JP2016102926A - 波長可変レーザ及び波長可変レーザモジュール - Google Patents
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Abstract
Description
バーニア型フィルタを用いた波長可変レーザとしては、例えば、フィルタとして2つのサンプルド・グレーティング分布ブラッグ反射器(Sampled Grating Distributed Bragg Reflector;SG−DBR)を用いているものや2つのリング共振器を用いているものなどがある。
これは、以下の理由によると考えられる。
レーザ出力を上げた場合、レーザ共振器内部にあるシリコン導波路コアを含むシリコン導波路に高い強度の光が伝搬し、2光子吸収が発生して、シリコン導波路内にフォトキャリアがたまることで、シリコン導波路の等価屈折率が変化してしまう。そして、シリコン導波路の等価屈折率が変化してしまうと、等価屈折率とリング共振器の円周の積で決まるリング共振器の共振波長が変動してしまう。この結果、レーザの発振波長が揺らいでしまい、また、発振スペクトルが広がって多モード発振してしまい、動作が不安定になってしまうと考えられる。
そこで、シリコン導波路コアを含む導波路によって形成された2つのリング共振器を含む波長フィルタとSOAとを用いた波長可変レーザにおいて、動作が不安定にならないようにしながら、高出力化を実現したい。
本実施形態の波長可変レーザは、広い波長範囲で波長を変えられる波長可変レーザであって、周期的な波長選択特性を持つ2つのフィルタを組み合わせて任意の波長を選択しうるバーニア型フィルタとSOAとを組み合わせたものである。
なお、シリコン導波路コアを含む導波路を、シリコン導波路、Si導波路ともいう。また、波長フィルタを、シリコン導波路フィルタ、Si導波路フィルタ、シリコン導波路リング共振器フィルタ、Si導波路リング共振器フィルタ、リング共振器フィルタともいう。
ここで、波長フィルタ3に含まれる第1リング共振器1及び第2リング共振器2は、周期的に存在する共振波長の間隔が互いに異なり、かつ、共振波長をシフトさせうるものである。つまり、波長フィルタ3は、シリコン導波路コアを含む導波路によって形成され、周期的に存在する共振波長の間隔が互いに異なり、共振波長をシフトさせうる第1リング共振器1及び第2リング共振器2を含む波長フィルタである。
また、第1リング共振器1及び第2リング共振器2は、それぞれ、リング共振器を構成するリング導波路の近傍に、即ち、リング状のシリコン導波路コアの近傍に、共振波長をシフトさせるためのヒータ電極7を備える(図9参照)。
ここでは、集積素子6は、SOA4と反射鏡5とがモノリシックに集積された集積素子である。なお、集積素子6を、SOA集積素子、SOA集積チップともいう。
また、反射鏡5は、例えば分布ブラッグ反射鏡(DBR)である。特に、反射鏡5は、ブラッグ波長の異なる複数の分布ブラッグ反射鏡を多段に接続したものとするのが好ましい(図10参照)。これにより、簡素な構成でSOA4に集積でき、広い反射波長範囲を持つ反射鏡5を実現することができる。
また、反射鏡5の反射波長範囲は、図3に示すように、波長可変レーザのレーザ動作波長範囲(使用波長帯)以上とする。例えば、反射鏡5の反射波長範囲は、少なくとも10nm以上であり、かつ、波長可変レーザのレーザ動作波長範囲以上であることが好ましい。これにより、必要な波長可変範囲でレーザ発振が得られることになる。
上述のように構成することで、レーザの発振波長となる目標波長で互いに一致している共振波長のみが反射鏡5の反射波長範囲に入り、反射鏡5で反射されるため、目標波長で選択的にレーザ発振が起こることになる。この場合、上述のように、再起モード間隔が反射鏡5の反射波長範囲よりも広くなるようにすれば良く、再起モード間隔をSOA4の利得波長範囲よりも広くする必要がない。
以下、より詳細に説明する。
1つの共振波長を選ぶためには、第1に、2つのリング共振器の共振波長が一致するメインの波長に対して、リング共振器の共振波長の1周期分離れた隣の共振波長(以降サイドモードと呼ぶ)の損失を十分大きくする必要がある。第2に、バーニア型フィルタでは、ある波長で2つのリング共振器のピークが一致した場合、そこからリング共振器の周期で数個分以上離れたところに、再び2つのリング共振器の波長が一致するところが出る。この波長を、メインの波長に対して、隣接再起モード波長と呼ぶ。安定した単一モード動作を得るためには、メインの波長に対して、隣接再起モード波長での発振も十分抑制する必要がある。
なお、再起モード間隔は、2つのリング共振器の共振波長間隔(共振波長周期)をFSR1、FSR2とした場合、|FSR1×FSR2/(FSR1−FSR2)|で与えられる。そして、再起モード間隔を広げる場合には、分母であるリング共振器の共振波長周期の差を小さくする必要がある。
例えば、図8(A)に示すように、フィネスを約2.6とし、再起モード間隔を約40nmとした場合、即ち、フィネスを小さくし、再起モード間隔を小さく(狭く)した場合、サイドモードの透過率はメインの波長(ピーク)に対して約30%程度下がり、約70%程度になっている。
この場合、図8(C)に示すように、再起モード間隔を約80nmにした場合でも、サイドモードの透過率を約70%程度にするためには、フィネスを2倍の約5.2にする必要がある。つまり、再起モード間隔を大きくした場合、フィネスも大きくする必要がある。
このような原理で、本実施形態のSi導波路リング共振器フィルタ3を用いた波長可変レーザでは、リング共振器1、2のフィネスを低く設定することができ、この結果、シリコン導波路内部の光強度を低減し、安定なレーザ発振動作を保ちつつ、高出力化を実現することができる。
以下、具体的な構成例を挙げて説明する。
ここでは、第1、第2リング共振器1、2のフィネスは、サイドモードでのレーザ発振の抑制、即ち、メインの波長に対してある程度の損失差をつけるという観点から、以下のように設計することが好ましい。
したがって、本実施形態にかかる波長可変レーザによれば、シリコン導波路コアを含む導波路によって形成された2つのリング共振器1、2を含む波長フィルタ3とSOA4とを用いても、動作が不安定にならないようにしながら、高出力化を実現できるという利点がある。
この場合、レーザ共振器はSOA集積チップ6XのDBR5とSi導波路フィルタ3内のループミラー10とで形成され、第1SOA4がレーザの利得媒質として機能する。また、第2SOA4XはDBR5からのレーザ出力を増幅する光増幅器として機能する。
この場合、波長可変レーザモジュールは、上述の実施形態及び第1変形例の波長可変レーザと、SOA用電源(第1SOA用電源;第1半導体光増幅器用電源)30と、第1リング共振器用電源31と、第2リング共振器用電源32と、第1モニタ部33と、コントローラ34とを備えるものとすれば良い(図14参照)。ここで、SOA用電源30は、SOA4(第1半導体光増幅器)に電気的に接続されている。また、第1リング共振器用電源31は、第1リング共振器1に電気的に接続されている。また、第2リング共振器用電源32は、第2リング共振器2に電気的に接続されている。また、第1モニタ部33は、波長可変レーザからの出力光をモニタする。そして、コントローラ34は、第1モニタ部33からのモニタ情報に基づいて、SOA用電源30、第1リング共振器用電源31及び第2リング共振器用電源32を制御する。
以下、上述の第1変形例の波長可変レーザに、それに含まれるSOA4、4Xやリング共振器1、2等を駆動するための電源やモニタ部等を含む制御系を追加した波長可変レーザモジュールを例に挙げて、図14を参照しながら、具体的に説明する。
また、波長フィルタ3内の光をモニタする第2モニタ部37として、波長フィルタ3としてのSi導波路フィルタに備えられる第1リング共振器1のスルーポートから外部へ出力された光の強度を検出するフォトダイオード(PD)を備える。そして、このフォトダイオード37は、コントローラ34に接続されており、フォトダイオード37からの出力(出力値)に基づいて、コントローラ34が、第1SOA用電源30の出力電流値、即ち、第1SOA用電源30から第1SOA4に供給される電流量を制御し、DBR5から第2SOA4Xの側へ出力されるレーザ光の強度が一定値以下になるようにしている。これにより、レーザ共振器内部のSi導波路における光強度が高くなりすぎてレーザの発振が不安定になるのを抑制することができる。
なお、ここでは、波長フィルタ3内の光、即ち、レーザ内部の光をモニタする第2モニタ部37として、第1リング共振器1のスルーポートから出力された光をフォトダイオードでモニタする場合を例に挙げて説明したが、これに限られるものではない。例えば、第1リング共振器1よりもSOA集積チップ6側のSi導波路にレーザ光の一部を分離するための光スプリッタを配置し、光スプリッタで分離された光をフォトダイオードでモニタするようにしても良い。この場合、レーザ光の一部を分離するため、波長可変レーザからの出力光の強度、即ち、第2SOA4Xの側から出力される光の強度が若干減少してしまうが、リング共振器の波長依存性の影響を受けずにレーザ共振器内部の光強度をモニタすることができる。このため、より正確にレーザ共振器内部の光強度の状態をモニタして、レーザ発振が不安定にならないように制御をすることが可能となる。また、図14では、図中、左側に2つのPDとエタロンを用いた波長制御のためのモニタを配置する構成を示しているが、図中、右側に同様の波長制御のためのモニタを配置する構成でも構わない。この場合、左側に光を出力しない場合でも波長制御が可能であるという利点がある。
以下、上述の実施形態及び変形例に関し、更に、付記を開示する。
(付記1)
シリコン導波路コアを含む導波路によって形成され、周期的に存在する共振波長の間隔が互いに異なり、共振波長をシフトさせうる第1リング共振器及び第2リング共振器を含む波長フィルタと、
前記波長フィルタに光学的に接続され、前記波長フィルタの側から順に第1半導体光増幅器、反射鏡が設けられた集積素子とを備え、
前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器の周期的に存在する共振波長が一の波長で互いに一致するとともに前記一の波長以外の他の複数の波長でも互いに一致し、前記一の波長と前記他の複数の波長の中の前記一の波長に最も近い波長との間隔である再起モード間隔が前記反射鏡の反射波長範囲よりも広くなるように、前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器の共振波長間隔が設定されていることを特徴とする波長可変レーザ。
前記再起モード間隔が前記第1半導体光増幅器の利得波長範囲よりも狭くなるように、前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器の共振波長間隔が設定されていることを特徴とする、付記1に記載の波長可変レーザ。
(付記3)
前記再起モード間隔は、前記第1リング共振器の共振波長間隔をFSR1とし、前記第2リング共振器の共振波長間隔をFSR2として、|FSR1×FSR2/(FSR1−FSR2)|で規定されることを特徴とする、付記1又は2に記載の波長可変レーザ。
(付記5)前記再起モード間隔をΔλRとし、前記第1リング共振器の共振波長間隔をFSR1とした場合、前記第1、第2リング共振器のフィネスfはf≦1.5×ΔλR/(2×FSR1)の関係を満たすことを特徴とする、付記1〜3のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器は、共振波長をシフトさせるためのヒータ電極を備えることを特徴とする、付記1〜5のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
(付記7)
前記反射鏡の反射波長範囲は、レーザ動作波長範囲以上であることを特徴とする、付記1〜6のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
前記反射鏡は、ブラッグ波長の異なる複数の分布ブラッグ反射鏡を多段に接続したものであることを特徴とする、付記1〜7のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
(付記9)
前記波長フィルタは、前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器に接続された導波路と、前記導波路に設けられ、位相を制御するための位相制御用電極とを備えることを特徴とする、付記1〜8のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
前記集積素子は、前記波長フィルタの側から順に、前記第1半導体光増幅器、前記反射鏡、第2半導体光増幅器が設けられていることを特徴とする、付記1〜9のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
(付記11)
付記1〜10のいずれか1項に記載の波長可変レーザと、
前記第1半導体光増幅器に電気的に接続された第1半導体光増幅器用電源と、
前記第1リング共振器に電気的に接続された第1リング共振器用電源と、
前記第2リング共振器に電気的に接続された第2リング共振器用電源と、
前記波長可変レーザからの出力光をモニタする第1モニタ部と、
前記第1モニタ部からのモニタ情報に基づいて、前記第1半導体光増幅器用電源、前記第1リング共振器用電源及び前記第2リング共振器用電源を制御するコントローラとを備えることを特徴とする波長可変レーザモジュール。
前記波長フィルタは、前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器に接続された導波路と、前記導波路に設けられ、位相を制御するための位相制御用電極とを備え、
前記位相制御用電極に電気的に接続された位相制御用電源を備え、
前記コントローラは、前記第1モニタ部からのモニタ情報に基づいて前記位相制御用電源を制御することを特徴とする、付記11に記載の波長可変レーザモジュール。
前記集積素子は、前記波長フィルタの側から順に、前記第1半導体光増幅器、前記反射鏡、第2半導体光増幅器が設けられており、
前記第2半導体光増幅器に電気的に接続された第2半導体光増幅器用電源と、
前記波長フィルタ内の光をモニタする第2モニタ部とを備え、
前記コントローラは、前記第1モニタ部及び前記第2モニタ部からのモニタ情報に基づいて、前記第1半導体光増幅器用電源、前記第2半導体光増幅器用電源、前記第1リング共振器用電源及び前記第2リング共振器用電源を制御することを特徴とする、付記11又は12に記載の波長可変レーザモジュール。
前記コントローラは、前記第1モニタ部からのモニタ情報に基づいて、前記第2半導体光増幅器用電源、前記第1リング共振器用電源及び前記第2リング共振器用電源を制御するとともに、前記第2モニタ部からのモニタ情報に基づいて、前記第1半導体光増幅器用電源を制御することを特徴とする、付記13に記載の波長可変レーザモジュール。
2 第2リング共振器
3 波長フィルタ(Si導波路フィルタ)
4 SOA(第1SOA;第1半導体光増幅器)
4X 第2SOA(第2半導体光増幅器)
5 反射鏡(DBR)
6、6X 集積素子(SOA集積チップ)
7 ヒータ電極
8 導波路
9 位相制御用電極(ヒータ電極)
10 ループミラー
11 Si基板
12 Si導波路コア
13A、13B SiO2クラッド
14 Si導波路
15 n型InP基板
16、16X InGaAsP系MQW活性層(コア層)
17 p−InPクラッド層
18 InGaAsP層(コア層)
19 回折格子
20、20X p−InGaAsP/InGaAsコンタクト層
21、21X p側電極
22 n側電極
23 半絶縁性(SI)InP層
24 SiO2パシベーション膜
30 SOA用電源(第1SOA用電源;第1半導体光増幅器用電源)
31 第1リング共振器用電源
32 第2リング共振器用電源
33 第1モニタ部
34 コントローラ
35 位相制御用電源
36 第2SOA用電源(第2半導体光増幅器用電源)
37 第2モニタ部
38A、38B ビームスプリッタ(BS)
39 エタロンフィルタ
40A、40B フォトダイオード(PD)
Claims (10)
- シリコン導波路コアを含む導波路によって形成され、周期的に存在する共振波長の間隔が互いに異なり、共振波長をシフトさせうる第1リング共振器及び第2リング共振器を含む波長フィルタと、
前記波長フィルタに光学的に接続され、前記波長フィルタの側から順に第1半導体光増幅器、反射鏡が設けられた集積素子とを備え、
前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器の周期的に存在する共振波長が一の波長で互いに一致するとともに前記一の波長以外の他の複数の波長でも互いに一致し、前記一の波長と前記他の複数の波長の中の前記一の波長に最も近い波長との間隔である再起モード間隔が前記反射鏡の反射波長範囲よりも広くなるように、前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器の共振波長間隔が設定されていることを特徴とする波長可変レーザ。 - 前記再起モード間隔が前記第1半導体光増幅器の利得波長範囲よりも狭くなるように、前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器の共振波長間隔が設定されていることを特徴とする、請求項1に記載の波長可変レーザ。
- 前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器は、共振波長をシフトさせるためのヒータ電極を備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載の波長可変レーザ。
- 前記反射鏡は、ブラッグ波長の異なる複数の分布ブラッグ反射鏡を多段に接続したものであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
- 前記波長フィルタは、前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器に接続された導波路と、前記導波路に設けられ、位相を制御するための位相制御用電極とを備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
- 前記集積素子は、前記波長フィルタの側から順に、前記第1半導体光増幅器、前記反射鏡、第2半導体光増幅器が設けられていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の波長可変レーザと、
前記第1半導体光増幅器に電気的に接続された第1半導体光増幅器用電源と、
前記第1リング共振器に電気的に接続された第1リング共振器用電源と、
前記第2リング共振器に電気的に接続された第2リング共振器用電源と、
前記波長可変レーザからの出力光をモニタする第1モニタ部と、
前記第1モニタ部からのモニタ情報に基づいて、前記第1半導体光増幅器用電源、前記第1リング共振器用電源及び前記第2リング共振器用電源を制御するコントローラとを備えることを特徴とする波長可変レーザモジュール。 - 前記波長フィルタは、前記第1リング共振器及び前記第2リング共振器に接続された導波路と、前記導波路に設けられ、位相を制御するための位相制御用電極とを備え、
前記位相制御用電極に電気的に接続された位相制御用電源を備え、
前記コントローラは、前記第1モニタ部からのモニタ情報に基づいて前記位相制御用電源を制御することを特徴とする、請求項7に記載の波長可変レーザモジュール。 - 前記集積素子は、前記波長フィルタの側から順に、前記第1半導体光増幅器、前記反射鏡、第2半導体光増幅器が設けられており、
前記第2半導体光増幅器に電気的に接続された第2半導体光増幅器用電源と、
前記波長フィルタ内の光をモニタする第2モニタ部とを備え、
前記コントローラは、前記第1モニタ部及び前記第2モニタ部からのモニタ情報に基づいて、前記第1半導体光増幅器用電源、前記第2半導体光増幅器用電源、前記第1リング共振器用電源及び前記第2リング共振器用電源を制御することを特徴とする、請求項7又は8に記載の波長可変レーザモジュール。 - 前記コントローラは、前記第1モニタ部からのモニタ情報に基づいて、前記第2半導体光増幅器用電源、前記第1リング共振器用電源及び前記第2リング共振器用電源を制御するとともに、前記第2モニタ部からのモニタ情報に基づいて、前記第1半導体光増幅器用電源を制御することを特徴とする、請求項9に記載の波長可変レーザモジュール。
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