JP2016540989A - 光学的投影トモグラフィを用いて試料を検査する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (22)
- 光学的投影トモグラフィを用いて試料(9)を検査する方法であって、
前記試料(9)を照明光束(3)によって照明し、
前記試料(9)を通って透過された前記照明光束(3)の光を含む透過光束(10)を、透過光検出器(13)によって検出する方法において、
前記照明光束(3)および前記透過光束(10)を、同じ対物レンズ(7)を通って逆の伝播方向に偏向させることを特徴とする方法。 - a)前記照明光束(3)を、前記対物レンズ(7)の通過後に、照明光偏向手段(8)を用いて、前記照明光束(3)が偏向後に前記対物レンズ(7)の光軸に対して0°とは異なる角度で伝播するように偏向させ、
および/または
b)前記照明光束(3)を、前記対物レンズ(7)の通過後に、照明光偏向手段(8)を用いて、検査すべき前記試料(9)に対して偏向させる、
請求項1記載の方法。 - a)前記透過光束(10)を、透過光偏向手段(11)を用いて、前記透過光束(10)が偏向後に前記対物レンズの光軸(19)に対して平行に伝播するように偏向させ、
および/または
b)前記透過光束(10)を、透過光偏向手段(11)を用いて前記対物レンズ(7)に対して偏向させる、
請求項1または2記載の方法。 - a)前記試料(9)を、異なる試料位置にて、および/または、前記照明光束(3)の異なる伝播方向で、時間的に順次連続して照明し、
または
b)前記試料(9)を、異なる試料位置にて、および/または、前記照明光束(3)の異なる伝播方向で、時間的に順次連続して照明し、その際には前記試料(9)が位置固定されて保持され、前記試料(9)に対する前記照明光束(3)の各位置および/または各伝播方向が変更される、
請求項1から3いずれか1項記載の方法。 - a)前記照明光束(3)の位置および/または伝播方向を、前記対物レンズ(7)の上流側に接続され偏向角度に関する設定調整が可能なビーム偏向装置(4)によって設定調整し、
および/または
b)前記照明光束(3)の位置および/または伝播方向を、前記照明光偏向手段(8)の動きによって設定調整する、
請求項4記載の方法。 - a)断層撮影検査に対して同時に若しくは逐次的に、前記試料(9)の少なくとも1つの横断面の少なくとも1つのSPIM(選択的平面照明顕微鏡)画像を生成し、
および/または
b)ライトシート平面内での照明光束(3)の往復揺動により、SPIM画像の照明のための擬似ライトシートを形成し、
および/または
c)ライトシート平面内での照明光束(3)の往復揺動により、SPIM画像の照明のための擬似ライトシートを形成し、その際には前記照明光束(3)の異なる照明位置毎および/または異なる伝搬方向毎に、各透過光束(10)を、断層撮影検査のために同時に検出する、
請求項1から5いずれか1項記載の方法。 - a)前記試料(9)に入射した照明光ビームの伝播方向に対して0°とは異なる角度で前記試料(9)から出射する光をさらなる対物レンズ(14)に通過させて前記透過光検出器(13)とは異なる検出器(16)で検出し、
または
b)前記試料(9)に入射した照明光ビームの伝播方向に対して実質的に90°の角度で前記試料(9)から出射する光をさらなる対物レンズ(14)に通過させて前記透過光検出器(13)とは異なる検出器(16)で検出する、
請求項1から6いずれか1項記載の方法。 - a)前記さらなる対物レンズ(14)の光軸を、前記試料(9)に入射した照明光ビームの伝播方向に対して0°とは異なる角度で配向し、
および/または
b)前記さらなる対物レンズ(14)の光軸を、前記試料(9)に入射した照明光ビームの伝播方向に対して実質的に90°(直角)の角度で配向し、
および/または
c)前記さらなる対物レンズ(14)の光軸を、前記対物レンズ(7)の光軸に対して平行または同軸に配向する、
請求項7記載の方法。 - 前記照明光束(3)と同じように前記対物レンズ(7)を通って進行する透過光束(10)の検出に時間的に前後して、前記試料(9)を、前記照明光束(3)を用いて次のように付加的に照明する、すなわち前記透過光束(10)がさらなる対物レンズ(14)を通って進行し、前記さらなる対物レンズ(14)の通過後に検出されるように付加的に照明する、
請求項1から5いずれか1項記載の方法。 - a)前記照明光偏向手段(8)および/または前記透過光偏向手段(11)を、特に可動に前記対物レンズ(7)に配置するか、または、前記照明光偏向手段(8)および/または前記透過光偏向手段(11)を、特に可動に前記さらなる対物レンズ(14)に配置し、
および/または、
b)前記照明光偏向手段(8)および前記透過光偏向手段(11)は、同じ偏向装置の構成部材である、
請求項1から9いずれか1項記載の方法。 - 前記方法を、走査型顕微鏡または共焦点走査型顕微鏡を用いて実行する、
請求項1から10いずれか1項記載の方法。 - 光学的投影トモグラフィを用いて試料(9)を検査する装置であって、
検査すべき前記試料(9)を照明する照明光束(3)を発生する光源(2)と、
前記試料(9)を通って透過された前記照明光束(3)の光を含む透過光束(10)を検出する透過光検出器(13)と、
を備えている装置において、
前記照明光束(3)および前記透過光束(10)が、同じ対物レンズ(7)を通って逆の伝播方向に進行するように構成されていることを特徴とする装置。 - a)照明光偏向手段(8)が、前記照明光束(3)を、前記対物レンズ(7)の通過後に、前記照明光束(3)が前記対物レンズの光軸(19)に対して0°とは異なる角度で伝播するように偏向させ、
および/または
b)照明光偏向手段(8)が、前記照明光束(3)を、前記対物レンズ(7)の通過後に、検査すべき前記試料(9)に対して偏向させる、
請求項12記載の装置。 - a)透過光偏向手段(11)が、前記透過光束(10)を、前記透過光束(10)が前記対物レンズの光軸(19)に対して平行に伝播するように偏向させ、
および/または
b)透過光偏向手段(11)が、前記透過光束(10)を、前記対物レンズ(7)に対して偏向させる、
請求項12または13記載の装置。 - a)前記試料(9)は、異なる試料位置にて、および/または、前記照明光束(3)の異なる伝播方向で、時間的に順次連続して照明可能であり、
または
b)前記試料(9)は、異なる試料位置にて、および/または、前記照明光束(3)の異なる伝播方向で、時間的に順次連続して照明可能であり、その際には前記試料(9)が位置固定されて保持され、前記試料(9)に対する前記照明光束(3)の各位置および/または各伝播方向が変更される、
請求項12から14いずれか1項記載の装置。 - a)前記照明光束(3)の位置および/または伝播方向は、前記対物レンズ(7)の上流側に接続され偏向角度に関する設定調整が可能なビーム偏向装置(4)によって設定調整可能であり、
および/または
b)前記照明光束(3)の位置および/または伝播方向は、前記偏向手段の動きによって設定調整可能である、
請求項15記載の装置。 - a)前記透過光検出器(13)とは異なる検出器(16)が、断層撮影検査に対して同時にまたは逐次的に、前記試料(9)の少なくとも1つの横断面の少なくとも1つのSPIM(選択的平面照明顕微鏡)画像のための光を検出し、
および/または
b)ビーム偏向装置が、ライトシート平面内での照明光束(3)の往復揺動によって、SPIM画像の照明のための擬似ライトシートを形成し、
および/または
c)ビーム偏向装置が、ライトシート平面内での照明光束(3)の往復揺動によって、SPIM画像の照明のための擬似ライトシートを形成し、その際には前記透過光検出器(13)が、前記照明光束(3)の異なる照明位置および/または異なる伝搬方向毎に、各透過光束(10)を断層撮影検査のために同時に検出する、
請求項12から16いずれか1項記載の装置。 - a)前記試料(9)に入射した照明光ビームの伝播方向に対して0°とは異なる角度で前記試料(9)から出射した光をさらなる対物レンズ(14)に通過させて前記透過光検出器(13)とは異なる検出器(16)で検出させ、
または
b)前記試料(9)に入射した照明光ビームの伝播方向に対して実質的に90°の角度で前記試料(9)から出射する光をさらなる対物レンズ(14)に通過させて前記透過光検出器(13)とは異なる検出器(16)で検出させる、
請求項12から17いずれか1項記載の装置。 - a)前記さらなる対物レンズ(14)の光軸は、前記試料(9)に入射した照明光ビームの伝播方向に対して0°とは異なる角度で配向され、
および/または
b)前記さらなる対物レンズ(14)の光軸は、前記試料(9)に入射した照明光ビームの伝播方向に対して90°(直角)の角度で配向され、
および/または
c)前記さらなる対物レンズ(14)の光軸は、前記対物レンズ(7)の光軸に対して平行または同軸に配向されている、
請求項18記載の装置。 - さらなる透過光検出器(21)が、対物レンズ(7)を通って進行するのではなく、さらなる対物レンズ(14)を通って進行する透過光を受信し、検出するように配置されている、
請求項12から19いずれか1項記載の装置。 - a)前記照明光偏向手段(8)および/または前記透過光偏向手段(11)は、特に可動に前記対物レンズ(7)に配置され、または、前記照明光偏向手段(8)および/または前記透過光偏向手段(11)は、特に可動に前記さらなる対物レンズ(14)に配置され、
および/または、
b)前記照明光偏向手段(8)および前記透過光偏向手段(11)は、同じ偏向装置の構成部材である、
請求項12から20いずれか1項記載の装置。 - 前記装置は、少なくとも部分的に走査型顕微鏡または共焦点走査型顕微鏡から形成されている、
請求項12から21いずれか1項記載の装置。
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