JP2017003441A - 気体熱伝導式ガスセンサおよび気体熱伝導式ガスセンサの出力補正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(気体熱伝導式ガスセンサの構成)
まず、図1を参照して、第1実施形態による気体熱伝導式ガスセンサ100の構成について説明する。
次に、図2を参照して、上記の式(4)の定数aおよび定数bの算出方法について説明する。
次に、気体熱伝導式ガスセンサ100のガスの検知原理について説明する。
次に、気体熱伝導式ガスセンサ100の出力補正方法について説明する。
次に、図3〜図6を参照して、気体熱伝導式ガスセンサを定電圧により駆動した場合と、定電流により駆動した場合との比較(実験)について説明する。図3に示すように、比較例による気体熱伝導式ガスセンサ200は、定電圧供給部220からセンサ部210に定電圧が供給されるように構成されている。また、第1実施形態の気体熱伝導式ガスセンサ100とは異なり、補正部30は、設けられていない。
次に、図7および図8を参照して、補正部30によってセンサ出力を補正した場合について説明する。
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
(気体熱伝導式ガスセンサの構成)
次に、図9を参照して、第2実施形態について説明する。この第2実施形態では、第1抵抗部141および第2抵抗部151は、MEMS技術を用いて形成され、Si(シリコン)基板上に形成された白金薄膜抵抗体から構成されている。
(気体熱伝導式ガスセンサの構成)
次に、図10を参照して、第3実施形態について説明する。この第3実施形態では、検知素子部40および温度補償素子部50のうちの少なくとも一方が故障していると判断する制御部60が設けられている。
第3実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
20 定電流供給部
30 補正部
40、140 検知素子部
50、150 温度補償素子部
60 制御部
100、101、102 気体熱伝導式ガスセンサ
Claims (4)
- 雰囲気ガスとの熱伝導に基づいて抵抗値が変化する検知素子部と、前記検知素子部に直列に接続されるとともに、前記検知素子部とともにブリッジ回路を構成する温度補償素子部とを含むセンサ部と、
前記センサ部に定電流を供給する定電流供給部と、
前記定電流供給部から定電流が供給されている状態における、基準となる温度下での前記センサ部の電圧と、環境温度下での前記センサ部の電圧とに基づいて、前記環境温度下での前記センサ部からの出力を補正する補正部とを備える、気体熱伝導式ガスセンサ。 - 第1の温度下での前記センサ部からの出力と、前記第1の温度とは異なる第2の温度下での前記センサ部からの出力との差が所定のしきい値を超える場合に、前記検知素子部および前記温度補償素子部のうちの少なくとも一方が故障していると判断する制御部をさらに備える、請求項1または2に記載の気体熱伝導式ガスセンサ。
- 雰囲気ガスとの熱伝導に基づいて抵抗値が変化する検知素子部と、前記検知素子部に直列に接続されるとともに、前記検知素子部とともにブリッジ回路を構成する温度補償素子部とを含むセンサ部に、定電流を供給する工程と、
定電流が供給されている状態における、基準となる温度下での前記センサ部の電圧と、環境温度下での前記センサ部の電圧とに基づいて、前記環境温度下での前記センサ部からの出力を補正する工程とを備える、気体熱伝導式ガスセンサの出力補正方法。
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