JP2006202890A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切削装置10において、切削ブレード29を備えた切削手段12を切り込み方向に移動させる切り込み駆動手段14には切り込み方向に移動可能な移動基台27を備え、この移動基台27には切削手段12が固定されると共に、対物レンズ32a、32bを介して被加工物の表面を撮像する光学手段13がエアーピストン31によって切り込み方向に移動可能に配設される。光学手段13は、エアーピストン31による駆動により、対物レンズ32a、32bの焦点が被加工物の表面に合致した時の位置である撮像位置と、切削ブレード29による被加工物の切削時において切削ブレード29が最下点に位置する時に対物レンズが被加工物に接触しない位置である退避位置とに選択的に位置付けられる。
【選択図】図1
Description
14:切り込み駆動手段 15:基台 16:壁部 17:第一のボールネジ
18:第一のレール 19:チャック基台 20:第一のパルスモータ
20a:第二のパルスモータ 21:第二のボールネジ 22:第二のレール
23:第二のパルスモータ 24:インデックステーブル 24a:リニアスケール
25:送り雄ねじ 26:駆動源 27:移動基台 28:ガイドレール
29、29a、29b:切削ブレード 30:ブラケット 31:エアーピストン
32:撮像部 32a、32b:対物レンズ 33:エアーシリンダ 34:ロッド
35:支持板 36:昇降部材 37:ガイドレール
40:被加工物
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、回転可能なスピンドルに切削ブレードが装着され該チャックテーブルに保持された被加工物に切削加工を施す切削手段と、該切削手段を切り込み方向に移動させる切り込み駆動手段とを少なくとも含み、
該切り込み駆動手段は、切り込み方向に移動可能な移動基台を備え、
該移動基台には、該切削手段が固定されると共に、対物レンズを介して被加工物の表面を撮像する光学手段がエアーピストンによって該切り込み方向に移動可能に配設され、
該光学手段は、該エアーピストンによる駆動により、該対物レンズの焦点が該被加工物の表面に合致した時の位置である撮像位置と、該切削ブレードによる該被加工物の切削時において該切削ブレードが最下点に位置する時に該対物レンズが該被加工物に接触しない位置である退避位置とに選択的に位置付けられる切削装置。 - 前記スピンドルには外径の異なる複数種類の切削ブレードを装着可能であり、
前記撮像位置は、該外径の異なる複数種類の切削ブレードのうち最大径の切削ブレードが前記光学手段による撮像時に被加工物に接触しない位置であり、
前記退避位置は、該外径の異なる複数種類の切削ブレードのうち最小径の切削ブレードによる切削時に前記対物レンズが被加工物に接触しない位置である
請求項1に記載の切削装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2005011482A JP2006202890A (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005011482A JP2006202890A (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 切削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006202890A true JP2006202890A (ja) | 2006-08-03 |
Family
ID=36960630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005011482A Pending JP2006202890A (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 切削装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2006202890A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009253017A (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-29 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング方法 |
JP2015023147A (ja) * | 2013-07-19 | 2015-02-02 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0398745A (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-24 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 数値制御式孔明け加工機のワーク位置自動検出方法及びその装置 |
JPH07276183A (ja) * | 1994-04-06 | 1995-10-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | ブレードカバー |
JP2004303931A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
-
2005
- 2005-01-19 JP JP2005011482A patent/JP2006202890A/ja active Pending
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100621 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100713 |