JP2015049062A - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パルス信号発生器と、パルス信号に同期して互いに直交する二つの偏光状態のいずれかのパルス光を出力する偏光変調器とを備えるシード光発生器211と、パルス光を偏光を用いて分岐する分岐機構と、分岐機構により分岐されたパルス光のそれぞれを互いに異なる二つの波長のビームに波長変換する変換部とを備える波長変換部220と、波長変換部により変換された互いに異なる二つの波長のビームを被検査対象物の表面に照明する照明光学系3a,3bと、照明光学系により照明され発生する光を検出する検出部と、検出部により検出された光に基づく信号をパルス信号発生器より出力されるパルス信号に基づき波長ごとに分配する分配器511a,511bと、分配器により分配された光に基づく信号を処理して欠陥を判定する。
【選択図】図1
Description
3a…照明光学系
3b…照明光学系
4a…検出光学系
4b…検出光学系
5…信号処理部
7…制御部
8…入力部
9…表示部
10…試料ステージ
Claims (8)
- パルス信号を発生させるパルス信号発生器と、前記パルス信号発生器から出力されるパルス信号に同期して互いに直交する二つの偏光状態のいずれかのパルス光を出力する偏光変調器とを備えるシード光発生器と、
前記シード光発生器の偏光変調器により出力されるパルス光を偏光を用いて分岐する分岐機構と、前記分岐機構により分岐されたパルス光のそれぞれを互いに異なる二つの波長のビームに波長変換する変換部とを備える波長変換部と、
前記波長変換部により変換された互いに異なる二つの波長のビームを被検査対象物の表面に照明する照明光学系と、
前記照明光学系により照明された互いに異なる二つの波長のビームにより発生する光を検出する検出部を備える検出光学系と、
前記検出光学系の検出部により検出された光に基づく信号を前記パルス信号発生器より出力されるパルス信号に基づき波長ごとに分配する分配器と、前記分配器により分配された光に基づく信号を処理して欠陥を判定する欠陥判定部と、を備える信号処理系と、を備える欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置であって、
前記波長変換部の変換部は5倍波変換部と3倍波変換部の組合せ、4倍波変換部と3倍波変換部との組合せのいずれかであることを備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置であって、
前記信号処理系は、前記欠陥判定部にて判定された、前記分配器により分配された光に基づく信号に基づく欠陥判定結果を統合する欠陥マージ部を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置であって、
前記波長変換部は、前記変換部にて波長変換されたそれぞれを互いに異なる二つの波長のビームを同一光軸に重ねて出力することを特徴とする欠陥検査装置。 - パルス信号を発生させるパルス信号発生工程と、前記パルス信号発生工程にて発生されたパルス信号に同期して互いに直交する二つの偏光状態のいずれかのパルス光を出力する偏光変調工程とを備えるシード光発生工程と、
前記シード光発生工程の偏光変調工程にて出力されるパルス光を偏光を用いて分岐する分岐工程と、前記分岐工程により分岐されたパルス光のそれぞれを互いに異なる二つの波長のビームに波長変換する変換工程とを備える波長変換工程と、
前記波長変換工程により変換された互いに異なる二つの波長のビームを被検査対象物の表面に照明する照明光学工程と、
前記照明光学工程により照明された互いに異なる二つの波長のビームにより発生する光を検出する検出工程を備える検出光学工程と、
前記検出光学工程の検出工程により検出された光に基づく信号を前記パルス信号発生工程にて出力されるパルス信号に基づき波長ごとに分配する分配工程と、前記分配工程により分配された光に基づく信号を処理して欠陥を判定する欠陥判定工程と、を備える信号処理工程と、を備える欠陥検査方法。 - 請求項5記載の欠陥検査方法であって、
前記波長変換工程の変換工程では5倍波変換と3倍波変換の組合せ、4倍波変換と3倍波変換との組合せのいずれかを行うことを備えることを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項5記載の欠陥検査方法であって、
前記信号処理工程は、前記欠陥判定工程にて判定された、前記分配工程により分配された光に基づく信号に基づく欠陥判定結果を統合する欠陥マージ工程を備えることを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項5記載の欠陥検査方法であって、
前記波長変換工程は、前記変換工程にて波長変換されたそれぞれを互いに異なる二つの波長のビームを同一光軸に重ねて出力することを特徴とする欠陥検査方法。
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