JP2016213342A - 切削ブレードの外径サイズ検出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
切削ブレード63の外径サイズ検出方法では、最初に、切削装置1に備える切込み送り手段8が切削ブレード63を第1の下降位置まで切込ませ第1の切削痕を形成する第1の切削痕形成工程を実施する。
第1の切削痕形成工程を実施した後、第1の切削痕形成工程で形成した図3に示す第1の切削痕M1を撮像手段68が撮像して第1の切削痕M1の長さM1wを測定し、算出手段14が切削ブレード63の第1の外径2r1を算出する第1の切削ブレード外径算出工程を実施する。
r12=(1/2×M1w)2+h12・・・・・・・・・・・・(式1)
2r1=2(1/4×M1w2+h12)1/2・・・・・・・・・(式2)
ここで、式(1)はピタゴラスの定理を用いたものであり、式(2)は式(1)を変形したものである。
本実施形態においては、例えば、第1の切削ブレード外径算出工程を実施した後、切込み送り手段8が切削ブレード63を第1の下降位置Z1より深い第2の下降位置Z2まで切込ませ第1の切削痕M1より長い第2の切削痕M2を形成する後期切削痕形成工程である第2の切削痕形成工程を実施する。
第2の切削痕形成工程を実施した後、第2の切削痕形成工程で形成した第1の切削痕M1より長い第2の切削痕M2を撮像手段68が撮像して第2の切削痕M2の長さM2wを測定し、算出手段14が切削ブレード63の外径2r2(第2の外径2r2)を算出する第2の切削ブレード外径算出工程を実施する。
r22=(1/2×M2w)2+h22・・・・・・・・・・・・(式3)
2r2=2(1/4×M2w2+h22)1/2・・・・・・・・・(式4)
ここで、式(3)はピタゴラスの定理を用いたものであり、式(4)は式(3)を変形したものである。
本実施形態においては、例えば、第2の切削ブレード外径算出工程を実施した後、切込み送り手段8で切削ブレード63を第1の下降位置Z1及び第2の下降位置Z2より深い第3の下降位置Z3まで切込ませ第1の切削痕M1及び第2の切削痕M2より長い第3の切削痕M3を形成させる後期切削痕形成工程である第3の切削痕形成工程を実施する。
第3の切削痕形成工程を実施した後、第1の切削痕M1及び第2の切削痕M2より長い第3の切削痕M3を撮像手段68が撮像して第3の切削痕M3の長さM3wを測定し、算出手段14が切削ブレード63の外径2r3(第3の外径2r3)を算出する第3の切削ブレード外径算出工程を実施する。
r32=(1/2×M3w)2+h32・・・・・・・・・・・・(式5)
2r3=2(1/4×M3w2+h32)1/2・・・・・・・・・(式6)
ここで、式(5)はピタゴラスの定理を用いたものであり、式(6)は式(5)を変形したものである。
第3の切削ブレード外径算出工程を実施した後、第1の切削ブレード外径算出工程で算出した切削ブレード63の第1の外径2r1と、第2の切削ブレード外径算出工程で算出した切削ブレード63の第2の外径2r2と、第3の切削ブレード外径算出工程で算出した切削ブレード63の第3の外径2r3と、を比較して最も小さい切削ブレード63の外径を正確な切削ブレードの外径として選択する切削ブレード外径選択工程を実施する。
第1の外径2r1>第2の外径2r2>第3の外径2r3・・・・・(式7)
|2r1−2r2|=|α|・・・・・・・・・・・・(式8)
|2r2−2r3|=|β|・・・・・・・・・・・・(式9)
|2r3−2r1|=|γ|・・・・・・・・・・・・(式10)
30:保持テーブル 31:回転手段 32:固定手段
40:チャックテーブル 400:吸着部 400a:保持面 401:枠体
41:吸引源
5:切削送り手段
50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:パルスモータ 53:可動板
6:切削手段
61:スピンドル 62:ハウジング 63:切削ブレード 630:フランジ
64:ブレードカバー 68:撮像手段
7:割り出し送り手段 70:ボールネジ 71:ガイドレール 72:パルスモータ 73:可動板
8:切込み送り手段
80:ボールネジ 81:ガイドレール 82:パルスモータ 83:昇降部
W:板状ワーク Wa:板状ワークの上面 S:分割予定ライン D:デバイス
T:ダイシングテープ F:リングフレーム
B:切削痕形成用被加工物 Ba:切削痕形成用被加工物の上面
M1:第1の切削痕 M2:第2の切削痕 M3:第3の切削痕
M1w:第1の切削痕の長さ M2w:第2の切削痕の長さ
M3w:第3の切削痕の長さ
Z0:原点位置 Z1:第1の下降位置 Z2:第2の下降位置 Z3:第3の下降位置
h1:距離 h2:距離 h3:距離
2r1:第1の外径 2r2:第2の外径 2r3:第3の外径
Claims (1)
- 板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持する板状ワークを切削する切削ブレードを回転可能に装着する切削手段と、該保持テーブルと該切削手段とを相対的に板状ワークの上面に対して垂直な方向に接近及び離間させる切込み送り手段と、該切込み送り手段が該切削ブレードを切削痕形成用被加工物に切込ませて形成した切削痕を撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した該切削痕の長さから該切削ブレードの外径を算出する算出手段とを備える切削装置を用いた切削ブレードの外径サイズ検出方法であって、
該切込み送り手段が該切削ブレードを第1の下降位置まで切込ませ第1の切削痕を形成する第1の切削痕形成工程と、
該第1の切削痕形成工程で形成した該第1の切削痕を該撮像手段が撮像して該第1の切削痕の長さを測定し、該算出手段が該切削ブレードの第1の外径を算出する第1の切削ブレード外径算出工程と、
該第1の切削ブレード外径算出工程を実施した後、少なくとも1回以上実施され、該切込み送り手段が該切削ブレードを該第1の下降位置より深い下降位置まで切込ませ該第1の切削痕より長い切削痕を形成する後期切削痕形成工程と、
該後期切削痕形成工程で形成した切削痕を該撮像手段が撮像して該第1の切削痕より長い切削痕の長さを測定し、該算出手段が該切削ブレードの外径を算出する後期切削ブレード外径算出工程と、
該第1の切削ブレード外径算出工程で算出した該切削ブレードの第1の外径と、該後期切削ブレード外径算出工程で算出した該切削ブレードの外径と、を比較して最も小さい該切削ブレードの外径を正確な切削ブレードの外径として選択する切削ブレード外径選択工程と、を含む切削ブレードの外径サイズ検出方法。
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