JP2016173317A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、前記磁性体膜は磁性体箔を加工し形成されていてもよい。
また、前記磁性体膜のスリット及びスロットの幅が1〜50μmであることを特徴とする。
図1(a)、(b)、(c)は本発明の半導体装置である磁気センサの一実施例を示す平面図である。半導体基板31の表面にホール素子32a、32bが離間して配置され、そのうえに磁気収束板33が、ホール素子32a、32bの上に設けられた保護膜を介して設けられている。磁気収束板33は外周であるその縁がホール素子32a、32bの上に来るように配置されている。磁気収束板33にはスリット6が設けられている。ここで、スリット6とは、磁気収束板33の外周(縁)から内部にかけて設けられた溝のこととする。溝は磁気収束板33の上面から下面まで貫通している。
磁気収束板33は電解メッキにより形成することが可能である。また、磁気収束板33は磁性体箔を加工して形成することも可能である。
2a、2b、22a、22b、32 ホール素子
3 保護層
4 下地金属層
5、21、23、33 磁気収束板
6、7 スリット
12 エポキシ接着剤
14 磁束収束パターン
Claims (5)
- 半導体基板上に設けられたホール素子と、前記半導体基板上に設けられた、前記ホール素子の各々を少なくとも部分的に覆っている磁気収束板とを備えた磁気センサであって、前記磁気収束板は、外周の一点から他の点にかけて設けられたスリットを複数有し、前記複数のスリットにより前記磁気収束板が3つ以上の部分に分かれていることを特徴とする半導体装置。
- 半導体基板上に設けられたホール素子と、前記半導体基板上に設けられた、前記ホール素子の各々を少なくとも部分的に覆っている磁気収束板とを備えた磁気センサであって、前記磁気収束板は、外周から内側にかけて設けられた複数のスリットを有し、前記磁気収束板の中心には前記複数のスリットが到達しておらず、2つ以上の部分に分離されていないことを特徴とする半導体装置。
- 半導体基板上に設けられたホール素子と、前記半導体基板上に設けられた、前記ホール素子の各々を少なくとも部分的に覆っている磁気収束板とを備えた磁気センサであって、前記磁気収束板は、内側に開口部であるスロットを有しており、前記磁気収束板は、前記スロットにより2つ以上の部分に分離されていないことを特徴とする半導体装置。
- 前記スリットの幅は1〜50umである事を特徴とする請求項第1または2記載の半導体装置。
- 前記スロットの幅は1〜50umである事を特徴とする請求項第3記載の半導体装置。
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