JP2016194423A - 位置検出方法、駆動装置及び制御弁の制御ユニット - Google Patents

位置検出方法、駆動装置及び制御弁の制御ユニット Download PDF

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Abstract

【課題】精度良く基準点の位置を検出する位置検出方法、駆動装置及び制御弁の制御ユニットを提供する。
【解決手段】検出体26を駆動部241により、第一点検出部251に検出されるまで第一点方向へ移動させ、検出体26が第一点検出部251に検出された場合に、検出体26を基準点方向へ移動させる工程と、検出体26が基準点検出部250に検出された場合、検出体26が検出された位置を第一検出位置とし、更に駆動部241により検出体26を第二点方向へ移動させ、検出体26が基準点検出部250の検出範囲を超えた場合に、検出体26を基準点方向へ移動させる工程と、検出体26が基準点検出部250の検出範囲を超えて検出体26を基準点方向へ移動させた後、検出体26が基準点検出部250に検出された場合に、検出体26が検出された位置を第二検出位置とし、第一検出位置と第二検出位置の中間を基準点の位置として求める工程とを含む。
【選択図】図4

Description

本発明は、対象物体を駆動するための基準点の位置を求める技術に関するものである。
従来、例えば、空調システムのダクト等に制御弁が接続され、制御ユニットが当該制御弁の開閉を制御して、制御弁内を通過する空気の流量(風量)を制御する装置が提案されている(特許文献1)。
このように弁の開閉を制御する場合、現在の弁の位置を認識し、この位置からどれだけ開閉するかを制御することになる。しかし、電源を切断した場合や電圧が極端に低下した場合には、この弁の位置の情報が失われてしまうため、電源を投入した場合や電圧低下から正常電圧に復帰した場合、この弁の位置の情報を再度認識する必要がある。
特許文献2には、このように電圧が低下し、開閉体の位置情報がリセットされてしまった場合に、開閉体の移動状態をロータリーエンコーダで取得し、エアダンパによって開方向へ付勢されて移動している場合、その後、全開位置に達して止まったことを判断して開閉体を自動駆動し、開閉体が全閉状態となってラッチスイッチを入り操作した場合に位置情報を正規に初期化することが記載されている。
特開2014−170529号公報 特開2006−22570号公報
特許文献2のように、リセット後の位置情報をロータリーエンコーダやエアダンパ、ラッチスイッチを用いて取得すると、装置構成が複雑化してしまうという問題点があった。また、駆動の対象物体にアブソリュート型のエンコーダを設けることで、常に対象物体の絶対位置を検出できるようにすることも考えられるが、エンコーダが高価で、装置の製造コストが高くなり過ぎてしまうという問題点があった。
そこで、対象物体の位置を検出する場合の信頼性や応答性、コスト等を考慮し、近接センサを用いて以下のように対象物体の位置の情報を求めることが考えられる。図1は、駆動装置90の概略構成図であり、図1(a)は駆動装置90の側面図、図1(b)は駆動装置90の正面図である。
駆動装置90は、検出体91、ステッピングモータ92、開リミットセンサ93、原点DOG94、閉リミットセンサ95を有し、ステッピングモータ92の回動軸922と連結された制御弁装置の弁体(対象物体)12を駆動する。また、ステッピングモータ92の回動軸922には、検出体91が設けられ、弁体12と一体的に駆動される。
開リミットセンサ93、原点DOG94、閉リミットセンサ95は、近接センサであり、ステッピングモータ92によって駆動される検出体91が、各センサ93〜95に近接したこと、即ち各センサの位置に達したことを検出する。開リミットセンサ93は、弁体12が、完全に開いたときに検出体91を検出する位置に設けられ、閉リミットセンサ95は、弁体12が完全に閉じたときに検出体91を検出する位置に設けられている。
図2は、駆動装置90により、基準点を求める処理の説明図である。電源を切断した状態から電源を投入した場合、駆動装置90は、先ず、検出体91及び弁体12を開方向又は閉方向、図2(a)の例では開方向へ駆動する。
この駆動により、図2(b)のように検出体91が開リミットセンサ93の位置に達し、検出体91が開リミットセンサ93に検出された場合、当該検出体91を基準点方向へ移動させる。また、図2(c)のように検出体91が原点DOG94の位置に達し、検出体91が原点DOG94に検出された場合、当該検出体91が検出された位置を基準点の位置とする。そして、この基準点の位置に基づいて弁体の位置を認識する。
このように近接センサを用いると、簡易な構成で基準点の位置、延いては弁体の位置を求めることができるが、近接センサを用いた場合、周囲の温度の影響によって、検出する基準点の位置に誤差が生じることがある。
図3は、原点DOGとして誘導形の近接センサ94を用いた場合の温度の影響を示した図である。図3では、誘導形の近接センサ94の磁界の有効範囲について、0℃のときの有効範囲を破線、20℃のときの有効範囲を一点鎖線、40℃のときの有効範囲を二点鎖線で示している。このように、周囲温度が0℃と低くなっていると磁界の有効範囲が狭く、周囲温度が40℃と高くなっていると磁界の有効範囲が広くなる。このため、検出体91が近接センサ94に検出される位置が温度によって異なり、検出する基準点の位置に誤差が生じてしまう。
そこで本発明は、精度良く基準点の位置を検出する技術の提供を目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の位置検出方法は、
検出体を第一点と第二点との間で移動させる駆動部を、前記第一点と前記第二点との間に定めた基準点と対応する位置に設けられ、前記検出体の近接を検出する基準点検出部と、前記第一点と対応する位置に設けられた第一点検出部との検出結果に基づいて制御し、基準点の位置を求め、
前記検出体が前記第一点検出部に検出されるまで、前記駆動部により前記検出体を前記第一点方向へ移動させ、前記検出体が前記第一点検出部に検出された場合に、前記検出体を前記基準点方向へ移動させる工程と、
前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合、当該検出体が検出された位置を第一検出位置とし、更に前記駆動部により前記検出体を前記第二点方向へ移動させ、前記検出体が前記基準点検出部の検出範囲を超えた場合に、前記検出体を前記基準点方向へ移動させる工程と、
前記検出体が前記基準点検出部の検出範囲を超えて前記検出体を前記基準点方向へ移動させた後、前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合に、当該検出体が検出された位置を第二検出位置とし、前記第一検出位置と前記第二検出位置の中間を基準点の位置として求める工程とを含む。
また、上記課題を解決するため、本発明の位置検出方法は、
検出体を第一点と第二点との間で移動させる駆動部を、前記第一点と前記第二点との間に定めた基準点と対応する位置に設けられ、前記検出体の近接を検出する基準点検出部と、前記第一点と対応する位置に設けられた第一点検出部との検出結果に基づいて制御し、基準点の位置を求め、
前記検出体が前記第一点検出部に検出されるまで、前記駆動部により前記検出体を前記第一点方向へ移動させ、前記検出体が前記第一点検出部に検出された場合に、前記検出体
を前記基準点方向へ移動させる工程と、
前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合、当該検出体が検出された位置を第一検出位置とし、更に前記検出体が、前記第二点と対応する位置に設けられた第二点検出部に検出されるまで、前記検出体を前記第二点方向へ移動させる工程と、
前記検出体が前記第二点検出部に検出された場合に、前記検出体を前記基準点方向へ移動させる工程と、
前記検出体が前記第二点側から前記基準点方向へ移動された後、前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合に、当該検出体が検出された位置を第二検出位置とし、前記第一検出位置と前記第二検出位置の中間を基準点の位置として求める工程とを含む。
前記位置検出方法において、前記駆動部がステッピングモータを有し、前記ステッピングモータへパルス信号を送ることにより前記検出体を移動させ、前記第一点から前記第二点へ移動させる方向及び前記第二点から前記第一点へ移動させる方向のうち、一方を順方向、他方を逆方向とし、前記検出体を順方向へ移動させるために送ったパルス信号のパルス数を加算し、前記検出体を逆方向へ移動させるために送ったパルス信号のパルス数を減算して前記ステッピングモータへ送ったパルス数をカウントし、現時点で前記ステッピングモータへ送ったパルス数と前記検出体を前記基準点に位置させたときのパルス数とに基づいて前記検出体の位置を求めても良い。
また、上記課題を解決するため、本発明の駆動装置は、
検出体を第一点と第二点との間で移動させる駆動部と、
前記第一点と前記第二点との間に定めた基準点と対応する位置に設けられ、前記検出体の近接を検出する基準点検出部と、
前記第一点と対応する位置に設けられた第一点検出部と、
前記駆動部による前記検出体の駆動を制御する制御部とを有し、
前記制御部は、前記駆動部を制御し、
前記検出体が前記第一点検出部に検出されるまで、前記駆動部により前記検出体を前記第一点方向へ移動させて、前記検出体が前記第一点検出部に検出された場合、前記駆動部により前記検出体を前記基準点方向へ移動させ、
前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合、当該検出体が検出された位置を第一検出位置とし、更に前記駆動部により前記検出体を前記第二点方向へ移動させて、前記検出体が前記基準点検出部の検出範囲を超えた場合、前記駆動部により前記検出体を前記基準点方向へ移動させ、
前記検出体が前記基準点検出部の検出範囲を超えて前記検出体を前記基準点方向へ移動させた後、前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合、当該検出体が検出された位置を第二検出位置とし、前記第一検出位置と前記第二検出位置の中間を基準点の位置として求める。
更に、上記課題を解決するため、本発明の制御弁の制御ユニットは、
流体の流量または流速を弁の開閉によって制御する制御弁の開度を求め、当該開度に基づく開度信号を出力する処理部と、
前記駆動装置とを備え、
前記駆動部が、前記制御弁と前記検出体とを共に移動させ、
前記制御部が、前記処理部から前記開度信号を取得し、当該開度信号が示す開度となるように、前記制御弁及び前記検出体の位置を制御する。
なお、上記の手段は、可能な限り互いに組み合わせて使用することができる。
本発明によれば、精度良く基準点の位置を検出する技術の提供が可能となる。
駆動装置の概略構成を示す図である。 基準点の位置を求める処理の説明図である。 温度による誤差の示す図である。 実施形態1に係る駆動装置の概略構成を示す図である。 基準点の位置を求める処理の説明図である。 基準点の位置を求める処理のフロー図である。 実施形態の検出方法により、基準位置のずれが抑制される作用の説明図である。 温度による基準位置のずれが抑制される効果を検証した結果を示す図である。 実施形態の駆動装置を制御弁装置に適用した例を示す図である。 基準点の位置を求める処理の変形例である。
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る位置検出方法、駆動装置及び制御弁の制御ユニットについて説明する。以下の実施形態の構成は例示であり、本発明の位置検出方法、駆動装置及び制御弁の制御ユニットは、実施形態の構成には限定されない。
〈駆動装置の構成〉
図4は、駆動装置30の概略構成図であり、図4(a)は駆動装置30の側面図、図4(b)は駆動装置30の正面図である。
駆動装置30は、検出体26、駆動部241、基準点検出部250、第一点検出部251、第二点検出部252、制御部27を有し、検出体26を基準点検出部250で検出することで基準点位置を求め、この基準点に基づき、対象物体40を制御信号によって指定される位置へ駆動する。
駆動部241は、検出体26を第一点と第二点との間で移動させる。本実施形態1における駆動部241は、ステッピングモータであり、回動軸242に検出体26及び駆動の対象である対象物体40が設けられ、ステッピングモータの駆動、即ち回動軸242の回動により検出体26及び対象物体40を回動させる。
基準点検出部250は、前記第一点と前記第二点との間に定めた基準点と対応する位置に設けられた近接センサであり、駆動部241によって駆動された検出体26が近接し、検出範囲に入った場合にこれを検出する。即ち、基準点検出部250は、対象物体40と共に駆動される検出体26が基準点に近接したことを検出し、この検出位置に基づいて対象物体40の駆動のための基準点の位置(以下、基準位置とも称す)を求める所謂原点DOGである。
第一点検出部251は、前記第一点と対応する位置に設けられた近接センサであり、第二点検出部252は、前記第二点と対応する位置に設けられた近接センサである。第一点検出部251及び第二点検出部252は、メンテナンス性や信頼性、コスト等を考慮し、近接センサを用いるのが望ましいが、基準点検出部250と比べ、簡素又は低廉な検出部を用いても良い。例えば、検出体26と接することで検出体26を検出する接触センサ又はスイッチであっても良い。
検出体26は、一方向に長手で所定の幅を有した短冊状の平板である。検出体26は、一端が駆動部241の回動軸242に固定され、回動軸242の回動により第一点と第二点との間で回動される。この回動により検出体26の自由端が、第一点、基準点、第二点でそれぞれ、第一点検出部251、基準点検出部250、第二点検出部252の検出面と
正対する。また、検出体26は、第一点検出部251、基準点検出部250、第二点検出部252で検出可能にするため、所定の幅で形成されている。更に、検出体26は、第一点検出部251、基準点検出部250、第二点検出部252で検出可能な材質で形成されている。例えば、本実施形態の第一点検出部251、基準点検出部250、第二点検出部252は、誘導形の近接センサとしたため、検出体26は、強磁性体の金属、例えば鋼又は鉄で形成している。
制御部27は、駆動部241や、第一点検出部251、基準点検出部250、第二点検出部252と電気的に接続し、駆動部241による検出体26の駆動を制御する。本実施形態の駆動部241は、ステッピングモータのため、制御部27は、駆動量に応じたパルス信号を駆動部241へ送ることで駆動させる。また、制御部27は、駆動部241を制御して検出体26を移動させ、第一点検出部251及び第二点検出部252による検出結果に基づいて基準位置を求める。ここで、例えば検出体26を第一点から第二点へ移動させる方向及び第二点から前記第一点へ移動させる方向のうち、一方を順方向、他方を逆方向とし、検出体26を順方向へ移動させるために駆動部241へ送ったパルス信号のパルス数を加算し、検出体26を逆方向へ移動させるために送ったパルス信号のパルス数を減算して駆動部241へ送ったパルス数をカウントし、現時点で駆動部241へ送ったパルス数と検出体26を基準点に位置させたときのパルス数とに基づいて検出体26の位置、即ち対象物体40の位置を求める。なお、本実施形態では、検出体26を第一点から第二点へ移動させる方向を順方向、第二点から前記第一点へ移動させる方向を逆方向としている。
〈基準点の検出方法〉
図5は、本実施形態の駆動装置30により基準点を求める処理の説明図、図6は、制御部27が基準点を求める為に実行する処理の説明図である。電源を切断した状態から電源を投入した場合や電力が低下した状態から正常状態に復帰した場合に、制御部27は、図6に示す処理を開始し、先ず、検出体26が第一点に位置しているか否か、即ち第一点検出部251で検出体26を検出しているか否かを判定する(工程S10)。検出体26が第一点に位置していなければ(工程S10,No)、制御部27は、図5(a)に検出体26を第一点方向へ駆動させ(工程S20)、所定量移動させる毎に工程S10の判定を繰り返す。
そして、図5(b)のように検出体26が第一点に位置したと判定した場合(工程S10,Yes)、検出体26を基準点方向へ駆動させ(工程S30)、所定量移動させる毎に工程S40へ移行して、検出体26が基準点に位置しているか否か、即ち基準点検出部250で検出体26を検出しているか否かを判定する。
工程S40にて、検出体26が基準点に位置していない(工程S40,No)と判定した場合には工程S30に戻り、図5(c)のように検出体26が基準点に位置している(工程S40,Yes)と判定した場合、基準点検出部250で検出体26を検出した位置を第一検出位置として制御部内のメモリに記憶する(工程S50)。なお、第一検出位置は、検出体をこの位置に駆動したときのパルス数で示しても良い。
そして、制御部27は、検出体26を第二点方向へ駆動させ(工程S60)、所定量移動させる毎に工程S70へ移行して、検出体26が第二点に位置しているか否か、即ち第二点検出部252で検出体26を検出しているか否かを判定する。
工程S70にて、検出体26が第二点に位置していない(工程S40,No)と判定した場合には工程S60に戻り、図5(d)のように検出体26が第二点に位置している(工程S70,Yes)と判定した場合、検出体26を基準点方向へ駆動させ(工程S80
)、所定量移動させる毎に工程S90へ移行して、検出体26が基準点に位置しているか否か、即ち基準点検出部250で検出体26を検出しているか否かを判定する。
工程S90にて、検出体26が基準点に位置していない(工程S90,No)と判定した場合には工程S80に戻り、図5(d)のように検出体26が基準点に位置している(工程S90,Yes)と判定した場合、基準点検出部250で検出体26を検出した位置を第二検出位置とし、工程S50で記憶した第一検出位置と前記第二検出位置の中間を基準位置として求める(工程S100)。図5(f)では、検出体26が順方向、即ち反時計回り(CCW)に移動されて基準点検出部250に検出された位置(第一検出位置)を26aで示し、検出体26が逆方向、即ち時計回り(CW)に移動されて基準点検出部250に検出された位置(第二検出位置)を26bで示し、この中心26cを基準点位置としている。なお、図5,図6では、検出体26を先に第一点側へ駆動したが、これに限らず、検出体26を先ず第二点側へ駆動し、第二点から基準点へ向けて駆動して基準点検出部250による検出を行い、その後、検出体26を第一点側へ移動し、第二点から基準点へ向けて駆動して基準点検出部250による検出を行う手順としても良い。
このように本実施形態では、基準点検出部250の両側から検出体26を接近させて検出された第一検出位置と第二検出位置の中央を基準位置とすることで、温度による基準位置のずれを抑制している。図7は、本実施形態の検出方法により、基準位置のずれが抑制される作用の説明図である。
図7では、誘導形の近接センサである基準点検出部250の磁界の有効範囲について、0℃のときの有効範囲を破線、20℃のときの有効範囲を一点鎖線、40℃のときの有効範囲を二点鎖線で示している。このように、基準点検出部250の磁界の有効範囲は、基準点検出部250を中心に広がり、温度による有効範囲の変化も基準点検出部250を中心とした同心円状に生じる。このため順方向に移動された検出体26が基準点検出部250に検出される場合と、逆方向に移動された検出体26が基準点検出部250に検出される場合とで、温度による検出位置のずれが、逆方向に同じ量、生じることになり、この逆方向にずれた検出位置の中央(中心)を基準位置とすることで、温度による検出位置のずれを相殺できる。
図8は、この温度による基準位置のずれが抑制される効果を検証した結果を示す図である。図8の例では、周囲温度0,10,20,30,40,50℃において、検出体26を順方向に移動させた場合の第一検出位置と、検出体26を逆方向に移動させた場合の第二検出位置とを10回ずつ計測した。グラフの横軸はステッピングモータを駆動させるためのパルスの積算値で、1PLS=0.025°を意味する。また、グラフの縦軸は、確率密度を示す。同じ温度で計測した場合、それぞれの温度における検出位置にばらつきはないが、0〜50℃の範囲で温度を変えて計測した場合、検出体26を順方向に移動させた際の第一検出位置では図8(a)に示すように7.0パルス=0.175°の差が生じ、検出体26を逆方向に移動させた際の第二検出位置では図8(b)に示すように8.0パルス=0.2°の差が生じた。そして、第一検出位置と第二検出位置の平均をとり、第一検出位置と第二検出位置の中間位置を基準位置とした場合、図8(c)に示すように各温度における差は3σ=±0.68パルスとなり、最小の駆動単位である1パルス(0.025°)より小さく、充分にばらつきが低減されている。
〈制御弁装置への適用例〉
図9は、本実施形態の駆動装置を制御弁装置に適用した例を示す図である。図9に示すように、制御弁装置10は、制御弁1と制御ユニット2とを有し、空調システムのダクト等に接続され、制御ユニット2が制御弁1の開閉を制御して、制御弁1内を通過する空気の流量(風量)を制御する。
制御弁1は、本体11や、弁体(絞り機構)12を備えている。弁体12は、制御ユニット2の制御によって開閉させられ、開状態で本体11内空の開口面積を最大とし、閉状態で本体11内空の開口面積を最小(開口を無くし、空気の通過を止めることも含む)とする絞り機構である。弁体12は、開閉により風量を制御できれば、どのような形式であっても良いが、本実施形態では、回動軸121と絞り羽122とを有するバタフライ弁である。絞り羽122は、本体11内を通過する空気の流通方向と直交する面における本体内空の形状と略同じ外形とした平板状の部材であり、回動軸121を中心に回動可能に保持されている。
また、制御ユニット2は、処理部23や、駆動装置30を備えている。駆動装置30は前述のものと同じであるため、再度の説明は省略する。
駆動部241の回動軸242には、駆動の対象物体である弁体12の回動軸121が連結され、駆動部241の駆動によって弁体12が回動される。即ち、この駆動部241の駆動により、弁体12と一体的に検出体26が駆動される。
図9の例では、弁体12を全開とした位置を第一点として、第一点検出部251を設け、弁体12を全閉とした位置を第二点として、第二点検出部252を設けている。このため、第一点検出部251は、弁体12が全開となったことを検出する開リミットセンサとしても機能し、第二点検出部252は、弁体12が全閉となったことを検出する閉リミットセンサとしても機能する。
制御部27は、処理部23と電気的に接続しており、処理部23から制御信号を受信し、この制御信号が示す開度となるように弁体12を駆動する。また、制御部27は、前述のように、電源を切断した状態から電源を投入した場合や電力が低下した状態から正常状態に復帰した場合に、基準位置を求め、この基準位置に基づいて弁体12を駆動する。例えば、基準位置を45°とし、この基準位置から−45°の位置である第二点(全閉位置)を0°、基準位置から+45°の位置である第一点(全開位置)を90°として弁体12の角度を制御する。
このように本実施形態の駆動装置30を制御弁装置に適用することで、温度によるずれの影響を抑えて精度良く流体の流量や流速を制御できる。特に、制御弁1を全閉位置付近で制御したい場合のように、通過させる流体が少ないと、弁体12の位置が僅かにずれただけでも、流体が全く流れなくなるなど、制御結果に大きく影響してしまうが、本実施形態の駆動装置であれば、精度良く流体の流量や流速を制御できる。
〈変形例〉
図10は、基準点の位置を求める処理の変形例を示す図である。図10の処理は、図6の処理と比べて、工程S60の後、検出体26が第二点に達したか否かを判定するのではなく、基準点検出部250の検出範囲を超えたか否かを判定する点が異なっている。なお、その他の構成は、前述の図6の処理と同じであるため、再度の説明を省略する。この検出体26が基準点検出部250の検出範囲を超えたか否かの判定(工程S70A)は、例えば、第一検出位置から第二点側へ所定量駆動した場合や、基準点検出部250によって検出体26が検出されなくなった場合に、検出体26が基準点検出部250の検出範囲を超えたと判定しても良い。
そして、検出体26が基準点検出部250の検出範囲を超えたと判定した場合(工程S70A,Yes)、制御部27は、検出体26を原点側へ駆動させ(工程S80)、以降の処理は前述と同じである。
このように本変形例によれば、工程S60の後、検出体26を第二点まで駆動させずに原点側へ駆動させることで、第二点検出部252の設置を省略することができる。また、検出体26を第二点まで駆動させずに原点側へ駆動させるので、検出時間を短縮することができる。
1 制御弁
2 制御ユニット
10 制御弁装置
12 弁体
23 処理部
26 検出体
26c 中心
27 制御部
30 駆動装置
40 対象物体
121 回動軸
122 羽
241 駆動部
242 回動軸
250 基準点検出部
251 第一点検出部
252 第二点検出部

Claims (5)

  1. 検出体を第一点と第二点との間で移動させる駆動部を、前記第一点と前記第二点との間に定めた基準点と対応する位置に設けられ、前記検出体の近接を検出する基準点検出部と、前記第一点と対応する位置に設けられた第一点検出部との検出結果に基づいて制御し、基準点の位置を求める位置検出方法であって、
    前記検出体が前記第一点検出部に検出されるまで、前記駆動部により前記検出体を前記第一点方向へ移動させ、前記検出体が前記第一点検出部に検出された場合に、前記検出体を前記基準点方向へ移動させる工程と、
    前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合、当該検出体が検出された位置を第一検出位置とし、更に前記駆動部により前記検出体を前記第二点方向へ移動させ、前記検出体が前記基準点検出部の検出範囲を超えた場合に、前記検出体を前記基準点方向へ移動させる工程と、
    前記検出体が前記基準点検出部の検出範囲を超えて前記検出体を前記基準点方向へ移動させた後、前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合に、当該検出体が検出された位置を第二検出位置とし、前記第一検出位置と前記第二検出位置の中間を基準点の位置として求める工程とを含む位置検出方法。
  2. 検出体を第一点と第二点との間で移動させる駆動部を、前記第一点と前記第二点との間に定めた基準点と対応する位置に設けられ、前記検出体の近接を検出する基準点検出部と、前記第一点と対応する位置に設けられた第一点検出部との検出結果に基づいて制御し、基準点の位置を求める位置検出方法であって、
    前記検出体が前記第一点検出部に検出されるまで、前記駆動部により前記検出体を前記第一点方向へ移動させ、前記検出体が前記第一点検出部に検出された場合に、前記検出体を前記基準点方向へ移動させる工程と、
    前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合、当該検出体が検出された位置を第一検出位置とし、更に前記検出体が、前記第二点と対応する位置に設けられた第二点検出部に検出されるまで、前記検出体を前記第二点方向へ移動させる工程と、
    前記検出体が前記第二点検出部に検出された場合に、前記検出体を前記基準点方向へ移動させる工程と、
    前記検出体が前記第二点側から前記基準点方向へ移動された後、前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合に、当該検出体が検出された位置を第二検出位置とし、前記第一検出位置と前記第二検出位置の中間を基準点の位置として求める工程とを含む位置検出方法。
  3. 前記駆動部がステッピングモータを有し、前記ステッピングモータへパルス信号を送ることにより前記検出体を移動させ、前記第一点から前記第二点へ移動させる方向及び前記第二点から前記第一点へ移動させる方向のうち、一方を順方向、他方を逆方向とし、前記検出体を順方向へ移動させるために送ったパルス信号のパルス数を加算し、前記検出体を逆方向へ移動させるために送ったパルス信号のパルス数を減算して前記ステッピングモータへ送ったパルス数をカウントし、現時点で前記ステッピングモータへ送ったパルス数と前記検出体を前記基準点に位置させたときのパルス数とに基づいて前記検出体の位置を求める請求項1又は2に記載の位置検出方法。
  4. 検出体を第一点と第二点との間で移動させる駆動部と、
    前記第一点と前記第二点との間に定めた基準点と対応する位置に設けられ、前記検出体の近接を検出する基準点検出部と、
    前記第一点と対応する位置に設けられた第一点検出部と、
    前記駆動部による前記検出体の駆動を制御する制御部とを有し、
    前記制御部は、前記駆動部を制御し、
    前記検出体が前記第一点検出部に検出されるまで、前記駆動部により前記検出体を前記第一点方向へ移動させて、前記検出体が前記第一点検出部に検出された場合、前記駆動部により前記検出体を前記基準点方向へ移動させ、
    前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合、当該検出体が検出された位置を第一検出位置とし、更に前記駆動部により前記検出体を前記第二点方向へ移動させて、前記検出体が前記基準点検出部の検出範囲を超えた場合、前記駆動部により前記検出体を前記基準点方向へ移動させ、
    前記検出体が前記基準点検出部の検出範囲を超えて前記検出体を前記基準点方向へ移動させた後、前記検出体が前記基準点検出部に検出された場合、当該検出体が検出された位置を第二検出位置とし、前記第一検出位置と前記第二検出位置の中間を基準点の位置として求める駆動装置。
  5. 流体の流量または流速を弁の開閉によって制御する制御弁の開度を求め、当該開度に基づく開度信号を出力する処理部と、
    請求項4に記載の駆動装置とを備え、
    前記駆動部が、前記制御弁と前記検出体とを共に移動させ、
    前記制御部が、前記処理部から前記開度信号を取得し、当該開度信号が示す開度となるように、前記制御弁及び前記検出体の位置を制御する制御弁の制御ユニット。
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