JP2016201498A - ダイオード - Google Patents
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Abstract
【課題】ピラー領域を有するダイオードにおいて、バリアハイトのばらつきを抑制する。【解決手段】ダイオード10が、Siを含有する半導体基板12と、半導体基板12の表面に接しているAlSi電極60(上部電極)と、半導体基板12の表面及びAlSi電極60に接している層間絶縁膜82を備えている。半導体基板12は、アノード領域34と、n型半導体領域35(ダイオードバリア領域)と、コンタクト領域80aと、ダイオードピラー領域36を備えている。アノード領域34は、層間絶縁膜82に接しているp型領域である。n型半導体領域35は、アノード領域34の裏面側に形成されている。コンタクト領域80aは、半導体基板12とAlSi電極60の界面の一部に形成されており、層間絶縁膜82に接しているp型領域である。【選択図】図1
Description
本明細書が開示する技術は、ダイオードに関する。
特許文献1には、ダイオードが開示されている。このダイオードは、アノード電極と、アノード電極に接するp型のアノード領域と、アノード領域の裏面側に形成されているn型のカソード領域を備えている。また、このダイオードは、n型のピラー領域を備えている。ピラー領域は、半導体基板の表面からアノード領域を貫通してカソード領域に達している。ピラー領域の上端は、アノード電極に対してショットキー接続されている。このダイオードでは、ピラー領域によってアノード電極とカソード領域が接続されている。このダイオードに印加する順電圧を上昇させていくと、アノード電極から、ピラー領域を経由して、カソード領域に電流が流れる。この電流の主なキャリアは電子であるので、この電流が流れてもカソード領域にはホールはほとんど流入しない。また、カソード領域はピラー領域によってアノード電極に接続されているので、ダイオードに順電圧が印加されても、アノード領域とカソード領域の境界部のpn接合に電位差が生じ難い。このため、このpn接合はこの段階ではオンしない。順電圧をさらに上昇させると、アノード領域とカソード領域の境界部のpn接合がオンする。これによって、アノード領域からカソード領域にホールが流入する。このように、このダイオードでは、ダイオードの順電圧を上昇させるときにアノード領域とカソード領域の境界部のpn接合がオンし難く、これによって、カソード領域にホールが流れることが抑制される。ダイオードへの印加電圧を順電圧から逆電圧に切り換えると、ダイオードが逆回復動作を実行する。すなわち、カソード領域内のホールがアノード電極へ排出され、ダイオードに逆回復電流が流れる。このダイオードでは、ダイオードに順電圧を印加しているときにカソード領域に流入するホールが少ないので、逆回復電流が小さい。したがって、このダイオードでは、逆回復動作時に損失が生じ難い。
ダイオードのアノード電極にAlSi電極を用いる場合、半導体基板の表面にシリコンノジュールが発生する。シリコンノジュールはp型半導体の特性を有する。シリコンノジュールがピラー領域とAlSi電極とのショットキー接続面に発生すると、そのショットキー接続面におけるバリアハイトが変化する。また、シリコンノジュールは、半導体基板の表面にランダムに発生する。そのため、ショットキー接続面にシリコンノジュールが発生する場合もあるし、ショットキー接続面にシリコンノジュールが発生しない場合もある。このため、従来のピラー領域を有するダイオードでは、ピラー領域とAlSi電極とのショットキー接続面におけるバリアハイトのばらつきが大きく、ダイオードの特性のばらつきが大きい。
本明細書が開示するダイオードは、Siを含有する半導体基板と、半導体基板の表面に接しているAlSi電極と、半導体基板の表面及びAlSi電極に接している絶縁膜を備えている。半導体基板は、アノード領域と、n型半導体領域と、コンタクト領域と、ピラー領域を備えている。アノード領域は、絶縁膜に接しており、AlSi電極にオーミック接触しているp型領域である。n型半導体領域は、アノード領域の裏面側に形成されている。コンタクト領域は、半導体基板とAlSi電極の界面の一部に形成されており、絶縁膜に接しているp型領域である。ピラー領域は、コンタクト領域の裏面側の位置から裏面側に向かって伸びており、アノード領域を貫通してn型半導体領域に達しており、コンタクト領域を介してAlSi電極に接続されているn型領域である。ピラー領域とAlSi電極の間に、ショットキー障壁が存在する。
このダイオードでは、半導体基板とAlSi電極の界面の一部に、絶縁膜に接するようにp型のコンタクト領域が形成されている。このようなコンタクト領域は、シリコンノジュールが絶縁膜近傍に成長しやすい特性を利用して、以下のように形成することができる。半導体基板上に絶縁膜を形成し、絶縁膜と半導体基板に接するようにAlSi電極を形成すると、絶縁膜の縁から半導体基板とAlSi電極の界面に沿ってシリコンノジュールが成長する。シリコンノジュールはp型半導体であるので、p型のコンタクト領域となる。絶縁膜をピラー領域の近傍に配置することで、シリコンノジュール(すなわち、p型のコンタクト領域)がピラー領域の表面(すなわち、ピラー領域とAlSi電極の接続面)に確実に形成される。したがって、このダイオードを量産する際には、ピラー領域とAlSi電極の間のショットキー障壁におけるバリアハイトのばらつきを抑制することができる。この構造によれば、ダイオードの特性を安定させることができる。
図1に示す実施例1のダイオード10は、半導体基板12と、半導体基板12の表面12a及び裏面12bに形成された電極、絶縁体等を備えている。
半導体基板12は、シリコンにより形成されている。半導体基板12の表面12aには、複数のトレンチ40が形成されている。各トレンチ40は、図1の紙面に対して垂直方向に互いに平行に伸びている。
ダイオード10内の各トレンチ40の内面は、絶縁膜52に覆われている。ダイオード10内の各トレンチ40の内部には、制御電極54が配置されている。制御電極54は、絶縁膜52によって半導体基板12から絶縁されている。制御電極54の表面は、層間絶縁膜56に覆われている。
半導体基板12の表面12aには、上部電極60が形成されている。上部電極60は、層間絶縁膜56によって制御電極54から絶縁されている。半導体基板12の裏面12bには、下部電極62が形成されている。
ダイオード10の内部には、アノード領域34、カソード領域39、ダイオードピラー領域36及びコンタクト領域80aが形成されている。
アノード領域34は、p型領域であり、アノードコンタクト領域34aと低濃度アノード領域34bを有している。アノード領域34は、半導体基板12の表面12aに露出している。
アノードコンタクト領域34aは、高濃度のp型不純物を含有するp型領域である。アノードコンタクト領域34aは、半導体基板12の表面12aに露出している。アノードコンタクト領域34aは、上部電極60にオーミック接触している。
低濃度アノード領域34bは、アノードコンタクト領域34aよりもp型不純物濃度が低いp型領域である。低濃度アノード領域34bは、アノードコンタクト領域34aの下側の領域を含むアノードコンタクト領域34aの周囲の領域に形成されている。低濃度アノード領域34bは、絶縁膜52に接している。また、低濃度アノード領域34bの一部は、アノードコンタクト領域34aに隣接する位置で半導体基板12の表面12aまで伸びている。
カソード領域39は、n型領域であり、アノード領域34の下側(裏面12b側)に形成されている。カソード領域39は、アノード領域34に接している。カソード領域39は、半導体基板12の裏面12bに露出している。カソード領域39は、下部電極62にオーミック接触している。カソード領域39は、ダイオードバリア領域35、ダイオードドリフト領域37及びカソードコンタクト領域38を有している。
ダイオードバリア領域35は、n型領域であり、アノード領域34(すなわち、低濃度アノード領域34b)の下側に形成されている。ダイオードバリア領域35とアノード領域34の界面に、pn接合59が形成されている。ダイオードバリア領域35は、アノード領域34の下側で絶縁膜52に接している。
ダイオードドリフト領域37は、ダイオードバリア領域35及びカソードコンタクト領域38よりも低いn型不純物濃度を有するn型領域である。ダイオードドリフト領域37は、ダイオードバリア領域35の下側に形成されている。ダイオードドリフト領域37は、ダイオードバリア領域35の下側において、トレンチ40の下端部近傍の絶縁膜52と接している。
カソードコンタクト領域38は、ダイオードバリア領域35及びダイオードドリフト領域37よりも高濃度のn型不純物を含有するn型領域である。カソードコンタクト領域38は、ダイオードドリフト領域37の下側に形成されている。カソードコンタクト領域38は、半導体基板12の裏面12bに露出している。カソードコンタクト領域38は、下部電極62にオーミック接触している。
ダイオードピラー領域36は、ダイオード10内のトレンチ40に挟まれた領域のそれぞれに形成されている。ダイオードピラー領域36は、n型領域であり、アノード領域34に隣接している。ダイオードピラー領域36は、半導体基板12の表面12a近傍の位置から半導体基板12の厚み方向に長く伸びている。ダイオードピラー領域36は、アノード領域34を貫通してダイオードバリア領域35に達している。ダイオードピラー領域36の下端は、ダイオードバリア領域35と繋がっている。
半導体基板12の表面12aには、層間絶縁膜82が形成されている。層間絶縁膜82は、ダイオードピラー領域36の上側の端面の周囲を囲むように形成されている。層間絶縁膜82に隣接する位置の半導体基板12の表面12aに、p型のコンタクト領域80が形成されている。コンタクト領域80は、半導体基板12と上部電極60との接触界面に沿って形成されている。より詳細には、層間絶縁膜82によって囲まれた領域全体に、コンタクト領域80aが形成されている。コンタクト領域80aは、ダイオードピラー領域36の上側の端面を覆っている。また、層間絶縁膜82によって囲まれた領域の外側にも、層間絶縁膜82に隣接する位置にコンタクト領域80bが形成されている。
ダイオードピラー領域36は、コンタクト領域80aを介して上部電極60に接続されている。コンタクト領域80aの厚みは極めて薄いため、ダイオードピラー領域36と上部電極60との接続状態は、主にダイオードピラー領域36のn型不純物濃度によって決まる。ダイオードピラー領域36のn型不純物濃度が低いので、ダイオードピラー領域36と上部電極60の間にショットキー障壁が形成されている。すなわち、ダイオードピラー領域36と上部電極60の間の界面には、実質的にショットキー接合58が形成されている。また、ダイオードピラー領域36と上部電極60の間のショットキー障壁の大きさは、p型のコンタクト領域80aの有無によって変化する。このダイオードでは、全てのダイオードピラー領域36の表面がコンタクト領域80aに覆われているので、各ダイオードピラー領域36のショットキー障壁の大きさが安定している。
半導体基板12内には、アノード領域34、カソード領域39及びダイオードピラー領域36等によって、上部電極60と下部電極62の間に接続されたダイオードが形成されている。
次に、ダイオード10の動作について説明する。ダイオードに印加する順電圧(すなわち、上部電極60が下部電極62に対してプラスとなる電圧)を徐々に上昇させる場合を考える。順電圧が、ショットキー接合58の立ち上がり電圧を超えると、ショットキー接合58がオンする。すると、図1の実線矢印70に示すように電流(以下、電流70という)が流れる。すなわち、電子が、実線矢印70に示す経路を逆向きに流れる。より詳細には、電子が、下部電極62から、カソードコンタクト領域38、ダイオードドリフト領域37、ダイオードバリア領域35、ダイオードピラー領域36及びコンタクト領域80aを経由して、上部電極60に流れる。電流70は電子の流れによるものなので、電流70が流れてもカソード領域39にはほとんどホールは流入しない。また、半導体基板12内には、アノード領域34とダイオードバリア領域35によってpn接合59が形成されている。pn接合59に印加される電圧は、上部電極60とダイオードバリア領域35の間に印加される電圧と略等しい。pn接合59の立ち上がり電圧は、ショットキー接合58の立ち上がり電圧よりも高いため、この段階ではpn接合59はオンしない。
さらに順電圧を増加させると、電流70が増加する。ダイオードピラー領域36が抵抗を有しているので、電流70が増加すると、ダイオードバリア領域35と上部電極60の間の電圧が上昇する。この電圧がpn接合59の立ち上がり電圧まで上昇すると、pn接合59がオンする。これによって、図1の破線矢印72に示すように、電流(以下、電流72という)が流れる。すなわち、破線矢印72に沿って、ホールが、上部電極60から、アノード領域34、ダイオードバリア領域35、ダイオードドリフト領域37及びカソードコンタクト領域38を経由して、下部電極62に流れる。また、破線矢印72に示す経路を逆方向に電子が流れる。電流72が流れると、アノード領域34からカソード領域39にホールが流入する。
このように、ダイオード10では、ダイオードピラー領域36に電流70が流れることで、pn接合59がオンするタイミングが遅くなる。これによって、カソード領域39にホールが流入することが抑制される。
その後、ダイオードに印加する電圧を逆電圧に切り換えると、ダイオードが逆回復動作を行う。すなわち、カソード領域39内に存在するホールが、上部電極60に排出される。これによって、ダイオードに逆回復電流が流れる。上記の通り、ダイオード10がオンしているときにカソード領域39にホールが流入することが抑制されるので、ダイオード10の逆回復動作時にカソード領域39から上部電極60に排出されるホールが少ない。このため、このダイオード10には、逆回復電流が流れ難い。
上述したように、実施例1のダイオード10では、各ショットキー接合58の障壁の大きさが安定している。したがって、各ショットキー接合58が略同じタイミングでオンすることが可能であり、ダイオード10は安定して動作することができる。
次に、ダイオード10の製造方法について説明する。ダイオード10は、ダイオードドリフト領域37と略同じn型不純物濃度を有するn型の半導体基板(加工前の半導体基板12)から製造される。例えば、n型不純物としてリンを含み、比抵抗が40〜100Ωcmであり、厚さが80μm〜165μmの半導体基板を用いることができる。
まず、n型の半導体基板にp型及びn型の不純物を選択的に注入することによって、ダイオードバリア領域35、ダイオードピラー領域36及びアノード領域34を形成する。ダイオードバリア領域35には、n型不純物としてリンを注入する。ダイオードバリア領域35は、n型不純物濃度のピーク値が1×1015〜1×1018/cm3となるように形成する。ダイオードバリア領域35は、0.2〜3.0μm程度の厚みで形成する。ダイオードピラー領域36には、n型不純物としてリンを注入する。ダイオードピラー領域36は、n型不純物濃度のピーク値が8×1013〜1×1018/cm3となるように形成する。アノード領域34には、p型不純物としてボロンを注入する。アノード領域34は、p型不純物濃度のピーク値が1×1016〜1×1019/cm3となるように形成する。アノード領域34は、0.2〜5.0μm程度の厚みで形成する。
次に、半導体基板12の表面12aにトレンチ40を形成する。トレンチ40は、深さが4〜6μm程度となるように形成する。その後、トレンチ40内に絶縁膜52と制御電極54を形成する。
次に、半導体基板12の表面12aに絶縁膜を形成し、その後、その絶縁膜をパターニングする。これによって、図1に示すように、層間絶縁膜56、82を形成する。層間絶縁膜82は、図1のように、アノード領域34上に配置される。層間絶縁膜82は、ダイオードピラー領域36を取り囲むように配置される。
次に、半導体基板12の表面12a上に上部電極60を形成する。ここでは、スパッタリングによって、表面12a上にAlまたはAlSiを成長させることで上部電極60を形成する。Alを成長させる場合には、Alと半導体基板12(シリコン基板)との界面にAlSi層が形成される。ここでは、上部電極60全体で厚みが5〜30μmとなるように上部電極60を形成する。スパッタリングの間に、半導体基板12は、約260℃になる。
もしくは、スパッタリングによって表面12a上に複数種類の金属を積層することで上部電極60を形成してもよい。より詳細には、半導体基板12側から、Al(またはAlSi)、Ti、Ni、Auの順で各金属層を積層してもよい。各金属層を積層する場合、これらの金属を合金化させるために半導体基板12を熱処理する。この場合、約470℃で半導体基板12を熱処理する。
上記したとおり、上部電極60を形成するためのスパッタリングや熱処理の過程で、半導体基板12が高温になる。半導体基板12(すなわち、シリコン)に上部電極60(すなわち、AlSi層)が接触している状態で半導体基板12が加熱されると、半導体基板12の表面12a上にシリコンノジュールが発生する。シリコンノジュールは、p型不純物を含有するp型半導体である。シリコンノジュールは、半導体基板12の表面の絶縁層(すなわち、層間絶縁膜56、82)の縁から成長し易い。この製造方法では、層間絶縁膜82がダイオードピラー領域36の端面を取り囲むように配置されているので、層間絶縁膜82によって囲まれたダイオードピラー領域36の端面上に確実にシリコンノジュールを成長させることができる。成長したシリコンノジュールによって、コンタクト領域80aが形成される。
次に、半導体基板12の裏面12bにn型不純物を注入することによって、カソードコンタクト領域38を形成する。ここでは、n型不純物としてリンを注入する。カソードコンタクト領域38は、n型不純物濃度のピーク値が1×1018〜1×1021/cm3となるように形成する。カソードコンタクト領域38は、0.2〜3.0μmの厚みで形成する。
次に、半導体基板12の裏面12b上に下部電極62を形成する。ここでは、スパッタリングによって複数種類の金属を積層することで下部電極62を形成する。より詳細には、半導体基板12側から、Al(またはAlSi)、Ti、Ni、Auの順で各金属層を積層する。また、半導体基板12側から、Ti、Ni、Auの順で各金属層を積層してもよい。ここでは、下部電極62全体で厚みが1〜30μmとなるように下部電極62を形成する。
以上の工程によって、ダイオード10が完成する。上述したように、この製造方法では、ダイオードピラー領域36の端面近傍に層間絶縁膜82を形成し、ダイオードピラー領域36の端面上に意図的にシリコンノジュールを成長させる。これによって、ダイオードピラー領域36の端面上に確実にコンタクト領域80aが形成される。したがって、各ダイオードピラー領域36と上部電極60の間のショットキー障壁の大きさを安定させることができる。従来のように層間絶縁膜82を形成しない場合には、半導体基板12の表面12a上にランダムにシリコンノジュールが発生する。このため、シリコンノジュールが発生するダイオードピラー領域36とシリコンノジュールが発生しないダイオードピラー領域36があり、ショットキー障壁の大きさが安定しない。これに対し、実施例1の製造方法では、ダイオードピラー領域36の端面上に確実にシリコンノジュール(すなわち、コンタクト領域80a)が形成されるので、各ダイオードピラー領域36におけるショットキー障壁の大きさを安定させることができる。また、従来の製造方法では、ダイオード10の量産時に、量産されるダイオードの間でピラー領域のショットキー障壁の大きさのばらつきが大きい。これに対し、実施例1の製造方法によれば、量産されるダイオードの間におけるショットキー障壁の大きさのばらつきを抑制することもできる。したがって、この製造方法によれば、量産されるダイオードの間での特性のばらつきを抑制することができる。
なお、図3に示すように、層間絶縁膜82は、アノード領域34とダイオードピラー領域36双方に接触していてもよい。また、図4に示すように、層間絶縁膜82は、アノード領域34のみに接触していてもよい。すなわち、層間絶縁膜82は、ダイオードピラー領域36に接触していなくてもよい。また、層間絶縁膜82は、ダイオードピラー領域36の端面を囲むように形成されている必要は必ずしもない。層間絶縁膜82から伸びるコンタクト領域80aによってダイオードピラー領域36の端面が覆われていれば、層間絶縁膜82はどのように形成されていてもよい。
図2に示す実施例2の半導体装置110は、半導体基板112を有している。半導体基板112は、ダイオード領域114とIGBT領域116を有している。ダイオード領域114内の構造は、上述した実施例1のダイオード10と等しい。IGBT領域116内には、IGBTが形成されている。すなわち、半導体装置110は、いわゆるRC−IGBTである。
IGBT領域116内の表面12aにも、複数のトレンチ40が形成されている。各トレンチ40の内面は、ゲート絶縁膜42に覆われている。IGBT領域116内の各トレンチ40の内部には、ゲート電極44が配置されている。ゲート電極44は、ゲート絶縁膜42によって半導体基板112から絶縁されている。ゲート電極44の表面は、層間絶縁膜46に覆われている。なお、制御電極54の電位は、ゲート電極44の電位から独立して制御される。
IGBT領域116の内部には、エミッタ領域20、ボディ領域22、IGBTピラー領域24、ドリフト領域27及びコレクタ領域32が形成されている。
エミッタ領域20は、n型領域であり、半導体基板112の表面112aに露出している。エミッタ領域20は、上部電極60にオーミック接触している。エミッタ領域20は、ゲート絶縁膜42に接している。
ボディ領域22は、エミッタ領域20の周囲に形成されており、エミッタ領域20に接している。また、ボディ領域22は、エミッタ領域20の下側で、ゲート絶縁膜42に接している。すなわち、ゲート電極44が、ゲート絶縁膜42を介して、エミッタ領域20の下側に位置するボディ領域22に対向している。ボディ領域22は、ボディコンタクト領域22aと低濃度ボディ領域22bを有している。
ボディコンタクト領域22aは、高濃度のp型不純物を含有するp型領域である。ボディコンタクト領域22aは、半導体基板112の表面112aに露出している。ボディコンタクト領域22aは、上部電極60にオーミック接触している。ボディコンタクト領域22aは、エミッタ領域20に隣接している。
低濃度ボディ領域22bは、ボディコンタクト領域22aよりもp型不純物濃度が低いp型領域である。低濃度ボディ領域22bは、エミッタ領域20とボディコンタクト領域22aの下側に形成されている。低濃度ボディ領域22bは、エミッタ領域20の下側でゲート絶縁膜42に接している。また、低濃度ボディ領域22bの一部は、ボディコンタクト領域22aに隣接する位置で半導体基板112の表面112aまで伸びている。
ドリフト領域27は、n型領域であり、ボディ領域22の下側(裏面112b側)に形成されている。ドリフト領域27は、ボディ領域22に接している。ドリフト領域27は、IGBTバリア領域23及び低濃度ドリフト領域26を有している。
IGBTバリア領域23は、n型領域であり、ボディ領域22(すなわち、低濃度ボディ領域22b)の下側に形成されている。IGBTバリア領域23とボディ領域22の境界に、pn接合49が形成されている。IGBTバリア領域23は、ボディ領域22によってエミッタ領域20から分離されている。IGBTバリア領域23は、ボディ領域22の下側でゲート絶縁膜42に接している。
低濃度ドリフト領域26は、エミッタ領域20及びIGBTバリア領域23よりも低濃度のn型不純物を含有するn型領域である。低濃度ドリフト領域26は、IGBTバリア領域23の下側に形成されている。低濃度ドリフト領域26は、トレンチ40の下端部近傍のゲート絶縁膜42と接している。
コレクタ領域32は、高濃度のp型不純物を含有するp型領域である。コレクタ領域32は、ドリフト領域27の下側に形成されている。コレクタ領域32は、ドリフト領域27によってボディ領域22から分離されている。コレクタ領域32は、半導体基板112の裏面112bに露出している。コレクタ領域32は、下部電極62にオーミック接触している。
IGBTピラー領域24は、IGBT領域116内のトレンチ40に挟まれた領域のそれぞれに形成されている。IGBTピラー領域24は、n型領域であり、ボディ領域22に隣接している。IGBTピラー領域24は、半導体基板112の表面112aから半導体基板112の厚み方向に長く伸びている。IGBTピラー領域24は、ボディ領域22を貫通してIGBTバリア領域23に達している。IGBTピラー領域24の下端は、IGBTバリア領域23と繋がっている。
半導体基板112の表面112aには、層間絶縁膜82が形成されている。層間絶縁膜82は、IGBTピラー領域24の上側の端面の周囲を囲むように形成されている。層間絶縁膜82に隣接する位置の半導体基板112の表面112aに、p型のコンタクト領域80が形成されている。コンタクト領域80は、半導体基板112と上部電極60との接触界面に沿って形成されている。より詳細には、層間絶縁膜82によって囲まれた領域全体に、コンタクト領域80aが形成されている。コンタクト領域80aは、IGBTピラー領域24の上側の端面を覆っている。
IGBTピラー領域24は、コンタクト領域80aを介して上部電極60に接続されている。コンタクト領域80aの厚みは極めて薄いため、IGBTピラー領域24と上部電極60との接続状態は、主にIGBTピラー領域24のn型不純物濃度によって決まる。IGBTピラー領域24のn型不純物濃度が低いので、IGBTピラー領域24と上部電極60の間にショットキー障壁が形成されている。すなわち、IGBTピラー領域24と上部電極60の間の界面には、実質的にショットキー接合48が形成されている。また、IGBTピラー領域24と上部電極60の間のショットキー障壁の大きさは、p型のコンタクト領域80aの有無によって変化する。IGBT領域116では、全てのIGBTピラー領域24の表面がコンタクト領域80aに覆われているので、各IGBTピラー領域24のショットキー障壁の大きさが安定している。
IGBT領域116内には、エミッタ領域20、ボディ領域22、IGBTピラー領域24、ドリフト領域27、コレクタ領域32及びゲート電極44等によって、上部電極60と下部電極62の間に接続されたIGBTが形成されている。
また、IGBT領域116内には、ボディ領域22とIGBTバリア領域23の界面のpn接合によって寄生ダイオードが形成されている。また、IGBTピラー領域24と上部電極60の間にショットキー接合48が形成されている。IGBT領域116内の寄生ダイオードとショットキー接合48は、実施例1のダイオード10と同様に動作する。したがって、IGBT領域116内の寄生ダイオードによって低濃度ドリフト領域26内にホールが流入することが抑制される。また、IGBT領域116内のIGBTピラー領域24と上部電極60の間にコンタクト領域80aが形成されているので、これらの間のショットキー障壁の大きさが安定する。したがって、IGBTの特性も安定する。
また、図2の実線矢印90に示すように、IGBTがオフしているときにIGBT領域116にリーク電流(以下、リーク電流90という)が流れる場合がある。リーク電流90は、下部電極62から、コレクタ領域32、ドリフト領域27、IGBTピラー領域24及びコンタクト領域80aを経由して上部電極60へ流れる。この半導体装置110では、IGBTピラー領域24と上部電極60の間のショットキー障壁の大きさが安定している。このため、この半導体装置110を量産したときに、半導体装置の間でリーク電流90の流れ易さにばらつきが生じ難い。
なお、上述した実施例1、2では、ダイオードドリフト領域37がカソードコンタクト領域38に接していた。また、低濃度ドリフト領域26がコレクタ領域32に接していた。しかしながら、ダイオードドリフト領域37とカソードコンタクト領域38の間に、n型のバッファ領域が形成されていてもよい。バッファ領域のn型不純物濃度は、ダイオードドリフト領域37よりも高く、カソードコンタクト領域38よりも低くすることができる。また、低濃度ドリフト領域26とコレクタ領域32の間に、n型のバッファ領域が形成されていてもよい。
また、上述した実施例1、2では、ダイオードバリア領域35がダイオードドリフト領域37に接していた。さらに、IGBTバリア領域23が低濃度ドリフト領域26に接していた。しかしながら、ダイオードバリア領域35とダイオードドリフト領域37の間にp型領域が介在していもてよい。また、IGBTバリア領域23と低濃度ドリフト領域26の間にp型領域が介在していてもてよい。
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例をさまざまに変形、変更したものが含まれる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
10 :ダイオード
12 :半導体基板
12a :表面
12b :裏面
20 :エミッタ領域
22 :ボディ領域
22a :ボディコンタクト領域
22b :低濃度ボディ領域
23 :IGBTバリア領域
24 :IGBTピラー領域
26 :低濃度ドリフト領域
27 :ドリフト領域
32 :コレクタ領域
34 :アノード領域
34a :アノードコンタクト領域
34b :低濃度アノード領域
35 :ダイオードバリア領域
36 :ダイオードピラー領域
37 :ダイオードドリフト領域
38 :カソードコンタクト領域
39 :カソード領域
40 :トレンチ
42 :ゲート絶縁膜
44 :ゲート電極
46 :層間絶縁膜
48 :ショットキー接合
49 :pn接合
52 :絶縁膜
54 :制御電極
56 :層間絶縁膜
58 :ショットキー接合
59 :pn接合
60 :上部電極
62 :下部電極
70 :電流
72 :電流
80 :コンタクト領域
80a :コンタクト領域
80b :コンタクト領域
82 :層間絶縁膜
90 :リーク電流
110 :半導体装置
112 :半導体基板
112a :表面
112b :裏面
114 :ダイオード領域
116 :IGBT領域
12 :半導体基板
12a :表面
12b :裏面
20 :エミッタ領域
22 :ボディ領域
22a :ボディコンタクト領域
22b :低濃度ボディ領域
23 :IGBTバリア領域
24 :IGBTピラー領域
26 :低濃度ドリフト領域
27 :ドリフト領域
32 :コレクタ領域
34 :アノード領域
34a :アノードコンタクト領域
34b :低濃度アノード領域
35 :ダイオードバリア領域
36 :ダイオードピラー領域
37 :ダイオードドリフト領域
38 :カソードコンタクト領域
39 :カソード領域
40 :トレンチ
42 :ゲート絶縁膜
44 :ゲート電極
46 :層間絶縁膜
48 :ショットキー接合
49 :pn接合
52 :絶縁膜
54 :制御電極
56 :層間絶縁膜
58 :ショットキー接合
59 :pn接合
60 :上部電極
62 :下部電極
70 :電流
72 :電流
80 :コンタクト領域
80a :コンタクト領域
80b :コンタクト領域
82 :層間絶縁膜
90 :リーク電流
110 :半導体装置
112 :半導体基板
112a :表面
112b :裏面
114 :ダイオード領域
116 :IGBT領域
Claims (1)
- ダイオードであって、
Siを含有する半導体基板と、
前記半導体基板の表面に接しているAlSi電極と、
前記表面及び前記AlSi電極に接している絶縁膜、
を備えており、
前記半導体基板が、
前記絶縁膜に接しており、前記AlSi電極にオーミック接触しているp型のアノード領域と、
前記アノード領域の裏面側に形成されているn型半導体領域と、
前記半導体基板と前記AlSi電極の界面の一部に形成されており、前記絶縁膜に接しているp型のコンタクト領域と、
前記コンタクト領域の裏面側の位置から裏面側に向かって伸びており、前記アノード領域を貫通して前記n型半導体領域に達しており、前記コンタクト領域を介して前記AlSi電極に接続されているn型のピラー領域、
を備えており、
前記ピラー領域と前記AlSi電極の間に、ショットキー障壁が存在する、
ダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015082067A JP2016201498A (ja) | 2015-04-13 | 2015-04-13 | ダイオード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015082067A JP2016201498A (ja) | 2015-04-13 | 2015-04-13 | ダイオード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016201498A true JP2016201498A (ja) | 2016-12-01 |
Family
ID=57424513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015082067A Pending JP2016201498A (ja) | 2015-04-13 | 2015-04-13 | ダイオード |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016201498A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106876438A (zh) * | 2017-01-24 | 2017-06-20 | 杭州士兰集成电路有限公司 | 快恢复二极管及其制造方法 |
JP2018125443A (ja) * | 2017-02-01 | 2018-08-09 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
-
2015
- 2015-04-13 JP JP2015082067A patent/JP2016201498A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN106876438B (zh) * | 2017-01-24 | 2023-08-08 | 杭州士兰集成电路有限公司 | 快恢复二极管及其制造方法 |
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