JP2017003506A - 光学式エンコーダ - Google Patents

Abstract

【課題】パターンスケールが金属製であっても接着強度と長期信頼性を高めることができる、ハブ部材に光硬化型接着剤で接着されるパターンスケールを備えた光学式エンコーダを提供する。【解決手段】リング状の変調パターン２２が設けられた金属製パターンスケール１６の接着面に貫通穴２１を設け、この貫通孔穴２１に入り込んで硬化した接着材２３がパターンスケール１６に錨のように引っ掛かる力により、ハブ部材１７に固定する。【選択図】図２

Description

本発明は、パターンスケールをハブ部材に接着した光学式エンコーダに関する。

モータなどの回転角度、回転速度を検出するため用いられる光学式エンコーダでは、モータの回転軸に角度検出用のパターンスケールを接合するのが一般的である。従来の光学式エンコーダのパターンスケールは、ガラスや透明樹脂に金属を蒸着して製造されていた。このようなパターンスケールは、生産の効率化と高精度の組み立てのため、硬化時間が短い光硬化型接着剤により固定部材に接着し、固定部材をモータの回転軸に固定することが多かった。

近年、金属板に形成されたパターンスケールやガラス全面に金属を蒸着したパターンスケールが開発されたが、光がパターンスケールを透過しないために光硬化型接着剤を用いることができず、生産の効率化と高精度の組立が困難であった。

この問題に対し、特許文献１では、全面に金属が蒸着されたガラス製パターンスケールとハブ部材を光硬化型接着剤により接着する際、接着界面の斜め方向から紫外線を照射させている。接着剤内部に入射した紫外線は金属蒸着膜とハブ部材により反射され、接着剤内部を伝搬するので、接着界面全体の接着剤を硬化させることができる。

特開２００８−２９７０号公報

特許文献１では、接着剤内部に紫外線を伝搬させるには接着面が平滑である必要があるため、被接着部材の表面を粗くして接着剤の投錨効果を得ることができず、接着強度と長期的信頼性が低いという問題があった。また、狭い接着界面から紫外線を入射するので、紫外線の利用効率が低く、紫外線が接着界面を伝搬する間に減衰するので、接着剤の硬化時間が長いという問題があった。時間短縮のため紫外線の照度を上げれば、接着部周辺の樹脂部品が紫外線劣化を起こし、機械的強度が低下するという問題が生じた。
本発明は、接着強度と長期的信頼性が高い光学式エンコーダを提供することを課題とする。

上記課題を解決するため、本発明は、パターンスケールの接着面に穴を設け、この穴に入り込んで硬化した接着剤による引っ掛かり力により、パターンスケールをハブ部材に固定する。

本発明に係る光学式エンコーダは、穴の内部で硬化した接着剤が、パターンスケールに錨のように引っ掛かる構造となっているため、接着強度と長期信頼性を向上させることができる。

この発明に係る光学式エンコーダの全体構造を説明する断面図である。 実施の形態１におけるパターンスケールの接着構造１８の拡大断面図である。 実施の形態１〜２におけるパターンスケールのパターン面側の平面図である。 実施の形態１における網目状に配置された貫通穴の正面拡大図である。 図４のＡ―Ａ線に沿った断面図であり、貫通穴の断面を示す図である。 実施の形態２におけるパターンスケールの接着構造の断面図である。 実施の形態２における網目状に配置された貫通穴の正面拡大図である。 図７のＢ−Ｂ線に沿った断面図であり、貫通穴の断面を示す図である。 実施の形態３におけるパターンスケールの接着構造の断面図である。 実施の形態３における蜂の巣状に配置された貫通穴の正面拡大図である。 図１０のＣ−Ｃ線に沿った断面図であり、貫通穴の断面を示す図である。 実施の形態４におけるパターンスケールの接着構造の断面図である。 実施の形態５におけるパターンスケールの接着面側の正面図である。 図１３のＤ−Ｄ線に沿った断面図であり、非貫通穴の断面を示す図である。 実施の形態６におけるパターンスケールの接着面側の正面図である。 図１５のＥ−Ｅ線に沿った断面図であり、非貫通穴の断面を示す図である。

実施の形態１．
図１〜５は本発明の実施の形態１に関する説明図である。図１は本発明による光学式エンコーダの全体構成図である。モータ１２の回転軸１３にはハブ部材である固定部材１７を介してパターンスケール１６が取りつけられている。電子回路基板１１には、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）、ＬＤ（Ｌａｓｅｒ Ｄｉｏｄｅ）、面発光レーザー素子などの発光素子１４と、ＰＤ（Ｐｈｏｔｏ Ｄｉｏｄｅ）、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）などの受光素子１５が搭載されている。発光素子１４から出た光はパターンスケール１６で反射し、受光素子１５へ入射する。パターンスケール１６には回転軸１３の回転角度に応じて光の反射強度が変化するように、図３に記載のリング状の変調パターン２２が設けられている。

受光素子１５で検知した反射光強度を演算処理することで、モータの回転角度、回転速度を算出することができる。なおパターンスケール１６には、回転軸１３との接触を避けるため円板中心穴３２が設けられている。固定部材１７は、回転軸１３とは別部材で構成しても良いし、回転軸１３を加工して形成しても良い。
固定部材１７は金属でできている。金属の種類としてはアルミ合金、鉄、ステンレス鋼、黄銅などを使用する。固定部材１７が接着剤２３と接する面は平坦であるが、接着剤２３による投錨効果を得るためにブラスト処理をして面を粗くしても良い。

パターンスケール１６は厚み０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの金属（たとえばステンレスのＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４、鋳鉄Ｆ４５Ｃ２、クロムなど）で構成される。パターンスケール１６の電子回路基板１１に対向する面（以降、パターン面と呼ぶ。）は光を反射させる目的で光の反射率を高くするため鏡面のように平滑になっている。パターンスケール１６の接着剤２３に接する面（以降、接着面と称する。）は平滑であっても良いし、投錨効果による接着強度の向上を狙い、粗くしても良い。パターンスケール１６は、ガラス板の表面に金属を蒸着して構成することもできる。

図２は、図１のパターンスケールの接着構造１８の拡大断面図である。パターン面にはエッチング加工などにより反射率を低下させる処理をした領域が形成されている。反射率が高いステンレス表面と、反射率低下処理領域を交互に配置することで変調パターン２２を構成し、変調パターン２２から反射する光の強度は回転軸１３の回転角度に応じて変化する。

パターンスケール１６には接着補強用の貫通穴２１が設けられている。貫通穴２１は、接着面に開口した第一の穴４２とパターン面（非接着面）に開口した第二の穴４１とが連通して形成されている。第二の穴４１は、第一の穴４２より断面積が広く容積も大きい。これらの穴は、パターン面と接着面の両面からウェットエッチングすることにより製作できる。

図４、図５に示すように、貫通穴のパターン面側の開口と接触面側開口とは異なる形状になっており、接着面側の開口形状が円形で、パターン面側の開口形状は接着面側の開口を包括する大きさの長方形となっている。よって貫通穴２１は円筒型の穴４２と長方形型の穴４１が連通した形状になっている。穴４１と穴４２の連通部の面積は穴４１の断面積より狭く形成されている。

パターンスケール１６には、図３に示す縦線と横線の交点に網目状に複数の貫通穴２１が配置されている。縦線と横線は、仮想的な補助線であり、実際にパターンスケール１６に縦線と横線が刻まれているわけではない。図３では変調パターン２２の内周と外周に貫通穴２１を網目状に配置しているが、内周だけもしくは外周だけに配置しても良い。

パターンスケール１６はスクリーン印刷用の紫外線嫌気硬化タイプの接着剤２３により固定部材１７に接着されている。接着剤２３はパターンスケール１６と固定部材１７の間にあるだけでなく、パターンスケールの貫通穴２１の長方形の穴４１にまで入り込んでいる。穴４１と穴４２の連通部より断面積が広い長方形の穴４１に接着剤２３が入り込んでいることで、パターンスケール１６が固定部材１７から遠ざかる方向の力に対して、硬化後の接着剤２３が錨の役目を果たし、接着強度を向上させることができる。

パターンスケール１６を固定部材１７に接着する製造方法としては、固定部材１７の接着面に接着剤２３をスクリーン印刷により塗布する。次にパターンスケール１６の接着面を固定部材１７の接着面に組立装置で押し当てる。組立装置の円板を押し当てる部品をガラスなど光が透過する部材で製作しておき、パターンスケール１６の変調パターン部分２２と接着補強用の貫通穴２１が設けられた全面に押し当て、接着剤硬化用の紫外光を照射すれば、貫通穴２１を通過した光により、紫外線嫌気硬化型接着剤が硬化する。パターンスケール１６全体を均一に押し当てるので、パターンスケール１６と固定部材１７を高精度に組み立てることができる。

接着剤２３のうち光が当たらない部分は、光照射時点では硬化しないが、嫌気性接着剤を用いるので放置すれば自然に硬化が進展する。これにより、未硬化部分を無くすることができる。嫌気性接着剤の自然硬化にはある程度の時間を要するが、その前に光照射により貫通穴２１に入り込んだ接着剤２３が短時間で硬化し、その後の工程で位置ずれが生じない程度の接着強度が得られている。したがって、高精度の組み立てや生産効率が妨げられることはない。

また、スクリーン印刷により接着剤塗布厚みを一定に保つことができるので、パターンスケール１６を固定部材１７に押し当てる際、接着剤２３は円筒型の穴４２を越えて容積がより大きい長方形型の穴４１の途中まで浸入するように調整できる。これにより接着剤２３が貫通穴２１からはみ出すことは無いので、組立装置に接着剤が付着しないので清掃する必要が無い、パターンスケール１６の全面を押し当てることができる、という利点がある。スクリーン印刷は、塗布時間が短いため、連続的かつ効率的生産が可能である。

特許文献１は、接着剤の硬化度合いを確認するには、破壊試験が必要となるという問題があるが、本実施の形態によれば、パターン形成部の貫通穴２１の接着剤の硬度を計測することで破壊せずに硬化の度合いを判定することができる。

実施の形態２．
図１、図３、及び図６〜８は、本発明の実施の形態２に関する説明図である。光学式エンコーダとしての基本構成は図１に示すとおり、実施の形態１と同様である。パターンスケール１６の材質や変調パターン２２の構成は実施の形態１と同様である。パターンスケール１６には貫通穴２１が設けられており、パターン面、接着面の両面からウェットエッチングすることにより製作できる。

本実施形態の特徴として、貫通穴２１はパターン面側の開口も接着面の開口も同じ直径の円である。ただしパターン面側の開口形状の中心と接触面側の開口形状の中心、つまり互いの円の中心がずれており、貫通穴２１は中心がずれた円筒の穴６１と６２が繋がって形成されている。したがって、第一の穴６２と第二の穴６１の連通部の面積は第二の穴６１の断面積より狭くなっている。パターンスケール１６には複数の貫通穴２１が配置されている。図３では変調パターン２２の内周と外周に貫通穴２１を網目状に配置しているが、内周だけ、もしくは外周だけに配置しても良い。また配置パターンは放射状やランダムパターンでも良く、網目状に限定せずどのようなパターンでも良い。

パターンスケール１６は可視光嫌気硬化タイプの接着剤２３により、固定部材１７に接着されている。接着剤２３はパターンスケール１６と固定部材１７の間にあるだけでなく、パターンスケール１６の貫通穴２１に入り込んでおり、接着面側の円筒の穴６２を越えてパターン面側の円筒穴６１の途中まで入り込んでいる。円筒の穴６１、６２に接着剤が入り込んでいることで、パターンスケール１６が固定部材１７から遠ざかる方向の力に対しても、また固定部材１７がパターンスケールから遠ざかる方向の力に対しても硬化後の接着剤２３が錨の役目を果たし、接着強度を向上させることができる。

ハブ部材である固定部材１７は、モータ回転軸１３の一部を加工して形成されており、接着面には接着剤２３を溜めるための溝が、回転軸１３と同軸に設けられている。

パターンスケール１６を固定部材１７に接着する製造方法としては、固定部材１７の接着剤を溜めるための溝に接着剤用ディスペンサなどの液体吐出装置により、接着剤を塗布する。ディスペンサの機能により、接着剤を溜めるための溝には一定の容積の接着剤を吐出することができ、また溝の位置によらず均一な厚みで吐出することができる。

その後、パターンスケール１６の変調パターン２２部分を組立装置で押し当て、貫通穴２１部分は押し当てない。パターンスケール１６と固定部材１７を押し当てれば、固定部材１７とパターンスケール１６の界面に接着剤２３が濡れ広がると共に、パターンスケール１６の貫通穴２１に接着剤２３が浸入する。組立装置でパターンスケール１６を固定部材１７に押し当てた状態で、貫通穴２１に可視光を照射して可視光嫌気硬化型の接着剤２３を硬化させることで、高精度組立が可能である。

本実施形態によれば、貫通穴２１がある部分は組立装置で押し当てないので、仮に接着剤２３が貫通穴２１からパターン面側に溢れてしまったとしても、組立装置に接着剤が付着する懸念がない。したがって、清掃する必要が無く、連続的かつ効率的な生産が可能である。
本実施の形態によれば、接着剤をディスペンサで塗布しているので、接着剤選定の自由度が広がる利点がある。

実施の形態３．
図１、図３、及び図９〜１１は本発明の実施の形態３に関する説明図である。光学式エンコーダとしての基本構成、パターンスケール１６の材質や変調パターン２２の構成は実施の形態１及び２と同様である。

ハブ部材である固定部材１７はプラスチック磁石から成る中空円筒であり、接着面には接着剤２３を溜めるための溝が設けられている。本実施の形態のエンコーダは、モータ回転数を磁界の向きでカウントする機能を達成するためにプラスチック磁石を備えている。角度検出方式は実施の形態１及び２と同様である。

本実施形態の特徴として、パターンスケール１６に設けられた貫通穴２１はパターン面側の開口も接着面の開口も同じ直径の円であり、パターン面側からエッチングした第二の穴９１と接着側からエッチングした第一の穴９２との軸中心も一致している。ただしパターン面側の穴９１と接触面側の穴９２はウェットエッチングのアンダーカットと呼ばれる現象により、穴が深い部分の方が浅い部分よりも穴径が小さい。このため図１０、１１に示すように、貫通穴２１の断面はパターンスケールの厚みの中心に面積の狭いくびれ部９３を持つ。パターンスケールには複数の貫通穴２１が図１０に示すように蜂の巣状に配置されている。

パターンスケールは紫外線好気硬化タイプの接着剤２３により、固定部材１７に接着されている。接着剤２３はパターンスケール１６と固定部材１７の間にあるだけでなく、パターンスケール１６の接着面側の穴９２に入り込んでおり、その一部がパターン面側の穴９１にまで入り込んでいる。穴９１，９２の連通部は断面積の狭いくびれ部９３となっており、ここに接着剤が入り込んでいる。こで、パターンスケール１６が固定部材１７から遠ざかる方向の力に対しても、また固定部材１７がパターンスケール１６から遠ざかる方向の力に対しても硬化後の接着剤２３が錨の役目を果たし、接着強度を向上させることができる。

パターンスケール１６を固定部材１７に接着する製造方法としては、固定部材１７に設けられた接着剤２３を溜めるための溝に接着剤用ディスペンサなどの液体吐出装置によりの接着剤２３を塗布する。次にパターンスケール１６の接触面を固定部材１７の接着面に組立装置で押し当てる。この時ガラスなど光を透過する部品でパターンスケール１６の変調パターン２２部分と貫通穴２１が設けられた部分の全面に押し当て、接着剤硬化用の紫外光を照射すれば、パターンスケール１６と固定部材１７を高精度に組み立てることができる。

アンダーカットによるくびれ部分９３があっても、くびれ部分９３で光が回折することにより、貫通穴２１の接着剤のほぼ全てに紫外光を照射できるので、紫外線好気硬化型の接着剤を使用できる。本実施形態では貫通穴２１を蜂の巣状に配置しており、また穴９１と円筒穴９２の軸が一致しているので、接着剤の未硬化部分を無くすことができる。

なお本実施形態の貫通穴２１は、ウェットエッチングによらずレーザー加工により製作しても良い。パターン面側からレーザー加工によりパターンスケールの厚みの半分を超える深さの凹部を形成する。この凹部は穴が深い部分の方が浅い部分よりも穴径が小さく形成される。その後接触面側からパターン面凹部に対応する箇所をレーザー加工し、貫通穴２１を形成できる。

実施の形態４．
図１、図１２は本発明の実施の形態４に関する説明図である。光学式エンコーダとしての基本構成、パターンスケール１６の材質や変調パターン２２の構成は実施の形態１〜３と同様である。

本実施形態の特徴として、パターンスケール１６に貫通穴２１は無く、接着面に接着補強用の非貫通穴１２１が設けられている。非貫通穴１２１はレーザー加工により形成されており、接触面に対し斜め方向からレーザー光を入射させ、第一の非貫通穴１２２を形成する。その後、第一の非貫通穴１２２を形成した時とは異なる斜め方向から、第一の非貫通穴１２２の開口部に向けてレーザー光を入射し、第二の非貫通穴１２３を形成する。

第二の非貫通穴１２３を形成する際のレーザー光を照射する角度として、例えば第一の非貫通穴１２２を形成した際のレーザー光がパターンスケール１６の接触面で反射されたと仮定し、反射光の進行経路上から第一の非貫通穴１２２の開口部に向けてレーザー光を照射すれば良い。非貫通穴１２１は、網の目状に配置されている。

第一の非貫通穴１２２と第二の非貫通穴１２３は、開口部の面積に対し内壁が広がって形成されているので、接着補強用の非貫通穴１２１に接着剤２３が浸入すれば、パターンスケール１６が固定部材１７から遠ざかる方向の力に対して、硬化後の接着剤２３が錨のように引っ掛かり、接着強度を向上させることができる。

パターンスケール１６の接触面には接着補強用の非貫通穴１２１が格子状に、接触面全体に設けられている。実施の形態１、２及び３では、変調パターン２２部分に貫通穴２１を設けると変調パターン２２の反射光強度に影響を与える懸念があるため、変調パターン２２部分には貫通穴２１を設けていなかった。

本実施の形態では接着剤２３が錨のように引っ掛かる構造を、貫通穴ではなく非貫通穴としているため、変調パターン２２の裏面を含む接触面全体に接着補強用の非貫通穴１２１を配置し、変調パターン２２の浮き上がりを防止して高精度な組立ができる。

固定部材１７は黄銅製の円板であり、パターンスケールを接着する面には接着剤を溜めるための溝が設けられている。
パターンスケール１６を固定部材１７に接着する製造方法としては、固定部材１７に設けられた接着剤２３を溜めるための溝に接着剤用ディスペンサなどの液体吐出装置により熱硬化型の接着剤２３を塗布する。次にパターンスケール１６の接触面をハブ部材である固定部材１７の接着面に組立装置で押し当てる。本実施の形態によれば接着剤がパターン面側にはみ出すことが無いので、押さえつける部品を清掃・洗浄する必要がなく、連続的かつ効率的な生産が可能である。

パターンスケール１６と固定部材１７を、互いに押し当てた状態のまま高周波誘導加熱装置により加熱する。高周波誘導加熱によりパターンスケール１６、固定部材１７が発熱し、接着剤２３に熱が伝わることで加熱硬化型の接着剤２３を硬化させることができる。
なお固定部材１７と回転軸１３の接合方法を、加熱硬化型接着剤による接着としておけば、パターンスケール１６と固定部材１７を加熱して接着する際、同時に固定部材１７と回転軸１３の加熱接着が可能であり、製造工程の更なる効率化が可能である。

実施の形態５．
図１、図１３〜１４は本発明の実施の形態５に関する説明図である。光学式エンコーダとしての基本構成、パターンスケール１６の材質や変調パターン２２の構成は実施の形態１〜４と同様である。固定部材１７は実施の形態４と同じく黄銅製の円板である。

本実施形態の特徴は、パターンスケール１６に接着剤２３を錨のように引っ掛ける形状として、パターンスケール１６の接着面に接着補強用の溝１３１が放射状に設けられていることである。接着補強用の溝１３１の断面形状は実施の形態４の接着補強用の非貫通穴１２１と同様であり、溝の内壁が溝の開口部から広がっている。接着補強用の溝１３１はパターンスケール１６の外縁に達している。

接着補強用の溝１３１の形成方法としては実施の形態４と同様にレーザー加工により製作することもできるし、ドライエッチングプロセスにより製作することも可能である。パターンスケール１６を固定部材１７に接着後、回転軸１３の軸端に接着固定するように設計しておけば、図３に記載の板中心穴３２は不要である。

パターンスケール１６を固定部材１７に接着する製造方法としては、固定部材１７の接着剤を溜める目的の溝に熱硬化型の接着剤２３を塗布したのち、パターンスケール１６の接触面側を固定部材１７に押し当てる。このとき接触面に接着補強用の溝１３１が放射状に設けられており、また溝の一端がパターンスケール１６の外縁に達していることにより、接着補強用の溝１３１に空気が閉じ込められて接着剤２３が溝に入り込まない不具合を解消することができる。

本実施形態によれば接着補強用の溝１３１が放射状に刻まれているため、回転軸１３が急加速・急減速する時にかかるトルクに対し、強い接着強度を有することができる。

実施の形態６．
図１、図１５〜１６は本発明の実施の形態６に関する説明図である。光学式エンコーダとしての基本構成、パターンスケール１６の材質や変調パターン２２の構成は実施の形態１〜５と同様である。固定部材１７は実施の形態４、５と同じく黄銅製の円板である。

本実施形態の特徴は、パターンスケール１６に接着剤２３を錨のように引っ掛ける形状として、パターンスケール１６の接触面の全体に接着補強用の非貫通穴が設けられており、その形状は実施の形態４に述べた第一の非貫通穴１２２と第二の非貫通穴１２３を別々の場所に形成していることである。

図１５、図１６に示すとおり、第一の非貫通穴１２２の隣には第二の非貫通穴１２３を配置する。ここで接着補強用の非貫通穴が第一の非貫通穴１２２だけで構成されていれば、第一の非貫通穴１２２の深さ方向と同一の方向に引張り力が作用する場合に、接着剤２３がパターンスケール１６に引っ掛からない。

このため接着面に対して斜め方向に形成された第一の非貫通穴１２２と異なる方向から斜めに形成された第二の非貫通穴１２３を配置し、第一の非貫通穴１２２の深さ方向もしくは第二の非貫通穴１２３の深さ方向のうち、どちらか一方と同じ方向に引張り力が作用しても、他方の非貫通穴内の接着剤２３がパターンスケール１６に引っ掛かるようにしている。
パターンスケール１６を固定部材１７に接着する製造方法については、実施の形態４と同様である。

１１ 電子回路基板、１２ モータ、１３ 回転軸、１４ 発光素子、
１５ 受光素子、１６ パターンスケール、１７ 固定部材、
１８ パターンスケールの接着構造、２１ 貫通穴、２２ 変調パターン、
２３ 接着剤、３１ パターンスケールに複数個配置された貫通穴、３２ 円板中心穴、３３ 図４にて拡大説明する範囲、４１ 第二の穴、４２ 第一の穴、６１ 第二の穴、６２ 第一の穴、９１ 第二の穴、９２ 第一の穴、９３ くびれ部、
１２１ 非貫通穴、１２２ 第一の非貫通穴、１２３ 第二の非貫通穴、
１３１ 非貫通穴の開口。

Claims (9)

1. 回転軸を中心として回転するハブ部材と、このハブ部材に接着されるパターンスケールとを備えた光学式エンコーダにおいて、前記パターンスケールの接着面には穴が設けられ、この穴に入り込んで硬化した接着剤の引っ掛かり力により前記ハブ部材に固定されることを特徴とする光学式エンコーダ。
2. 前記穴が、前記接着面に開口した第一の穴と非接着面に開口した第二の穴とが連通して形成された貫通穴であり、連通部の面積が前記第二の穴の断面積より狭く形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
3. 前記接着剤が光硬化型接着剤であり、前記第二の穴に入り込んでいることを特徴とする請求項２に記載の光学式エンコーダ。
4. 前記光硬化型接着剤が、紫外線嫌気硬化型接着剤、可視光嫌気硬化型接着剤または紫外線好気硬化接着剤であることを特徴とする請求項３に記載の光学式エンコーダ。
5. 前記穴が前記接着面に開口した非貫通穴であり、かつ、前記接着剤が熱硬化型接着剤であることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
6. 前記非貫通穴の開口の面積が当該穴の他の部分の断面積より狭く形成されていることを特徴とする請求項５に記載の光学式エンコーダ。
7. 前記非貫通穴の開口が前記接着面に放射状に延長して形成され、前記パターンスケールの周縁に達していることを特徴とする請求項６に記載の光学式エンコーダ。
8. 前記非貫通穴が、前記接着面に対して互いに異なる方向に傾斜して形成される第一の穴と第二の穴とを備えることを特徴とする請求項５に記載の光学式エンコーダ。
9. 前記パターンスケールは、少なくともその表面が金属で形成されていることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の光学式エンコーダ。

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