JP2016149420A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のチャックピン20によって基板Wの端縁部を把持するとともに、ノズルヘッド50の吐出口56から窒素ガスを噴出して基板Wのうちの吸引面53と対向する領域をベルヌーイ効果によって吸引面53に非接触で吸引する。薄い基板Wであってもスピンベース10に確実に保持することができ、基板Wを回転させたときにも基板Wの変形を抑制して破損を防止することができる。また、複数のチャックピン20によって基板Wの端縁部を機械的に把持しているため、ノズルヘッド50の吐出口56から窒素ガスと処理液とを同時に吐出した場合であっても、処理液の圧力によって基板Wが押し上げられることはなく、ベルヌーイ効果が維持される。
【選択図】図2
Description
11 保持面
20 チャックピン
25 支持ピン
30 上面ノズル
40 カップ
50 ノズルヘッド
53 吸引面
54 液流路
55 気体流路
56 吐出口
57 ラビリンス構造
60 スピンモータ
70 気体供給機構
80 処理液供給機構
90 制御部
100 基板処理装置
W 基板
Claims (6)
- 基板に処理液を供給して所定の液処理を行う基板処理装置であって、
処理対象となる基板に対向する保持面を有するスピンベースと、
前記スピンベースの前記保持面に立設され、基板の端縁部を把持する複数のチャックピンと、
前記スピンベースの前記保持面から突設され、前記保持面と平行な吸引面を有するノズルヘッドと、
前記ノズルヘッドに設けられた吐出口に気体を供給する気体供給部と、
前記吐出口に処理液を供給する処理液供給部と、
を備え、
前記複数のチャックピンによって端縁部を把持される基板と前記保持面との間隔よりも当該基板と前記吸引面との間隔は狭く、
前記気体供給部が前記吐出口に気体を供給することによって、前記複数のチャックピンによって端縁部を把持される基板のうちの前記吸引面と対向する領域が前記吸引面側に非接触で吸引されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置において、
前記ノズルヘッドは、前記複数のチャックピンによって端縁部を把持される基板の中心部に前記吸引面が対向するように前記スピンベースに設けられることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または請求項2記載の基板処理装置において、
前記ノズルヘッドには、前記処理液供給部から前記吐出口に連通する液流路が形設されるとともに、前記気体供給部から前記吐出口に連通する気体流路が形設され、
前記ノズルヘッド内にて前記液流路に前記気体流路が合流することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3記載の基板処理装置において、
前記ノズルヘッドに形設された前記気体流路はラビリンス構造を有することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記スピンベースの前記保持面に立設され、前記複数のチャックピンによって端縁部を把持される基板の周縁部を支持する複数の支持ピンをさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記ノズルヘッドに設けられた前記吐出口は、先端部側に向けて大きくなる形状に形成されていることを特徴とする基板処理装置。
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