JP2016114532A - 光熱変換分光分析装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】反射型光熱変換分光分析装置において、励起光が通過する部品においてもわずかに吸収され、光学特性を劣化し信号の雑音となる課題があった。そこで、高感度試料の分析が可能である反射型の光熱変換分光分析装置を実現することを目的とする。【解決手段】本発明は、励起光源と、検出光源と、前記検出光源から出射した検出光と前記励起光源から出射した励起光とをお互いに同一光軸に合波するフィルタと、前記励起光と前記検出光とを集光する集光レンズと、試料を格納する試料セルと、前記試料セルの内壁に設けられ前記検出光を反射する反射部材と、前記反射部材で反射された前記検出光を検出する検出器と、を備えることを特徴とする。【選択図】図1

Description

本発明は、光熱変換分光分析装置に係り、特に、光熱レンズ効果を用いた光熱変換分光分析装置に関するものである。
試料に光を集光照射すると、その試料は光を吸収し、局所的に温度上昇をする。この温度上昇に応じて試料の屈折率が変化する。多くの物質では、温度上昇により屈折率は低下するため、試料の集光部近傍に凹レンズが生じたような光学効果が起こる。この効果は一般的に熱レンズ効果と言われ、この効果を利用した試料の計測は非蛍光物質の高感度計測法として用いられている。
図6(a)は、このような熱レンズ効果を用いた透過光学系を用いた光熱変換分光分析装置302([特許文献1]特開2005−164614号公報)の従来例を示す概略構成図である。図6(a)において、励起光源101から出射した励起光L1と検出光源102から出射した検出光L2を第一のフィルタ103で同一光軸上に合波し、合波した光は対物レンズ106を通過した後に試料セル107に入った試料109に入射する。励起光L1は試料109で一部が吸収される特徴がある。そのため、第一の集光レンズ106で試料109中に集光された励起光L1は、集光領域の試料109を局所的に温める。励起光L1はその後、第三のフィルタ110で吸収される。一方、励起光L1と同一光軸上を通過する検出光L2は、試料109中の励起光L1集光部に生じる熱レンズにより検出器111に照射される光線の広がり角度が拡大される。検出光L2の広がり角度の変化量は試料109の濃度に比例し、検出器111に入射光量が変化するので、検出器111の検出信号から試料濃度を測定することができる。
図6(b)は、反射光学系を用いた光熱変換分光分析装置303([特許文献2]特開平04−369467号公報)の従来例を示す概略構成図である。
試料を通過したレーザ光を反射板で反射させ、再び集光光学系に入射させて、その反射光を利用して分析を行うという反射光学系を用いた光熱変換分光分析装置303が提案されている。特許文献2では検出光L2を励起光としても用いるシングルビーム法が用いられており、検出光L2を第一の集光レンズ106で試料109と試料セル107の外に配置した反射板111に集光し、反射板111で反射された検出光L2をフィルタ121で第二の集光レンズ118と円筒レンズ122と受光素子123とから構成される検出器124に導いて熱レンズ信号を測定する。
特開2005−164614号公報 特開平04−369467号公報
上記特許文献1に示す光熱変換分光分析法では光学系全体が大型になる問題があった。
一方、特許文献2の反射光学系では光学系を試料109の片側に集約することで小型化ができる。また試料109を検出光L2が往復するため、透過光学系に比べ高感度になる。
なお、励起光L1や検出光L2は通過する試料109以外の部品においてもわずかに吸収され、光学特性を劣化し信号の雑音となる。特に第一の集光レンズ106で集光され、高い光密度の励起光L2や検出光L1が通過する試料セル107はその影響が大きい。試料109の高感度分析には、試料セル107を通過する光路長が短いことが重要となる。
しかしながら、試料セル107を通過した検出光L2は反射板111で反射され再び試料セル107を通過するため、透過光学系を用いた特許文献1に比べ信号の雑音が2倍になる課題があった。
本発明は上記従来技術の課題を踏まえなされたものであり、試料の高感度分析が可能である反射型の光熱変換分光分析装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明の光熱変換分光分析装置は、励起光源と、検出光源と、前記検出光源から出射した検出光と前記励起光源から出射した励起光とをお互いに同一光軸に合波する第一のフィルタと、前記励起光と前記検出光とを集光する第一の集光レンズと、試料を格納する試料セルと、前記試料を通過した検出光が照射する前記試料セルの内壁に設けられ前記検出光を反射する反射部材と、前記反射部材で反射された前記検出光を検出する検出器と、を備え、前記試料と前記反射部材は接触していることで達成される。
上記目的を達成するために本発明の光熱変換分光分析装置は、励起光源と、検出光源と、前記検出光源から出射した検出光と前記励起光源から出射した励起光とをお互いに同一光軸上に合波する第一のフィルタと、前記検出光を第一の検出光と第二の検出光に分岐する第二のフィルタと、分岐した一方の前記検出光を反射する反射板と、前記分岐した前記検出光の他方と前記励起光を集光する第一の集光レンズと、試料を格納する試料セルと、前記試料を通過した検出光が照射する前記試料セルの内壁に設けられ前記検出光を反射する反射部材と、前記反射板で反射された前記第一の検出光と前記反射部材で反射された前記第二の検出光が合波された検出光を検出する検出器と、を備え、前記試料と前記反射部材は接触していることで達成される。
上記目的を達成するために好ましくは、前記試料に照射される前記励起光の位置および径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整手段をさらに備えると良い。
上記目的を達成するために好ましくは、前記試料に照射される前記検出光の位置および径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整手段をさらに備えると良い。
本発明によれば、光熱変換分光分析装置を小型で高感度にすることが可能となる。
実施例1の光熱変換分光分析装置300を示す構成図 試料内に熱レンズが発生した時の検出光の光線を説明する図 反射部材の位置と検出器で検出される検出光の光量との関係を示す図 実施例2における光熱変換分光分析装置301を示す構成図 フィルタに入射する検出光L2aと検出光L2bの波面を示した模式図 熱レンズ効果を用いた光熱変換分光分析装置の従来例を示す概略構成図
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
図1は、本発明の本実施例の光熱変換分光分析装置300を示す構成図である。
励起光源101から出射した励起光L1は第一のフィルタ103を通過し、検出光源102から出射した検出光L2は第一のフィルタ103で反射し、同一光軸上に合波され、合波した光は第二のフィルタ104と第一の4分の1波長板105を通過する。
第一の4分の1波長板105を通過した励起光L1は第一の集光レンズ106で試料セル107内の試料109中で集光され、反射部材108で反射される。試料109内部では、励起光101の一部が吸収され発熱する光熱変換現象に基づきいわゆる熱レンズが形成される。反射部材108で反射された励起光L1は、再び第一の集光レンズ106と第一の4分の1波長板105を通過した後、今度は第二のフィルタ104で反射され、第三のフィルタ110で吸収される。図中、第一の集光レンズ106の光軸方向で、第一の集光レンズ106から試料109に進む方向をX軸方向、X軸に垂直で、励起光L1が第二のフィルタ104で反射されて進む方向をY軸方向とする。
図2は、試料109内に熱レンズが発生した時の検出光L2の光線を説明する図である。
図2では、一例として熱レンズが生じる前の検出光L2の集光位置が反射部材と一致している場合での検出光L2の光線の軌跡を記載している。なお、熱レンズが生じたことにより変化した光線の軌跡を図中破線で表記している。
図2に示すように、第二のフィルタ104と第一の4分の1波長板105を通過した検出光L2は第一の集光レンズ106集光され、試料109に照射される。
励起光L1により試料109内部に熱レンズが形成される場合、図中の破線の光線で示すように熱レンズを通過した検出光L2の集光角度が小さくなる。反射部材108で反射された検出光L2は再び第一の集光レンズ106を通過し弱発散光として第一の4分の1波長板105を通過し、第二のフィルタ104で反射される。第二のフィルタ104で反射された検出光L2は第三のフィルタ110を通過し第二の集光レンズ118で集光される。ピンホール115は熱レンズが生じない時の検出光L2の集光点に配置されている。そのため、弱発散光として第二の集光レンズ118を通過した検出光L2はピンホール115の位置で光束が十分に集光されておらず、光束の一部がピンホール115で欠損され、受光素子116上に照射される。つまり、ピンホール115を通過し、受光素子116で検出される検出光L2の光量は、励起光L1が試料109に吸収される光量に比例した変化を生じる。
検出器111で受光された検出光L2の電流信号は電流‐電圧変換回路201で電圧信号に変換され、ロックインアンプ203に入力され、励起光源101から出力される励起光L1の光量を制御する駆動回路202からのリファレンス信号と併せて計測される。ロックインアンプ203からの出力される計測結果を示す信号は、コンピュータ205に入力され、試料109の分析がなされる。
なお、励起光源101がガスレーザなどの高速に変調できない光源の場合は、励起光源101から出力された励起光L1をチョッパ等の光強度を高速に変調可能な装置を励起光源101と第一のフィルタ103との間に配置しても良い。この時、ロックインアンプ203には駆動回路202からのリファレンス信号の代わりにチョッパ制御装置からのリファレンス信号を用いる。
なお、本実施例1では試料セル107の内壁に設けられた反射部材108は試料109に接触しており、第一の集光レンズ106で集光された励起光L1が通過する部品は試料セル107の第一の集光レンズ106に近い側の一面を往復するのみである。そのため、励起光L1が試料セル107の二面を往復通過する従来の反射光学系の方式に比べ、試料109の高感度分析が可能である特徴を持ちながらも、試料セル107が励起光L1を吸収することによる光学特性劣化を抑制できる。
反射光学系を用いた光熱変換分光分析装置300において、検出光L2の集光位置と反射部材108位置が光軸(X軸)方向に変化すると、検出器111で検出される信号は劣化する。そこで、例えば着脱式の試料セル109を用いる場合、試料セル109を交換した際には試料セル109と検出光L2の焦点位置を再調整する必要がある。
本実施例の光熱変換分光分析装置300において試料セル109の光軸方向位置調整方法を説明する。
図3は、反射部材108の位置と検出器111で検出される検出光L2の光量との関係を示す図である。
第二の集光レンズ118により検出光L2が集光される位置にピンホール115がある時、試料セル109の反射部材108の位置が検出光L2の集光位置X0から光軸(X軸)方向に正負何れの方向にずれた場合、反射部材108で反射し、第一の集光レンズ106を再び通過した検出光L2の集光・発散角度が変わり、ピンホール115上に照射される検出光L2の光束は広がる。その結果、受光素子116で検出される検出光L2の光量は減少する。すなわち、試料セル109を交換した際には、検出器111で検出される検出光L2の光量が最大となる光軸(X軸)方向位置に試料セル107と反射部材108をステージ117で移動することで、信号劣化を抑制できる。
また、検出器111は、ピンホール115と受光素子116だけで構成する一般的な検出器に限らず、非点収差法やナイフエッジ法などを用いた検出器でも良い。
次に、本発明の実施例2について説明する。
図4は実施例2における光熱変換分光分析装置301を示す構成図である。基本的な構成は実施例1と同じである。しかし、検出光源102から出射した検出光L2が試料109に照射される途中に第二のフィルタ104で二分岐され、その後再び同一光軸上に合波される構成が実施例1と異なる。以下に、実施例2の光熱変換分光分析装置301を用いた試料の分析方法において実施例1と異なる点を説明する。
検出光源102から出射した検出光L2は第一のフィルタ103で反射し、その後第二のフィルタ104で検出光L2aと検出光L2bとに二分岐される。
第二のフィルタ104で反射した検出光L2aは、反射板113で反射され再び第二のフィルタ104に戻る間に第二の4分の1波長板112を往復通過することでその偏波面が90度回転するため、今度は第二のフィルタ104を通過する。
第二のフィルタ104を通過する検出光L2bは実施例1と同様に反射部材108で反射され、その後第二のフィルタ104で反射され検出器111に向かう。反射板113で反射された検出光L2aと、反射部材108で反射された検出光L2bは第二のフィルタ104で同一光軸上に合波される。
なお、実施例2では反射板113で反射した検出光L2aと、反射部材108で反射した検出光L2bを第二のフィルタ104で合波し、干渉させる。第二のフィルタ104の位置で検出光L2aと検出光L2bを良好に干渉させるためには、熱レンズが生じていない状態において、検出光L2bの波面を検出光L2aと同じ波面とすることが望ましい。具体的には、第一の集光レンズ106で集光される検出光L2bの集光位置と反射部材108の位置をX軸方向において一致させることで、第二のフィルタ104の位置で検出光L2bの波面は検出光L2aと同じ平面波にできる。
図5は、偏光フィルタ119を通過した検出光L2aと検出光L2bのY軸断面の波面を示している。
偏光フィルタ119を通過した検出光L2aと検出光L2bの偏波面は同一で干渉性を有する。試料109内で熱レンズが発生していない初期の状態において、反射板113をステージ120で光軸(Y軸)方向に移動し、偏光フィルタ119を通過した検出光L2aと検出光L2bの波面が同一となるように調整されている。試料109内で熱レンズが発生していない場合、検出光L2aと検出光L2bは何れも平行光であるため、偏光フィルタを通過した検出光L2aと検出光L2bの波面は一定となり干渉度が高く干渉した光強度が強い。
しかし、図2で示したように、試料セル107内の反射部材108に焦点が結ばれる検出光L2bは、光路中の試料109内に凹レンズとして作用する熱レンズが生じると、焦点位置が−X方向に移動する。その結果、反射部材108で反射し、第一の集光レンズ106を通過した検出光L2b(図2において破線で表記)は発散光として第一の4分の1波長板105に戻り、その波面は光軸中心からの距離によって位相が異なる。そのため、偏光フィルタを通過した検出光L2aと検出光L2bの干渉した光強度は光軸中心からの距離によって異なり、全光束の光量が低下する。偏光フィルタ119を通過した検出光L2aと検出光L2bはその後実施例1同様、検出器111で検出される。
本実施例では実施例1と同様に検出器111で検出光L2の集光・発散角度変化に伴う受光量変化を検出しているが、本実施例ではさらに位相変化による光量変化が重畳されている。そのため、試料109内に熱レンズが発生した時に検出器111で検出される光量変化が増大する特徴を有する。
101 励起光源
102 検出光源
103 第一のフィルタ
104 第二のフィルタ
105 第一の4分の1波長板
106 第一の集光レンズ
107 試料セル
108 反射部材
109 試料
110 第三のフィルタ
111 検出器
112 第二の4分の1波長板
113 反射板
115 ピンホール
116 受光素子
117 ステージ
118 第二の集光レンズ
119 偏光フィルタ
120 ステージ
121 フィルタ
122 円筒レンズ
123 受光素子
124 検出器
201 電流‐電圧変換回路
202 励起光源の駆動回路
203 ロックインアンプ
204 検出光源の駆動回路
205 コンピュータ
L1 励起光
L2 検出光
300−303 光熱変換分光分析装置

Claims (6)

  1. 励起光源と、検出光源と、前記検出光源から出射した検出光と前記励起光源から出射した励起光とをお互いに同一光軸に合波する第一のフィルタと、前記励起光と前記検出光とを集光する第一の集光レンズと、試料を格納する試料セルと、前記試料を通過した検出光が照射する前記試料セルの内壁に設けられ前記検出光を反射する反射部材と、前記反射部材で反射された前記検出光を検出する検出器と、を備え、前記試料と前記反射部材は接触していることを特徴とする光熱変換分光分析装置。
  2. 励起光源と、検出光源と、前記検出光源から出射した検出光と前記励起光源から出射した励起光とをお互いに同一光軸上に合波する第一のフィルタと、前記検出光を第一の検出光と第二の検出光に分岐する第二のフィルタと、分岐した一方の前記検出光を反射する反射板と、前記分岐した前記検出光の他方と前記励起光を集光する第一の集光レンズと、試料を格納する試料セルと、前記試料を通過した検出光が照射する前記試料セルの内壁に設けられ前記検出光を反射する反射部材と、前記反射板で反射された前記第一の検出光と前記反射部材で反射された前記第二の検出光が合波された検出光を検出する検出器と、を備え、前記試料と前記反射部材は接触していることを特徴とする光熱変換分光分析装置。
  3. 請求項1において、前記試料に照射される前記励起光の位置および径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整手段をさらに備える、ことを特徴とする光熱変換分光分析装置。
  4. 請求項1において、前記試料に照射される前記検出光の位置および径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整手段をさらに備える、ことを特徴とする光熱変換分光分析装置。
  5. 請求項2において、前記試料に照射される前記励起光の位置および径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整手段をさらに備える、ことを特徴とする光熱変換分光分析装置。
  6. 請求項2において、前記試料に照射される前記検出光の位置および径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整手段をさらに備える、ことを特徴とする光熱変換分光分析装置。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11199449B1 (en) * 2017-09-26 2021-12-14 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Automated noncontact method to discriminate whether cooling or heating is occurring
US11079314B1 (en) * 2017-09-26 2021-08-03 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Photothermal deflection spectroscopy method for heating-cooling discrimination

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4938593A (en) * 1987-01-30 1990-07-03 The Regents Of The University Of Michigan Photothermal densitometer for reading electrophoresis gels
JPH04369467A (ja) 1991-04-12 1992-12-22 Yokogawa Electric Corp 光熱レンズ分析装置
JP2001066510A (ja) * 1999-08-25 2001-03-16 Kanagawa Acad Of Sci & Technol デスクトップ熱レンズ顕微鏡装置
JP3949600B2 (ja) 2003-03-28 2007-07-25 株式会社神戸製鋼所 光熱変換測定装置及びその方法
JP3934090B2 (ja) * 2003-07-09 2007-06-20 日本板硝子株式会社 蛍光分析用光合分波器、蛍光分析用光学モジュール、蛍光分析装置、及び蛍光・光熱変換分光分析装置
US20100060981A1 (en) * 2005-02-10 2010-03-11 Kanagawa Academy Of Science And Technology Circular Dichroic Thermal Lens Microscope
EP1691189A3 (en) * 2005-02-14 2010-12-01 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) Photothermal conversion measurement apparatus, photothermal conversion measurement method, and sample cell
JP4185061B2 (ja) 2005-02-28 2008-11-19 財団法人神奈川科学技術アカデミー デスクトップ熱レンズ顕微鏡装置
WO2007119399A1 (ja) * 2006-03-22 2007-10-25 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho 分析装置
JP4878223B2 (ja) * 2006-06-16 2012-02-15 国立大学法人東京農工大学 核酸と蛋白質の相互作用の検出方法及び装置
JP2008128942A (ja) * 2006-11-24 2008-06-05 Kobe Steel Ltd 光熱変換測定装置
JP4947520B2 (ja) * 2007-07-04 2012-06-06 国立大学法人東京農工大学 生体小分子の検出方法及び装置
JP5675419B2 (ja) * 2011-02-18 2015-02-25 キヤノン株式会社 画像生成装置、及び、画像生成方法
US9360416B2 (en) * 2011-07-13 2016-06-07 Universität Leipzig Twin-focus photothermal correlation spectroscopy method and device for the characterization of dynamical processes in liquids and biomaterials with the help of absorbing markers
US20140118731A1 (en) * 2012-10-30 2014-05-01 Mustard Tree Instruments, Llc Adaptive Front Lens for Raman Spectroscopy Free Space Optics

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