JP2016223015A - 円筒形ターゲットの製造方法及びその製造方法に用いる粉末焼結用モールド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粉末焼結用モールド101は、スリーブ1をカーボン又はセラミックスにより形成し、芯棒3Aの長手方向において、少なくとも円筒形ターゲットと接する位置に配置される加圧部分を、円筒形ターゲットの熱膨張係数と同等以上の熱膨張係数の材料により形成しておき、リング状の空間部6内に投入した原料粉末7aを、押圧部材5によってスリーブ1と加圧部分との間で押圧した状態で焼結させて、円筒形ターゲットを製造する。
【選択図】 図1
Description
この特許文献2の記載の方法では円柱状の焼結体が得られることから、この焼結体の中心部分をくり抜く等の切削加工を施すことにより、所定形状の円筒形ターゲットに形成することができるが、予めプレスモールド内の中心部分にモールド芯棒を配置しておくことにより、後加工を施すことなく円筒形ターゲットを形成することもできる。
そして、このようにして形成された円筒形ターゲットは、バッキングチューブに接合され、その状態でスパッタリング装置において使用される。
この場合、芯棒の少なくとも加圧部分において、その熱膨張係数が円筒形ターゲットの熱膨張係数と同等以上とされていることから、焼結後の冷却時において、円筒形ターゲットが冷却に伴って収縮しても、円筒形ターゲットに割れやクラック等が発生することがなく、また、円筒形ターゲットを芯棒の加圧部分から容易に離型させることができる。
芯棒の加圧部分の熱膨張係数が円筒形ターゲットの熱膨張係数の95%以上であれば、焼結後の冷却時において、円筒形ターゲットと加圧部分との体積変化に差が生じても、材料(加圧部分)の変形能力によって割れやクラック等を発生させることなく円筒形ターゲットを製造することができる。
また、芯棒の加圧部分の熱膨張係数を円筒形ターゲットの熱膨張係数よりも大きくした場合には、焼結後の冷却時において加圧部分が円筒形ターゲットよりも大きく収縮するので、円筒形ターゲットとの間に隙間を形成することができ、容易に離型させることが可能となる。
複数の小芯棒を組み合わせて芯棒を形成した場合においては、少なくとも加圧部分に配置される小芯棒を、円筒形ターゲットの熱膨張係数と同等以上に形成することで、焼結完了後の冷却時において、円筒形ターゲットが冷却に伴って収縮しても、円筒形ターゲットに割れやクラック等が発生することがなく、また、円筒形ターゲットを芯棒の加圧部分の小芯棒から容易に離型させることができる。
押圧部材と第2小芯棒との間で、スリーブと第1小芯棒との間のリング状の空間部の上方を確実に閉塞しつつ、スリーブと第1小芯棒との間で原料粉末を押圧状態とすることができる。
第1小芯棒の周囲まで円滑に押圧部材を押し込んで配置することができ、スリーブと第1小芯棒との間で原料粉末を確実に押圧状態とすることができる。したがって、押圧部材の圧力を確実に原料粉末に加えることができるので、密度の高い円筒形ターゲットを製造することができる。
第1小芯棒が第2小芯棒より僅かに拡径したとしても、押圧部材の面取り部により第1小芯棒との干渉を防止できるので、原料粉末を確実に押圧することができ、またモールドの破損を防止することができる。
一実施形態の粉末焼結用モールド101は、図1から図3までに示すように、筒状のスリーブ1と、スリーブ1の外側に配置されてスリーブ1を保持する外枠2と、スリーブ1内部の中央に配置された円柱状の芯棒3Aと、これらスリーブ1と芯棒3Aとの底面を支えるベースプレート4と、ベースプレート4との間に原料粉末7aを挟んで押圧する押圧部材5とを備える。
スリーブの内周面11aは、図1に示すように、作製する焼結体(円筒形ターゲット)の大きさに合わせて設けられており、外周面11bは、内周面11aを拡径した円周面に設けられている。
また、スリーブ1の外側に配置される外枠2の内周面21aは、スリーブ1の外周面11bと係合可能に、設けられている。
例えば、TiO2の円筒形ターゲットを形成する場合においては、TiO2の角柱状の焼結体を形成し、この焼結体を測定することにより、TiO2の円筒形ターゲットの熱膨張係数を決定する。この場合、TiO2の円筒形ターゲットの焼結温度の熱膨張係数は、9.0×10−6/Kとされる。
本実施形態においては、原料粉末7aとして、TiO2粉を用いる。
まず、図1に示すように、原料粉末7aをスリーブ1と芯棒3Aとの間に形成される空間部6内に投入し、原料粉末7aを充填した状態でスペーサ51により空間部6の上部を閉鎖する。
次に、パンチ52によって押圧力を加える前に、又はパンチ52の押圧力が最大押圧力に達する前に、真空容器(図示略)内で加熱を開始する。この際、図3に示すように、芯棒3Aは、他のモールド部材を形成するカーボングラファイトよりも熱膨張係数の大きなSUS304により形成されているので、他のモールド部材よりも大きく膨張して、二点鎖線で示す常温時の状態から実線で示す状態に変化する。
第1実施形態及び第2実施形態では、芯棒3Aの全体を1つの材料で一体に形成していたが、芯棒の構成はこれに限定されない。
例えば、図5から図8までに示す第3実施形態の粉末焼結用モールド103のように、芯棒3Bを、熱膨張係数の異なる材料により形成された複数の小芯棒を、芯棒3の長手方向に組み合わせて構成することもできる。この場合の芯棒3Bは、図5から図8までに示すように、下側に配置される第1小芯棒31と、上側に配置される第2小芯棒32との2つの小芯棒31,32を組み合わせて構成されている。そして、円筒形ターゲット7bの加圧部分に配置される第1小芯棒31が、スリーブ1の熱膨張係数よりも大きく、さらに円筒形ターゲット7bの熱膨張係数と同等以上に形成される。また、これら第1小芯棒31と第2小芯棒32とは、ベースプレート4上に第1小芯棒31、第2小芯棒32の順に積み重ねられ、それぞれ適宜の芯合わせ機構によりスリーブ1の内部中央に位置決めされる。
次に、パンチ52によって押圧力を加える前に、又はパンチ52の押圧力が最大押圧力に達する前に、真空容器(図示略)内で加熱を開始する。この際、第1小芯棒31は、他のモールド部材を形成するカーボングラファイトよりも熱膨張係数の大きなSUS304により形成されているので、図6に示すように、他のモールド部材よりも大きく膨張して、二点鎖線で示す常温時の状態から実線で示す状態に変化する。
すなわち、図9に示すように、スペーサ51の下端部の内周部に、その内周縁部を例えば45°の傾斜面で切欠きしてなる面取り部51aを設けておくことで、焼結完了時における第1小芯棒31の最大径が、第2小芯棒32の最大径より僅かに拡径したとしても、スペーサ51の面取り部51aにより、スペーサ51と第1小芯棒31との干渉を避けることができる。したがって、パンチ52の圧力を確実に焼結体に加えることができ、またモールド部材同士の干渉による破損を防止することができる。なお、面取り部51aは、焼結完了時における第1小芯棒31の最大径(熱膨張量)を見込んで、それよりも大きく切欠いて設けられる。
例えば、上記実施形態においては、芯棒3Aや第1小芯棒31を、円筒形ターゲット7b(TiO2)の熱膨張係数よりも大きな材料(SUS304)により形成したが、これに限定されるものではない。
例えば、円筒形ターゲットをCu‐Ga合金(熱膨張係数:24.1×10−6/K)で形成する場合は、芯棒3Aや第1小芯棒31の材料をCu(熱膨張係数:19.67×10−6/K)で形成する等、円筒形ターゲットの熱膨張係数と同等以上の材料により芯棒3A及び第1小芯棒31を形成することで、円筒形ターゲットに割れやクラック等を生じさせることなく円筒形ターゲットを製造することができる。なお、Cu‐Ga合金の原料粉末の焼結温度は600〜900℃である。
Nb2O5、TiO2及びCu‐Ga合金の3種類の原料粉末を用意し、上記実施形態の粉末焼結用モールドにおいて使用する各原料粉末ごとに芯棒を変更して、実施例1〜3及び比較例1の4つの円筒形ターゲットを製造した。原料粉末ごとの焼結温度や、使用した芯棒の条件は、表1に示すとおりである。
一方、比較例1では、芯棒を形成したカーボングラファイトよりもCu‐Ga合金の円筒形ターゲットの熱膨張係数が非常に大きく、円筒形ターゲットの冷却時の収縮により芯棒が外れず、また、円筒形ターゲットと芯棒との収縮差により、円筒形ターゲットには大きな応力が加わっており、最終的には割れが発生した。
2 外枠
3A,3B 芯棒
31 第1小芯棒
32 第2小芯棒
4 ベースプレート
5 押圧部材
51 スペーサ
51a 面取り部
52 パンチ
6 空間部
7a 原料粉末
7b 円筒形ターゲット
101,102,103 粉末焼結用モールド
Claims (11)
- 筒状に形成されたスリーブと、該スリーブ内部の中央に配置された芯棒と、前記スリーブと前記芯棒とにより形成されるリング状の空間部に挿入可能に設けられた押圧部材とを備える粉末焼結用モールドを用い、原料粉末を前記空間部内に投入して前記押圧部材で前記スリーブの軸方向に押圧した状態で加熱する円筒形ターゲットの製造方法であって、
前記スリーブをカーボン又はセラミックスにより形成し、
前記芯棒の長手方向において、少なくとも前記円筒形ターゲットと接する位置に配置される加圧部分を、前記円筒形ターゲットの熱膨張係数と同等以上の熱膨張係数の材料により形成しておき、
前記空間部内に投入した前記原料粉末を、前記押圧部材によって前記スリーブと前記加圧部分との間で押圧した状態で焼結させて、前記円筒形ターゲットを製造することを特徴とする円筒形ターゲットの製造方法。 - 前記芯棒の前記加圧部分の熱膨張係数が前記円筒形ターゲットの熱膨張係数の95%以上であることを特徴とする請求項1に記載の円筒形ターゲットの製造方法。
- 前記芯棒は、熱膨張係数の異なる材料の小芯棒を長手方向に複数組み合わせて形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の円筒形ターゲットの製造方法。
- 前記押圧部材は、前記原料粉末の焼結完了時において、前記芯棒の加圧部分に配置される第1小芯棒と、該第1小芯棒に隣接して配置される第2小芯棒との境界面に跨って配置されることを特徴とする請求項3に記載の円筒形ターゲットの製造方法。
- 前記原料粉末の焼結完了時における前記第1小芯棒の最大径が、前記第2小芯棒の最大径以下とされることを特徴とする請求項4に記載の円筒形ターゲットの製造方法。
- 前記押圧部材の下端部の内周部に面取り部が設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の円筒形ターゲットの製造方法。
- 筒状に形成されたスリーブと、該スリーブ内部の中央に配置された芯棒と、前記スリーブと前記芯棒とにより形成されるリング状の空間部に挿入可能に設けられた押圧部材とを備え、
前記空間部内に原料粉末を投入して前記押圧部材で前記スリーブの軸方向に押圧した状態で加熱して円筒形ターゲットを製造可能な粉末焼結用モールドであって、
前記スリーブがカーボン又はセラミックスにより形成され、
前記芯棒の長手方向において、少なくとも前記円筒形ターゲットと接する位置に配置される加圧部分が、前記スリーブの熱膨張係数よりも大きい熱膨張係数の材料により形成されていることを特徴とする粉末焼結用モールド。 - 前記芯棒の前記加圧部分は、前記円筒形ターゲットの熱膨張係数と同等以上の熱膨張係数の材料により形成されていることを特徴とする請求項7に記載の粉末焼結用モールド。
- 前記芯棒は、熱膨張係数の異なる材料の小芯棒を長手方向に複数組み合わせて形成されていることを特徴とする請求項7又は8に記載の粉末焼結用モールド。
- 前記押圧部材は、前記原料粉末の焼結完了時において、前記芯棒の加圧部分に配置される第1小芯棒と、該第1小芯棒に隣接して配置される第2小芯棒との境界面に跨って配置可能に設けられていることを特徴とする請求項9に記載の粉末焼結用モールド。
- 前記原料粉末の焼結完了時における前記第1小芯棒の最大径が、前記第2小芯棒の最大径以下に設けられていることを特徴とする請求項10に記載の粉末焼結用モールド。
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