JP2017005033A5 - 基板のマウント装置及びマウント方法 - Google Patents
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Description
また、上記特許文献２の方法は、ダイシングフレームを傷付けない代わりに、ダイシングフレームと基板に粘着テープを同時に貼り付ける必要があり、この場合、ダイシングフレームと基板へ粘着テープを貼り付ける際に、粘着テープのリリースフィルムからの剥離とダイシングフレームと基板との貼り合わせを同時に行う必要がある。このため、タイミングを合わせないとダイシングテープにしわや気泡が発生する問題があった。また、気泡等を防止するために真空チャンバを設ける場合、貼り付けユニットを真空チャンバ内に形成する必要があり、真空チャンバが大型化するなど現実的ではない問題がある。
請求項３の発明は、請求項１または２のいずれかに記載の発明において、前記テープ供給手段と、前記プリカット手段と、前記テープ貼り付け手段とを、前記フレーム供給手段と前記マウント手段とは独立動作制御可能に構成し、前記テープ供給手段と、前記プリカット手段と、前記テープ貼り付け手段とを独立動作制御して、ダイシングフレームに貼り付けテープを貼り付けた貼り付けテープ貼り付けフレームを作製するようにした構成を採用した基板のマウント装置である。
また、請求項４の発明によれば、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記原接着テープは、予めプリカットされた貼り付けテープがセパレータ上に仮着されて構成され、前記プリカット手段を作用させずに原接着テープを供給するようにした構成を採用しているのでプリカットの有無を問わないマウント装置を提供できる。
前記フレーム供給収納部５は、ダイシングフレーム４が積層収納されたカセット（図示しない）が、昇降手段（図示しない）によって順次昇降しながら１枚ずつダイシングフレーム４を供給するようになっている。前記フレーム供給収納部５と隣接してテープ貼り付け手段３０が設けられている。また、前記フレーム供給収納部５と前記テープ貼り付け手段３０に沿って移動可能に搬送機構７が設けられ、ダイシングフレーム４を吸着保持して搬送するようになっている。
前記プリカット手段２０で貼り付けテープＴｂが形成された原接着テープＴは、ピンチローラ１１、適宜の張力を付与するダンサローラ１２、複数のガイドローラ１０を経て、剥離板３３で急激に折り返されて貼り付けテープＴｂがダイシングフレーム４に貼り付けられる。残った原接着テープＴは、ガイドローラ１３、ピンチローラ１１、ガイドローラ１４を経て回収ロール１５に巻取られる。なお、ダンサローラ１２では、張力の付与や、プリカット手段２０での貼り付けテープＴｂを形成する位置の調整も行うことができる。また、原接着テープＴの繰り出しと巻取りを適宜調整して、貼り付けテープＴｂの形成間隔を適宜制御できるようになっている。
図８は、基板供給工程のフロー図である。前記マウント装置２を起動すると、基板位置決め手段４０では、まず、ステップ１として、基板１の取出しと搬送が行なわれる（Ｓ１）。次にステップ２として基板１の位置決めが行なわれる（Ｓ２）。この後、工程が並行して行なわれる。ステップ３として位置決めされた基板１がマウント手段５０へ搬送される（Ｓ３）。このステップ３と並行して図示しない制御手段で予定するマウントが全て完了したか否かの判断がステップ４で行われる（Ｓ４）。マウントが全て完了した場合は、基板１の位置決めを終了する。予定のマウントが全て完了していない場合は、Ｓ１乃至Ｓ４が繰り返し行われる。
まず、ステップ３１として、ダイシングフレーム４へ基板１がマウントされる（Ｓ３１）。次にステップ３２として、マウント済みダイシングフレーム４がマウントテーブル５１から搬送される（Ｓ３２）。続いて、ステップ３３としてマウント済みダイシングフレーム４がフレーム収納部６０に反転されて収納される（Ｓ３３）。前記収納が終了すると全てのマウントが完了したかどうかの判断が行われる（Ｓ３４）。
Claims (1)
- 前記テープ供給手段と、前記プリカット手段と、前記テープ貼り付け手段とを、前記フレーム供給手段と前記マウント手段とは独立動作制御可能に構成し、前記テープ供給手段と、前記プリカット手段と、前記テープ貼り付け手段とを独立動作制御して、ダイシングフレームに貼り付けテープを貼り付けた貼り付けテープ貼り付けフレームを作製するようにしたことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の基板のマウント装置。
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