JP2016219552A - 電子部品搭載装置及び電子部品の搭載方法 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、添付図面は、理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、または別の図面中のものと異なる場合がある。また、断面図では、理解を容易にするために、一部の構成要素のハッチングを省略している場合がある。
図4は、半導体チップ50と、その半導体チップ50が実装される配線基板60の一部を示している。半導体チップ50は、配線基板60に実装される電子部品の一例である。
図2に示すように、ヘッド部15のベース21は、フレーム14の側面14a(図1(b)において前面)に固定されている。ベース21の下面21aには、Z軸モータ22が取着されている。Z軸モータ22は、たとえばサーボモータである。Z軸モータ22(出力軸)はボールねじ23に連結されている。このボールねじ23は、昇降ベース24に螺入されている。
ツール吸着部28には、チップ保持孔28aとツール吸着孔28bが形成されている。チップ保持孔28aとツール吸着孔28bは、流路の一例である。チップ保持孔28aとツール吸着孔28bは、たとえばツール吸着部28を上下方向に貫通して形成されている。
図3に示すように、電子部品搭載装置10は制御装置31を有している。
制御装置31には、チップ搬送用ロボット17、X−Yステージ13、Z軸モータ22、ロードセル26、カメラ32、真空ポンプ33、真空ポンプ34、給気ポンプ35、切替バルブ36、ヒータ37が接続されている。
ロードセル26は、Z軸方向、つまり配線基板60に対する電子部品の押圧方向に沿った荷重に応じた信号を出力する。制御装置31は、ロードセル26の出力信号に基づいて、電子部品(図4に示す半導体チップ50)における荷重(押圧力)を検出する。制御装置31は、検出した荷重に基づいて、電子部品(半導体チップ50)における押圧状態、はんだバンプ68の状態(溶融)を判定する。そして、制御装置31は、判定結果に基づいて、X−Yステージ13,Z軸モータ22,切替バルブ36等を制御する。この制御の詳細については後述する。
図6において、横軸は時間である。なお、図6は、半導体チップ50を配線基板60(はんだバンプ68)に対して押圧した後を示している。なお、図6では、電子部品搭載装置等の部材について示していないが、各部材について、関連する図に示す符号を用いて説明する。
また、制御装置31は、半導体チップ50を所定の押圧力にて配線基板60のはんだバンプ68に押圧するよう、Z軸モータ22を制御する。したがって、制御装置31は、検出圧力として、半導体チップ50を配線基板60に押圧した圧力(圧力大)を検出する。
そして、制御装置31は、はんだバンプ68が固体(固相状態)になると、処理を終了する(時刻t4)。
図7に示すように、保持ツール29のチップ保持孔29aから図3に示す真空ポンプ34によりエアー吸引することにより、保持ツール29に半導体チップ50を吸着保持する。この状態において、図5に示すようにカメラ32を用いて半導体チップ50に対して配線基板60を位置合わせする。
図12(a)〜(d)は、一括リフロー(マスリフロー)の処理の概略を示す。
先ず、図13(a)に示すように、吸着ツール100により、半導体チップ50を吸着保持(真空吸着)する。次いで、図13(b)に示すように、半導体チップ50のバンプ52を配線基板60のはんだバンプ68に押圧し、はんだバンプ68を加熱溶融した後、吸着を解除する。すると、配線基板60の伸びや半導体チップ50に生じる反り等によって、はんだバンプ68が潰れて固化する場合がある。この場合、配線基板60に対する半導体チップ50の実装強度が得られない場合がある。また、はんだバンプ68がつぶれによって側方に突出し、隣のはんだバンプ68と接触する短絡不良が発生する場合がある。
この場合、半導体チップ50は、真空吸着により吸着ツール100(図13(a)参照)に保持される。そして、この保持状態のまま、はんだバンプ68が固化する。このため、半導体チップ50と配線基板60とを高い精度にて位置合せする必要がある。このように高い精度にて位置合せを行うステージは高価である。また、位置合せに時間が掛かるため、製造工程におけるスループットの低下を招き、製造コストがかかる。
(1)電子部品搭載装置10は、配線基板60を保持するX−Yステージ13と、ヘッド部15と制御装置31とを有している。ヘッド部15は、半導体チップ50を保持する保持ツール29と、保持ツール29を加熱するヒータ37とを含み、X−Yステージ13の上方に配設され、保持ツール29を上下方向に移動する。
・上記実施形態では、ロードセル26の出力信号に基づいてはんだバンプ68の溶融を判定して半導体チップ50の保持状態を吸着保持から非接触保持に切り替えるようにした。これに対し、はんだバンプ68の溶融を判定して所定時間(たとえば1秒)経過した後に半導体チップ50の保持状態を切り替えるようにしてもよい。また、制御装置31にタイマ機能を含め、ヒータ37をオンしてからの経過時間を計測し、所定時間経過後に半導体チップ50の保持状態を切り替えるようにしてもよい。予め加熱の開始からはんだバンプ68が溶融するまでの時間を計測して所定時間として制御装置31に記憶する。このようにしても、上記実施形態と同様の効果が得られる。
・上記実施形態において、ヒータ37を含むヘッド部15としたが、ヒータ37は、配線基板60のバンプ68を加熱できればよく、ヘッド部15に含まれなくてもよい。たとえば、熱風を吐出するヒータを用いて、はんだバンプ68を直接加熱するようにしてもよい。なお、ヒータにより、配線基板60のはんだバンプ68と半導体チップ50のバンプ52を加熱するようにしてもよい。
13 ステージ
15 ヘッド部
28 ツール吸着部
29 保持ツール
31 制御装置
37 ヒータ
50 半導体チップ(電子部品)
52 バンプ(接続端子)
60 配線基板
68 はんだバンプ
Claims (9)
- 電子部品を配線基板に実装する電子部品搭載装置であって、
ヒータと、
前記配線基板を保持するステージと、
前記電子部品を保持する保持ツールを含み、前記ステージの上方に配設され、前記保持ツールを上下方向に移動するヘッド部と、
前記ヒータと前記ヘッド部を制御する制御装置と、
を有し、
前記制御装置は、前記保持ツールの流路から気体を吸引して吸着保持した前記電子部品の接続端子を前記配線基板のはんだバンプに押圧し、前記ヒータにより前記はんだバンプを加熱し、前記はんだバンプの溶融後に前記電子部品の保持を、前記保持ツールの前記流路から前記保持ツールと前記電子部品との間に気体を吐出して前記保持ツールに前記電子部品を非接触にて保持する非接触保持へと切り替えるようにしたこと、
を特徴とする電子部品搭載装置。 - 前記保持ツールは、該保持ツールの下面に沿って前記気体を放射状に吐出し、前記下面の中央部に真空域を生じさせて前記電子部品を非接触にて保持するものであること、を特徴とする請求項1に記載の電子部品搭載装置。
- 前記ヘッド部は、前記電子部品に加わる荷重を検出する荷重検出センサを有し、
前記制御装置は、前記荷重検出センサの出力信号に基づいて、前記電子部品の接続端子を前記配線基板のはんだバンプに押圧するようにしたこと、
を特徴とする請求項1または2に記載の電子部品搭載装置。 - 前記制御装置は、前記荷重検出センサの出力信号に基づいて、前記はんだバンプの溶融を判定し、前記はんだバンプの溶融後に前記電子部品の保持を前記吸着保持から前記非接触保持へと切り替えるようにしたこと、
を特徴とする請求項3に記載の電子部品搭載装置。 - 前記制御装置は、タイマ機能を有し、前記ヒータをオンしてからの経過時間を計測し、その計測結果に基づいて、設定時間経過後に前記電子部品の保持を前記吸着保持から前記非接触保持へと切り替えるようにしたこと、
を特徴とする請求項3に記載の電子部品搭載装置。 - 前記制御装置は、前記電子部品の保持を非接触保持に切り替えた後、前記荷重検出センサの出力信号に基づいて前記保持ツールの高さを制御すること、
を特徴とする請求項3〜5のいずれか一項に記載の電子部品搭載装置。 - 前記ヘッド部は、前記保持ツールを吸着保持するツール吸着部を有すること、を特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の電子部品搭載装置。
- 前記ヒータは前記ヘッド部に含まれ、
前記ヒータにより前記保持ツールと前記電子部品を介して前記はんだバンプを加熱すること、
を特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の電子部品搭載装置。 - 電子部品を配線基板に実装する電子部品の搭載方法であって、
前記配線基板を保持するステージの上方に配置されたヘッド部の保持ツールに、前記保持ツールの流路から気体を吸引して前記電子部品を吸着保持し、
前記ステージに保持した前記配線基板のはんだバンプに前記電子部品の接続端子を押圧し、
ヒータにより前記はんだバンプを加熱し、
前記はんだバンプの溶融後に前記電子部品の保持を、前記保持ツールの前記流路から前記保持ツールと前記電子部品との間に気体を吐出して前記保持ツールに前記電子部品を非接触にて保持する非接触保持へと切り替えるようにしたこと、
を特徴とする電子部品の搭載方法。
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