JP7249827B2 - 電極埋設部材の製造方法 - Google Patents
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Description
窒化アルミニウム(AlN)粉末95重量%に焼結助剤として酸化イットリウム(Y2O3を5重量%添加し、バインダと溶剤を用いて混合した後、スプレードライ乾燥することによりセラミックス顆粒を得た。そして、このセラミックス顆粒を98MPa(1ton/cm2)の圧力でCIP成形することにより、セラミックス成形体のインゴットを得た。次に、このインゴットに機械加工を施すことにより直径370mm、厚さ5mm~20mmの複数の円板状部材を得た。このとき、円板状部材の表面には電極2を収容するための深さ0.2mmの凹部を形成した。複数の円板状部材を大気雰囲気で500℃以上の温度で2時間脱脂することにより複数の脱脂体を得た。
電極2となる網目状体を室温での抵抗値が5.45Ωとなる所定のパターンに裁断したことを除いて、実施例1と同様の方法に従って実施例2の電極埋設部材10を作製した。
電極2となる網目状体を1000℃で熱処理を行うに際してホットプレス炉を用いてN2雰囲気下で線材の交差部分の厚みtが0.185mmとなるように押圧しながら熱処理を行ったことを除いて、実施例1と同様の方法に従って実施例3の電極埋設部材10を作製した。
電極2となる網目状体として再結晶化温度が約1200℃のWからなる線材が織られたものを用いたことを除いて、実施例1と同様の方法に従って実施例4の電極埋設部材10を作製した。
電極2となる網目状体の熱処理を900℃で行ったことを除いて、実施例1と同様の方法に従って実施例5の電極埋設部材10を作製した。
電極2となる網目状体として再結晶化温度が約1200℃の300ppmのK(カリウム)が添加されたWからなる線材が織られたものを用いたことを除いて、実施例1と同様の方法に従って実施例6の電極埋設部材10を作製した。
電極2となる網目状体の熱処理を行わなかった点を除いて、実施例1と同様の方法に従って実施例1と同様のパターンに裁断した網目状体を用いて比較例1の電極埋設部材10を作製した。
電極2となる網目状体の熱処理を行わなかった点を除いて、実施例1と同様の方法に従って実施例2と同様のパターンに裁断した網目状体を用いて比較例1の電極埋設部材10を作製した。
電極2となる網目状体の熱処理を700℃で行ったことを除いて、実施例1と同様の方法に従って比較例3の電極埋設部材10を作製した。
Claims (4)
- セラミックスからなる基体と、前記基体の内部に埋設された網目状体からなる電極とを備える電極埋設部材の製造方法であって、
モリブデン、タングステン又はこれらを主成分とする合金からなる線材が織られてなる網目状体を900℃以上、前記線材の再結晶化温度未満の温度で還元雰囲気にて熱処理する工程と、
前記熱処理する工程の後、前記網目状体を前記電極の形状に裁断する工程と、
前記基体となるセラミックス粉末中、前記セラミックス粉末を成形してなるセラミックス成形体中、前記セラミックス成形体を脱脂してなる脱脂体中、あるいは前記セラミックス成形体又は前記脱脂体を仮焼してなる仮焼体中に前記熱処理及び前記裁断した網目状体を埋設した状態で、前記網目状体を前記再結晶化温度以上の温度で加熱する工程とを備えることを特徴とする電極埋設部材の製造方法。 - 前記熱処理した網目状体を厚さ方向に押圧する工程を備え、
前記押圧された網目状体を前記セラミックス粉末中、前記セラミックス成形体中、前記脱脂体中又は前記仮焼体中に埋設した状態で前記加熱を行うことを特徴とする請求項1に記載の電極埋設部材の製造方法。 - 前記網目状体を前記熱処理すると同時に当該網目状体を厚さ方向に押圧することを特徴とする請求項1に記載の電極埋設部材の製造方法。
- 前記押圧前の前記線材の断面が直径dの円状であるとき、前記裁断した網目状体の前記線材の交差部分における厚みが1.95d以下となるように前記押圧を行うことを特徴とする請求項2又は3に記載の電極埋設部材の製造方法。
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Non-Patent Citations (1)
Title |
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石原秀夫(他2名),モリブデンの再結晶特性と高温硬さ,JAERI-Mレポート,8567,日本,日本原子力研究所,1979年11月,1-6 |
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