JP2010063218A - サーボシステム - Google Patents
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Abstract
【課題】1種類の位置検出器で位置決め精度と応答性を向上させることができるサーボシステムを提供する。
【解決手段】1相励磁2相出力タイプのレゾルバ4を連結したサーボモータ3と、サーボモータ3の駆動を制御するマイコン6と、レゾルバ4のアナログ信号をデジタル信号に変換するトラッキング方式のRDコンバータ5と、サーボモータ3に電流を供給するモータ駆動回路7を有するサーボアンプ2と、サーボアンプ2に位置指令を送信する上位コントローラ1を備え、マイコン6は、制御における所定値に基いてRDコンバータ5の分解能を変更し、位置制御を行う。
【選択図】図1
【解決手段】1相励磁2相出力タイプのレゾルバ4を連結したサーボモータ3と、サーボモータ3の駆動を制御するマイコン6と、レゾルバ4のアナログ信号をデジタル信号に変換するトラッキング方式のRDコンバータ5と、サーボモータ3に電流を供給するモータ駆動回路7を有するサーボアンプ2と、サーボアンプ2に位置指令を送信する上位コントローラ1を備え、マイコン6は、制御における所定値に基いてRDコンバータ5の分解能を変更し、位置制御を行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、サーボモータの回転検出に1相励磁2相出力のレゾルバを用いて位置制御を行うサーボシステムに関する。
半導体製造装置をはじめとするFA分野の装置において、部品サイズの小型化、実装面積の省スペース化、タクトタイムの短縮などの要望が強まり、機器を駆動するサーボモータには、位置決め精度と応答性が求められている。
サーボモータの位置検出器としては、ロータリーエンコーダやレゾルバが用いられ、用途に応じて使い分けられている。レゾルバは、ロータリーエンコーダに比べて耐熱性と耐衝撃性に優れており、2相励磁1相出力タイプと1相励磁2相出力タイプが一般的である。
2相の励磁コイルと1つの検出コイルを有する2相励磁1相出力タイプのレゾルバの場合、レゾルバに加えられる励磁信号の周波数は、温度および幾何学角度による移送量の誤差を少なくすべくレゾルバの最適周波数に設定されているので、例えば、所定の停止位置近辺に到達するまでは高速回転でモータを駆動するように制御する場合には、サンプリング時間が長くなって位置検出の応答時間が長くなってしまい、的確にモータ制御を行わせることができなくなるという問題があった。
この問題を解決するため、回転体の回転状態により入力される制御指令に基づいて、励磁コイルに加えられる励磁信号の周波数を、検出精度重視用の周波数と応答性重視用の周波数とに切換えることが可能な回転位置検出装置が提案されており、回転体が低速で回転時は分解能の高い情報が計測され、回転数が高い時は、レゾルバCの励磁信号は低速時の4倍となり、検出応答性が高く、分解能が低くなる(例えば、特許文献1参照)。
一方、2種類の分解能レベルの異なる位置検出器を用いて、所定の位置でそれぞれの位置検出器を切替えるに際し、制御対象機構部が移動中でも連続的に位置検出が行われ、正確な位置決め操作が短時間で実行でき、スループットが向上しえる位置制御装置が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特開昭61−20815号公報
特開平5−265560号公報
解決しようとする問題点は、特許文献1の技術は、2相励磁1相出力タイプのレゾルバに有効な技術であり、温度特性のよい1相励磁2相出力タイプのレゾルバに適用することはできない。
また、特許文献2の技術は、正確な位置決め操作が短時間で実行でき、スループットは向上するものの、分解能レベルの異なる2種類の位置検出器を必要とする。
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、1種類の位置検出器で位置決め精度と応答性を向上させることができるサーボシステムを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため請求項1に記載のサーボシステムは、1相励磁2相出力タイプのレゾルバを連結したサーボモータと、前記サーボモータの駆動を制御するマイコンと、前記レゾルバのアナログ信号をデジタル信号に変換するトラッキング方式のRDコンバータと、前記サーボモータに電流を供給するモータ駆動回路を有するサーボアンプと、前記サーボアンプに位置指令を送信する上位コントローラを備え、前記マイコンは、制御における所定値に基いて前記RDコンバータの分解能を変更し、位置制御を行う。
また、請求項2に記載のサーボシステムは、モータの速度によって分解能を変更する。
また、請求項3に記載のサーボシステムは、トルク指令変化量によって分解能を変更する。
また、請求項4に記載のサーボシステムは、位置偏差量によって分解能を変更する。
また、請求項5に記載のサーボシステムは、変更の基準にヒステリシスを持たせる。
また、請求項6に記載のサーボシステムは、位置指令の有無によって分解能を変更する。
また、請求項7に記載のサーボシステムは、位置指令の入力または終了から一定時間後に分解能を変更する。
また、請求項8に記載のサーボシステムは、外部からの信号によって分解能を変更する。
さらに、請求項9に記載のサーボシステムは、位置制御と速度制御の制御モードを組み合わせて使用し、制御モードによって分解能を変更する。
請求項1記載のサーボシステムによれば、サーボモータを制御するマイコンは、制御の所定値を基準にして、RDコンバータの出力を変更して位置制御を行うため、1種類の位置検出器のみで位置決め精度と応答性を向上させることができる。
また、請求項2から請求項4記載のサーボシステムによれば、モータ速度、トルク指令変化量、位置偏差量のいずれか(または組み合わせたもの)を基準にして、分解能を選択的に切替えることで、応答性を要求されるモータ動作時には応答性を、位置決め精度を要求される停止時には位置決め精度を向上させることができる。
また、請求項5記載のサーボシステムによれば、分解能の切替えの所定値にヒステリシスを持たせることで、基準付近で分解能が頻繁に切替わることを防ぎ、動作を安定させることができる。
また、請求項6のサーボシステムによれば、位置指令により分解能を切替えることで、モータの動作時と停止時を判断し、位置決め精度と応答性を向上させることができる。
また、請求項7記載のサーボシステムによれば、位置指令の入力または終了から一定時間おいて分解能を切替えることで、モータが停止するまで応答性が向上した状態を維持することができる。
また、請求項8記載のサーボシステムによれば、外部からの信号により分解能を切替え
ることで、任意のタイミングで、位置決め精度と応答性のいずれかを向上させることができる。
ることで、任意のタイミングで、位置決め精度と応答性のいずれかを向上させることができる。
また、請求項9記載のサーボシステムによれば、制御モードにより分解能を切替えることで、応答性を要求される速度制御時には応答性を、位置決め精度を要求される位置制御時には位置決め精度を向上させることができる。
このように、RDコンバータの分解能を制御の所定値に基いて選択的に変更し、位置制御を行うことで、1種類の位置検出器のみで位置決め精度と応答性を向上させることができる。
1相励磁2相出力タイプのレゾルバを連結したサーボモータと、前記サーボモータの駆動を制御するマイコンと、前記レゾルバのアナログ信号をデジタル信号に変換するトラッキング方式のRDコンバータと、前記サーボモータに電流を供給するモータ駆動回路を有するサーボアンプと、前記サーボアンプに位置指令を送信する上位コントローラを備え、前記マイコンは、制御における所定値に基いて前記RDコンバータの分解能を変更し、位置制御を行うことを特徴とするサーボシステムである。以下、具体的な実施の形態について説明する。
(実施の形態1)
本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図1は、本発明のサーボシステムのブロック構成図である。
(実施の形態1)
本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図1は、本発明のサーボシステムのブロック構成図である。
図1において、1は上位コントローラ、2はサーボアンプ、3はサーボモータ、4は1相励磁2相出力のレゾルバ、5はトラッキング方式のRDコンバータ、6はマイコン、7はモータ駆動回路、8は指令線、9はモータ線、10はレゾルバ線である。
本発明のサーボシステムは、1相励磁2相出力タイプのレゾルバ4を連結したサーボモータ3と、サーボモータ3を制御するマイコン6と、レゾルバ4のアナログ信号をデジタル信号に変換するRDコンバータ7を備えたサーボアンプ2と、サーボアンプ2に位置指令を送信する上位コントローラ1で構成される。
上位コントローラ1とサーボアンプ2は指令線8で接続される。サーボアンプ2とサーボモータ3はモータ線9で接続され、モータ駆動回路7から電流が供給される。レゾルバ4のアナログ信号(位置情報)は、レゾルバ線10によってサーボアンプ2のRDコンバータ8に入力され、デジタル信号に変換される。
従来のRDコンバータは、PLL制御で構成されることが一般的であり、レゾルバデジタル変換時の位置情報の分解能を向上するとレゾルバデジタル変換処理の応答性が低下する。位置検出器がエンコーダの場合、2種類のスリットで分解能が決まるため、分解能をリアルタイムに変更することが困難であり、スリットを通過した光の変化回数をカウントする構成のため、分解能の違いによる応答性の低下はない。
そこで、応答性が要求されるモータ動作時は、デジタル位置情報の分解能を低く設定することで応答性を向上させ、精度が要求されるモータ停止時にデジタル位置情報の分解能を高く設定することで、位置決め精度を向上することができる。
本発明のマイコン6は、サーボモータ3を制御する際に、制御の所定値に基いてRDコンバータ5の分解能を変更し、位置制御を行う点に特徴がある。このため、RDコンバータ5には、複数の分解能に設定できるものを用いる。
マイコン6は、上位コントローラ1から位置指令を受け、レゾルバ4の回転位置情報を受けとり、モータ駆動回路7の電流を制御してサーボモータ3を位置決めする。つまり、マイコン6が位置決めに関する情報を一手に受け、サーボモータを制御する点を利用するものである。
マイコン6は、サーボモータ3の制御における所定値を基準にして、RDコンバータ5のポートを切替えるためのポート信号を出力する。RDコンバータ5は、内部の分解能を変更し、出力する。このように、分解能の切替えの主体は、サーボモータ3を制御するマイコン6側にあり、制御における基準を自由に設定することができる。
例えば、モータ速度を基準として、分解能を切替え、モータ速度が一定以上になれば、分解能を低く設定し、応答性を向上させ、モータ速度が一定以下になれば、分解能を高く設定し、位置決め精度を向上させる。
また、分解能を切替える基準をトルク指令変化量や位置偏差量とした場合も、同様に実施できる。さらに、分解能を切替える基準にヒステリシスを設定することで、基準付近で分解能が頻繁に切り替わることを防ぎ、動作を安定させることができる。
図2は、マイコン6によるRDコンバータ5の分解能切替え有無における効果の説明図であり、指令波形11を細実線で、分解能切替え時の応答波形12を太実線で、分解能固定時の応答波形13を破線で示したものである。図2から分解能を切替えることで位置決め整定時間の短縮が確認できる。
なお、分解能を切替える基準として、位置指令の有無で判断した場合も同様に実施できる。また、位置指令の入力または終了から一定時間おいて分解能を切替えれば、モータが停止するまで応答性を向上した状態を維持することができる。さらに、分解能の切替える基準を外部信号とした場合も同様に実施できる。
また、図1の構成はそのままで、位置制御と速度制御の制御モードを組み合わせて使用するサーボシステムにおいて分解能を切替えてもよく、応答性が要求される速度制御時には応答性を、位置決め精度が要求される位置制御時には位置決め精度を向上させることも可能である。
制御モードを位置−速度として考えたが、位置−トルク、速度−トルク制御での切替えも同様に考えることができる。
このように、サーボモータを制御するマイコンが、サーボモータを制御する所定値に基づいて、RDコンバータの分解能を選択的に変更し、制御を行うことで1種類の位置検出器のみで位置決め精度と応答性を向上させることができる。
本発明のサーボシステムは、位置検出器にレゾルバを用いる装置などに有用である。
1 上位コントローラ
2 サーボアンプ
3 サーボモータ
4 レゾルバ
5 RDコンバータ
6 マイコン
7 モータ駆動回路
8 指令線
9 モータ線
10 レゾルバ線
11 指令波形(細実線)
12 分解能切替え時の応答波形(太実線)
13 分解能固定時の応答波形(破線)
2 サーボアンプ
3 サーボモータ
4 レゾルバ
5 RDコンバータ
6 マイコン
7 モータ駆動回路
8 指令線
9 モータ線
10 レゾルバ線
11 指令波形(細実線)
12 分解能切替え時の応答波形(太実線)
13 分解能固定時の応答波形(破線)
Claims (9)
- 1相励磁2相出力タイプのレゾルバを連結したサーボモータと、
前記サーボモータの駆動を制御するマイコンと、前記レゾルバのアナログ信号をデジタル信号に変換するトラッキング方式のRDコンバータと、前記サーボモータに電流を供給するモータ駆動回路を有するサーボアンプと、
前記サーボアンプに位置指令を送信する上位コントローラを備え、
前記マイコンは、制御における所定値に基いて前記RDコンバータの分解能を変更し、位置制御を行うことを特徴とするサーボシステム。 - モータの速度によって分解能を変更する請求項1記載のサーボシステム。
- トルク指令変化量によって分解能を変更する請求項1記載のサーボシステム。
- 位置偏差量によって分解能を変更する請求項1記載のサーボシステム。
- 変更の基準にヒステリシスを持たせる請求項2から請求項4のいずれか1項に記載のサーボシステム。
- 位置指令の有無によって分解能を変更する請求項1記載のサーボシステム。
- 位置指令の入力または終了から一定時間後に分解能を変更する請求項6記載のサーボシステム。
- 外部からの信号によって分解能を変更する請求項1記載のサーボシステム。
- 位置制御と速度制御の制御モードを組み合わせて使用し、制御モードによって分解能を変更する請求項1記載のサーボシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008224411A JP2010063218A (ja) | 2008-09-02 | 2008-09-02 | サーボシステム |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008224411A JP2010063218A (ja) | 2008-09-02 | 2008-09-02 | サーボシステム |
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JP2010063218A true JP2010063218A (ja) | 2010-03-18 |
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ID=42189410
Family Applications (1)
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JP (1) | JP2010063218A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020068596A (ja) * | 2018-10-24 | 2020-04-30 | 株式会社Subaru | モータの制御装置および制御方法 |
-
2008
- 2008-09-02 JP JP2008224411A patent/JP2010063218A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020068596A (ja) * | 2018-10-24 | 2020-04-30 | 株式会社Subaru | モータの制御装置および制御方法 |
JP7343269B2 (ja) | 2018-10-24 | 2023-09-12 | 株式会社Subaru | モータの制御装置および制御方法 |
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