JP2017005239A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims description 3
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000001131 transforming Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L Calcium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L Magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US15/173,339 US10642171B2 (en) | 2015-06-10 | 2016-06-03 | Imprint apparatus, imprint method, and method for producing article |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015117798 | 2015-06-10 | ||
| JP2015117798 | 2015-06-10 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018009958A Division JP2018110239A (ja) | 2015-06-10 | 2018-01-24 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017005239A JP2017005239A (ja) | 2017-01-05 |
| JP2017005239A5 true JP2017005239A5 (zh) | 2017-07-20 |
| JP6282298B2 JP6282298B2 (ja) | 2018-02-21 |
Family
ID=57754468
Family Applications (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016020933A Active JP6282298B2 (ja) | 2015-06-10 | 2016-02-05 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP2016087315A Active JP6316338B2 (ja) | 2015-06-10 | 2016-04-25 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP2018009958A Pending JP2018110239A (ja) | 2015-06-10 | 2018-01-24 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP2018058304A Active JP6563062B2 (ja) | 2015-06-10 | 2018-03-26 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
Family Applications After (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016087315A Active JP6316338B2 (ja) | 2015-06-10 | 2016-04-25 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP2018009958A Pending JP2018110239A (ja) | 2015-06-10 | 2018-01-24 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP2018058304A Active JP6563062B2 (ja) | 2015-06-10 | 2018-03-26 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (4) | JP6282298B2 (zh) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6606567B2 (ja) * | 2017-04-17 | 2019-11-13 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| US10998190B2 (en) * | 2017-04-17 | 2021-05-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method of manufacturing article |
| JP6921600B2 (ja) * | 2017-04-20 | 2021-08-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、制御データの生成方法、及び物品の製造方法 |
| JP2019102537A (ja) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
| JP7117955B2 (ja) * | 2018-09-18 | 2022-08-15 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 |
| EP3650937B1 (en) | 2018-11-08 | 2024-05-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and product manufacturing method |
| JP7289633B2 (ja) * | 2018-11-08 | 2023-06-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5268239B2 (ja) * | 2005-10-18 | 2013-08-21 | キヤノン株式会社 | パターン形成装置、パターン形成方法 |
| JP5190497B2 (ja) * | 2010-09-13 | 2013-04-24 | 株式会社東芝 | インプリント装置及び方法 |
| JP6140966B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2017-06-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
| JP5932286B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2016-06-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
| JP6418773B2 (ja) * | 2013-05-14 | 2018-11-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
| JP6120677B2 (ja) * | 2013-05-27 | 2017-04-26 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
| JP6362399B2 (ja) * | 2013-05-30 | 2018-07-25 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
| JP5960198B2 (ja) * | 2013-07-02 | 2016-08-02 | キヤノン株式会社 | パターン形成方法、リソグラフィ装置、リソグラフィシステムおよび物品製造方法 |
| JP6282069B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2018-02-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、検出方法及びデバイス製造方法 |
| JP6329353B2 (ja) * | 2013-10-01 | 2018-05-23 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
| JP6178694B2 (ja) * | 2013-10-17 | 2017-08-09 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
-
2016
- 2016-02-05 JP JP2016020933A patent/JP6282298B2/ja active Active
- 2016-04-25 JP JP2016087315A patent/JP6316338B2/ja active Active
-
2018
- 2018-01-24 JP JP2018009958A patent/JP2018110239A/ja active Pending
- 2018-03-26 JP JP2018058304A patent/JP6563062B2/ja active Active
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