JP2014103627A - 圧電振動デバイスの実装構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】 導電性接着剤を用いた圧電振動デバイスの実装において、接合信頼性の高い圧電振動デバイスの実装構造を提供することを目的とする。
【解決手段】 表面実装型モジュールを構成する容器2に実装される水晶振動子4と、前記容器の内底面210のパッド電極7との接合領域は、
外部接続電極6とベース基材との間に導電性接着剤Sが介在する第1接合領域Z1と、
外部接続電極6とパッド電極7とが対向する領域の間に導電性接着剤Sが介在する第2接合領域Z2と、
ベース基材とパッド電極7との間に導電性接着剤Sが介在する第3接合領域Z3の3つの接合領域からなっている。
第2接合領域Z2はベースの外底面の中心Cを基準として第1接合領域Z1よりも内側にあり、かつ第3接合領域Z3よりも外側に位置している。
【選択図】 図2
【解決手段】 表面実装型モジュールを構成する容器2に実装される水晶振動子4と、前記容器の内底面210のパッド電極7との接合領域は、
外部接続電極6とベース基材との間に導電性接着剤Sが介在する第1接合領域Z1と、
外部接続電極6とパッド電極7とが対向する領域の間に導電性接着剤Sが介在する第2接合領域Z2と、
ベース基材とパッド電極7との間に導電性接着剤Sが介在する第3接合領域Z3の3つの接合領域からなっている。
第2接合領域Z2はベースの外底面の中心Cを基準として第1接合領域Z1よりも内側にあり、かつ第3接合領域Z3よりも外側に位置している。
【選択図】 図2
Description
本発明は圧電振動デバイスの、外部基板又は当該圧電振動デバイスを収容する容器への実装構造に関する。
水晶振動子や水晶発振器等の圧電振動デバイスは各種通信機器等のタイミングデバイスとして広く用いられている。圧電振動デバイスの一例として、水晶振動子と半導体回路素子(IC)等の複数の回路部品を回路基板の同一面上に実装した後、当該基板をカバーで覆ったディスクリート型と呼ばれる水晶発振器が存在する。前記水晶発振器に用いられる水晶振動子は、ベース(箱状体)の内部に水晶振動片を搭載し、当該ベースに蓋を接合することによって水晶振動片を気密封止した構造となっている。そして前記ベースの外底面に設けられた外部接続用の端子(外部接続電極)と、回路基板上に設けられたパッド電極とが半田を介して導電接合される。
ところで近年の各種通信機器等の小型化や高密度実装化に伴い、水晶発振器においても水晶振動子と半導体回路素子(IC)とが近接する位置関係となってきている。例えば水晶発振器を構成する容器に設けられた凹部の内底面にICを搭載し、次いで水晶振動子を前記内底面に半田接合する場合、半田接合時に発生したフラックスにICが晒されて経年変化によってICがダメージを受けるおそれがある。このため半田を使用せず、導電性接着剤を用いて電子部品を基板に接合する電子部品の実装構造が例えば特許文献1に開示されている。
特許文献1に係る構成は、導電性接着剤の絶縁性材料に対する接合性が、金属材料に対する接合性よりも良好であることに鑑み、絶縁性材料からなる圧電振動デバイスの基材(外殻部材)に導電性接着剤が接合する部位を設けている。そして特許文献1では、外部接続電極(端子電極)とパッド電極(基板電極)とが導電性接着剤を介して対向する領域と、電子部品の基材(外殻部材)とパッド電極とが導電性接着剤を介して対向する領域と、外部接続電極と基板の基材(基板電極以外の領域)とが導電性接着剤を介して対向する領域の3つの領域を有する実装構造が開示されている(例えば特許文献1の図10)。
特許文献1で開示されている前述の3つの接合領域を有する実装構造において、電子部品の基材とパッド電極とが対向する領域および外部接続電極と基板の基材とが対向する領域は、外部接続電極とパッド電極とが対向する領域に対して内側(外部接続電極間の中央寄り)に位置している。このような構成においては電子部品の外縁よりも内側の位置で導電性接着剤との接合力を向上させることはできるが、電子部品の外縁部分における接合力との差異により、応力差が大きくなって接合が不安定となるおそれがある。また電子部品が更に小型になると、外部接続電極間の距離が縮小されるため前記応力差の影響がより顕在化してくる。その結果、接合部位からクラック等が発生しやすくなり、接合不良が発生する危険性が増大してしまう。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、導電性接着剤を用いた圧電振動デバイスの実装において、接合信頼性の高い圧電振動デバイスの実装構造を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するために本発明は、圧電振動デバイスの外部接続電極が、外部基板又は当該圧電振動デバイスを収容する容器に設けられたパッド電極と部分的に対向するように、導電性接着剤を介して導電接合されてなる圧電振動デバイスの実装構造であって、前記圧電振動デバイスは絶縁性材料を基材とするベースを有し、当該ベースの外底面には少なくとも一対の外部接続電極が形成され、前記外部基板又は容器は絶縁性材料からなるとともに前記外部接続電極と対応したパッド電極を備え、前記圧電振動デバイスと、前記外部基板又は前記容器との接合領域が、前記外部接続電極と、前記外部基板又は前記容器の基材との間に導電性接着剤が介在する第1接合領域と、前記外部接続電極と前記パッド電極とが対向する領域であって、当該領域の外部接続電極とパッド電極との間に導電性接着剤が介在する第2接合領域と、前記ベースの外底面の基材とパッド電極との間に導電性接着剤が介在する第3接合領域の3つの接合領域からなり、前記第2接合領域が、前記ベースの外底面の中心を基準として前記第1接合領域よりも内側にあり、かつ前記第3接合領域よりも外側にあることを特徴とする。
上記発明によれば、前記第2接合領域が、前記ベースの外底面の中心を基準として前記第1接合領域よりも内側にあり、かつ前記第3接合領域よりも外側にあるので、安定した接合を行なうことができる。これは次の理由による。
第1接合領域と第3接合領域は第2接合領域に対して両外側に位置しており、この第1接合領域と第3接合領域は露出した基材部分は同一の平面上(同一部材上)に無い。すなわち、第1接合領域では外部基板又は容器(例えばディスクリート型水晶発振器等における筐体)の基材が導電性接着剤で接合され、第3接合領域ではベース外底面の基材が導電性接着剤で接合されるので、露出した基材部分は同一の平面上には存在しない。つまり第1接合領域と第3接合領域とが、ベースおよび基板(又は容器)の双方の基材と導電性接着剤で接合される領域を有しているため接合強度を向上させることができる。
そして導電性接着剤との接合性が絶縁性材料よりも劣る第2接合領域の両外側に、導電性接着剤との接合性が良好な第1接合領域および第3接合領域が存在することによってバランス良く接着補完されるため安定した接合を行なうことができる。第2接合領域については電極同士が対向する領域であるため、良好な導電性を確保することができる。
また上記発明において、導電性接着剤として揺変性(いわゆるチクソトロピー:Thixotropy)を有する接着剤を使用することにより、所定の塗布位置からの接着剤のはみ出しを抑制することができる。さらに、金属材料同士が対向する領域である第2接合領域に介在する接着剤の厚みを、揺変性を有していない接着剤を使用する場合に比べて相対的に厚くすることができる。同様に、第1接合領域および第3接合領域に介在する接着剤の厚みも相対的に厚くすることができる。これにより接着剤のはみ出しを抑制することができるので高密度実装に好適となる。なお金属材料同士が対向する第2接合領域において外部接続電極とパッド電極のいずれか一方または両方の表面を粗面化したり、凹部を設けることによって導電性接着剤との接触面積を拡大して、第2接合領域の接着剤との接合力を向上させるようにしてもよい。
以上のように本発明によれば、導電性接着剤を用いた圧電振動デバイスの実装において、接合信頼性の高い圧電振動デバイスの実装構造を提供することができる。
以下、本発明に係る圧電振動デバイスとして水晶振動子を例に挙げ、水晶振動子や集積回路素子(IC)や回路素子が収容されるRTC(リアルタイムクロックモジュール)について図1乃至3を用いて説明する。図1に示すRTC(1)は略直方体形状の表面実装型モジュールである。RTC(1)は、水晶振動子4や集積回路素子(IC)5や回路素子(図示省略)が収容される凹部20を備えた容器2に、カバー3が接合材を介して接合された構造となっている。具体的に容器2は、凹部20を包囲するように起立する堤部22の上面に設けられた接合材(図示省略)を介して、カバー3の外周縁部分とシーム溶接法やビーム溶接法や金属ろう材の加熱溶融による封止方法等によって接合されている。
本実施形態において容器2は複数のセラミックグリーンシートの積層体であり、焼成によって一体成形されている。容器2の凹部の内底面210には、水晶振動子やIC等の電子部品が搭載される各種パッド電極と当該パッド電極と電気的に接続された電極パターンが形成されており、そのうち図1では水晶振動子が搭載されるパッド電極(符号7)のみを記載し、その他のパッド電極および電極パターンの記載は省略している。
容器2の外底面220には図示しない複数の外部端子が形成されている。本実施形態ではこれら複数の外部端子と前述したパッド電極および電極パターンは、タングステンを印刷焼成した後、タングステン表面にニッケルメッキ層が、さらにその上層に金メッキ層が積層された構成となっている。またこれらの外部端子は容器2の基材の内部に形成された内部配線導体(図示省略)を介して水晶振動子の入出力端子や、ICの各種機能端子等と電気的に接続されている。なお本実施形態においてIC5は、ICの各種機能端子と対応した複数のパッド電極(図示省略)上に金属製バンプを介してFCB接合(Flip Chip Bonding)されている。図1では簡略化のため、ICの各種機能端子やパッド電極およびバンプの記載は省略している。
本実施形態においてカバー3は板状であり、金属性材料で構成されている。ここでカバー3の材料は金属性材料に限定されるものではなく、アルミナ等の絶縁性材料であってもよい。またカバーの対向する主面のうち、容器と接合される主面の外周縁部分に予め金属ろう材を形成していてもよい。
図1において水晶振動子4は直方体状で表面実装型の水晶振動子となっており、平面視の外形寸法は3.2mm×1.5mmとなっている。この水晶振動子4は発振周波数が32.768kHzとなっている。そして水晶振動子4は図2に示すように箱状のベース41と、ベース内部の凹空間に搭載される図示しない水晶振動片と、ベース41の上面と接合される蓋42が主な構成部材となっている。この蓋42がベース41と接合されることによってベース内の水晶振動片が気密封止されるようになっている。なお前述した水晶振動片は平板状であり、表裏主面には水晶振動板を駆動させるための一対の励振電極が対向形成されており、この一対の励振電極の各々からは、引出電極と、ベースとの電気機械的接続に用いられる接続電極とが水晶振動板の一端側まで導出形成されている。そして前記接続電極はベース41の凹空間の内底面に設けられた一対の水晶搭載用端子と導電性接着剤を介して接合されている。
図2においてベース41の外底面410には、外部との接続に用いられる外部接続電極6が複数形成されている。これらの複数の外部接続電極のうち一部の電極は、前述の一対の水晶搭載用端子とベース基材の内部に設けられた配線パターン(図示省略)を介して電気的に接続されている。なお前記複数の外部接続電極は前述したパッド電極7と同様の材料および膜構成となっている。
図2に示すようにベース41は、容器2の内底面210と内底面210に設けられたパッド電極7上に導電性接着剤Sを介して接合されている。具体的には水晶振動子4と容器2は、ベース41の外部接続電極6と容器2の基材(内底面210)との間に導電性接着剤Sが介在する第1接合領域Z1と、外部接続電極6とパッド電極7とが対向する領域であって、当該領域の外部接続電極6とパッド電極7との間に導電性接着剤Sが介在する第2接合領域Z2と、ベースの外底面410の基材とパッド電極7との間に導電性接着剤Sが介在する第3接合領域Z3の、3つの接合領域で接合されている。本実施形態では導電性接着剤Sとして、シリコーン系の導電性樹脂接合材(ペースト状接着材)が使用されており、揺変性(いわゆるチクソトロピー:Thixotropy)を有する接着剤となっている。なお導電性接着剤はシリコーン系の導電性樹脂接合材に限定されるものではなく、他の種類の導電性樹脂接合材を使用してもよい。
本発明の実施形態においては、外部接続電極6とパッド電極7は略同一面積で形成されており、第2接合領域Z2のベース長辺方向(図3参照)における寸法は一つの外部接続電極またはパッド電極の前記ベース長辺方向における寸法に対して50%以下となっている。一方、第1接合領域Z1および第3接合領域Z3のベース長辺方向における寸法は一つの外部接続電極またはパッド電極の前記ベース長辺方向における寸法に対して50%以上となっている。このような寸法比率で外部接続電極とパッド電極との相対位置関係を設定することによって、より接合信頼性の高い圧電振動デバイスの実装構造を得ることができる。
上記3つの接合領域Z1,Z2,Z3は図2に示すように、第2接合領域Z2は、ベースの外底面の中心(図3参照)を基準として第1接合領域Z1よりも内側にあり、かつ第3接合領域Z3よりも外側に位置している。このような位置関係となっていることにより、安定した接合を行なうことができる。これは次の理由による。
第1接合領域Z1と第3接合領域Z3は、第2接合領域Z2に対して両外側に位置しており、この第1接合領域Z1と第3接合領域Z3は露出した基材部分は同一の平面上(同一部材上)に無い。すなわち、第1接合領域Z1では容器2の基材(内底面210)が導電性接着剤Sで接合され、第3接合領域Z3ではベース外底面410の基材が導電性接着剤Sで接合されるので、ベースおよび容器のそれぞれにおいて露出した基材部分は同一の平面上に存在しない。つまり第1接合領域Z1と第3接合領域Z3とが、ベース41と容器2の双方の基材と導電性接着剤で接合される領域を有しているため接合強度を向上させることができる。これは導電性接着剤Sの絶縁性材料(具体的に本実施形態ではセラミック)に対する接合性が、金(外部接続電極およびパッド電極の各電極の最上層)に対する接合性よりも良好であることによるものである。
そして導電性接着剤との接合性が絶縁性材料よりも劣る第2接合領域Z2の両外側に、導電性接着剤Sとの接合性が良好な第1接合領域Z1および第3接合領域Z3が存在することによって、バランス良く接着補完されるため安定した接合を行なうことができる。第2接合領域Z2については電極同士が対向する領域であるため、良好な導電性を確保することができる。
本実施形態において導電性接着剤Sは揺変性を有しているため、所定の塗布位置からの接着剤のはみ出しを抑制することができる。例えば第1接合領域の外側方向へのはみ出しを抑制することにより、近接する電極パターンとの短絡を防止することができる。また第3接合領域の内側方向へのはみ出しを抑制することにより、水晶振動子の外部接続電極間等の短絡を防止することができる。
また本実施形態において導電性接着剤Sは揺変性を有しているので、金属材料同士が対向する領域である第2接合領域Z2に介在する接着剤の厚みを、揺変性を有していない接着剤を使用する場合に比べて相対的に厚くすることができる。同様に、第1接合領域Z1および第3接合領域Z3に介在する接着剤の厚みも相対的に厚くすることができる。これにより導電性接着剤のはみ出しを抑制することができるので高密度実装に好適となる。なお第2接合領域Z2において外部接続電極とパッド電極のいずれか一方または両方の表面を粗面化したり、凹部を設けることによって導電性接着剤との接触面積を拡大して、第2接合領域の接着剤との接合力を向上させるようにしてもよい。
以上は水晶振動子の容器に対する実装構造に関する説明であるが、次に本発明の実施形態に係る水晶振動子と容器との接合方法について説明する。
図4は本発明の実施形態に係る水晶振動子の実装前の状態を表す側面図である。水晶振動子4の外部接続電極6は、容器2の内底面210に設けられたパッド電極7に対して平面視で一部が重なるような位置関係でベース41の外底面410に形成されている。
まず導電性接着剤Sが、パッド電極7の上面の内、前記平面視で一部が重なる領域を含むように一つのパッド電極に対して偏った状態、つまりパッド電極の外縁(7a)側に偏った状態となるようにディスペンサを用いて塗布される。このとき、塗布される導電性接着剤は一部がベース41の外底面410の基材と対向するようにパッド電極の内縁(7b)方向にも及んだ状態となっており、水晶振動子4との接合後の状態においてパッド電極の内縁7bからはみ出さない塗布量に予め調整されている。しかしながら本発明は、水晶振動子の外部接続電極とパッド電極の接合後の状態において導電性接着剤Sがパッド電極の内縁7bからパッド電極間の方向へはみ出しがあっても適用可能である。
次に、水晶振動子4を図4に示すように、外部接続電極6の一部がパッド電極7の導電性接着剤が塗布された領域の一部と平面視で重なるように水晶振動子4が位置決め載置される。前記位置決め載置によって水晶振動子の自重が加わるとともに、加重することにより、導電性接着剤Sが図2に示す第1接合領域Z1と第3接合領域Z3に及ぶように押し拡げられる。
そして前記位置決め載置後に、所定プロファイルに設定された温度条件下で導電性接着剤が硬化処理される。
本実施形態では水晶振動子の外部接続電極とパッド電極の平面視の面積の大小関係は図3に示すように、外部接続電極6の面積よりもパッド電極7の面積の方が大きくなっている。具体的に平面視長方形状のパッド電極7は、平面視長方形状の外部接続電極6の長辺の長さに対して当該長辺の伸長方向の両外側にはみ出るように長く形成され、外部接続電極6の短辺方向の幅とパッド電極7のの短辺方向の幅とは略同一となっている。しかしながら本発明は図3に示すような外部接続電極とパッド電極の平面視の面積の大小関係に限定されるものではなく、例えば図5に示すようにパッド電極8の長辺の長さが平面視長方形状の外部接続電極6の長辺の長さよりも短く形成され(外部接続電極6の短辺幅とパッド電極8の短辺幅とは略同一)、外部接続電極6の面積よりもパッド電極7の面積の方が小さい構成であってもよい。
本実施形態では圧電振動デバイスとして水晶振動子を例に挙げ、当該水晶振動子を表面実装型モジュールの内部に設けられたパッド電極上に接合する形態について説明したが、本発明は圧電振動デバイス自体を各種機器に用いられる外部基板上に設けられたパッド電極上に接合する形態においても適用可能である。つまり外部接続電極を有する圧電振動子や圧電発振器を、前記外部接続電極と対応したパッド電極を備えた対象物に、導電性接着剤を介して行なう接合に適用可能である。
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
圧電振動デバイスの量産に適用できる。
1 表面実装型モジュール
2 容器
3 カバー
4 水晶振動子
41 ベース
42 蓋
5 集積回路素子
6 外部接続電極
7、8 パッド電極
410 ベース外底面
20 凹部
S 導電性接着剤
Z1 第1接合領域
Z2 第2接合領域
Z3 第3接合領域
2 容器
3 カバー
4 水晶振動子
41 ベース
42 蓋
5 集積回路素子
6 外部接続電極
7、8 パッド電極
410 ベース外底面
20 凹部
S 導電性接着剤
Z1 第1接合領域
Z2 第2接合領域
Z3 第3接合領域
Claims (1)
- 圧電振動デバイスの外部接続電極が、外部基板又は当該圧電振動デバイスを収容する容器に設けられたパッド電極と部分的に対向するように、導電性接着剤を介して導電接合されてなる圧電振動デバイスの実装構造であって、
前記圧電振動デバイスは絶縁性材料を基材とするベースを有し、当該ベースの外底面には少なくとも一対の外部接続電極が形成され、
前記外部基板又は容器は絶縁性材料からなるとともに前記外部接続電極と対応したパッド電極を備え、
前記圧電振動デバイスと、前記外部基板又は前記容器との接合領域が、
前記外部接続電極と、前記外部基板又は前記容器の基材との間に導電性接着剤が介在する第1接合領域と、
前記外部接続電極と前記パッド電極とが対向する領域であって、当該領域の外部接続電極とパッド電極との間に導電性接着剤が介在する第2接合領域と、
前記ベースの外底面の基材とパッド電極との間に導電性接着剤が介在する第3接合領域の3つの接合領域からなり、
前記第2接合領域が、前記ベースの外底面の中心を基準として前記第1接合領域よりも内側にあり、かつ前記第3接合領域よりも外側にあることを特徴とする圧電振動デバイスの実装構造。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012256060A JP2014103627A (ja) | 2012-11-22 | 2012-11-22 | 圧電振動デバイスの実装構造 |
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JP2014103627A true JP2014103627A (ja) | 2014-06-05 |
Family
ID=51025738
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP2014103627A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10897224B2 (en) | 2019-02-22 | 2021-01-19 | Seiko Epson Corporation | Oscillator, electronic device, and vehicle |
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JP2021057914A (ja) * | 2016-11-16 | 2021-04-08 | 株式会社大真空 | 水晶振動デバイス |
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2012
- 2012-11-22 JP JP2012256060A patent/JP2014103627A/ja active Pending
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