JP2016148091A - 真空浸炭方法及び真空浸炭装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】スポット状過剰浸炭の発生を防ぎつつ高品質に被処理物を浸炭できる真空浸炭方法を提供する。【解決手段】減圧した雰囲気の浸炭室に浸炭ガスを噴射することで、浸炭室に配置した被処理物を浸炭する真空浸炭方法であって、浸炭室へ噴射する浸炭ガスのガス噴射量を、被処理物の浸炭室における荷姿状態での容積と、浸炭室の体積と、被処理物の総表面積と、浸炭ガスの種類に基づき設定される定数と、に基づいて算出し、算出されたガス噴射量の浸炭ガスを、浸炭室に噴射する。【選択図】図3

Description

本発明は、減圧した雰囲気の浸炭室に配置した被処理物を浸炭する真空浸炭方法及び装置に関する。
減圧した雰囲気の浸炭室にプロパンガス等の浸炭ガスを噴射することで、同室に配置した被処理物(例えば鋼性の部材)を浸炭する真空浸炭が知られている(特許文献1参照)。
このような真空浸炭において、浸炭ガスが過剰となり、スポット状過剰浸炭が発生するという問題があった。この問題に対して、本出願人は、ガス噴射量Vを、被処理物の物理特性に依存するフラックス値Fを用いて求め、被処理物の表面炭素濃度がスポット状過剰浸炭の発生を抑止可能な濃度上限値より小さい状態を維持するように、浸炭ガスを噴射するガス噴射時間及びガス噴射停止時間を決定する真空浸炭方法(特許文献2参照)を出願した。
特開2002−212702号公報 特開2011−052262号公報
しかしながら、特許文献2に開示された真空浸炭方法では、フラックス値Fを実験により求める必要があった。そのため、実験時における被処理物の形状と実際のワークの荷姿状態を一致させることが難しく、適切なフラックス値を求めることは難しいという問題があった。
本発明は上記のような問題に鑑みてなされたものであり、適切なガス噴射量を求めることで、スポット状過剰浸炭の発生を防ぎつつ高品質に被処理物を浸炭できる真空浸炭方法を提供することを目的とする。
本発明は、減圧した雰囲気の浸炭室に浸炭ガスを噴射することで、浸炭室に配置した被処理物を浸炭する真空浸炭方法であって、浸炭室へ噴射する浸炭ガスのガス噴射量を、被処理物の浸炭室における荷姿状態での容積と、浸炭室の体積と、被処理物の総表面積と、浸炭ガスの種類に基づき設定される定数と、に基づいて算出し、算出されたガス噴射量の浸炭ガスを、浸炭室に噴射することを特徴とする。
本発明によれば、被処理物の浸炭室における荷姿状態での容積と、浸炭室の体積と、被処理物の総表面積と、浸炭ガスの種類に基づき設定される定数と、に基づいてガス噴射量を決定するので、実験によりフラックス値を求めることなくガス噴射量を決定することができる。これにより、スポット状過剰浸炭の発生を防ぎつつ高品質に被処理物を浸炭できる。
本発明の実施形態の真空浸炭装置の構成を示す説明図である。 本発明の実施形態の被処理物の荷姿状態の一例を示す説明図である。 本発明の実施形態の真空浸炭装置にて行なわれる制御のフローチャートである。 本発明の実施形態の被処理物の総表面積Aと占有容積当たりガス噴射量V*Z/Yとの相関関係の一例を説明する説明図である。 本発明の実施形態の被処理物の総表面積Aと占有容積当たりガス噴射量V*Z/Yとの相関関係の他の一例を説明する図である。 本発明の実施形態のガス噴射時間及びガス噴射停止時間の一例の説明図である。 本発明の実施形態の浸炭処理全体の過程を示す説明図である。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
図1は、本実施形態の真空浸炭装置1の構成を示す説明図である。図1に示す真空浸炭装置1は、被処理物2、真空浸炭室3、浸炭ガス流路4、流量調整弁5、制御装置6を有する。
被処理物2は、浸炭対象の鋼性の部材である。被処理物2は、例えば、変速機に用いられるギヤ(材質JIS−SCr420H)の材料となる。
真空浸炭室3は、内部に被処理物2を配置し、被処理物2に対して減圧した雰囲気で真空浸炭を実行する真空浸炭炉である。真空浸炭室3には、真空浸炭室3の内部の温度を検出する温度センサ31が備えられる。
浸炭ガス流路4は、浸炭ガス供給源14から真空浸炭室3まで連通する浸炭ガスのガス流路である。流量調整弁5は、浸炭ガス流路4に介装され、浸炭ガス流路4を通流する浸炭ガスのガス流量、すなわち真空浸炭室3に噴射するガス噴射量を調整する開閉弁である。流量調整弁5の開閉動作は制御装置6によって制御される。制御装置6は、流量調整弁5の開閉動作を制御するマイクロコントローラである。制御装置6の制御は後述する。
以上に示す構成により、本実施形態の真空浸炭装置1は、制御装置6が流量調整弁5の開閉動作を制御することで、真空浸炭室3に噴射するガス噴射量を調整し、真空浸炭室3に配置した被処理物2を浸炭する。
図2(A)及び(B)は、本実施形態における被処理物2の荷姿状態の一例を示す説明図である。
図2(A)に示すように、被処理物2は、治具10に積載されて真空浸炭室3に配置される。被処理物2は、一例として中央に孔を有する円盤形状のギヤである。治具10に複数の柱部11が備えられ、柱部11に被処理物2の孔が嵌装されて、複数の被処理物2が治具10に固定される。
図2(B)に示すように、治具10は、複数の被処理物2を固定した状態で段積み状態(積層状態)とすることも可能な形状に構成されている。複数の被処理物2を固定した治具10を積層状態として真空浸炭室3に配置することで、多数の被処理物2を一度に浸炭させることができる。
このように配置された被処理物2は、次のような制御により浸炭が行なわれる。
図3は、本実施形態の真空浸炭装置1にて行なわれる制御のフローチャートである。制御装置6は、浸炭時に図3に示す制御を実行する。
制御装置6は、ステップS1において、浸炭処理温度を設定する。真空浸炭室3には図示しないヒータ等の加熱装置が備えられ、制御装置6は、真空浸炭室3に備えられる温度センサ31による測定値又はユーザによる設定値等に基づいて、真空浸炭室3の温度を設定する。
制御装置6は、真空浸炭室3の温度を1203Kから1253Kの範囲の任意の温度に設定する。これは、本実施形態の真空浸炭装置1は、この範囲内の浸炭温度に対して有効だからである。
次に、ステップS2に移行し、制御装置6は、真空浸炭室3の体積を設定する。真空浸炭室3の体積は予めユーザによって制御装置6に入力され、制御装置6は、入力された値を真空浸炭室3の体積Yとして設定する。
次に、ステップS3に移行し、制御装置6は、被処理物2の荷姿状態での容積を設定する。被処理物2の荷姿状態の容積の値がユーザによって制御装置6に入力され、制御装置6は入力された値に基づいて、被処理物2の荷姿状態での容積Zを算出する。制御装置6は、算出された被処理物2の荷姿状態での容積Zを設定する。
被処理物2の荷姿状態での容積Zは、図2(B)に示すように、複数の被処理物2が治具10に固定され積層された状態に基づき、次の数式1のように算出される。
荷姿状態の容積Z=a*b*c ・・・ 数1
ただし、a:治具10の幅、b:治具10の奥行き、c:治具10の積層高さ。
次に、ステップS4に移行し、制御装置6は、被処理物2の総表面積を設定する。ユーザは、真空浸炭室3に配置する全ての被処理物2の表面積の値の合計を算出して制御装置6に入力する。総表面積の値は、被処理物2の個数や形状に応じて可変な値である。制御装置6は入力された値を被処理物2の総表面積Aとして設定する。
次に、ステップS5に移行し、制御装置6は、浸炭ガスごとに設定される定数を設定する。浸炭ガスの定数は、予めユーザによって使用される浸炭ガスの種類に応じて制御装置6に入力されており、制御装置6は入力された値を浸炭ガスの定数Cとして設定する。定数Cの設定については後述する。
次に、ステップS6に移行し、制御装置6は、ガス噴射量Vを算出する。ここでは、制御装置6は、ステップS2で設定された真空浸炭室3の体積Yと、被処理物2の荷姿状態の容積Vと、総表面積Aと、浸炭ガスの定数Cとに基づいて、次の数式2に基づいて、ガス噴射量を決定する。
V=C*Y*A/Z ・・・ 数2
次に、ステップS7に移行し、制御装置6は、ガス噴射時間及びガス噴射停止時間を決定する。ステップS7の処理の詳細は後述する。ユーザによって計算されたガス噴射時間及びガス噴射停止時間の各々の値が制御装置6に入力され、制御装置6が、入力された値をガス噴射時間及びガス噴射停止時間として決定してもよい。
次に、ステップS8に移行し、制御装置6は、決定したガス噴射量V及びガス噴射時間に基づいて、流量調整弁5の開閉動作を制御する。制御装置6は、ステップS6で決定されたガス噴射量Vと、ステップS7で決定されたガス噴射時間及びガス噴射停止時間と、に基づいて流量調整弁5の開閉動作を制御する。ステップS8の処理の詳細は後述する。
以上のような制御によって、制御装置6は、ガス噴射量V、ガス噴射時間及びガス噴射停止時間を設定し、これらに基づいて流量調整弁5の開閉動作を制御する。このような制御により、真空浸炭室3に噴射する浸炭ガスが調整される。
次に、ステップS5における定数Cを決定するための、被処理物2の総表面積Aと占有容積当たりガス噴射量V*Z/Yとの相関関係について説明する。
本実施形態において、被処理物2の総表面積A[m2]と、標準状態での時間当たりの占有容積当たりガス噴射量V*Z/Y[NL/hr/m3]との間には、図4に示すような相関関係がある。
図4は、本実施形態の被処理物2の総表面積Aと占有容積当たりガス噴射量V*Z/Yとの相関関係の一例を説明する説明図である。図4では、浸炭ガスにプロパンガスを用いた例を示し、横軸に総表面積Aが、縦軸に占有容積当たりガス噴射量V*Z/Yが、それぞれ示される。
本願発明者は、図3上の各点におけるスポット状過剰浸炭の発生状況を検査した。その結果、「△」でプロットされた各点では、真空浸炭室3に必要以上の浸炭ガスが供給されてスポット状過剰浸炭が発生する、または、真空浸炭室3に必要分の浸炭ガスが供給されずに浸炭不足が発生することが分かった。「◇」でプロットされた各点では、適切量の浸炭ガスが供給されて適切な浸炭が行われることが分かった。
図4に示す直線L1及びL2は、これら「◇」、「△」の境界を示している。直線L1はC=120を示す直線である。一方、直線L2はC=80を示す直線である。すなわち、80<C<120を満たす総表面積A及び占有容積当たりガス噴射量V*Z/Yの関係であるときには図4の「◇」に該当し、適切な浸炭を行なうことができる。
従って、前述のステップS5において、図4に示す相関関係に基づいて定数Cを設定しておくことにより、適切なガス噴射量Vを設定することができる。
図5は、本実施形態の被処理物2の総表面積Aと占有容積当たりガス噴射量V*Z/Yとの相関関係の他の一例を説明する図である。図5では、浸炭ガスにアセチレンを用いた例を示し、横軸に総表面積Aが、縦軸に占有容積当たりガス噴射量V*Z/Yが、それぞれ示される。
浸炭ガスにアセチレンを用いた場合は、アセチレンの活性炭素が次のようにプロパンよりも多いため、浸炭ガスにプロパンガスを用いた場合のガス噴射量の60%に設定する。具体的には、次のようにアセチレンにおける定数Cが求められる。
アセチレン(C22)の分子量26のうち炭素の量は24であり、浸炭に寄与する炭素量の割合を示す活性炭素比率は24/26=92.3%である。
一方、プロパン(C38)の分子量44のうちの炭素は36であるが、プロパンは1/3が不活性のメタン(CH4)へと変換され反応しない。このため、プロパンの活性炭素比率は(36−12)/44=54.5%である。
これらにより、プロパンの活性炭素比率とアセチレンの活性炭素比率との比は54.5/92.3=59%であるので、誤差を考慮してプロパンの60%となるようにアセチレンのガス噴射量を設定する。
従って、図5において、直線L1はC=120*60%=72を示す直線となる。直線L2はC=80*60%=48を示す直線となる。すなわち、48<C<72を満たす総表面積A及び占有容積当たりガス噴射量V*Z/Yの関係であるときに、適切な浸炭を行なうことができる。
次に、ステップS7におけるガス噴射時間及びガス噴射停止時間について説明する。
図6は、本実施形態におけるガス噴射時間及びガス噴射停止時間の一例の説明図である。図6において、ガス噴射量Vによるガス噴射が行なわれている状態がハッチングで示され、被処理物2の表面炭素濃度Dの経時変化が実線で示される。
制御装置6は、流量調整弁5の開閉を制御してガス噴射の開始及び停止を制御する。図6に示すように、時刻0においてガス噴射を開始してから時間t0経過後に表面炭素濃度Dが限界濃度に達したときに、ガス噴射を停止する。その後、一定時間tsが経過して表面炭素濃度Dが直線状に低下した後に、再度ガス噴射を開始する。
以降は、一定時間tp経過して表面炭素濃度Dが限界濃度に達したところで、再びガス噴射を停止する。その後一定時間ts経過して表面炭素濃度Dが直線状に低下したところで、再度ガスを噴射する。すなわち、制御装置6は、表面炭素濃度Dが限界濃度に達するときを上限として、断続的に噴射と噴射停止を繰り返す間欠噴射を実行する。なお、限界濃度はスポット状過剰浸炭の発生及び不発生の境界となる表面炭素濃度であり、予め実験等により求めておく。
制御装置6は、ステップS8において、ステップS6で決定されたガス噴射量Vと、ステップS7で決定されたガス噴射時間及びガス噴射停止時間と、に基づいて、図6に示すように流量調整弁5の開閉動作を制御する。
このように、制御装置6は、表面炭素濃度Dの経時変化を考慮した上で、表面炭素濃度Dが限界濃度より小さい状態を維持するように、ガス噴射時間及びガス噴射停止時間を決定する。これにより、表面炭素濃度Dを限界濃度以下に保つことが可能になるとともに、スポット状過剰浸炭の発生を抑止することができる。
図7は、本実施形態における浸炭処理全体の過程を示す説明図である。図7において、真空浸炭室3の温度の時間経過が実線で示される。
本実施形態の真空浸炭装置1を用いた真空浸炭の処理過程は、昇温期、浸炭期、拡散期、及び、焼き入れ期に分けられる。昇温期、拡散期、及び、焼き入れ期については従来の処理方法と同様であるためここでは説明を省略する。図7に示す浸炭期において、図6で説明したガス噴射パターンに応じて、制御装置6が、流量調整弁5の開閉動作を制御する。
以上のように、本実施形態によれば、減圧した雰囲気の真空浸炭室3(浸炭室)に浸炭ガスを噴射することで、真空浸炭室3に配置した被処理物2を浸炭する真空浸炭方法に適用される。真空浸炭室3へ噴射する浸炭ガスのガス噴射量Vは、被処理物2の真空浸炭室3における荷姿状態での容積Zと、真空浸炭室3の体積Yと、被処理物2の総表面積Aと、浸炭ガスの種類に基づき設定される定数Cと、に基づいて算出し、算出されたガス噴射量Vにより、浸炭ガスを真空浸炭室3に噴射する。
従来の浸炭方法においては、被処理物2の物理特性に依存するフラックス値を実験により求めていた。しかし、実験時における被処理物2の形状と実際のワークの荷姿状態を一致させることが難しく、適切なフラックス値を求めることは難しかった。
本実施形態では、フラックス値によらず、被処理物2の荷姿状態の容積Z、真空浸炭室3の体積Yと、被処理物2の総表面積Aとに基づいてガス噴射量を決定するので、被処理物2に対するフラックス値を求めることなくガス噴射量を決定することができる。これにより、スポット状過剰浸炭の発生を防ぎつつ高品質に被処理物を浸炭できる。この効果は請求項1及び4に対応する。
なお、被処理物2の表面積が同一である場合は、被処理物2の荷姿状態の容積Zの大小は、被処理物2がどのくらい密集しているかを示す値である。すなわち、荷姿状態の容積Zが小さい場合は被処理物2の密集度が大きい。また、荷姿状態の容積Zが大きい場合は被処理物2の密集度が小さく、浸炭ガスがより流れやすくなる。このような理由により、荷姿状態の容積Zが大きいほど、浸炭ガスのガス噴射量Vは小さくて済む。
また、本実施形態によれば、浸炭ガスにプロパンを用い、標準状態での時間当たりガス噴射量をV(NL/h)、被処理物2の真空浸炭室3における荷姿状態での容積をZ(m3)、真空浸炭室3の体積をY(m3)、被処理物2の総表面積をA(m2)、浸炭ガスごとに設定する定数をCとしたとき、ガス噴射量Vを前述の数式2(ただし80<C<120)のように算出する。
本実施形態では、フラックス値によらず、被処理物2の荷姿状態の容積Z、真空浸炭室3の体積Yと、被処理物2の総表面積Aと、プロパンを用いた場合の定数Cに基づいて、ガス噴射量を決定するので、被処理物2に対するフラックス値を求めることなくガス噴射量を決定することができる。これにより、スポット状過剰浸炭の発生を防ぎつつ高品質に被処理物を浸炭できる。この効果は請求項2に対応する。
さらに、本実施形態によれば、浸炭ガスにアセチレンを用い、標準状態での時間当たりガス噴射量をV(NL/h)、被処理物2の真空浸炭室3における荷姿状態での容積をZ(m3)、真空浸炭室3の体積をY(m3)、被処理物2の総表面積をA(m2)、浸炭ガスごとに設定する定数をCとしたとき、ガス噴射量Vを前述の数式2(ただし48<C<72)のように算出する。
本実施形態では、フラックス値によらず、被処理物2の荷姿状態の容積Z、真空浸炭室3の体積Yと、被処理物2の総表面積Aと、アセチレンを用いた場合の定数Cに基づいて、ガス噴射量を決定するので、被処理物2に対するフラックス値を求めることなくガス噴射量を決定することができる。これにより、スポット状過剰浸炭の発生を防ぎつつ高品質に被処理物を浸炭できる。この効果は請求項3に対応する。
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一つを示したものであり、例えば制御装置6にユーザが入力した値に基づいてガス噴射量を決定するものだけでなく、制御装置6とは別の演算装置にてガス噴射量を決定し制御装置6にガス噴射量を入力するものなどであってもよく、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
本実施形態では、表面炭素濃度Dが限界濃度より小さい状態を維持するようにガス噴射時間及びガス噴射停止時間を決定すると前述した。しかしながら、ここでいう限界濃度の値は真空浸炭室3の浸炭処理温度に応じて変化する。そこで、予め実験計測等により浸炭処理温度を変えたときの限界濃度を温度毎に取得しておき、表面炭素濃度Dが限界濃度より小さい状態を維持するようなガス噴射時間及びガス噴射停止時間を温度毎に求めておいてもよい。この場合、設定される浸炭処理温度に応じて最適なガス噴射時間及びガス噴射停止時間を設定してもよい。
また、制御装置6は、ガス噴射量を決定した後にガス噴射時間及びガス噴射停止時間を決定しているが、この場合には限らない。被処理物2の表面炭素濃度Dがスポット状過剰浸炭の発生を抑止可能な濃度上限値より小さい状態を維持するように、ガス噴射量、ガス噴射時間及びガス噴射停止時間を決定するのであれば、前述のステップS6及びS7の処理は前後逆であってもよいし、同時であってもよい。
1 真空浸炭装置
2 被処理物
3 真空浸炭室(浸炭室)
4 浸炭ガス供給路
5 流量調整弁
6 制御装置
10 治具

Claims (4)

  1. 減圧した雰囲気の浸炭室に浸炭ガスを噴射することで、前記浸炭室に配置した被処理物を浸炭する真空浸炭方法であって、
    前記浸炭室へ噴射する前記浸炭ガスのガス噴射量を、
    前記被処理物の前記浸炭室における荷姿状態での容積と、
    前記浸炭室の体積と、
    前記被処理物の総表面積と、
    前記浸炭ガスの種類に基づき設定される定数と、
    に基づいて算出し、
    算出された前記ガス噴射量の浸炭ガスを、前記浸炭室に噴射することを特徴とする真空浸炭方法。
  2. 請求項1に記載の真空浸炭方法であって、
    前記浸炭ガスはプロパンであり、
    標準状態での時間当たりガス噴射量をV(NL/h)、前記被処理物の前記浸炭室における荷姿状態での容積をZ(m3)、前記浸炭室の体積をY(m3)、前記被処理物の総表面積をA(m2)、前記浸炭ガスごとに設定される定数をCとしたとき、
    V=C*Y*A/Z
    ただし、80<C<120
    を満たすように前記ガス噴射量Vを決定することを特徴とする真空浸炭方法。
  3. 請求項1に記載の真空浸炭方法であって、
    前記浸炭ガスはアセチレンであり、
    標準状態での時間当たりガス噴射量をV(NL/h)、前記被処理物の前記浸炭室における荷姿状態での容積をZ(m3)、前記浸炭室の体積をY(m3)、前記被処理物の総表面積をA(m2)、前記浸炭ガスごとに設定される定数をCとしたとき、
    V=C*Y*A/Z
    ただし、48<C<72
    を満たすように前記ガス噴射量Vを決定することを特徴とする真空浸炭方法。
  4. 前記浸炭室に浸炭ガスを供給する流量制御弁と、前記ガス噴射量を算出し、算出津されたガス噴射量に基づいて前記流量制御弁の開閉を制御する制御装置と、を備え、
    前記制御装置が、請求項1から3に記載の真空浸炭方法を実行する真空浸炭装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7086481B2 (ja) * 2018-12-14 2022-06-20 ジヤトコ株式会社 連続浸炭炉

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5896866A (ja) * 1981-12-07 1983-06-09 Daido Steel Co Ltd 真空浸炭処理における浸炭量の制御方法
JP2000336469A (ja) * 1999-05-28 2000-12-05 Nachi Fujikoshi Corp 真空浸炭方法及び装置
JP2002167658A (ja) * 2000-11-30 2002-06-11 Chugai Ro Co Ltd 鋼材部品の真空浸炭方法
JP2002212702A (ja) * 2001-01-19 2002-07-31 Oriental Engineering Co Ltd 浸炭方法及び浸炭装置
JP2003119558A (ja) * 2001-10-11 2003-04-23 Chugai Ro Co Ltd 鋼材部品の真空浸炭方法
JP2004059959A (ja) * 2002-07-25 2004-02-26 Oriental Engineering Co Ltd 真空浸炭方法及び真空浸炭装置
US20060102254A1 (en) * 2002-10-21 2006-05-18 Seco/Warwick Sp.Zo.O Hydrocarbon gas mixture for the under-presssure carburizing of steel
JP2011032556A (ja) * 2009-08-04 2011-02-17 Toyota Motor Corp 鋼製部材の浸炭方法
JP2011052262A (ja) * 2009-09-01 2011-03-17 Jatco Ltd 真空浸炭方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3973795B2 (ja) * 1999-05-24 2007-09-12 東邦瓦斯株式会社 ガス浸炭方法
JP2002173759A (ja) * 2000-12-05 2002-06-21 Toho Gas Co Ltd 真空浸炭雰囲気ガス制御システム及びそのシステムに用いられる真空浸炭処理装置
AU2002218508A1 (en) * 2001-11-30 2003-06-17 Koyo Thermo Systems Co., Ltd. Method and apparatus for vacuum heat treatment
JP4569181B2 (ja) * 2004-06-10 2010-10-27 株式会社Ihi 真空浸炭方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5896866A (ja) * 1981-12-07 1983-06-09 Daido Steel Co Ltd 真空浸炭処理における浸炭量の制御方法
JP2000336469A (ja) * 1999-05-28 2000-12-05 Nachi Fujikoshi Corp 真空浸炭方法及び装置
JP2002167658A (ja) * 2000-11-30 2002-06-11 Chugai Ro Co Ltd 鋼材部品の真空浸炭方法
JP2002212702A (ja) * 2001-01-19 2002-07-31 Oriental Engineering Co Ltd 浸炭方法及び浸炭装置
JP2003119558A (ja) * 2001-10-11 2003-04-23 Chugai Ro Co Ltd 鋼材部品の真空浸炭方法
JP2004059959A (ja) * 2002-07-25 2004-02-26 Oriental Engineering Co Ltd 真空浸炭方法及び真空浸炭装置
US20060102254A1 (en) * 2002-10-21 2006-05-18 Seco/Warwick Sp.Zo.O Hydrocarbon gas mixture for the under-presssure carburizing of steel
JP2011032556A (ja) * 2009-08-04 2011-02-17 Toyota Motor Corp 鋼製部材の浸炭方法
JP2011052262A (ja) * 2009-09-01 2011-03-17 Jatco Ltd 真空浸炭方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019093290A1 (ja) * 2017-11-08 2019-05-16 株式会社デンソー ガス浸炭装置及びガス浸炭方法
JP2019085623A (ja) * 2017-11-08 2019-06-06 株式会社デンソー ガス浸炭装置及びガス浸炭方法
CN111315913A (zh) * 2017-11-08 2020-06-19 株式会社电装 气体渗碳装置及气体渗碳方法
CN111315913B (zh) * 2017-11-08 2022-03-11 株式会社电装 气体渗碳装置及气体渗碳方法

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