JP2016215492A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2016215492A5
JP2016215492A5 JP2015102687A JP2015102687A JP2016215492A5 JP 2016215492 A5 JP2016215492 A5 JP 2016215492A5 JP 2015102687 A JP2015102687 A JP 2015102687A JP 2015102687 A JP2015102687 A JP 2015102687A JP 2016215492 A5 JP2016215492 A5 JP 2016215492A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
bonding
work
ultraviolet
holding mechanism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015102687A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016215492A (ja
JP6112140B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2015102687A priority Critical patent/JP6112140B2/ja
Priority claimed from JP2015102687A external-priority patent/JP6112140B2/ja
Priority to TW105114949A priority patent/TW201707983A/zh
Priority to PCT/JP2016/064999 priority patent/WO2016186200A1/ja
Publication of JP2016215492A publication Critical patent/JP2016215492A/ja
Publication of JP2016215492A5 publication Critical patent/JP2016215492A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6112140B2 publication Critical patent/JP6112140B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

本発明のワークの貼り合わせ方法は、第一のワークの両面の各々に第二のワークおよび第三のワークを貼り合わせる方法であって、
第一のワークとして紫外線透過性材料よりなるものが用いられ、
当該第一のワークにおけるいずれか一方の貼り合わせ面、第二のワークにおける貼り合わせ面および第三のワークおける貼り合わせ面の各々に紫外線を照射する紫外線照射工程と、
当該第一のワーク、当該第二のワークおよび当該第三のワークをそれぞれの貼り合わせ面が密着するように、積層して接合する貼り合わせ工程と
を有し、
前記第一のワークに対する紫外線照射処理が、当該第一のワークの両面における貼り合わせ面の各々が酸素含有雰囲気に露出するように当該第一のワークが保持された状態で行われることにより、当該第一のワークにおける紫外線が照射される一方の貼り合わせ面および他方の貼り合わせ面が接合に適した状態とされることを特徴とする。
本発明の光照射装置は、第一のワークの両面の各々に第二のワークおよび第三のワークを貼り合わせるワーク貼り合わせ用の光照射装置であって、
紫外線光源と、
紫外線透過性材料よりなる第一のワークを当該第一のワークにおけるいずれか一方の貼り合わせ面が当該紫外線光源と対向するように保持する第一ワーク保持機構と、
第二のワークを当該第二のワークにおける貼り合わせ面が当該紫外線光源と対向するように保持する第二ワーク保持機構と、
第三のワークを当該第三のワークにおける貼り合わせ面が当該紫外線光源と対向するように保持する第三ワーク保持機構と
を備えており、
前記第一ワーク保持機構は、前記第一のワークを当該第一のワークの両面における貼り合わせ面の各々が酸素含有雰囲気に露出された状態で保持するものであり、
当該第一のワークにおける前記紫外線光源と対向する一方の貼り合わせ面に、当該紫外線光源からの紫外線が照射されることにより、当該第一のワークの両面における貼り合わせ面の各々が接合に適した状態とされることを特徴とする。
得られた接合体について、JIS K6849に相当する引張接着強さ試験により、接合状況の評価を行った。ワークWaおよびワークWcが剥がれなかった場合を「○」、ワークWaおよびワークWcのいずれか一方が剥がれてしまった場合を「×」として評価した。結果を下記表1に示す。

Claims (3)

  1. 第一のワークの両面の各々に第二のワークおよび第三のワークを貼り合わせる方法であって、
    第一のワークとして紫外線透過性材料よりなるものが用いられ、
    当該第一のワークにおけるいずれか一方の貼り合わせ面、第二のワークにおける貼り合わせ面および第三のワークおける貼り合わせ面の各々に紫外線を照射する紫外線照射工程と、
    当該第一のワーク、当該第二のワークおよび当該第三のワークをそれぞれの貼り合わせ面が密着するように、積層して接合する貼り合わせ工程と
    を有し、
    前記第一のワークに対する紫外線照射処理が、当該第一のワークの両面における貼り合わせ面の各々が酸素含有雰囲気に露出するように当該第一のワークが保持された状態で行われることにより、当該第一のワークにおける紫外線が照射される一方の貼り合わせ面および他方の貼り合わせ面が接合に適した状態とされることを特徴とするワークの貼り合わせ方法。
  2. 第一のワークの両面の各々に第二のワークおよび第三のワークを貼り合わせるワーク貼り合わせ用の光照射装置であって、
    紫外線光源と、
    紫外線透過性材料よりなる第一のワークを当該第一のワークにおけるいずれか一方の貼り合わせ面が当該紫外線光源と対向するように保持する第一ワーク保持機構と、
    第二のワークを当該第二のワークにおける貼り合わせ面が当該紫外線光源と対向するように保持する第二ワーク保持機構と、
    第三のワークを当該第三のワークにおける貼り合わせ面が当該紫外線光源と対向するように保持する第三ワーク保持機構と
    を備えており、
    前記第一ワーク保持機構は、前記第一のワークを当該第一のワークの両面における貼り合わせ面の各々が酸素含有雰囲気に露出された状態で保持するものであり、
    当該第一のワークにおける前記紫外線光源と対向する一方の貼り合わせ面に、当該紫外線光源からの紫外線が照射されることにより、当該第一のワークの両面における貼り合わせ面の各々が接合に適した状態とされることを特徴とする光照射装置。
  3. 前記紫外線光源が一方向に長尺な棒状の紫外線照射ランプにより構成されており、
    前記第一ワーク保持機構、前記第二ワーク保持機構および前記第三ワーク保持機構が前記一方向に並ぶよう配置されており、
    当該紫外線照射ランプからの紫外線が、当該第一ワーク保持機構、当該第二ワーク保持機構および当該第三ワーク保持機構の各々に保持された、第一のワーク、第二のワークおよび第三のワークの各々に対して同時に照射されることを特徴とする請求項2に記載の光照射装置。
JP2015102687A 2015-05-20 2015-05-20 ワークの貼り合わせ方法および光照射装置 Active JP6112140B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015102687A JP6112140B2 (ja) 2015-05-20 2015-05-20 ワークの貼り合わせ方法および光照射装置
TW105114949A TW201707983A (zh) 2015-05-20 2016-05-13 工件的貼合方法及光照射裝置
PCT/JP2016/064999 WO2016186200A1 (ja) 2015-05-20 2016-05-20 ワークの貼り合わせ方法および光照射装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015102687A JP6112140B2 (ja) 2015-05-20 2015-05-20 ワークの貼り合わせ方法および光照射装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2016215492A JP2016215492A (ja) 2016-12-22
JP2016215492A5 true JP2016215492A5 (ja) 2017-02-02
JP6112140B2 JP6112140B2 (ja) 2017-04-12

Family

ID=57320473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015102687A Active JP6112140B2 (ja) 2015-05-20 2015-05-20 ワークの貼り合わせ方法および光照射装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6112140B2 (ja)
TW (1) TW201707983A (ja)
WO (1) WO2016186200A1 (ja)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4919474B2 (ja) * 2006-07-13 2012-04-18 国立大学法人京都大学 光照射による樹脂の接着方法および樹脂物品の製造方法
JPWO2008087800A1 (ja) * 2007-01-17 2010-05-06 コニカミノルタオプト株式会社 マイクロチップの製造方法、及びマイクロチップ
JP4946780B2 (ja) * 2007-10-17 2012-06-06 セイコーエプソン株式会社 接合膜付き偏光板、画像表示装置
JP2010089466A (ja) * 2008-10-10 2010-04-22 Shin Etsu Polymer Co Ltd 積層部材の接合方法、積層部材、キーシート、及び押釦用プランジャ構造体
JP5362050B2 (ja) * 2012-01-19 2013-12-11 ウシオ電機株式会社 ワークの貼り合わせ方法およびタッチパネル
JP2014021081A (ja) * 2012-07-24 2014-02-03 Hitachi High-Technologies Corp 分析用マイクロ流路チップの製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2015187701A5 (ja) 表示装置の作製方法
GB2520905A (en) Advanced handler wafer debonding method
MY185737A (en) Laser processing apparatus
JP2015173104A5 (ja) 剥離方法
JP2009049387A5 (ja)
WO2017196001A8 (ko) 액정 배향제 조성물, 액정 배향막의 제조 방법, 이를 이용한 액정 배향막 및 액정 표시소자
TW201614362A (en) Reflective mask blank, method for manufacturing same, reflective mask, method for manufacturing same, and method for manufacturing semiconductor device
MX2017015550A (es) Métodos para unir aditamentos al vidrio de vehículos.
MY172341A (en) Semiconductor-processing pressure-sensitive adhesive tape
GB2562941A (en) Handler bonding and debonding for semiconductor dies
JP2010250306A5 (ja)
JP2016068389A5 (ja)
JP2015522936A5 (ja)
JP2019119086A5 (ja)
TW201801839A (zh) 靜電工作夾台、雷射加工裝置及被加工物的加工方法
AR104785A1 (es) Proceso para producir un laminado
RU2017106170A (ru) Межслоевая пленка для ламинированного стекла, а также ламинированное стекло
JP2014103109A5 (ja)
JP2016506869A5 (ja)
JP2016027604A5 (ja)
TW201613011A (en) Method and apparatus for manufacturing semiconductor devices
JP2016215492A5 (ja)
JP2009231528A5 (ja)
JP2007290304A5 (ja) 脆性シート材分断方法及び脆性シート材分断装置
JP2013156639A5 (ja) 光源装置