JP2016162800A - ダイシング装置及びダイシング装置用のテーブル - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 125
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 104
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 18
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
図1は、実施形態のダイシング装置10の外観を示した斜視図である。
加工部20には、半導体ウェーハWの表面を撮像するカメラ26が備えられる。加工部20の内部には、切断手段である対向配置された一対の円盤状のブレード28(一方のブレード28は不図示)と、ブレード28を保護するホイールカバー30が取り付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル32とが設けられている。
ダイシング装置10では、まず、複数の半導体ウェーハWが収納されたカセットが、不図示の搬送装置、または手動でロードポート12に載置される。載置されたカセットから半導体ウェーハWが取り出され、搬送手段16によってテーブル18の上面に載置される。半導体ウェーハWの裏面側が、テーブル18のポーラスからなる吸着部34(図2参照)によって真空吸着保持される。テーブル18については後述する。
図2は、テーブル18の平面図である。
図2〜図4の如くテーブル18は、半導体ウェーハW1、W2を吸着保持する、平面視円形状の吸着部34と、吸着部34の外側に配置されて吸着部34を支持する、平面視リング状の本体44とを備える。
実施形態のダイシング装置10及びテーブル18によれば、テーブル18の本体44の上面44Aに吸引口46を形成し、吸引口46に吸着部34と同様の吸着機能を持たせている。
図5は、テーブル18の第1変形例を示したテーブル18の平面図である。
Claims (5)
- 半導体ウェーハをテーブルに吸着保持し、切断手段によって前記半導体ウェーハの半導体素子をチップ毎に切断するダイシング装置において、
前記テーブルは、
前記半導体ウェーハを吸着保持する吸着部と、
前記吸着部の外側に配置されて前記吸着部を支持する平面視リング状の本体と、
前記吸着部の吸着面と同一面上に配置された前記本体の上面と、
前記本体の上面に形成された吸引口と、
前記吸引口に接続された吸引手段と、
を備えることを特徴とするダイシング装置。 - 前記吸引口は、前記吸着部の周囲に配置される請求項1に記載のダイシング装置。
- 前記吸引口は、平面視円形状の前記吸着部の外周に沿って配置される請求項1、又は2に記載のダイシング装置。
- 前記吸引口は、曲線状又は直線状の溝形状をなしている請求項1、2又は3に記載のダイシング装置。
- 半導体ウェーハを吸着保持するダイシング装置用のテーブルにおいて、
前記テーブルは、
前記半導体ウェーハを吸着保持する吸着部と、
前記吸着部の外側に配置されて前記吸着部を支持する平面視リング状の本体と、
前記吸着部の吸着面と同一面上に配置された前記本体の上面と、
前記本体の上面に形成された吸引口と、
前記吸引口に接続された吸引手段と、
を備えることを特徴とするダイシング装置用のテーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015037769A JP6464818B2 (ja) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | ダイシング装置及びダイシング装置用のテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2016162800A true JP2016162800A (ja) | 2016-09-05 |
JP6464818B2 JP6464818B2 (ja) | 2019-02-06 |
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ID=56845119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015037769A Active JP6464818B2 (ja) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | ダイシング装置及びダイシング装置用のテーブル |
Country Status (1)
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JP (1) | JP6464818B2 (ja) |
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