JP2016225947A - 半導体装置および半導体リレー - Google Patents
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Abstract
【課題】入出力間の電気的な絶縁性をより高めることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置1は、昇圧回路21と半導体基板7とを備えている。昇圧回路21は、第1端子(端子21a,21b)と第2端子(端子21c,21d)と間に直列に電気的に接続された複数のキャパシタ(例えばキャパシタ215、216)を有し、入力される入力信号を昇圧して出力する回路である。半導体基板7には、昇圧回路21が形成されている。これにより、半導体装置1は、入出力間の電気的な耐圧をより高くすることができる。
【選択図】図1
【解決手段】半導体装置1は、昇圧回路21と半導体基板7とを備えている。昇圧回路21は、第1端子(端子21a,21b)と第2端子(端子21c,21d)と間に直列に電気的に接続された複数のキャパシタ(例えばキャパシタ215、216)を有し、入力される入力信号を昇圧して出力する回路である。半導体基板7には、昇圧回路21が形成されている。これにより、半導体装置1は、入出力間の電気的な耐圧をより高くすることができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、一般に半導体装置および半導体リレー、より詳細には入出力間を電気的に絶縁する半導体装置およびそれを用いた半導体リレーに関する。
従来、入出力間を電気的に絶縁する半導体リレーには、光結合方式を用いた半導体リレーと、容量結合方式を用いた半導体リレーとがある。容量結合方式を用いた半導体リレーは、例えば特許文献1に記載されている。容量結合方式を用いた半導体リレーでは、LEDを用いないため、光結合方式を用いた半導体リレーと比較して消費電流が少なく、高温環境でも動作可能といった利点がある。
容量結合方式の半導体リレーを用いる場合、信頼性の高いスイッチング動作を行うためには半導体リレーの入出力間の電気的な絶縁が重要な要素となっている。そこで、容量結合方式の半導体リレーでは、信頼性の高いスイッチング動作を行うために入出力間の電気的な絶縁性をより高めることが要望されている。
そこで、本発明は、上記事由に鑑みてなされており、その目的は、入出力間の電気的な絶縁性をより高めることができる半導体装置および半導体リレーを提供することにある。
本発明の一態様である半導体装置は、第1端子と第2端子と間に直列に電気的に接続された複数のキャパシタを有し、前記第1端子から入力される入力信号を昇圧して前記第2端子から出力する昇圧回路と、前記昇圧回路が形成される半導体基板とを備えることを特徴とする。
ここで、前記複数のキャパシタは、前記半導体基板の厚み方向の面上に横並びに配置されていることが好ましい。
ここで、前記複数のキャパシタは、前記半導体基板の厚み方向に積層されていることが好ましい。
ここで、前記半導体装置は、一対の第3端子間に入力される信号に応答して発振し、前記信号に応じた前記入力信号を生成し、前記昇圧回路に出力する発振回路を、さらに備えることが好ましい。
ここで、前記半導体装置は、前記昇圧回路から出力される信号に応じて駆動信号を出力する駆動回路を、さらに備えることが好ましい。
また、本発明の一態様である半導体リレーは、上述したいずれかの前記半導体装置と、スイッチング素子とを備え、前記半導体装置は、前記入力信号に応じた駆動信号を出力するように構成され、前記スイッチング素子は、前記駆動信号に応じて入/切するように構成されていること特徴とする。
上述した半導体装置および半導体リレーによると、複数のキャパシタを直列に電気的に接続しているので、入出力間の電気的な絶縁性をより高めることができる。
(実施形態)
以下、本実施形態に係る半導体装置1および半導体装置1を用いた半導体リレー2について、図1〜3を用いて説明する。
以下、本実施形態に係る半導体装置1および半導体装置1を用いた半導体リレー2について、図1〜3を用いて説明する。
半導体装置1は、図1および図2に示すように、発振回路20、昇圧回路21および充放電回路22(駆動回路)を備える。発振回路20と昇圧回路21とは、図2に示すように、一対の端子21a,21b(第1端子)で接続されている。また、昇圧回路21と充放電回路22とは、図2に示すように、一対の端子21c,21d(第2端子)で接続されている。なお、一対の端子21a,21bおよび一対の端子21c,21dは、電線等を接続するための部品として実体を有していなくてもよく、例えば電子部品のリードや、回路基板に含まれる導体の一部であってもよい。
半導体リレー2は、図2に示すように、第1入力端子30(第3端子)および第2入力端子31(第3端子)と、半導体リレー2と、第1MOSFET23と、第2MOSFET24と、第1出力端子32および第2出力端子33とを備える。第1MOSFET23と、第2MOSFET24とは、それぞれ1枚の半導体基板上に構成されている。また、半導体装置1は、図1Aに示すように、発振回路20と、昇圧回路21と、充放電回路22とを1枚の半導体基板7に集積した半導体集積回路で構成されている。そして、図3に示すように、半導体装置1がダイパッド34に、第1MOSFET23がダイパッド35に、第2MOSFET24がダイパッド36に、それぞれ実装されている。半導体リレー2は、ダイパッド34,35,36をセラミック製やモールド樹脂製のパッケージ6で封止することで構成される。なお、「MOSFET」は、“Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor”の略語である。
以下、各構成要素について説明する。
発振回路20は、例えばRC発振回路で構成される。発振回路20は、第1入力端子30と第2入力端子31との間に電圧が印加される、つまり信号が入力されると、発振を開始する。そして、発振回路20は、発振を開始することによりパルス信号を発生しており、入力された信号に応じた信号(入力信号)を出力する。具体的には、発振回路20は、NOTゲートを有しており、パルス信号S1(入力信号)と、パルス信号S1をNOTゲートで反転させたパルス信号S2(入力信号)とを出力する(図2参照)。ここで、パルス信号S1とパルス信号S2とは逆位相となる。発振回路20は、パルス信号S1を第1キャパシタ群210に、パルス信号S2を第2キャパシタ群211に出力する。また、発振回路20は、第1入力端子30と第2入力端子31との間に電圧が印加されなくなる、つまり信号が入力されなくなると、発振を停止する。発振回路20は、発振を停止することにより交流電圧の発生を停止する。
昇圧回路21は、第1キャパシタ群210と、第2キャパシタ群211と、第1ダイオード212と、第2ダイオード213と、第3ダイオード214とを備えている。第1キャパシタ群210および第2キャパシタ群211のそれぞれは、直列接続された複数のキャパシタで構成される。なお詳細な構成は後述する。第3ダイオード214は、そのカソードが第1キャパシタ群210の出力側に、アノードが第2キャパシタ群211の出力側に接続されている。第1ダイオード212は、そのアノードが、第1キャパシタ群210の出力側および第3ダイオード214のカソードに接続されている。第2ダイオード213は、そのカソードが、第2キャパシタ群211の出力側および第3ダイオード214のアノードに接続されている。
ここで、発振回路20からのパルス信号S1は第1キャパシタ群210に、発振回路20からのパルス信号S2は第2キャパシタ群211に入力される。第1キャパシタ群210は、入力されたパルス信号S1の交流成分のみを出力側へ伝え、直流成分を遮断する。第2キャパシタ群211は、入力されたパルス信号S2の交流成分のみを出力側へ伝え、直流成分を遮断する。そして、昇圧回路21は、第1キャパシタ群210に発振回路20からのパルス信号S1が、第2キャパシタ群211に発振回路20からのパルス信号S2が入力されることで、パルス信号S1,S2を昇圧して出力する。本実施形態では、昇圧回路21は、ディクソン型のチャージポンプ回路で構成されている。
充放電回路22は、昇圧回路21から出力される信号に応じて、電圧(駆動信号)を出力する。具体的には、充放電回路22は、抵抗とデプレッション型MOSFETとで、第1MOSFET23および第2MOSFET24のそれぞれのゲート容量の充電および放電を制御するように構成されている。具体的には、充放電回路22は、昇圧回路21から電圧が印加されると、第1MOSFET23および第2MOSFET24のそれぞれのゲート容量を充電する。充放電回路22は、昇圧回路21から電圧が印加されなくなると、第1MOSFET23および第2MOSFET24のそれぞれのゲート容量に蓄積されている電荷を放電する。なお、「ゲート容量」とは、MOSFETのゲートとソースとの間に存在するキャパシタ(一般的に「ゲート入力容量」という。)およびゲートとドレインとの間に存在するキャパシタ(一般的に「ゲート出力容量」という。)である。
第1MOSFET23および第2MOSFET24は、それぞれのソース同士を接続することで直列に接続されている。第1MOSFET23のドレインは、ダイパッド35と電気的に接続されている。このダイパッド35の一部はパッケージ6の外部に露出しており、第1出力端子32として用いられている(図3参照)。第1MOSFET23のゲートは、図3に示すように、第1ゲート用パッド45と電気的に接続されている。第1MOSFET23のソースは、図3に示すように、第1ソース用パッド46と電気的に接続されている。
第2MOSFET24のドレインは、ダイパッド36と電気的に接続されている。このダイパッド36の一部はパッケージ6の外部に露出しており、第2出力端子33として用いられる(図3参照)。第2MOSFET24のゲートは、図3に示すように、第2ゲート用パッド47と電気的に接続されている。第2MOSFET24のソースは、図3に示すように、第2ソース用パッド48と電気的に接続されている。
半導体装置1は、上述したように、発振回路20と、昇圧回路21と、充放電回路22とを半導体基板7の表面に形成して構成されている(図1A参照)。各回路は、配線層や拡散領域により、互いに電気的に接続されている。ここで、半導体基板7の表面とは、半導体基板7の厚み方向における一面であって、発振回路20等が形成されている面である。
半導体基板7は、単結晶シリコンで形成されるシリコン基板(Si基板)である。
半導体装置1は、発振回路20の入力端子に接続される第1パッド40及び第2パッド41を半導体基板7の表面に形成して構成されている(図3参照)。また、半導体装置1は、充放電回路22の出力端子に接続される第3パッド42及び第4パッド43、並びに第5パッド44を半導体基板7の表面に形成して構成されている(図3参照)。
図3に示すように、第1パッド40と第1入力端子30との間、第2パッド41と第2入力端子31との間は、それぞれボンディングワイヤ5を介して電気的に接続されている。また、第3パッド42と第1ゲート用パッド45との間、第5パッド44と第2ゲート用パッド47との間は、それぞれボンディングワイヤ5を介して電気的に接続されている。更に、第4パッド43はダイパッド34とボンディングワイヤ5を介して電気的に接続されている。そして、ダイパッド34と第1ソース用パッド46との間、ダイパッド34と第2ソース用パッド48との間は、それぞれボンディングワイヤ5を介して電気的に接続されている。
昇圧回路21の各ダイオード212〜214、および充放電回路22は、図1Aに示すように、半導体基板7の表面に形成されている。なお、各ダイオード212〜214は、充放電回路22と纏めて半導体基板7の表面に形成されてもよい。そして、昇圧回路21の第1キャパシタ群210および第2キャパシタ群211は、半導体基板7の表面における発振回路20と、各ダイオード212〜214及び充放電回路22との間の領域に形成されている。
第1キャパシタ群210および第2キャパシタ群211は、上述したように、直列接続された複数のキャパシタで構成されている。なお、本実施形態では、第1キャパシタ群210は、直列接続された2つのキャパシタ215,216で構成されている。また、第2キャパシタ群211は、直列接続された2つのキャパシタ217,218で構成されている。
図1Bは、図1Aの第1キャパシタ群210のX−X断面図であり、図1Cは、図1Aの第2キャパシタ群211のY−Y断面図である。
半導体装置1では、図1B,1Cに示すように、半導体基板7の表面に、半導体リレー2の入出力間を電気的に絶縁する絶縁膜9が設けられている。ここで、絶縁膜9は、例えば二酸化ケイ素(シリカ:silica)や窒化ケイ素(シリコンナイトライド:silicon nitride)等の誘電体で形成されている。
キャパシタ215,216は、図1Bに示すように、半導体基板7の厚み方向における面上に横並びに配置されている。ここで、半導体基板7の厚み方向における面上に横並びに配置されるとは、半導体基板7の面に直接配置される場合だけでなく、半導体基板7の面より上位層の面に配置される場合も含んでいる。
キャパシタ215は、図1Bに示すように、第1電極80と、第2電極81と、第1電極80と第2電極81との間に形成された誘電体層86とから構成されている。キャパシタ216は、図1Bに示すように、第2電極81と、第3電極82と、第2電極81と第3電極82との間に形成された誘電体層87とから構成されている。各電極80〜82は、例えばアルミニウムやポリシリコン(高純度の多結晶シリコン)で形成され、誘電体層86,87は、例えば二酸化ケイ素や窒化ケイ素等の誘電体で形成される。第1電極80は、図1Bに示すように、第3電極82より下位層に位置している。第2電極81は、第3電極82と同位層に位置し、かつ第1電極80と対向する位置に存在する電極部81aと、第1電極80と同位層に位置し、かつ第3電極82と対向する位置に存在する電極部81bとを導電部81cで電気的に接続することで形成されている。
換言すると、キャパシタ215は、第1電極80と電極部81aとから構成され、キャパシタ216は、電極部81bと第3電極82とから構成されている。つまり、キャパシタ215とキャパシタ216とは、第2電極81を共用することで、直列接続を実現し、第1キャパシタ群210を形成している。第1電極80は発振回路20と接続され、第3電極82は、第3ダイオード214のカソードおよび第1ダイオード212のアノードと接続されている。
キャパシタ217,218は、図1Cに示すように、半導体基板7の厚み方向における面上に横並びに配置されている。キャパシタ217は、図1Cに示すように、第1電極83と、第2電極84と、第1電極83と第2電極84との間に形成された誘電体層86とから構成されている。キャパシタ218は、図1Cに示すように、第2電極84と、第3電極85と、第2電極84と第3電極85との間に形成された誘電体層87とから構成されている。各電極80〜82は、例えばアルミニウムやポリシリコン(高純度の多結晶シリコン)で形成される。第1電極83は、図1Cに示すように、第3電極85より下位層に位置している。第2電極84は、第3電極85と同位層に位置し、かつ第1電極83と対向する位置に存在する電極部84aと、第1電極83と同位層に位置し、かつ第3電極85と対向する位置に存在する電極部84bとを導電部84cで電気的に接続することで形成されている。
換言すると、キャパシタ217は、第1電極83と電極部84aとから構成され、キャパシタ218は、電極部84bと第3電極85とから構成されている。つまり、キャパシタ217とキャパシタ218とは、第2電極84を共用することで、直列接続を実現し、第2キャパシタ群211を形成している。第1電極83は発振回路20と接続され、第3電極85は、第3ダイオード214のアノードおよび第2ダイオード213のカソードと接続されている。
また、半導体基板7における発振回路20の周囲には、図1Aに示すように、発振回路20を周囲の領域と電気的に絶縁する誘電体分離領域73が形成されている。誘電体分離領域73は、例えば半導体基板7を厚み方向に掘ってトレンチ(trench)を形成し、トレンチの内壁にシリコン酸化膜を形成し、このシリコン酸化膜で囲まれる空間に多結晶シリコンを埋め込んで形成される。誘電体分離領域73は、各ダイオード212〜214及び充放電回路22の周囲にも形成されている。その他、誘電体分離領域73は、各パッド40〜44の周囲にも形成されている。
また、キャパシタ215,216のそれぞれの静電容量は、キャパシタ215,216を直列接続した場合の合成容量が半導体装置1の設計時に決められた第1キャパシタ群210の電気容量と等しくなるように設計される。同様に、キャパシタ217,218のそれぞれの電気容量は、キャパシタ217,218を直列接続した場合の合成容量が半導体装置1の設計時に決められた第2キャパシタ群211の電気容量と等しくなるように設計される。
次に、半導体リレー2の動作について説明する。第1入力端子30と第2入力端子31との間に電圧が印加されると、発振回路20が発振を開始してパルスを生成する。昇圧回路21は、発振回路20からのパルスを昇圧して出力する。この昇圧回路21の出力電圧が、充放電回路22に印加されると、充放電回路22は、第1MOSFET23および第2MOSFET24のそれぞれのゲート容量を充電する。すると、第1MOSFET23および第2MOSFET24がオンに切り替わり、第1出力端子32と第2出力端子33との間が導通する。すなわち、半導体リレー2がオンに切り替わる。
第1入力端子30と第2入力端子31との間に電圧が印加されなくなると、発振回路20の発振が停止し、昇圧回路21から電圧が出力されなくなる。このとき、第1MOSFET23および第2MOSFET24のゲート容量に蓄積されていた電荷が充放電回路22を通して放電される。すると、第1MOSFET23および第2MOSFET24がオフに切り替わり、第1出力端子32と第2出力端子33との間が遮断される。すなわち、半導体リレー2がオフに切り替わる。
以上説明したように、本実施形態の半導体装置1では、第1キャパシタ群210を形成する2つのキャパシタ215,216を直列に接続することで、第1キャパシタ群210の高耐圧化を実現することができる。また、本実施形態の半導体装置1では、第2キャパシタ群211を形成する2つのキャパシタ217,218を直列に接続することで、第2キャパシタ群211の高耐圧化を実現することができる。
なお、本実施形態では、第1キャパシタ群210を構成する2つのキャパシタ215,216、および第2キャパシタ群211を構成する2つのキャパシタ217,218は、半導体基板7の厚み方向における面上に横並びに配置するとしたが、これに限定されない。キャパシタ215,216は、図4Aに示すように、半導体基板7の厚み方向に積層して、直列に電気的に接続されてもよい。また、同様に、キャパシタ217,218は、図4Bに示すように、半導体基板7の厚み方向に積層して、直列に電気的に接続されてもよい。
なお、本実施形態の半導体装置1では、キャパシタ215の第1電極80が発振回路20と接続され、キャパシタ216の第3電極82が第3ダイオード214のカソードおよび第1ダイオード212のアノードと接続されているとしたが、これに限定されない。キャパシタ215の第1電極80が第3ダイオード214のカソードおよび第1ダイオード212のアノードと接続され、キャパシタ216の第3電極82が発振回路20と接続されてもよい。第2キャパシタ群211においても同様に、キャパシタ217の第1電極83が第3ダイオード214のアノードおよび第2ダイオード213のカソードと接続され、第3電極85が発振回路20と接続されてもよい。
また、上述した半導体基板7は、n型基板であってもよいし、p型基板であってもよい。また、本実施形態の半導体リレー2では、スイッチング素子がMOSFETであるが、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor:絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)等の他のスイッチング素子であってもよい。
また、本実施形態の半導体装置1において、絶縁膜9は必須の構成要素ではない。半導体装置1は、絶縁膜9を設けていなくてもよい。また、発振回路20は、半導体基板7の内部に形成されてもよい。
実施形態では、第1キャパシタ群210および第2キャパシタ群211のそれぞれは、直列接続された2つのキャパシタから構成されるとしたが、直列接続された3つ以上のキャパシタから構成されていてもよい。この場合、3つ以上のキャパシタは、半導体基板7の厚み方向における面に配列することで直列接続を実現してもよいし、半導体基板7の厚み方向に積層することで直列接続を実現してもよい。
以上説明したように、本実施形態の半導体装置1は、入出力間(端子21a―21c間、端子21b―21d間、)を電気的に絶縁し、入力される入力信号を昇圧して出力する昇圧回路21を備えている。昇圧回路21は、入出力間を絶縁する複数のキャパシタから構成されるキャパシタ群(第1キャパシタ群210、第2キャパシタ群211)を有している。第1キャパシタ群210は、端子21a(第1端子)と端子21c(第2端子)との間に直列に電気的に接続されたキャパシタ215、216を有している。第2キャパシタ群211は、端子21b(第1端子)と端子21d(第2端子)との間に直列に電気的に接続されたキャパシタ217、218を有している。
この構成によると、半導体装置1の第1キャパシタ群210は、2つのキャパシタ215,216を直列に接続して構成されているので、高耐圧化を実現することができる。また、第2キャパシタ群211は、2つのキャパシタ217,218を直列に接続して構成されているので、高耐圧化を実現することができる。したがって、半導体装置1は、入出力間の電気的な耐圧をより高くすることができる。これにより、半導体装置1は、信頼性の高いスイッチング動作を行うことができる。
上述したように、本実施形態では、キャパシタ215、216が半導体基板7の厚み方向の面上に横並びに配置されて、直列に電気的に接続され、キャパシタ217、218が半導体基板7の厚み方向の面上に横並びに配置されて、直列に電気的に接続されている。この構成によると、半導体装置1は、2つのキャパシタ215,216を、半導体基板7の厚み方向の面上に横並びに配置して直列に電気的に接続することで、高耐圧化を実現することができる。また、半導体装置1は、2つのキャパシタ217,218を、半導体基板7の厚み方向の面上に横並びに配置して直列に電気的に接続することで、高耐圧化を実現することができる。また、通常、高耐圧化を実現するために、2つの電極間の距離を大きくする、つまり絶縁層を厚くすることがある。この場合、応力が大きくなり半導体装置を形成したウエハの反りを大きくする虞がある。しかしながら、複数のキャパシタを半導体基板7の厚み方向の面上に横並びに配置して直列に電気的に接続することで、キャパシタの厚みを薄くすることができるので、ウエハの反りが大きくなることを防ぐことができる。
また、上述したように、本実施形態では、キャパシタ215、216が半導体基板7の厚み方向に積層されて、直列に電気的に接続され、キャパシタ217、218が半導体基板7の厚み方向に積層されて、直列に電気的に接続されている。この構成によると、半導体装置1は、2つのキャパシタ215,216を、半導体基板7の厚み方向に対して積層して直列に電気的に接続することで、第1キャパシタ群210を構成することで、高耐圧化を実現することができる。また、半導体装置1は、2つのキャパシタ217,218を、半導体基板7の厚み方向に対して積層して直列に電気的に接続することで、第2キャパシタ群211を構成することで、高耐圧化を実現することができる。また、通常、2つの電極間の距離を大きくする、つまり絶縁層を厚くすることで、応力が大きくなり半導体装置を形成したウエハの反りを大きくする虞がある。しかしながら、本実施形態の半導体装置1では、中間の電極である第2電極81,84が応力緩和層としても働くため、絶縁層の応力が大きくなることを防ぐことができる。そのため、ウエハの反りが大きくなることを防ぐことができる。
また、半導体装置1は、一対の入力端子30,31(第3端子)間に入力される信号に応答して発振し、入力された信号に応じた入力信号を生成する発振回路20を、さらに備える。この構成によると、半導体装置1は、発振回路20で入力された信号に応じた入力信号に基づいて、スイッチング動作を行うことができる。
また、半導体装置1は、昇圧回路21から出力される信号に応じて駆動信号を出力する充放電回路22(駆動回路)を、さらに備える。この構成によると、半導体装置1は、昇圧回路で出力される電圧を充放電することができる。
また、本実施形態の半導体リレー2は、上述したいずれかの半導体装置1と、スイッチング素子(MOSFET23,24)とを備える。半導体装置1は、入力信号に応じた駆動信号を出力するように構成され、スイッチング素子(MOSFET23,24)は、駆動信号に応じて入/切するように構成されている。この構成によると、半導体リレー2は、半導体装置1を備えるので、半導体リレー2の入出力間の電気的な耐圧をより高くすることができる。これにより、半導体リレー2は、信頼性の高いスイッチング動作を行うことができる。
1 半導体装置
2 半導体リレー
7 半導体基板
20 発振回路
21 昇圧回路
22 充放電回路(駆動回路)
23 第1MOSFET(スイッチング素子)
24 第2MOSFET(スイッチング素子)
21a,21b 端子(第1端子)
21c,21d 端子(第2端子)
30,31 入力端子(第3端子)
215,216,217,218 キャパシタ
2 半導体リレー
7 半導体基板
20 発振回路
21 昇圧回路
22 充放電回路(駆動回路)
23 第1MOSFET(スイッチング素子)
24 第2MOSFET(スイッチング素子)
21a,21b 端子(第1端子)
21c,21d 端子(第2端子)
30,31 入力端子(第3端子)
215,216,217,218 キャパシタ
Claims (6)
- 第1端子と第2端子と間に直列に電気的に接続された複数のキャパシタを有し、前記第1端子から入力される入力信号を昇圧して前記第2端子から出力する昇圧回路と、
前記昇圧回路が形成される半導体基板とを備える
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記複数のキャパシタは、前記半導体基板の厚み方向の面上に横並びに配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記複数のキャパシタは、前記半導体基板の厚み方向に積層されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 一対の第3端子間に入力される信号に応答して発振し、前記信号に応じた前記入力信号を生成し、前記昇圧回路に出力する発振回路を、さらに備える
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記昇圧回路から出力される信号に応じて駆動信号を出力する駆動回路を、さらに備える
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の前記半導体装置と、スイッチング素子とを備え、
前記半導体装置は、前記入力信号に応じた駆動信号を出力するように構成され、
前記スイッチング素子は、前記駆動信号に応じて入/切するように構成されている
こと特徴とする半導体リレー。
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JP2015113304A JP2016225947A (ja) | 2015-06-03 | 2015-06-03 | 半導体装置および半導体リレー |
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JP2015113304A JP2016225947A (ja) | 2015-06-03 | 2015-06-03 | 半導体装置および半導体リレー |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2015
- 2015-06-03 JP JP2015113304A patent/JP2016225947A/ja active Pending
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CN110419163A (zh) * | 2017-03-22 | 2019-11-05 | 索尼半导体解决方案公司 | 半导体装置及模块 |
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WO2020261536A1 (ja) * | 2019-06-28 | 2020-12-30 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置および電力変換装置 |
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