JP2008128942A - 光熱変換測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】それぞれ波長帯が異なる励起光B3a,B3bを出力する複数の励起光源1a,1bそれぞれに対する供給電流を制御することにより,その出力光のいずれを試料5に照射させるかを所定周期で順次切り替える電流制御回路3と,試料5を透過した測定光B1に参照光B2を干渉させその干渉光の強度を検出する光検出器20と,光検出器20から取得した干渉光強度の信号(測定光B1の検出信号)から,電流制御回路3による複数の励起光源1a,1bそれぞれの出力光の切替周期と同周期成分を抽出し,その抽出信号に基づいて励起光B3a,B3bそれぞれに対応する信号値の差を求める前記信号処理装置21とを備える。
【選択図】図1
Description
従来,この光熱変換測定による試料の高感度分析法として,光熱効果により試料に形成される熱レンズ効果を用いた手法(以下,熱レンズ法という)が知られている。
熱レンズ法による分析装置(光熱変換分光分析装置)は,例えば,特許文献1に示されている。この熱レンズ法による分析装置では,試料に照射した検出光(測定光)を集光するとともにピンホールに通過させ,そのピンホールを通過後の検出光の光強度を検出することにより,励起光が照射された試料の発熱による屈折率変化を検出光の集光状態の変化として検出するものである。
これにより,例えば装置ごとに光検出器(光電変換手段)の位置や測定光の強度及びその強度分布等が異なっても,測定中に変化さえしなければ,これらに依存することなく安定的に,しかも光学的に高精度かつ高感度で試料の屈折率変化を測定することが可能となる。
さらに,特許文献1及び特許文献2には,周期的に強度変調した励起光を用い,測定光(検出光)を励起光の強度変調周期と同周期成分について測定することにより,S/N比向上を図ることが示されている。
また,特許文献1及び特許文献2のいずれにおいても,励起光の光路中に,試料を収容するセルやそのセルに試料とともに収容される溶媒等,励起光によって加熱されて屈折率変化が生じる物質(以下,外乱物質という)が存在する場合,これが外乱となってS/N比を悪化させるという問題点があった。
従って,本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり,その目的とするところは,試料中における光熱効果による特性変化を,簡易な構成により高感度かつ高精度(低ノイズ)で測定できる光熱変換測定装置を提供することにある。
(1)それぞれ波長帯が異なる前記励起光を出力する複数の励起用光源。
(2)前記複数の励起用光源の出力光それぞれのいずれを前記試料に照射させるかを所定周期で順次切り替える照射光切替手段。
(3)前記試料における前記励起光の照射部を透過した前記測定光を検出する測定光検出手段。
(4)前記測定光検出手段の検出信号から前記照射光切替手段による前記複数の励起用光源の出力光それぞれの切替周期と同周期成分を抽出する同周期成分抽出手段。
(5)前記同周期成分抽出手段により抽出された前記複数の励起用光源の出力光それぞれに対応する信号値の差を求める処理を実行する信号差導出手段。
ここで,前記照射光切替手段により,前記試料に照射される前記励起光の波長帯(分光強度分布)が周期的に切り替わることになる。
また,前記信号差導出手段により求められる信号値の差(前記同周期成分抽出手段により得られる信号値の変化量)は,前記試料の光熱効果により生じる特性変化を表す信号となる。
なお,前記照射光切替手段は,それぞれ波長帯が異なる前記励起光を所定周期で順次切り替えて前記試料に照射させる手段の一例である。
例えば,前記試料が,所定の測定対象物質が溶媒に溶かされた液体試料である場合,当該光熱変換測定装置によりその溶媒のみを前記試料として測定したときに,前記同周期成分抽出手段により抽出される前記複数の光源の出力光それぞれに対応する信号値相互の差が予め定められた許容範囲内となるように,前記複数の光源の出力光それぞれの強度が予め設定されているものとする。或いは,前記信号値相互の差が予め定められた許容範囲内となるように,前記複数の光源の出力光の一部又は全部について,その出力光を減衰させる光フィルタが設けられた構成も考えられる。
或いは,本発明に係る光熱変換測定装置が,さらに次の(6)に示す構成要素を備えることも考えられる。
(6)前記同周期成分抽出手段により抽出される前記複数の光源の出力光それぞれに対応する信号値相互の差が予め定められた許容範囲内となるように,前記複数の光源の出力光それぞれの強度を自動設定する光源出力光強度自動設定手段。
そうすると,試料に照射される前記励起光の波長帯の変化(励起光の切り替え)に応じて,前記同周期成分抽出手段により得られる信号が変化するが,この信号の変化は,概ね,前記励起光の波長帯(分光強度分布)の違いによって生じる前記測定対象物質の光熱効果の変化のみに起因するものとなる。このため,前記外乱物質の温度変化に起因する励起光測定信号のダイナミックレンジ(測定範囲)の飽和をほとんど考慮せずに,信号処理系の測定感度(検出感度)を上げること(増幅ゲインを上げる等)ができる。その結果,前記測定光の検出の際に,前記外乱物質の温度変化(屈折率変化)によるS/N比の悪化を招くことを防止できる。
例えば,前記照射光切替手段が,前記複数の光源それぞれに対する電力の供給及びその停止を所定周期で切り替えることにより前記複数の光源の出力光それぞれのいずれを前記試料に照射させるかを切り替えることが考えられる。或いは,前記照射光切替手段が,前記複数の光源の出力光それぞれをその光路において遮断するか否かを所定周期で切り替えること等も考えられる。
また,前記測定光検出手段としては,特許文献2に示されるように,前記試料を透過した前記測定光に所定の参照光を干渉させその干渉光の強度を検出する光干渉手段を具備するものであればなお好適である。
このように,試料の光熱効果による屈折率変化を,前記測定光の位相変化として捉えて光干渉法(相対的な光学手法)により検出することにより,例えば装置ごとに光検出器(光電変換手段)の位置や測定光の強度及びその強度分布等が異なっても,測定中に変化さえしなければ,これらに依存することなく再現性高く(安定的に),しかも光学的に高精度かつ高感度で試料を分析することが可能となる。
また,前記測定光検出手段が,前記試料の前記測定光の照射面の反対面側に設けられた裏面側光反射手段と,前記試料の前記励起光の照射面側に設けられた表面側光反射手段とを備え,前記測定光が前記裏面側光反射手段と前記表面側光反射手段との間で多重反射して前記試料を透過した後の前記測定光を検出するものであれば好適である。
これにより,前記試料のわずかな屈折率変化でも,測定信号の状態が大きく変化することになり,前記試料の光熱効果により生じる特性変化(屈折率変化)を,高精度かつ高感度で測定することが可能となる。しかも,そのような高感度の測定をごく簡易な構成により実現できる。
また,前記複数の励起用光源の出力光と前記測定光とがビーム光であり,前記試料中における前記複数の励起用光源の出力光の光軸と前記測定光の光軸とが同軸もしくはほぼ同軸に設定されていることが望ましい。
これにより,前記試料中における前記測定光の光路をより効率的に励起できる。
また,前記測定光の検出を,前記試料を透過した前記測定光に所定の参照光を干渉させその干渉光の強度を検出する光干渉法に基づき行えば,相対的な光学手法により測定光が検出されるので,安定的に,高精度かつ高感度で試料を分析することが可能となる。
また,前記測定光を試料の両側で多重反射させ,前記試料を複数回透過した後の前記測定光を検出することにより,試料のわずかな屈折率変化でも前記測定光の状態が大きく変化することになる。その結果,前記試料の光熱効果により生じる特性変化(屈折率変化)を,高精度かつ高感度で測定することが可能となる。しかも,そのような高感度の測定をごく簡易な構成により実現できる。
ここに,図1は本発明の第1実施形態に係る光熱変換測定装置X1の概略構成図,図2は光熱変換測定装置X1が備える2つの励起光源の出力光の分光強度分布を模式的に表した図,図3は光熱変換測定装置X1の測定対象物質及びその溶媒の吸光度特性を模式的に表した図,図4は本発明の第2実施形態に係る光熱変換測定装置X2の構成の一部を表す概略図である。
<第1実施形態>
まず,図1に示す概略構成図を用いて,本発明の第1実施形態に係る光熱変換測定装置X1について説明する。
光熱変換測定装置X1は,2つの励起光源1a,1bと,偏光ビームスプリッタ2(以下,PBS2と記載する)と,電流制御回路3と,ミラー22とを有する励起光出力装置Zを備えている。以下,2つの前記励起光源1a,1bの一方を第1励起光源1a,他方を第2励起光源1bという。
前記第1励起光源1a及び前記第2励起光源1bは,測定対象である試料5を励起するためのビーム光(即ち,励起光)を出力する単波長のレーザ光源であり,それぞれ波長帯が異なる2種類のビーム光を出力する(前記複数の励起用光源の一例)。これら2つのビーム光は,その偏波面の方向が90°異なっている。以下,前記第1励起光源1aの出力光を第1励起光B3a,前記第2励起光源1bの出力光を第2励起光B3bと称する。
前記第1励起光源1aにより出力された前記第1励起光B3aは,前記PBS2を通過した後に試料5へ照射される。また,前記第2励起光源1bにより出力された前記第2励起光B3bは,ミラー22で反射(変向)され,さらに前記PBS2で反射(変向)された後に試料5へ照射される。図1に示す例では,前記第1励起光B3a及び前記第2励起光B3bそれぞれの光路は,前記PBS2から試料5に至るまでの区間においては同じ(同軸)である。
そして,前記励起光出力装置Zは,それぞれ波長帯が異なる2種類の励起光B3a,B3b(2つの前記励起光源1a,1bそれぞれの出力光)を予め定められた周期で順次切り替えて試料5に照射する装置である。
具体的には,前記電流制御回路3(前記照射光切替手段の一例)が,2つの前記励起光源1a,1bそれぞれに対する電力(電流)の供給及びその停止を予め定められた周期で切り替える。その際,前記電流制御回路3は,前記第1励起光源1aに対する電流供給のON/OFFと,前記第2励起光源1bに対する電流供給のON/OFFとを相互に逆位相(半周期分シフトして)で切り替える。これにより,2つの前記励起光源1a,1bの出力光(第1励起光B3a,第2励起光B3b)のうちのいずれが試料5に照射されるかが切り替わる。即ち,励起光出力装置Zの作用により,試料5に照射される励起光は,その波長帯(分光強度分布)が周期的に切り替わることになる。例えば,前記電流制御回路3は,100Hz〜10kHz程度の周期で2つの前記励起光源1a,1bに対する電流供給及びその停止を切り替える。
なお,前記電流制御回路3は,後述する信号処理装置21からの設定値に従って,2つの前記励起光源1a,1bそれぞれに供給する電力(電流)のレベルを任意に調節可能である。この電力(電流)の調節により,前記第1励起光B3a及び前記第2励起光B3bそれぞれの強度を調節できる。
前記測定光源7は,試料5の屈折率変化を測定するための測定光と,これに干渉させる参照光との両方の光源として兼用されるレーザ光源である。
この測定光源7(例えば,出力1mWのHe−Neレーザ))から出力されたレーザ光は,1/2波長板8で偏波面が調節され,さらに偏光ビームスプリッタ9(以下,PBSという)によって互いに直交する2偏波(B1,B2)に分光される。以降,その一方B1が測定光として,他方B2が参照光として機能する。
各偏波B1,B2は,音響光学変調機(AOM)10,11によって光周波数がシフト(周波数変換)され,ミラー12,13で反射されてPBS14に導かれる。これら直交する2偏波B1,B2の周波数差fbは,例えば,30MHz等とする。
これに対し,測定光となる他方の前記偏波B1は,PBS14を透過し,1/4波長板17,ミラー18及び前記レンズ4を通過して,試料5における前記励起光B3a,B3bの照射部(即ち,励起部)に,その励起光B3a,B3bとほぼ同方向から照射されるよう構成されている。その結果,試料5中における両励起光B3a,B3bの光軸と測定光B1の光軸とがほぼ同軸となる。
なお,励起光B3a,B3b及び測定光B1を各々異なる方向から試料5に照射する場合,試料5中において,励起光B3a,B3bと測定光B1とが極力小さな角度で交差するようにすれば好適である。そうすれば,試料5中における測定光B1の光路をより効率的に励起できるからである。
さらに,試料5に入射した測定光B1は,試料5を通過し,試料5の裏面側(測定光B1の照射面の反対面側)に設けられたミラー6で反射し,再び試料5を通過(即ち,往復通過)して,前記レンズ4,前記ミラー18,前記1/4波長板17を通過して前記PBS14へ戻る。
ここで,測定光B1は,前記1/4波長板17を往復通過することによってその偏波面が90°回転しているため,今度はPBS14に反射して前記偏波B2(参照光)とともに前記偏光板19に向かう。
前記偏光板19では,測定光B1と,これと光周波数が異なる参照光B2とが干渉し,その干渉光B1+B2の光強度が光検出器20(光電変換手段)によって電気信号(以下,この電気信号の信号値を干渉光強度という)に変換される。この電気信号(即ち,干渉光強度)は,信号処理装置21に入力及び記憶され,この信号処理装置21において測定光B1の位相変化の演算処理(光干渉法による位相変化の測定)がなされる。
このように,光熱変換測定装置X1は,試料5に照射されこれを透過した測定光B1と,参照光B2とを前記偏光板19の方向へ光学系機器により導き,前記偏光板19により測定光B1と参照光B2の干渉光を形成させ,その干渉光強度を前記光検出器20で検出することによって光干渉法により測定光B1を検出する各機器を備える(測定光検出手段及び光干渉手段の一例)。
ここで,試料5は,石英ガラス等の透明容器であるセル15に収容されており,場合によっては,セル15内に所定の溶媒に測定対象物質が溶解された液体試料として収容されている。従って,測定光B1及び励起光B3a,B3bは,測定対象物質に照射されるとともに,それ以外の測定の外乱要因となる物質(セル15や場合によっては溶媒)も通過(透過)することになる。
そして,前記信号処理装置21は,光検出器20から取得した干渉光強度の信号(測定光B1の検出信号の一例)から,前記電流制御回路3による2つの前記励起光源1a,1bの出力光B3a,B3bそれぞれの切替周期と同じ周期成分を抽出する(前記同周期成分抽出手段の一例)。さらに,前記信号処理装置21は,その抽出処理により得られる信号値,即ち,励起光B3a,B3bそれぞれに対応する信号値の差を求める処理を実行し(前記信号差導出手段の一例),その信号値の差に基づいて,試料5の光熱効果により生じる特性変化(屈折率変化)を測定する。この信号処理装置21における信号の抽出処理を,以下,同周期成分抽出処理という。この同周期成分抽出処理は,いわゆるロックインアンプによって実現されるロックイン検出処理である。
ここで,信号処理装置21で取得される干渉光強度S1は,次の(1)式で表される。
S1=C1+C2・cos(2π・fb・t+φ) …(1)
C1,C2はPBS等の光学系や試料5の透過率により定まる定数,φは測定光B1と参照光B2との光路長差による位相差,fbは測定光B1と参照光B2との間の周波数差である。(1)式より,前記干渉光強度S1の変化(前記励起光を照射しない或いはその光強度が小さいときとその光強度が大きいときとの差)から,前記位相差φの変化が求まることがわかる。信号処理装置21は,(1)式に基づいて前記位相差φの変化を算出する。
ところで,前記第1励起光B3a及び前記第2励起光B3b各々を照射時の干渉光の振幅(強度変化)を各々Ka,Kbとすると,測定光B1と参照光B2との光路長差による位相差φは,励起光B3aによる状態変化と,励起光B3bによる状態変化との重ね合わせを表す次の(2)式で表される。
φ=Ka・sin(ωt)−Kb・sin(ωt) …(2)
この(2)式より,2つの前記励起光B3a,B3bそれぞれに対応する信号値の差(=|Ka−Kb|)が,前記位相差φの大きさを表すことがわかる。
この場合,光熱変換測定装置X1により測定対象物質を含まない前記溶媒のみを試料として測定したときに,信号処理装置21の前記同周期成分抽出処理により抽出される両信号(2つの前記励起光源1a,1bの出力光B3a,B3bそれぞれに対応する信号)の振幅Ka,Kb(信号値)がほぼ同一(Ka≒Kb)となるように,2つの前記励起光源1a,1bの出力光である2つの励起光B3a,B3bの強度を予め設定しておく。即ち,前記第1の励起光B3aを照射したときの溶媒の吸熱量と,前記第2の励起光B3bを照射したときの溶媒の吸熱量とが,ほぼ等しくなるように前記第1の励起光B3a及び前記第2の励起光B3bの強度を予め設定しておく。なお,2つの励起光B3a,B3bの強度は,前記電流制御回路3による2つの前記励起光源1a,1bそれぞれに対する供給電流のレベルによって調節される。また,2つの励起光B3a,B3bの振幅Ka,Kb(信号値)がほぼ同一とは,両振幅Ka,Kb(信号値)の差が予め定められたごく小幅の許容範囲内であることを意味する。この許容範囲は,求められる測定精度に応じて定められる。
これにより,φ≒0とすることができる。そうすると,測定対象物質が溶かされた液体試料5が存在する状態においては,Ka>Kb若しくはKa<Kbとなるため,液体試料5の励起状態の変化に起因する位相差信号が検出されることになる。
同様に,試料5が固体試料である場合,光熱変換測定装置X1により,その固体試料が存在しない状態で測定したときに,信号処理装置21の前記同周期成分抽出処理により抽出される両信号(2つの励起光B3a,B3b各々に対応する信号)の振幅Ka,Kbがほぼ同一(Ka≒Kb)となるように,2つの前記励起光源1a,1bの出力光である2つの励起光B3a,B3bの強度を予め設定しておけばよい。
このように,それぞれ波長帯が異なる2種類の励起光B3a,B3bを周期的に切り替えて試料5に照射し,測定信号について,励起光の切り替え周囲と同周期成分を抽出し,その抽出により得られる信号値の差(=|Ka−Kb|)を試料5の評価指標とすることにより,測定対象物質以外の外乱物質(セル15や溶媒等)の発熱の影響を除去でき,S/N比が向上する。さらに,励起光の切り替え周波数の成分を有しないノイズの影響が除去されるため,さらにS/N比が向上する。
このように,試料5の光熱効果による屈折率変化を,試料5を通過(透過)させた測定光B1における励起光の照射による位相変化を光干渉法を用いて測定することによって,即ち,測定光B1と参照光B2との位相の相対評価(位相差)によって測定できる。その結果,例えば装置ごとに光検出器20の位置や測定光の強度及びその強度分布等が異なっても,測定中に変化さえしなければ,これらに依存することなく安定的に,しかも光学的に高精度で試料の屈折率変化を測定することが可能となる。
また,光熱変換測定装置X1では,裏面側の前記ミラー6(前記裏面側光反射手段の一例)に測定光B1を反射させることにより,試料5に往復通過させた後の測定光B1に参照光B2を干渉させて光干渉測定を行うため,片道通過の場合の2倍の感度で前記位相差φの変化を測定できる。しかも,励起光の出力増大やS/N比の低下を伴わない。
図2に示すように,2つの前記励起光B3a,B3bは,それぞれの波長帯が異なる。以下,前記第1励起光B3aの中心波長(主な波長)をλ1,前記第2励起光B3bの中心波長(主な波長)をλ2とする。
また,図3に示すように,物質の吸光度特性は,その物質の成分や濃度が同じであり,その物質中での励起光の光路長(物質の厚み)が同じであっても,照射される励起光の波長によって異なる。また,その物質の種類によって励起光の波長に対する吸光度の変化特性が異なる。
例えば,試料5が純水(溶媒)に本来の測定対象物質が溶かされた溶液である場合,図3に示すように,純水と測定対象物質とでは,励起光の波長に対する吸光度の変化特性が異なる。
図3に示すように,励起光の波長が例えば780nm〜800nmの範囲及びその前後の範囲においては,励起光の波長が長くなるほど,純水(溶媒)の吸光度はごく緩やかな傾きで上昇する。一方,図3に示す例では,励起光の波長が例えば780nm〜800nmの範囲及びその前後の範囲においては,励起光の波長が長くなるほど,測定対象物質の吸光度は比較的急な傾きで下降している。即ち,試料5に含まれる溶媒と測定対象物質とが,励起光の波長変化に対する吸光度の変化の特性について逆の特性(変化方向が逆)を有している。このような特性を有する測定対象物質は,例えば,鉄錯体やカルシウム錯体,亜鉛錯体,銅錯体等が考えられる。
なお,図3において,測定対象物質及び溶媒(純水)における,励起光の波長が780nmであるときの吸光度に対する励起光の波長が800nmであるときの吸光度の差をそれぞれΔA1,ΔA2と表記している。
図3に示す特性を有する溶媒(純水)のみについて,前記光熱変換測定装置X1による測定を行った場合,前記第1励起光B3aに対応する前記干渉光の振幅Ka(光検出器20の検出信号値)と,前記第2励起光B3bに対応する前記干渉光の振幅Kbとをほぼ同一にするためには,吸光度の差ΔA2に応じて,前記第2励起光B3b(中心波長λ2)の強度を,前記第1励起光B3a(中心波長λ1)の強度よりもわずかに弱く設定すればよい。そうすると,仮に前記測定対象物質のみについて,前記光熱変換測定装置X1による測定を行ったと仮定した場合,前記第1励起光B3aに対応する前記干渉光の振幅Ka(光検出器20の検出信号値)と,前記第2励起光B3bに対応する前記干渉光の振幅Kbとの差は,前記測定対象物質の吸光度の差ΔA1に相当する分よりもさらに大きくなる。
このように,試料5に含まれる溶媒と測定対象物質とが,励起光の波長変化に対する吸光度の変化の特性について逆の特性を有している場合,光熱変換測定装置X1により得られる測定値のレベルが高くなり,さらに,前記測定対象物質の特性(成分や濃度)に応じた測定値の差が大きくなるため,よりノイズに強く,より高い感度での測定を行うことができる。
なお,以上の説明では,説明の簡単化するためにセル15(試料の容器)の存在を無視しているが,セル15の影響を考慮する場合,以上の説明における「溶媒」を「溶媒と試料の容器とを併せたもの」と置き換えればよい。
例えば,2つの前記励起光源1a,1bそれぞれの出力光B3a,B3bの光路に配置された液晶式のシャッターや回転体等により,その出力光B3a,B3bをその光路において遮断するか否かを所定周期で切り替えること等も考えられる。
また,前記実施形態では,励起光源の数が2つの場合を示したが,前記光熱変換測定装置X1が3つ以上の励起光源を備える場合であっても同様の作用及び効果が得られる。
また,前記信号処理装置21が,前記同周期成分抽出処理によって抽出した信号値である振幅Ka,Kb(2つの前記励起光源1a,1bの出力光B3a,B3bそれぞれに対応する信号値)相互の差|Ka−Kb|が予め定められた許容範囲内となるように,2つの前記励起光源1a,1bそれぞれの出力光の強度を自動設定する光源出力自動設定機能を有することが考えられる(前記光源出力光強度自動設定手段の一例)。具体的には,前記信号処理装置21は,前記同周期成分抽出処理によって抽出した振幅Ka,Kbの差|Ka−Kb|に応じて,前記電流制御回路3から前記励起光源1a,1bそれぞれに供給される電流のレベルを調節する(フィードバック制御を行う)ことにより,2つの前記励起光源1a,1bそれぞれの出力光の強度を自動設定する。
なお,前記信号処理装置21が前記光源出力自動設定機能を実行する場合,本来の測定対象である試料5から前記測定対象物を除いた校正用の試料(溶媒のみ)を校正用の測定の対象する。
これにより,前記励起光源1a,1bの出力光の強度を調節する手間が省ける。
図4に示すように,光熱変換測定装置X2は,試料5の表面側(前記測定光の照射面側)とその裏面側とのそれぞれに配置された高反射ミラー6a,6b(前記表面側光反射手段と前記裏面側光反射手段の一例)を備えている。これにより,測定光B1は,試料5を複数回にわたって往復通過しながら,それら高反射ミラー6a,6bの間で多重反射する。なお,励起光B3a,B3bは,一方の高反射ミラー6aの一部に設けられた開口6ahを通じて試料5に照射される。
さらに,光熱変換測定装置X2は,一方の高反射ミラー(図4では,測定光B1入射側の高反射ミラー6a)の位置(変位量)の調節を行うミラー変位機構50と,そのミラー変位機構5の動作を制御する変位制御装置51とを備えている。図4に示すように,ミラー変位機構50は,高反射ミラー6aの支持位置を測定光B1の光軸方向に変位させる。
そして,変位制御装置51により,多重反射した測定光の位相を同期させるように2つの高反射ミラー6a,6bの間隔を微調整する。
これにより,測定光B1は,高反射ミラー6a,6b相互間で多重反射しながら,その一部が試料5の表面側の高反射ミラー6aを透過して前記光検出器20の方向へ向かう。従って,前記光検出器20には,参照光B2と試料5を多重通過した光が重畳された測定光B1との干渉光が入力されるため,より高感度での位相差の測定(即ち,屈折率変化の測定)が可能となる。
一方,本発明において,それぞれ波長帯が異なる前記励起光B3a,B3bを所定周期で順次切り替えて試料5に照射させる手段は,他の構成によって実現されることも考えられる。
例えば,2つの前記励起光源1a,1b及び前記電流制御回路3の代わりに,次の(a)〜(c)に示す各構成要素を備えた光熱変換測定装置が考えられる。
(a)所定の光を出力する1つの光源。例えば,白色光を出力するハロゲンランプ等。
(b)フィルタ特性が異なる(通過させる光の波長帯が異なる)複数種類の光フィルタ。
(c)前記1つの光源から出力される光が,その光源から前記試料5に到達するまでの光路に,前記複数種類の光フィルタを所定周期で順次切り替えて位置させる光フィルタの切り替え機構。
以上に示した構成要素を備えた光熱変換測定装置では,前記複数種類の光フィルタそれぞれを通過した光が,それぞれ波長帯が異なる励起光(前記励起光B3a,B3bに相当)となる。従って,前記(a)〜(c)の構成要素を備えた光熱変換測定装置も,それぞれ波長帯が異なる前記励起光B3a,B3bを所定周期で順次切り替えて試料5に照射させることができ,その結果,前記光熱変換測定装置X1と同様の作用及び効果を奏する。但し,このような光熱変換測定装置は,励起光用の光源が1つで済むメリットを有する一方,前記光熱変換測定装置X1に比べ,前記光フィルタが存在するために励起光のエネルギーロスが大きい。
Z:励起光出力装置
1a:第1励起光源
1b:第2励起光源
2,9,14:偏光ビームスプリッタ
3:電流制御回路
4…レンズ
5…試料
6,22…ミラー
6a,6b…高反射ミラー
7…測定光源
8…1/2波長板
10,11…音響光学変調機
15…セル
17…1/4波長板
19…偏光板
20…光検出器
21…信号処理装置
50…ミラー変位機構
51…変位制御装置
Claims (7)
- 所定の試料に励起光を照射し,該試料の光熱効果により生じる特性変化を,該試料に照射されこれを透過した測定光に基づいて測定するために用いる光熱変換測定装置であって,
それぞれ波長帯が異なる前記励起光を出力する複数の励起用光源と,
前記複数の励起用光源の出力光それぞれのいずれを前記試料に照射させるかを所定周期で順次切り替える照射光切替手段と,
前記試料における前記励起光の照射部を透過した前記測定光を検出する測定光検出手段と,
前記測定光検出手段の検出信号から前記照射光切替手段による前記複数の励起用光源の出力光それぞれの切替周期と同周期成分を抽出する同周期成分抽出手段と,
前記同周期成分抽出手段により抽出された前記複数の励起用光源の出力光それぞれに対応する信号値の差を求める処理を実行する信号差導出手段と,
を具備してなることを特徴とする光熱変換測定装置。 - 前記照射光切替手段が,前記複数の励起用光源それぞれに対する電力の供給及びその停止を所定周期で切り替えることにより前記複数の励起用光源の出力光それぞれのいずれを前記試料に照射させるかを切り替えるものである請求項1に記載の光熱変換測定装置。
- 前記試料が,所定の測定対象物質が溶媒に溶かされた液体試料である場合に,
当該光熱変換測定装置により前記溶媒のみを前記試料として測定したときに,前記同周期成分抽出手段により抽出される前記複数の励起用光源の出力光それぞれに対応する信号値相互の差が予め定められた許容範囲内となるように,前記複数の励起用光源それぞれの出力光の強度が予め設定されているものである請求項1又は2のいずれかに記載の光熱変換測定装置。 - 前記同周期成分抽出手段により抽出される前記複数の励起用光源の出力光それぞれに対応する信号値相互の差が予め定められた許容範囲内となるように,前記複数の励起用光源の出力光それぞれの強度を自動設定する光源出力光強度自動設定手段を具備してなる請求項1又は2のいずれかに記載の光熱変換測定装置。
- 前記測定光検出手段が,
前記試料を透過した前記測定光に所定の参照光を干渉させその干渉光の強度を検出する光干渉手段を具備してなる請求項1〜4のいずれかに記載の光熱変換測定装置。 - 前記測定光検出手段が,
前記試料の前記測定光の照射面の反対面側に設けられた裏面側光反射手段と,前記試料の前記励起光の照射面側に設けられた表面側光反射手段と,を備え,前記測定光が前記裏面側光反射手段と前記表面側光反射手段との間で多重反射して前記試料を透過した後の前記測定光を検出するものである請求項1〜5のいずれかに記載の光熱変換測定装置。 - 前記複数の励起用光源の出力光と前記測定光とがビーム光であり,
前記試料中における前記複数の励起用光源の出力光の光軸と前記測定光の光軸とが略同軸に設定されてなる請求項1〜6のいずれかに記載の光熱変換測定装置。
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