JP2016178629A - 圧電振動デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
1X 水晶振動子(圧電振動デバイス)
2 ベース
2A 第1凹部
2B 第2凹部
20 基板部
20c,20c1,20c2,20c3,20c4 切欠き部
200 外周部
201 一主面
202 他主面
21 第1枠部
21c,21c1,21c2,21c3,21c4 切欠き部
210 外周部
211 内周部
22 第2枠部
22c,22c1,22c2,22c3,22c4 切欠き部
220 外周部
221 内周部
3 水晶振動素子(圧電振動素子)
4 IC(電子部品素子)
4X サーミスタ(電子部品素子)
5 蓋
6 封止部
7a,7b 水晶搭載用パッド
71a,71b,72a,72b 第1配線パターン
8 導電性接着剤
9a,9b 水晶振動素子用外部接続端子(圧電振動素子用外部接続端子)
9c,9d,9e,9f 外部接続端子
10a,10b,10c,10d,10e,10f,10g,10h 導電ビア
101 導電ビアの平面視形状の大円弧
102 導電ビアの平面視形状の小円弧
11a,11b,11c,11d,11e,11f IC搭載用パッド
111c,111d,111e,111f 第2配線パターン
12 金属バンプ
13a,13b 水晶接続パッド
13c,13d サーミスタ搭載パッド
14 導電性接合材
Claims (6)
- 上方が一主面で下方が他主面となる基板部と、
前記基板部の他主面の外周部から下方に伸び外周縁と内周縁とが平面視略矩形の枠部と、
前記枠部の上面の4隅に形成された外部接続端子と、
を備えたベースと、
前記基板部の一主面に搭載される圧電振動素子と、
前記枠部と前記基板部の他主面とで囲まれた凹部に搭載される電子部品素子と、
前記圧電振動素子を気密封止する蓋と、
からなる圧電振動デバイスにおいて、
前記枠部の内周縁の4隅には、当該内周壁の高さ方向に沿って伸長した柱状の導電ビアが埋設され、当該柱状の導電ビアの一部の側面が前記凹部に露出した状態で形成されており、
前記凹部の内底面には、その4隅に伸びる配線パターンが形成されており、
前記各外部接続端子と、前記各配線パターンとは、前記各導電ビアにより接続されてなる
ことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1に記載の圧電振動デバイスであって、
前記各導電ビアを結ぶ線分の交点が前記ベースの重心点付近に位置する
ことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1、または請求項2に記載の圧電振動デバイスであって、
前記外部接続端子は、略L字形状に形成され、当該略L字形状は前記枠部の内周縁の4隅に曲部を有し、前記枠部の内周縁の各辺に沿って伸びており、前記曲部に接した状態で前記導電ビアが形成されている
ことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電振動デバイスであって、
前記導電ビアの枠部の内周縁に沿った寸法より、当該導電ビアと接する前記配線パターンの枠部の内周縁に沿った寸法の方が大きく形成されている
ことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電振動デバイスであって、
前記ベースはセラミック材料からなり、前記導電ビアはセラミック材料よりヤング率の高いタングステンやモリブデンのメタライズ材料からなる
ことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の圧電振動デバイスであって、
前記基板部と前記枠部とは、各外周縁が平面視略同一の矩形で形成され、かつ各外周縁の4隅に円弧状の切欠き部が形成されており、
前記枠部の切欠き部には外部接続端子を形成せず、前記基板部の切欠き部にのみ前記圧電振動素子とのみ接続された圧電振動素子用外部接続端子が形成されている
ことを特徴とする圧電振動デバイス。
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