微細化に伴う形状の変形を防ぐだけではなく、空間的に孤立したマスク部分の脱落防止の機能も備える。なお、フィルム層2と磁性金属層3とを積層した場合、第1スリット6と第2スリット7とが重なる領域が貫通孔を形成する(但し、図1に示す通り、補強部4の領域を除く)。また、所定の間隔とは、例えば、図1(b)に示すように、各々の列方向の第2スリット7に対して、一定のピッチwで補強部4が設けられている。
磁性金属層3は、例えば、磁性材料の一種であるニッケルである。なお、磁性金属層3は、ニッケルに限られず、ニッケル合金であってよく、磁力により成膜マスク1を固定させることができる磁性材料を有していればよい。さらに、磁性金属層3は、磁力により成膜マスク1を固定させる観点から、例えば、20〜50μm程度の厚みを有するものが好ましい。このような磁性金属層3は、磁力によって固定することができるので、成膜マスク1をレーザ加工する際、精度良く加工することができる。また、第1スリット6及び第2スリット7の開口幅は、例えば、微細加工用として数μm程度(例えば3〜5μm)であることが好ましい。
また、磁性金属層3は、成膜時に成膜マスク1の下側に配設された磁石により吸着されてフィルム層2を成膜基板の成膜面に密着させるための機能を果たすものである。
図1(c)に示す通り、補強部4の領域には、積層されたポリイミドの樹脂が取り除かれている。これにより、補強部4の領域は貫通孔を形成しないものの、例えば、成膜の際、飛来して来る成膜用の物質(以下「成膜物質」という。)が補強部4を回り込むため、成膜マスク1は、その分、成膜物質を第1スリット6に通過させやすくすることができる。その結果、補強部4の直下の領域に対しても成膜させることができるので、例えば、開口で囲まれた領域に応じて、成膜基板上で閉区画のパターンも形成することが可能となる。
以上より、本発明による成膜マスク1は、磁性金属層3の補強部4の領域に積層されたフィルム層2にレーザ加工が施されるようにしたので、従来困難であった、補強部の直下の領域における加工が容易となり、積層されたフィルム層2の樹脂が除去される。そして、補強部4の領域には、ポリイミドの樹脂が除去されているので、補強部4の直下の領域が影になりにくく、斜め方向に入射する成膜物質が通過しやすいため、高精細なパターンを容易に作製し得る。さらに、成膜対象の成膜基板上に形成されるパターンに応じて、規則的な開口パターンと、上記開口パターンを分断する不規則な遮蔽パターンと、を有するフィルム層2を設けているので、その成膜基板上に規則的なパターンと不規則的なパターンとを形成させることができる。
次に、第1実施形態における成膜マスク1の製造方法について、図2〜8を参照して説明する。この成膜マスク1の製造方法は、補強部4の直下の領域が影になりにくく、高精細なパターンを容易に作製し得る成膜マスクの製造方法を提供する。
図2は、第1実施形態における成膜マスクの製造方法の一例を示す流れ図である。概要を説明すると、成膜マスクの製造方法は、大きく分けて、積層処理と、パターン加工処理との2つの工程を有する。
図2は、第1実施形態における成膜マスクの製造方法の一例を示す流れ図である。概要を説明すると、成膜マスクの製造方法は、大きく分けて、積層処理と、パターン加工処理との2つの工程を有する。
積層処理は、工程S1において、成膜対象の成膜基板上に形成されるパターンに応じた複数の第1スリット6を設けることが可能なフィルム層2と、そのフィルム層2に積層するために第1スリット6に対応する位置に第2スリット7を設けると共に、第2スリット7に所定の方向から交差して接続された補強部4を所定の間隔で複数個所に設けた磁性金属層3と、を積層する処理を実行する。
パターン加工処理は、工程S2において、積層されたフィルム層2と磁性金属層3の両面にレーザ光を予め選択した順番で照射することにより、補強部4に積層されている樹脂を除去し、成膜基板上に規則的なパターンと、それと異なる不規則的なパターンとを形成させる第1スリット6を作製する処理を実行する。以下、詳細について説明する。
工程S1の積層処理では、先ず、一例として本出願人により開示された特開2015−52985号公報に記載の「金属膜のパターン形成工程」を参考にすることで、図1(b)に示すように、例えば、4行4列の第2スリット7及び複数の不規則部5を有する磁性金属層3を作製することができる。
図3は、パターン加工処理前のフィルム層の一例を示す平面図である。積層処理では、図4に示す通り、図3に示すフィルム層2と上記の「金属膜のパターン形成工程」を参考にして予め作製した磁性金属層3とを積層する。
図4は、パターン加工処理前の成膜マスクの一例を示す平面図である。図4では、磁性金属層3を上面とした場合における成膜マスク1の平面図を示している。第1実施形態では、図4に示す成膜マスク1について、工程S2のパターン加工処理を実行する。
図4は、パターン加工処理前の成膜マスクの一例を示す平面図である。図4では、磁性金属層3を上面とした場合における成膜マスク1の平面図を示している。第1実施形態では、図4に示す成膜マスク1について、工程S2のパターン加工処理を実行する。
ここで、最初に、パターン加工処理を実現させるためのパターン加工装置について、図5を参照して説明する。
図5は、パターン加工装置の構成例を示すブロック図である。パターン加工装置Mは、選択した投影マスクを介してレーザ光を照射する露光手段を有し、図4に示す積層処理後の成膜マスク1をパターン加工処理し、図1に示す成膜マスク1を製造するものである。パターン加工装置Mは、制御部10と、レーザ発生部11と、光学系12と、搬送処理部13と、バス14とを備える。このうち、レーザ発生部11、光学系12、搬送処理部13及び制御部10は、バス14を介して互いに接続されている。なお、パターン加工装置Mは、例えば、縮小投影型露光装置(ステッパ)を採用してもよい。
制御部10は、パターン加工装置Mの統括的な制御を行うものであり、マイクロプロセッサを搭載し、例えば、レーザ発生部11に指示を出すことにより、レーザ光を発生させる。また、制御部10は、例えば、搬送処理部13に指示を出すことにより、成膜マスク1の搬送を制御する。
さらに、制御部10には、メモリ10aが備えられている。このメモリ10aは、プログラムやデータを記録するものであり、例えば、パターン加工装置Mの制御を行う制御プログラムを予め記録している不揮発性のメモリである。この制御プログラムには、本発明による成膜マスク1の製造方法を実行するためのプログラムが含まれている。また、メモリ10aは、パターン加工に必要な加工データを予め記録している。なお、加工データは、予め制御プログラムに組み込まれていてもよい。
制御部10は、メモリ10aから、例えば、制御プログラムを読み出し、加工データを参照し、マスク1の製造の処理を行う。また、制御部10は、例えば、演算処理を行い、結果をメモリ10aに記録する。
レーザ発生部11は、レーザ光を発生するものであり、制御部10からレーザ光の発生の指示を受け、レーザ光を光学系12に出力する。ここで、レーザ発生部11には、レーザ装置が設けられており、例えば、発振波長が紫外線領域(UV:Ultra Violet)に相当する400nm以下のレーザの一種であるUVレーザが用いられる。具体的には、例えば、KrF(248nm)のエキシマレーザ、又はYAG(Yttrium Aluminum Garnet)レーザの第3高調波や第4高調波を使用して、波長が400nm以下のレーザ光Lを発生させる。なお、レーザの光源としては、フィルム層2をアブレーションできるのであれば、上記の波長のレーザに限定されず、適宜用いることができる。
光学系12は、投影マスク12a〜12fのうちから選択したものを介して成膜マスク1にレーザ光Lを照射するための光学系を備える。また、光学系12は、レーザ光Lを成膜マスク1に集光するため、所定の倍率で縮小投影する投影レンズ等の光学部品(図示省略)を備えている。第1実施形態では、例えば、磁性金属層3を照射するための投影マスク12aと、フィルム層2を照射するための投影マスク12bと、を切り替え自在に用いる。投影マスク12aは、レーザ光Lを予め設定されたブロック単位で照射させ、最終的に成膜マスク1の全面に照射させるものである。また、投影マスク12bは、補強部4の領域に向けてレーザ照射させるものである。なお、投影マスク12a〜12fは、何れも規則的な投影パターンを有する。但し、投影パターンは、投影マスク12a〜12f毎に異なることとする。
搬送処理部13は、図示省略のステージ上に載置された成膜マスク1を移動させるもので、例えば、図示省略の搬送機構により、成膜マスク1を左右方向に移動させることができる。また、搬送処理部13は、図示省略の反転機構により、成膜マスク1を反転させることができる。
以上説明したパターン加工装置Mを用いた成膜マスク1のパターン加工処理について、図6及び図7を参照して説明する。
図6は、第1実施形態におけるパターン加工処理を模式的に示す工程図である。なお、図6(a)〜(d)は、図4に示す成膜マスク1のS−S線断面図である。但し、パターン加工処理では、両面加工を実行するため、図6(a),(b)と、図6(c),(d)とでは、成膜マスク1を反転させている。
図5に示すパターン加工装置Mの制御部10は、先ず、図示省略の入力手段により、パターン加工処理の指示入力を受け付けると、制御プログラムや加工データを読み出して、図2に示す工程S2のパターン加工処理を開始する。
制御部10は、図5に示す搬送処理部13に指示を出すことにより、積層処理後の成膜マスク1の投入処理を行う。なお、磁性金属層3を第1照射面とし、フィルム層2を第2照射面とする。ここでは、説明の便宜上、第1照射面は、最初にレーザ照射をする面とし、第2照射面は、成膜マスク1を反転させた後にレーザ照射する面とする。そして、積層処理後の成膜マスク1は、例えば、図6に示すガラス基板8を介して、ステージ(図示省略)に載置される。そして、積層処理後の成膜マスク1は、例えば、磁力により脱着可能としている。搬送処理部13は、ステージ上に載置された、積層処理後の成膜マスク1をレーザ照射位置に移動させる。
積層処理後の成膜マスク1の移動が完了すると、制御部10は、図5に示すレーザ発生部11に指示を出すことにより、フィルム層2のレーザ加工を実行する。具体的には、レーザ発生部11は、レーザ装置から、レーザ光Lを励起して発振する。このレーザ光Lは、図5に示す光学系12の投影マスク12aを介して、所定の倍率で縮小投影された後、積層処理後の成膜マスク1の基板上をブロック単位で分割した領域に照射する。そして、制御部10は、例えば、照射領域を分割し、ステージをステップ移動させる毎にレーザ光Lをその照射領域に照射させる。つまり、制御部10は、分割した全ての照射領域にレーザ照射することにより、成膜マスク1の磁性金属層3の全面に亘ってレーザ光Lを照射させる制御を行う。
図6(a)は、積層処理後の成膜マスク1にレーザ光Lを照射した状態を例示している。レーザ光Lは、磁性金属層3で遮光される一方、フィルム層2に到達すると、そのフィルム層2の領域を例えばレーザアブレーションにより、除去する。
図6(b)は、レーザ光Lの照射後における成膜マスク1の状態を例示している。レーザ光Lの指向性により、磁性金属層3で遮光されずにレーザ照射されたフィルム層2の領域は、除去される。これにより、加工段階の成膜マスク1は、図7に示す状態になる。なお、第1実施形態では、説明をわかりやすくするため、例えば、レーザ光によって開けられる貫通孔がストレート(柱状形の孔)に近似できる場合を例示している。そのため、レーザ照射によるテーパ角の問題については、第2実施形態及び変形例で詳述する。
図6(b)は、レーザ光Lの照射後における成膜マスク1の状態を例示している。レーザ光Lの指向性により、磁性金属層3で遮光されずにレーザ照射されたフィルム層2の領域は、除去される。これにより、加工段階の成膜マスク1は、図7に示す状態になる。なお、第1実施形態では、説明をわかりやすくするため、例えば、レーザ光によって開けられる貫通孔がストレート(柱状形の孔)に近似できる場合を例示している。そのため、レーザ照射によるテーパ角の問題については、第2実施形態及び変形例で詳述する。
図7は、図4に示すパターン加工処理前の成膜マスクに磁性金属層側からレーザ加工を施した後の状態を示す平面図である。但し、図7では、フィルム層2側から見た平面図を表している。この段階では、補強部4にフィルム層2の樹脂が積層されている。そのため、補強部4に積層されている樹脂をレーザ照射により除去する必要が生じる。
次に、制御部10は、搬送処理部13に指示を出すことにより、搬送処理部13は、一例として、ステージを介して成膜マスク1を移動させ、レーザ照射位置から退避させた後、その成膜マスク1を上下反転させてステージに再び載置する。これにより、フィルム層2側に向けてレーザ照射することが可能となる。続いて、搬送処理部13は、反転させた成膜マスク1をステージにより移動させて、再び、成膜マスク1をレーザ照射位置に設置する。
次に、制御部10は、光学系12に指示を出すことにより、磁性金属層照射用の投影マスク12aからフィルム層照射用の投影マスク12bに切り替える。この第2投影マスク12bは、より詳細には、補強部4に積層された樹脂に対してピンポイントにフォーカスし、樹脂を除去するようにビームの口径を調整したレーザ光を照射させるものである。例えば、ビームの口径は、図4に示す、平面図から見た補強部4の外形のサイズに調整される。
続いて、制御部10は、レーザ発生部11に指示を出すことにより、補強部4の領域に積層されたフィルム層2のレーザ加工を実行する。具体的には、レーザ発生部11は、レーザ装置から、レーザ光Lを励起して発振する。このレーザ光Lは、フィルム層照射用の投影マスク12bを介して、所定の倍率で縮小投影された後、レーザ照射することにより、補強部4の領域に積層された樹脂を除去する。この際、制御部10は、例えば、ワンショット毎に、複数個所の補強部4の領域に積層されたフィルム層2を除去できるように、搬送処理部13に指示を出して、ステージをステップ移動させる。なお、制御部10は、必要に応じてワンショット毎に、1個所ずつ補強部4の領域に積層されたフィルム層2を除去してもよい。
図6(c)は、補強部4の領域に積層されたフィルム層2に、レーザ照射している状態を例示している。補強部4の領域に積層されたフィルム層2は、レーザ光Lによりピンポイントで照射される。このようなレーザ照射により、補強部4の領域に積層されたフィルム層2は、除去される。
図6(d)は、レーザ光Lの照射後の状態を例示している。図6(d)に示す通り、補強部4の領域に積層されたフィルム層2は、除去されることにより、図1に示す通り、成膜マスク1が製造される。
図6(d)は、レーザ光Lの照射後の状態を例示している。図6(d)に示す通り、補強部4の領域に積層されたフィルム層2は、除去されることにより、図1に示す通り、成膜マスク1が製造される。
図8は、図1に示す成膜マスクで成膜基板上に成膜した場合の薄膜のパターンを示す平面図である。成膜基板100上において、黒色で示す領域が成膜されたパターンPである。図7の不規則部5に対応する個所が、断線(分断)している。この領域が、例えば不規則的なパターンを形成させる。一方、白色で示す正方形のマスクが黒色のパターンで囲まれ、閉区画を形成している領域は、断線されていないという意味で、例えば規則的なパターンを形成させる。つまり、成膜マスク1の規則的な開口パターンが、成膜基板100上に規則的なパターンを形成させ、成膜マスク1の遮蔽パターンが、成膜基板100上に不規則的なパターンを形成させる。
このようにして、第1実施形態における成膜マスク1の製造方法によれば、成膜マスク1の両面にレーザ光を予め選択した順番に照射し、第1スリット6を作製することで、補強部4に積層された樹脂を除去し、フィルム層2に規則的な開口パターンと遮蔽パターンとを形成させることができる。つまり、第1実施形態における成膜マスク1の製造方法によれば、両面からレーザ加工を行うことで、補強部4の直下の領域における加工を容易とし、成膜基板上に規則的なパターンと不規則的なパターンとを容易に作製し得る成膜マスクを製造できる。
なお、パターン加工装置Mは、第1実施形態において、例えば、縮小投影型露光装置(ステッパ)を採用した場合、フィルム層2、磁性金属層3の両面加工において、各面毎に投影マスク12a、12bというように1枚の投影マスクを、例えば、成膜マスク1をステップ移動させながら周期的にレーザ照射を行って、加工することができる。ここで、不規則的なパターンを投影マスク側に反映させようとすると、規則的なパターンと不規則的なパターンに応じて、加工エリア毎に投影マスクを交換しなければならない。この場合、タクトタイムが激増することになる。これに対し、本実施形態では、加工エリア毎に投影マスクを交換しないで済むので、タクトタイムを大幅に抑制することができる(以下に説明する第2実施形態、変形例も同様)。
また、本実施形態では、成膜マスク1を載置しているステージのみが動くステップアンドリピート方式を採用しているが、これに限られず、他の方式(例えば、スキャンアンドリピート方式)を採用してもよい。
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態では、複数の導体細線を交差させて網目状に形成した金属メッシュを含む透明電極膜が成膜される成膜基板を採用する。なお、第2実施形態では、第1実施形態と同様にして、図5に示すパターン加工装置Mを用いることとし、相違点について主に詳述する。そこで、先ず、第2実施形態で使用する成膜基板、成膜マスクの全体像について、図9〜図11を用いて説明する。
図9は、第2実施形態における成膜基板の構成例を示す平面図である。図10は、第2実施形態におけるフィルム層の構成例を示す平面図である。図11は、第2実施形態における磁性金属層の構成例を示す平面図である。
図9(a)は、成膜基板101の全体像(2次構造)の一例を示す。成膜基板101は、金属メッシュのパターン(1次構造)の集合体が、透明電極膜110の全体像(2次構造)を形成する。
図9(b)は、図9(a)に示す成膜基板101における領域101aの拡大平面図であり、図9(c)は、図9(a)に示す成膜基板101における領域101bの拡大平面図である。ここで、図9(a)において、例えば、領域101aに着目すると、図9(b)に示す通り、複数の導体細線111を交差させた金属メッシュのパターンが1次構造として菱形の格子上に配列され、規則的なパターンを構成している。図9(b)では、一例として、導体細線111の交差部112を示す。
図9(b)は、図9(a)に示す成膜基板101における領域101aの拡大平面図であり、図9(c)は、図9(a)に示す成膜基板101における領域101bの拡大平面図である。ここで、図9(a)において、例えば、領域101aに着目すると、図9(b)に示す通り、複数の導体細線111を交差させた金属メッシュのパターンが1次構造として菱形の格子上に配列され、規則的なパターンを構成している。図9(b)では、一例として、導体細線111の交差部112を示す。
一方、図9(a)において、例えば、領域101bに着目すると、図9(c)に示す通り、金属メッシュのパターンが1次構造として菱形の格子上に配列されているものの、一部領域が空間を隔てて、断線されている。この領域を不規則的なパターンとする。つまり、金属メッシュにおける1次構造の規則的なパターンと不規則的なパターンとが、全体像(2次構造)に反映されることになる。したがって、図10に示す成膜マスク1Aは、例えば、成膜基板101の金属メッシュのパターンに応じて規定されることになり、複数の開口部(図10(c)に示す第1スリット6a)が、金属メッシュのパターンになる。
図10(a)は、図9に示す成膜基板101を成膜するための成膜マスク1Aにおけるフィルム層2aのフィルム開口部を示す。図10(b)は、図9(b)に対応して、フィルム層2aの一部領域であるフィルム開口部20aの拡大平面図を示している。図10(c)は、図9(c)に対応して、フィルム層2aの一部領域であるフィルム開口部21aの拡大平面図を示している。
なお、図10(b)、(c)において、白抜きの個所が第1スリット6aを示し、第1スリット6aの交点が、第1スリット6aの交差部22となる。
なお、図10(b)、(c)において、白抜きの個所が第1スリット6aを示し、第1スリット6aの交点が、第1スリット6aの交差部22となる。
また、図11(a)は、図9に示す成膜基板101を成膜するための成膜マスク1Aにおける磁性金属層3aのメタル開口部の平面図である。図11(b)は、図9(b)に対応して、磁性金属層3aの一部領域であるメタル開口部30aの拡大平面図を示している。図11(c)は、図9(c)に対応して、磁性金属層3aの一部領域であるメタル開口部31aの拡大平面図を示している。図11(c)に示す通り、メタル開口部31aは、成膜基板101上に不規則なパターンを形成させるための細長状の不規則部5aを含んでいる。この不規則部5aは、金属メッシュの電極パターンを分断させる。なお、図11(b)、(c)において、白抜きの個所が第2スリット7aを示し、金属メッシュの交差部に対応する第2スリット7aの交差部に重なるように補強部4aが設けられている。詳細については、図14を用いて後述する。
以上より、図9(a)に示す成膜基板101を前提として、この成膜基板101の成膜に用いられる成膜マスク1Aの製造方法について説明する。なお、積層処理は、第1実施形態の磁性金属層3と、第2実施形態の磁性金属層3aとの形状が異なる以外は、同様であるので説明を簡略化し、パターン加工処理について主に説明をする。
第2実施形態では、積層処理として、図10(a)に示すフィルム層2aを形成するため、レーザ光Lの照射前のフィルム層2aと、図11(a)に示す磁性金属層3aとを積層する。但し、第2実施形態では、成膜マスク1Aにおいて、磁性金属層3aを第1照射面とし、フィルム層2aを第2照射面とする。
図12は、第2実施形態における成膜マスクの製造工程の一例を示す説明図である。ここでは、簡単のため、図11(c)で示した不規則部5aを含むメタル開口部31aの領域を例にとって、説明をする。
図12(a)は、図11(c)で示した不規則部5aを含むメタル開口部31aの構成例を示す。図12(b)は、図12(a)に示すメタル開口部31aの反対側の面に積層されているフィルム層2aの一部領域であるフィルム層21aを示している。このフィルム層21aは、パターン加工処理前の初期状態を示す。
図12(c)は、磁性金属層3a(第1照射面)に向けてレーザ加工を実行した場合の製造工程(パターン加工処理)を示す説明図であり、投影マスク12cを介してレーザ照射した後のフィルム層21aの状態を示している。
第2実施形態では、磁性金属層3aを第1照射面とし、フィルム層2aを第2照射面とし、ガラス基板8上に載置した場合、磁性金属層3a側に向けて照射領域を分割してレーザ光を照射させる投影マスク12cを介して、順次レーザ照射する。なお、分割単位は、例えば、ステージでステップ移動する毎に照射する領域である。この照射により、第2スリット7aを貫通したレーザ光Lが、その第2スリットを貫通した領域の樹脂を除去することで、第1スリット6aを作製することができる(後述する図13(b)参照)。
続いて、第2実施形態では、成膜マスク1Aを反転させて、第2照射面(フィルム層2a)に向けて投影マスク12dを介してレーザ照射する。ここで、投影マスク12dは、補強部4に積層された樹脂に対してピンポイントにフォーカスし、レーザビームの口径を調整したレーザ光を照射させるものである。例えば、レーザビームの口径は、図12(c)の状態から図12(d)の状態になるように、調整される。第2実施形態では、ステージでステップ移動する毎に、フィルム層2a側に向けて順次レーザ照射することにより、当該除去対象の樹脂を除去する。
図12(d)は、フィルム層2a(第2照射面)に向けてレーザ加工を実行した場合の製造工程を示す説明図であり、投影マスク12dを介してレーザ照射した後のフィルム層2aの一部領域であるフィルム層21aの状態を示している。なお、第2実施形態のパターン加工処理により、第2照射面(フィルム層2a)のレーザ照射が完了すると、成膜マスク1Aが製造される。
ここで、第2実施形態のパターン加工処理によるレーザ加工のテーパ角について考察する。第2実施形態のパターン加工処理では、照射条件に応じて、レーザ光による貫通孔は、レーザ光の入射面側の直径が、出射面側の直径よりも大きくなるテーパ状を有する。つまり、レーザ光による貫通孔が所定のテーパ角を有することになる。
図13は、第2実施形態における成膜マスクの製造工程の一例を示す説明図である。ここで、図13(a)は、図12(a)に示す第2スリット7aを横切る位置の一部拡大断面図の一例を示す。図13(a)では、成膜マスク1Aにおいて、磁性金属層3aが第1照射面で、フィルム層2aが第2照射面となっている。図13(b)は、図13(a)に示す成膜マスク1Aをガラス基板8上に載置した後、レーザ照射した後の状態を示している。図13(b)に示す通り、レーザ光の入射面側の直径が、出射面側の直径よりも大きくなるテーパ状の形状を有している。このように加工すると、磁性金属層3aの第2スリット7aの開口幅よりも、フィルム層2aの第1スリット6aの開口幅が狭くなるので、第2スリット7aの開口幅よりもさらに狭い線幅で、高精細なパターンを容易に作製することができる。
また、図13(c)は、比較のため、図13(b)に示す成膜マスク1Aを反転させた後、フィルム層2aにおいて、磁性金属層3aの補強部4a(図中、破線の円で囲む領域参照)に積層されている樹脂に向けて、レーザ照射した場合の状態を示している。つまり、補強部4aに積層されている領域には、積層された樹脂が除去されることになる。なお、図13(c)では、説明をわかりやすくするため、フィルム層2aの第1スリット6aの近い位置に補強部4aの領域を示している。補強部4aの領域については、レーザ光Lの入射面側の直径が、出射面側の直径よりも大きくなるテーパ状を有している。
このように加工すると、実際の成膜においては、図13(c)に示す成膜マスク1Aを反転させ、補強部4aの直下の領域が下向きに開口が広がることになるので、成膜物質が補強部4aの直下に進入しやすくなる。
したがって、第2実施形態のパターン加工処理では、両面加工にて、所定のテーパ角で樹脂を除去することができるので、テーパ角の形状を巧みに利用することが可能となる。
したがって、第2実施形態のパターン加工処理では、両面加工にて、所定のテーパ角で樹脂を除去することができるので、テーパ角の形状を巧みに利用することが可能となる。
次に、補強部と第2スリットの交差部との関係について考察する。
図14は、補強部と第2スリットの交差部との関係を示す説明図である。図14(a)は、実線の矢印で示す方向(所定の方向)から第2スリット7aに交差して接続された補強部4a(図12(a)参照)を、所定の間隔で複数個所に設けた状態を示している。ここで、補強部4aが、金属メッシュの交差部112(図9参照)に対応する第2スリット7aの交差部(図中、円で囲む領域内を参照)と重なるようにして、配置されている。なお、破線の矢印方向に不規則部5a(図12(a)参照)が配置されている。ここで、不規則部5aと第1スリット6aの交差部22には、補強部4aを重ねない構造とする。
図14は、補強部と第2スリットの交差部との関係を示す説明図である。図14(a)は、実線の矢印で示す方向(所定の方向)から第2スリット7aに交差して接続された補強部4a(図12(a)参照)を、所定の間隔で複数個所に設けた状態を示している。ここで、補強部4aが、金属メッシュの交差部112(図9参照)に対応する第2スリット7aの交差部(図中、円で囲む領域内を参照)と重なるようにして、配置されている。なお、破線の矢印方向に不規則部5a(図12(a)参照)が配置されている。ここで、不規則部5aと第1スリット6aの交差部22には、補強部4aを重ねない構造とする。
図14(b)は、磁性金属層3aを第1照射面として投影マスク12cを介してレーザ照射した後におけるフィルム層21aの状態を示しており、第1スリット6aの交差部22は、メタル開口部31aの補強部4aにより遮光され、樹脂が残っている。図14(c)は、成膜マスク1Aを反転させて、第2照射面(フィルム層2a)に向けて投影マスク12dを介してレーザ照射した後のフィルム層21aの状態を示している。但し、矢印で示す方向の不規則部5aの領域は、レーザ照射を避けるようにしている。なお、不規則部5aと第1スリット6aの交差部22を補強部4aと重ねない構造にすることで(図10、11参照)、両面のレーザ加工を規則的に実施することが可能となる。
従来、規則的なパターンと不規則的なパターンとを作製するためには、例えば、先ず、金属メッシュを作製した後、エッチングを行う必要があった。第2実施形態では、成膜基板上に規則的なパターンと、不規則的なパターンとを形成させる成膜マスク1Aを用いることで、パターン加工処理の1つの工程のみで、1次構造及び2次構造を作製することができる。また、投影マスクも、両面毎に切り替えるだけで済み、規則的なパターンや不規則的なパターンの領域毎に投影マスクを切り替えることを不要とすることができる。
次に、第2実施形態の変形例について説明する。変形例では、磁性金属層の補強部が金属メッシュの交差部に対応する第2スリットの交差部を避けるようにして、配置されていることを特徴とする。詳細については、図17を用いて後述する。
図15は、変形例における磁性金属層の一例を示す平面図である。図15(a)は、図11(a)に示す磁性金属層3aに対し、磁性金属層3bの補強部4bが第2スリット7bの交差部32を避けるように配置したものである。図15(b)は、磁性金属層3bの一部領域であるメタル開口部30bの拡大平面図を示している。図15(c)は、磁性金属層3bの一部領域であるメタル開口部31bの拡大平面図を示している。ここでは、簡単のため、変形例では、図11(a)に示す磁性金属層3aのパターンを、図15(a)に示す磁性金属層3bのパターンに置換する。
また、変形例では、積層処理として、レーザ光Lの照射前のフィルム層2aと、図15(a)に示す磁性金属層3bとを積層する。但し、変形例では、成膜マスク1Bにおいて、フィルム層2aを第1照射面とし、磁性金属層3bを第2照射面とする。
図16は、変形例における成膜マスクの製造工程の一例を示す説明図である。ここでは、簡単のため、図15(c)で示した不規則部5bを含むメタル開口部31bの領域を例にとって、説明をする。
図16(a)は、図15(c)で示した不規則部5bの領域を含むメタル開口部31bの構成例を示す。図16(b)は、図16(a)に示すメタル開口部31bの反対側の面に積層されているフィルム層21aを示している。このフィルム層21aは、パターン加工処理前の初期状態を示す。ここで、メタル開口部31bの補強部4bは、第2スリット7bの交差部32を避けるように略45度の傾きで、配置されていることを特徴とする。詳細については、図18を用いて後述する。
図16(a)は、図15(c)で示した不規則部5bの領域を含むメタル開口部31bの構成例を示す。図16(b)は、図16(a)に示すメタル開口部31bの反対側の面に積層されているフィルム層21aを示している。このフィルム層21aは、パターン加工処理前の初期状態を示す。ここで、メタル開口部31bの補強部4bは、第2スリット7bの交差部32を避けるように略45度の傾きで、配置されていることを特徴とする。詳細については、図18を用いて後述する。
図16(c)は、投影マスク12eを介してレーザ照射した後のフィルム層21aの状態を示している。変形例では、フィルム層2aを第1照射面とし、磁性金属層3bを第2照射面とし、ガラス基板8上に載置した場合、先ず、投影マスク12eを介して、磁性金属層3b側に向けてレーザ光Lを照射する。ここで、投影マスク12eは、第1スリット6bの交差部23を避けるようにして、その第1スリット6bを形成させる領域に、ピンポイントにフォーカスし、レーザビームの口径を調整したレーザ光をフィルム層2aに向けて照射領域を分割して照射させるものである。つまり、変形例では、投影マスク12eを介して、順次レーザ照射して上記交差部に位置する樹脂を残しながら該第1スリット6bを作製する(図16(c)参照)。
続いて、変形例では、成膜マスク1Bを反転させて、磁性金属層3bに向けて投影マスク12fを介してレーザ照射する。ここで、投影マスク12fは、磁性金属層3b側から第2スリット7bの交差部32に向けて照射領域を分割してレーザ光を照射させるものである。変形例では、ステージでステップ移動する毎に、磁性金属層3b側に向けて順次レーザ照射することにより、第2スリット当該除去対象の樹脂を除去する。変形例では、例えば、ピンポイントにフォーカスし、レーザビームの口径を交差部32に存在する樹脂を除去できるように調整したレーザ光を照射してもよい。但し、変形例では、磁性金属層3b側に向けてレーザ照射するので、円形のスポット状のレーザを照射してもよい。
図16(d)は、レーザ照射を実行した場合の説明図であり、投影マスク12fを介してレーザ照射した後のフィルム層21aの状態を示している。上記の変形例のパターン加工処理により、成膜マスク1Bが製造される。
ここで、変形例のパターン加工処理によるレーザ加工のテーパ角について考察する。
図17は、変形例における成膜マスクの製造工程の一例を示す説明図である。図17(a)は、図16(a)に示す第2スリット7bを横切る位置の一部拡大断面図の一例を示す。図17(a)では、成膜マスク1Bにおいて、フィルム層2aが第1照射面で、磁性金属層3bが第2照射面となっている。図17(b)は、図17(a)に示す成膜マスク1Bをガラス基板8上に載置した後、磁性金属層3bの補強部直下の領域にレーザ照射した後の状態を示している。図17(b)に示す通り、レーザ光の入射面側の直径(開口幅6b)が、出射面側の直径よりも大きくなるテーパ状を有している。このように加工すると、上述した通り、成膜物質が補強部4bの直下に進入しやすくなる。
図17は、変形例における成膜マスクの製造工程の一例を示す説明図である。図17(a)は、図16(a)に示す第2スリット7bを横切る位置の一部拡大断面図の一例を示す。図17(a)では、成膜マスク1Bにおいて、フィルム層2aが第1照射面で、磁性金属層3bが第2照射面となっている。図17(b)は、図17(a)に示す成膜マスク1Bをガラス基板8上に載置した後、磁性金属層3bの補強部直下の領域にレーザ照射した後の状態を示している。図17(b)に示す通り、レーザ光の入射面側の直径(開口幅6b)が、出射面側の直径よりも大きくなるテーパ状を有している。このように加工すると、上述した通り、成膜物質が補強部4bの直下に進入しやすくなる。
また、図17(c)は、図17(b)に示す成膜マスク1Bを反転させた後、磁性金属層3b側にレーザ照射した場合の状態を示している。このように加工すると、上述した通り、磁性金属層3bの第2スリット7bの開口幅よりもさらに狭い線幅6cで、高精細なパターンを容易に作製することができる。したがって、変形例のパターン加工処理においても、テーパ角を巧みに利用することが可能となる。また、図17(c)の破線の円で囲む領域においては、レーザ照射をしても遮光されるため、例えば、必要に応じて不規則部を形成することが容易となる。
次に、補強部と第2スリットの交差部との関係について考察する。
図18は、補強部と第2スリットの交差部との関係を示す説明図である。図18(a)は、矢印で示す方向(所定の方向として例えば略45度)から第2スリットに交差して接続された補強部4b(図16a参照)を、所定の間隔で複数個所に設けた状態を示している。ここで、補強部4bが、金属メッシュの交差部に対応する第2スリット7bの交差部(図中、円で囲む領域内を参照)を避けるように配置されている。
図18は、補強部と第2スリットの交差部との関係を示す説明図である。図18(a)は、矢印で示す方向(所定の方向として例えば略45度)から第2スリットに交差して接続された補強部4b(図16a参照)を、所定の間隔で複数個所に設けた状態を示している。ここで、補強部4bが、金属メッシュの交差部に対応する第2スリット7bの交差部(図中、円で囲む領域内を参照)を避けるように配置されている。
図18(b)は、投影マスク12eを介してレーザ照射した後のフィルム層2aの状態を示しており、第2スリットの交差部(図中、円で囲む領域内を参照)には、樹脂が残っている。図18(c)は、成膜マスク1Bを反転させて、磁性金属層3bに向けて投影マスク12fを介してレーザ照射した後の状態を示している。この場合、矢印で方向に伸びる不規則部5b上の交差部23を除く、他の交差部23の樹脂は、レーザ照射により除去され、成膜マスク1Bが作製される。
したがって、変形例においても、第2実施形態と同様、成膜基板上に規則的なパターンと、不規則的なパターンとを形成させる成膜マスク1Bを用いることで、パターン加工処理の1つの工程のみで、1次構造及び2次構造を作製することができる。また、投影マスクも、両面毎に切り替えるだけで済み、規則的なパターンや不規則的なパターンの領域毎に投影マスクを切り替えることを不要とすることができる。
1,1A,1B…成膜マスク
2,2a…フィルム層(樹脂層)
3,3a,3b…磁性金属層(金属層)
4,4a,4b…補強部
6,6a,6b…第1スリット
7,7a,7b…第2スリット
12a〜12f…投影マスク
100,101…成膜基板
110…透明電極膜
111…導体細線
2,2a…フィルム層(樹脂層)
3,3a,3b…磁性金属層(金属層)
4,4a,4b…補強部
6,6a,6b…第1スリット
7,7a,7b…第2スリット
12a〜12f…投影マスク
100,101…成膜基板
110…透明電極膜
111…導体細線
Claims (7)
- 成膜対象の成膜基板上に形成されるパターンに応じた複数の第1スリットを設けた樹脂層と、
前記樹脂層に積層され、前記第1スリットに対応する位置に第2スリットを設けると共に、前記第2スリットに交差して接続された補強部を所定の間隔で複数個所に設けた金属層と、を備え、
前記積層された樹脂層にレーザ加工が施されることにより、前記金属層の前記補強部の領域からは、積層された前記樹脂層の樹脂が除去され、前記樹脂層は、規則的な開口パターンと、前記開口パターンを分断する不規則な遮蔽パターンと、を有することを特徴とする成膜マスク。 - 前記金属層側から前記レーザ光を前記第2スリットに貫通させて前記樹脂層のレーザ加工を施すことにより、前記第1スリットの開口幅は、前記第2スリットの開口幅よりも狭く形成されることを特徴とする請求項1に記載の成膜マスク。
- 前記補強部は、複数の導体細線を交差させて網目状に形成した金属メッシュを含む透明電極膜が成膜される成膜基板上の前記導体細線の交差部に対応する前記第2スリットの交差部と重なるようにして、配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の成膜マスク。
- 前記補強部は、複数の導体細線を交差させて網目状に形成した金属メッシュを含む透明電極膜が成膜される成膜基板上の前記導体細線の交差部に対応する前記第2スリットの交差部を避けるようにして、配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の成膜マスク。
- 成膜対象の成膜基板上に形成されるパターンに応じた複数の第1スリットを設けることが可能な樹脂層と、前記第1スリットに対応する位置に第2スリットを設けると共に、前記第2スリットに交差して接続された補強部を所定の間隔で複数個所に設けた金属層と、を積層する第1工程と、
前記積層された樹脂層と金属層の両面にレーザ光を予め選択した順番で照射することにより、前記補強部に積層されている樹脂を除去し、前記第1スリットに対応する規則的な開口パターンと、前記開口パターンを分断する不規則な遮蔽パターンと、を有する樹脂層を作製する第2工程と、
を実行することを特徴とする成膜マスクの製造方法。 - 前記第1工程では、
複数の導体細線を交差させて網目状に形成した金属メッシュを含む透明電極膜用の前記第1スリットを設けることが可能な樹脂層と、前記第1スリットに対応する位置に第2スリットを設けると共に、前記導体細線の交差部に対応する前記第2スリットの交差部に重なるようにして配置された補強部を含む金属層と、を積層し、
前記第2工程では、
前記レーザ光を照射する露光手段により、前記金属層側に向けて照射領域を分割して前記レーザ光を照射させる第1投影マスクを介して、順次レーザ照射することにより、前記レーザ光が前記第2スリットを貫通した領域の樹脂を除去し、
前記補強部に積層された樹脂に対してピンポイントにフォーカスし、レーザビームの口径を調整したレーザ光を照射させる第2投影マスクを介して、前記樹脂層側に向けて順次レーザ照射することにより、当該除去対象の樹脂を除去することを特徴とする請求項5に記載の成膜マスクの製造方法。 - 前記第1工程では、
複数の導体細線を交差させて網目状に形成した金属メッシュを含む透明電極膜用の前記第1スリットを設けることが可能な樹脂層と、前記第1スリットに対応する位置に第2スリットを設けると共に、前記導体細線の交差部に対応する前記第2スリットの交差部を避けるようにして配置された補強部を含む金属層と、を積層し、
前記第2工程では、
前記レーザ光を照射する露光手段により、前記第2スリットの交差部を避けるようにして該第1スリットを形成させる領域に、ピンポイントにフォーカスし、レーザビームの口径を調整したレーザ光を前記樹脂層に向けて照射領域を分割して照射させる第3投影マスクを介して、順次レーザ照射して前記第2スリットの交差部に位置する樹脂を残しながら該第1スリットを作製し、
前記金属層側から前記第2スリットの交差部に向けてレーザ光を照射させる第4投影マスクを介して、前記照射領域を分割して順次レーザ照射することにより、当該除去対象の樹脂を除去することを特徴とする請求項5に記載の成膜マスクの製造方法。
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