JP2017005106A - 熱処理装置、熱処理装置の調整方法、及び、プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
複数の評価指標と、各評価指標の重みと、評価関数の値を算出する回数と、初期パラメータ値とを含む情報を受信する受信手段と、
前記受信手段により受信した情報に基づいて、シミュレーションを実行するシミュレーション実行手段と、
前記シミュレーション実行手段により実行されたシミュレーション結果に基づいて、評価関数の値を算出する評価関数値算出手段と、
前記評価関数値算出手段により算出された評価関数の値が最小であるか否かを判別し、前記評価関数の値が最小であると判別すると、パラメータを更新するパラメータ更新手段と、
を備え、
前記評価関数値算出手段は、前記受信手段により受信した評価関数の値を算出する回数に基づいて、再度評価関数の値を算出し、
前記評価関数値算出手段による再度評価関数の値を算出するときに、遺伝的アルゴリズムにより新たなパラメータを生成するパラメータ生成手段を、さらに備える、ことを特徴とする。
前記受信手段による受信する情報に、前記評価指標の閾値を含む、ことが好ましい。
複数の評価指標と、各評価指標の重みと、評価関数の値を算出する回数と、初期パラメータ値とを含む情報を受信する受信工程と、
前記受信工程により受信した情報に基づいて、シミュレーションを実行するシミュレーション実行工程と、
前記シミュレーション実行工程により実行されたシミュレーション結果に基づいて、評価関数の値を算出する評価関数値算出工程と、
前記評価関数値算出工程により算出された評価関数の値が最小であるか否かを判別し、前記評価関数の値が最小であると判別すると、パラメータを更新するパラメータ更新工程と、
を備え、
前記評価関数値算出工程では、前記受信工程により受信した評価関数の値を算出する回数に基づいて、再度評価関数の値を算出し、
前記評価関数値算出工程による再度評価関数の値を算出するときに、遺伝的アルゴリズムにより新たなパラメータを生成するパラメータ生成工程を、さらに備える、ことを特徴とする。
コンピュータを、
複数の評価指標と、各評価指標の重みと、評価関数の値を算出する回数と、初期パラメータ値とを含む情報を受信する受信手段、
前記受信手段により受信した情報に基づいて、シミュレーションを実行するシミュレーション実行手段、
前記シミュレーション実行手段により実行されたシミュレーション結果に基づいて、評価関数の値を算出する評価関数値算出手段、
前記評価関数値算出手段により算出された評価関数の値が最小であるか否かを判別し、前記評価関数の値が最小であると判別すると、パラメータを更新するパラメータ更新手段、
として機能させ、
前記評価関数値算出手段は、前記受信手段により受信した評価関数の値を算出する回数に基づいて、再度評価関数の値を算出し、
前記評価関数値算出手段による再度評価関数の値を算出するときに、遺伝的アルゴリズムにより新たなパラメータを生成するパラメータ生成手段として機能させる、ことを特徴とする。
RAM54は、CPU56のワークエリアなどとして機能する。
バス57は、各部の間で情報を伝達する。
評価関数(V)=w1Sr+w2Sz+w3e+w4Ud +・・・
ここで、Sr、Sz、e、Ud、は評価指標の一例であり、w1〜w4は各評価指標の重みである。
評価関数(V)=5×Sr+5×Sz+20×e+1×Ud +・・・
2 反応管
3 マニホールド
6 蓋体
9 ウエハボート
10 ヒータ部
11〜15 ヒータ
16〜20 ヒータコントローラ
21〜23 処理ガス供給管
24〜26 流量調整部
50 制御部
51 評価関数記憶部
52 レシピ記憶部
53 ROM
54 RAM
56 CPU
W 半導体ウエハ
Claims (5)
- 複数の評価指標と、各評価指標の重みと、評価関数の値を算出する回数と、初期パラメータ値とを含む情報を受信する受信手段と、
前記受信手段により受信した情報に基づいて、シミュレーションを実行するシミュレーション実行手段と、
前記シミュレーション実行手段により実行されたシミュレーション結果に基づいて、評価関数の値を算出する評価関数値算出手段と、
前記評価関数値算出手段により算出された評価関数の値が最小であるか否かを判別し、前記評価関数の値が最小であると判別すると、パラメータを更新するパラメータ更新手段と、
を備え、
前記評価関数値算出手段は、前記受信手段により受信した評価関数の値を算出する回数に基づいて、再度評価関数の値を算出し、
前記評価関数値算出手段による再度評価関数の値を算出するときに、遺伝的アルゴリズムにより新たなパラメータを生成するパラメータ生成手段を、さらに備える、ことを特徴とする熱処理装置。 - 前記評価指標は、少なくとも、目標値との誤差の和と、パワーの微分の絶対値の和とである、ことを特徴とする請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記受信手段による受信する情報に、前記評価指標の閾値を含む、ことを特徴とする請求項1または2に記載の熱処理装置。
- 複数の評価指標と、各評価指標の重みと、評価関数の値を算出する回数と、初期パラメータ値とを含む情報を受信する受信工程と、
前記受信工程により受信した情報に基づいて、シミュレーションを実行するシミュレーション実行工程と、
前記シミュレーション実行工程により実行されたシミュレーション結果に基づいて、評価関数の値を算出する評価関数値算出工程と、
前記評価関数値算出工程により算出された評価関数の値が最小であるか否かを判別し、前記評価関数の値が最小であると判別すると、パラメータを更新するパラメータ更新工程と、
を備え、
前記評価関数値算出工程では、前記受信工程により受信した評価関数の値を算出する回数に基づいて、再度評価関数の値を算出し、
前記評価関数値算出工程による再度評価関数の値を算出するときに、遺伝的アルゴリズムにより新たなパラメータを生成するパラメータ生成工程を、さらに備える、ことを特徴とする熱処理装置の調整方法。 - コンピュータを、
複数の評価指標と、各評価指標の重みと、評価関数の値を算出する回数と、初期パラメータ値とを含む情報を受信する受信手段、
前記受信手段により受信した情報に基づいて、シミュレーションを実行するシミュレーション実行手段、
前記シミュレーション実行手段により実行されたシミュレーション結果に基づいて、評価関数の値を算出する評価関数値算出手段、
前記評価関数値算出手段により算出された評価関数の値が最小であるか否かを判別し、前記評価関数の値が最小であると判別すると、パラメータを更新するパラメータ更新手段、
として機能させ、
前記評価関数値算出手段は、前記受信手段により受信した評価関数の値を算出する回数に基づいて、再度評価関数の値を算出し、
前記評価関数値算出手段による再度評価関数の値を算出するときに、遺伝的アルゴリズムにより新たなパラメータを生成するパラメータ生成手段として機能させる、ことを特徴とするプログラム。
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