JP2016109743A - 1μm帯光アイソレータ - Google Patents
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θ=V×H×L
Vはベルデ定数で、ファラディ回転子の材料および測定波長で決まる定数であり、Hは磁界の大きさ、Lは光軸方向におけるファラディ回転子の長さである。この式から解るように、ある一定の大きさのベルデ定数を持つ回転子において、所望のファラディ回転角を得ようとすると、磁界が大きいほど回転子長を短くすることができ、回転子長が長いほど磁界を小さくすることできる。
具体的に、光アイソレータに入射された光は、その偏光面をファラディ回転子により45°回転されて各々角度調整された入出射偏光子を透過する。一方で、戻り光はファラディ回転子の非相反性を利用して、逆方向に偏光面を45°回転されて入射偏光子と90°の直行偏光面となり、透過できなくなる。光アイソレータは、この現象を利用して戻り光発生を防止するものである。
つまり、ファラディ回転子の長さを短くすることが必要であるが、ファラディ効果が大きい結晶と磁束密度の大きいマグネット材及び磁気回路を用いることで解決するのが最も現実的である。また、レーザ加工機で問題となるハイパワー光によるファラディ回転子の光損傷は、回転子の透過率と長さで決まるため、透過率が高く長さが短いほど好都合である。
しかしながら、今日のより広範囲な加工用途を目的としたファイバーレーザの高出力化は日進月歩、出力増大の一途をたどっている。それに伴いこれらの高出力レーザへ搭載する光アイソレータは、小型化と同時により低損失な特性が求められ、ファラディ回転子の短尺化へのニーズはより一層高まる状況となっている。
0.75≦B≦1.2 (1)
5.0≦L<7.0 (2)
本発明の光アイソレータは、0.9〜1.1μmの波長帯域のレーザ光に好ましく使用される。このようなレーザとしては、ランプ励起式YAGレーザが含まれる。
高出力のファイバーレーザに搭載される光アイソレータには、各部品がハイパワー光に対して耐性を持ち、伝搬する光の偏光状態に影響されない偏光無依存型であることが要求される。この要求に応えるべく、使用される偏光子としては、その屈折率差を利用して光ビームを分離する複屈折結晶が最適である。代表的な複屈折結晶としては、波長1.0〜1.1μmで透明であるイットリウム・バナデート(YVO4)、ルチル単結晶(TiO2)、方解石単結晶(CaCO3)、α−BBO結晶(BaB2O4)が挙げられ、それらを使用することができる。
入力光はスネルの法則に従い、入射偏光子の光学軸偏光方向にシフトする異常光と、光学軸に対して直交偏光方向で直進する常光2つに分離される。この2つの分離光は、ファラディ回転子により偏光面をそれぞれ回転され、更に次に入射する45度旋光子において偏光面を45°回転する。これにより異常光、常光の偏光回転角は90度になり、出射偏光子に入射すると異常光が常光、常光が異常光に入れ替わり異常光のみが光学軸方向にシフトする。この結果、入射偏光子において分離された2つのビームは出射偏光子において一致し、偏光無依存の機能を示す。
図1は、本発明の光アイソレータの基本的な構成の一例を示す断面模式図である。全体的な構成としては、まず、図1に示すように、本発明の光アイソレータ1では、入射偏光子2、ファラディ回転子3(ここでは所望のファラディ回転角が45°のものとする)、及び出射偏光子4が、左側の入射側から右側の出射側に向う光軸5上に、順次配置されている。図1において、入射偏光子2や出射偏光子4は楔ガラス6により光軸5上に固定されている。入射側で入射偏光子2は偏光子ホルダ7に固定されている。一方、出射側では45度旋光子8と出射偏光子4が偏光子ホルダ7に固定されている。また、光学軸9を入射偏光子2及び出射偏光子4に示している。
またファラディ回転子3の外周には、マグネット10(第一中空マグネット11、第二中空マグネット12、第三中空マグネット13)が配置されている。
そして、このマグネット10は炭素鋼筐体14の内部に搭載されている。
(ファラディ回転子について)
まず、ファラディ回転子3について説明する。
本発明におけるファラディ回転子は、波長0.9〜1.1μmのいずれかにおけるベルデ定数が0.45min/(Oe.cm)以上であり、好ましくは、波長1.06μmにおけるベルデ定数が0.45min/(Oe.cm)以上である。ベルデ定数は0.45min/(Oe.cm)以上であれば特に限定されないが、より大きいベルデ定数を有することがより好ましい。このように大きなベルデ定数のものとすることで、ファラディ回転子3の長さやマグネット10のサイズの小型化をより一層図ることができる。
そして、ファラディ回転子の長さL(mm)は下記式(2)の範囲内にある。
5.0≦L<7.0 (2)
この長さLが7.0mm以上になると、ファラディ回転子の長さが従来品よりも短いものではなくなってしまい、光アイソレータの小型化、低損失化が難しくなる。
また、5.0mm未満であると所望のファラディ回転角を得るための磁束密度の大きさが大きくなり、そのためマグネットのサイズも大きくする必要が出てしまい、やはりアイソレータの小型化が難しくなる。したがって、ファラディ回転子の長さを上記のように5.0mm以上、7.0mm未満にする必要がある。
本発明に用いることができるファラディ回転子が含有し得るその他の成分としては、アルカリ土類金属の酸化物、第13族元素の酸化物、第14族元素の酸化物、その他第4族元素、第5族元素(V、Nb、Taなど)、第6族元素(Mo、Wなど)、及び第17族元素(F、Cl、Brなど)の酸化物よりなる群から選択される金属酸化物などが挙げられるが、これらに限定されない。また、その他の成分は2種類以上含んでいてもよく、その含有量はファラディ回転子全体の0.000001〜1.0質量%であることが好ましく、0.00001〜0.1質量%であることがより好ましい。
酸化物単結晶の作製においては、上述したように、安定に結晶化させる目的で、アルカリ土類金属の酸化物(例えば、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム)をドーピングしてもよい。
酸化物の単結晶を製造する場合、原料を融液状態にするために高温にする必要がある。例えば、酸化テルビウムの融点は約2600℃、酸化イットリウムの融点は約2300℃であり、それら2つの固溶体を製造する場合は、2つの融点の中間温度まで昇温する必要がある。
一方、セラミックスの場合は、その融点まで昇温する必要がなく、加圧焼結すれば、融点以下で、作製することができる。焼結時に、焼結助剤を入れて、焼結密度を上げて、緻密化させることも可能である。セラミックスの場合では、単結晶を製造する場合のように高温のため、原料を溶融して単結晶を作製するための坩堝の選定が、レニウム、タングステン、又はそれらの合金等に限られることもなく、製造コストをより低減できる。
挿入損失は1.0dB以下であればより低い方がよく、消光比は25dB以上であればより高い方が好ましいが、少なくとも前記範囲内であれば、低損失かつ高アイソレーションの光学特性を有する光アイソレータの作製が可能となる。
なお、挿入損失及び消光比等の光学特性は、定法に従い、波長1.06μmにおいて測定することができる。なお、測定条件は25±10℃とし、大気中で測定を行う。
透過率は、波長1.06μmの光を厚さLmmのファラディ回転子に透過させた時の光の強度により測定される。すなわち、透過率は以下の式で表される。
透過率=I/Io×100
(上記式中、Iは透過光強度(厚さLmmの試料を透過した光の強度)、Ioは入射光強度を表す。)
なお、得られる酸化物の透過率が均一ではなく、測定箇所によって透過率に変動がある場合には、任意の10点の平均透過率をもって、該酸化物の透過率とする。
次に、マグネット10(第一中空マグネット11、第二中空マグネット12、第三中空マグネット13)について説明する。
図1に示すように、ファラディ回転子3の周囲に第一中空マグネット11が配置されており、さらに、該第一中空マグネット11を挟んで第二中空マグネット12および第三中空マグネット13が配置されている。また、この第二、第三中空マグネット12、13は、第一中空マグネット11に対して、同じ磁極同士が向かい合うように配置されている。
また、第一から第三中空マグネットは、これらの中空部が光軸と同軸になるように配置されている。
ここで、従来例としては特許文献1のような配置例が挙げられる。図7に、マグネットの配置例を含む従来の光アイソレータの基本的な構成の一例を示す。
特許文献1に記載の従来の光アイソレータ101では、ファラディ回転子103(ベルデ定数が0.27min/(Oe・cm)以上)の周囲に第一中空マグネット111が配置されており、その両端に第二中空マグネット112、第三中空マグネット113が図7に示す向きで配置されている。なお、第二中空マグネット112および第三中空マグネット113はそれぞれ4つに分割されている。
一方で本発明のマグネット構成は、光アイソレータ製造の容易さやコストを低減できるという観点から極めて優れている。
0.75≦B≦1.2 (1)
なお、ファラディ回転子の長さLは5.0〜7.0mmの範囲とし、上記組成式においてx=1.0のとき(ベルデ定数が0.50min/(Oe・cm))とx=0.9のとき(ベルデ定数が0.46min/(Oe・cm))についての上記磁束密度分布を示している。
そして、この図2から、上記の必要な磁束密度Bは0.75〜1.2(T)の範囲であることが分かる。このようにして、本発明における磁束密度Bの数値範囲を導き出した。
前述したように、炭素鋼筐体14内にマグネット10は搭載されている。炭素鋼筐体14に収納することにより、マグネット10の周囲にヨーク(継鉄)材が構成されることになるので、マグネットの持っている吸着力あるいは吸引力を増大させることができる。
(実施例1)
図1に示すような本発明における光アイソレータ1を作製した。なお、ここではファラディ回転角が45°のものを作製した。
入射偏光子2および出射偏光子4としてはルチル単結晶を使用し、その光透過面は10mm厚の平行平板に加工されており、その光学軸9は光軸5に対して47.8度傾いている。この図1では傾き方向が図中にあるように描かれている。さらにこの平板型偏光子は光透過面に中心波長1.06μmの反射防止膜を施すとともに、入射光路に光透過面の反射光が戻ることを回避するため、5度だけ傾き角度をもった楔ガラス6の上に偏光子底面を接着固定し偏光子ホルダ7に搭載した。また、中心波長1.06μmの反射防止膜を施したファラディ回転子3は第一中空マグネット11の中空部中心に位置するようにし、第二中空マグネット12と第三中空マグネット13を合わせた全てのマグネットにより形成される磁界分布の最大となる位置に固定した。入射光路順にファラディ回転子3の後に配置される45度旋光子8は、人工水晶を材質とする1/2波長板を使用し、前記偏光子およびファラディ回転子と同様、その光透過面には中心波長1.06μmの反射防止膜を施してある。
この実施例1においては、各々のマグネットは同外径の円筒形状としており、これと同外径の偏光子ホルダ7と同時に外部筐体14に挿入し、前記偏光子ホルダ7の側面部をねじ或いはロールピン等で固定することで各々マグネットが隙間なく固定することができる。これにより、構成するマグネット全体の固定が接着剤等を必要としない信頼性の高い実装を可能にした。
材料としてはテルビウム酸化物であり、その組成はx=1.0とするTb2O3セラミックスを用いた。透明セラミックスの作製方法として、先ず原料粉末(Tb2O3、及びその他の成分)の混合粉末を調製する。なお、混合粉末の調製方法については、高純度の粉末材料(Tb2O3及び、その他の成分)を使用し、純度99.99重量%以上とした。
また、酸化テルビウムとしてはTb2O3に限定されるものではなく、Tb4O7を使用することもできるが、得られる酸化物の結晶性に優れることから、ここではTb2O3を使用した。
なお、成形後、加熱(好ましくは400〜600℃)により脱脂処理を行うことが好ましく、ここでは大気中において400℃で行った。
ここでは、1600℃、1×10−2Paで、3時間行った。
ここでは、1700℃、180MPaで、3時間行った。
なお、このとき測定したサンプルは外径φ3.5mm、長さ5.5mmの形状であった。
ここで、実施例1について、サンプル長(5.5mm)とベルデ定数(0.50min/(Oe.cm))値から、ファラディ回転角45°になる磁束密度を算出すると、必要とする磁束密度は9800(Oe)(=0.98(T))程度であることがわかった。
なお、解析手法としては有限要素法(JMAG−Designer)を選択し、マグネット材質は信越化学工業株式会社製のネオジム−鉄−ボロン(NdFeB)マグネット、外部筐体14の材質は炭素鋼とした。シミュレーション結果を図4に示す。
MO=(65−MT)/2 (全中空マグネットユニットの長さは65mmとした)
また、実施例1のファラディ回転子3(サンプル長5.5mm、外径3.5mm)に必要な磁束密度9800(Oe)(=0.98(T))を満足するには、図4よりMT=20(mm)のときが最適であった。
ファラディ回転子の形状(ベルデ定数:0.50min/(Oe・cm)、サンプル長:5.5mm、外径:3.5mm)
ファラディ回転子に印加される磁束密度:0.98T
マグネットの全体の形状(内径:4.0mm、外径:25mm、長さ:65mm(このうち、第一中空マグネットの長さは20mm))
ファラディ回転子3として、組成をx=0.9として、(Tb0.9Y0.1)2O3のセラミックスを用いたこと以外は実施例1と同様にして、本発明の光アイソレータを作製した。
この実施例2において、各数値は以下の通りであった。
ファラディ回転子の形状(ベルデ定数:0.46min/(Oe・cm)、サンプル長:5.5mm、外径:3.5mm)
ファラディ回転子に印加される磁束密度:10600[Oe]=1.06T
マグネットの全体の形状(内径:4.0mm、外径:25mm、長さ:65mm(このうち、第一中空マグネットの長さは15mm))
特許文献1のようなマグネットの配置の図7の従来の光アイソレータを作製した。
なお、ファラディ回転子103として(Tb0.6Y0.4)2O3のセラミックスを作製し、ベルデ定数を測定した。その結果、ベルデ定数は0.30min/(Oe.cm)であった。また、特許文献1でのファラディ回転子103の長さは実際には7mm以上であるが、ここでは実施例1、2のマグネット構成の有効性(マグネットサイズの小型化可能性)について比較しやすいように、実施例1、2と同様にファラディ回転子の長さを7mm未満とした(具体的には6.5mm)。
図3からわかるように、比較例1について、サンプル長6.5mmのとき、ファラディ回転角が45°になる磁束密度は、13800(Oe)(=1.38(T))程度であることがわかった。
また、図5は、図7に示したマグネット構成(特許文献1参照)の磁束密度分布を解析した結果である。比較例1の(Tb0.6Y0.4)2O3のセラミックス(サンプル長6.5mm、外径3.5mm)が必要とする上記磁束密度に対応したマグネットの全体の形状は、内径4.0mm、外径35mm、長さ65mmとなり、MT=15(mm)が最適であった。
ファラディ回転子の形状(ベルデ定数:0.30min/(Oe・cm)、サンプル長:6.5mm、外径:3.5mm)
ファラディ回転子に印加される磁束密度:1.38T
マグネットの全体の形状(内径:4.0mm、外径:35mm、長さ:65mm(このうち、第一中空マグネットの長さは15mm))
なお、実施例2と比較例1のマグネット形状を比較すると、体積比50%のサイズダウンを実現できることがわかった。
加えて、前述したようにファラディ回転子の長さも7mm未満と短くできるため、光アイソレータの損失の低減にも寄与する。
4…出射偏光子、 5…光軸、 6…楔ガラス、 7…偏光子ホルダ、
8…旋光子、 9…光学軸、 10…マグネット、
11…第一中空マグネット、 12…第二中空マグネット、
13…第三中空マグネット、 14…炭素綱筐体。
Claims (5)
- ファラディ回転子とマグネットとを備えた1μm帯光アイソレータであって、
前記ファラディ回転子は、波長0.9〜1.1μmのいずれかにおけるベルデ定数が0.45min/(Oe・cm)以上のものであり、
前記マグネットは、前記ファラディ回転子の周囲に配置された第一中空マグネットと、該第一中空マグネットを挟んで配置された第二中空マグネットおよび第三中空マグネットとからなっており、
前記第二中空マグネットおよび第三中空マグネットは、前記第一中空マグネットに対して、同じ磁極同士が向かい合うように配置されており、
前記ファラディ回転子に印加される磁束密度B(T)は下記式(1)の範囲内であり、かつ、光軸方向における前記ファラディ回転子の長さL(mm)は下記式(2)の範囲内であることを特徴とする1μm帯光アイソレータ。
0.75≦B≦1.2 (1)
5.0≦L<7.0 (2) - 前記ファラディ回転子は、(TbXRe1−X)2O3(x=0.9〜1.0)により構成される単結晶またはセラミックス材料からなるものであり、Reは、テルビウム以外のランタノイド元素群と、スカンジウムと、イットリウムとからなる集合から選択された少なくとも1つの元素を含むものであることを特徴とする請求項1に記載の1μm帯光アイソレータ。
- 前記ファラディ回転子は、(TbXY1−X)2O3(x=0.9〜1.0)により構成されるセラミックス材料からなるものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の1μm帯光アイソレータ。
- 前記ファラディ回転子は、前記光軸方向における長さL(mm)において、挿入損失が1.0dB以下および消光比が25dB以上の光学特性を有するものであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の1μm帯光アイソレータ。
- 前記第一中空マグネット、第二中空マグネットおよび第三中空マグネットは、炭素鋼筐体の内部に搭載されているものであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の1μm帯光アイソレータ。
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