JP2016092334A - 放熱シート、放熱シートの製造方法、及び電子装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態に係る放熱シートについて、その製造工程を追いながら説明する。
本実施形態では、以下のようにして放熱シートを熱が伝わり易いようにする。
第1及び第2実施形態では各カーボンナノチューブ25の間に樹脂30を含浸させたが、以下のようにして樹脂30を省いてもよい。
前記下地膜の上に複数のカーボンナノチューブを成長させる工程と、
加熱により前記下地膜の少なくとも一部を蒸発させることにより、蒸発した前記下地膜の材料を含む被覆膜で前記カーボンナノチューブをコーティングする工程と、
を有することを特徴とする放熱シートの製造方法。
前記下地膜の上に複数のカーボンナノチューブを成長させる工程と、
加熱により前記下地膜の少なくとも一部を蒸発させることにより、蒸発した前記下地膜の材料を含む被覆膜で前記カーボンナノチューブをコーティングする工程と、
前記コーティングする工程の後、複数の前記カーボンナノチューブを備えた放熱シートを作製する工程と、
前記放熱シートの表面と裏面の各々を、電子部品と放熱部材の各々に圧着する工程と、
を有することを特徴とする電子装置の製造方法。
複数の前記カーボンナノチューブの間に樹脂を含浸させる工程と、
前記樹脂を含浸させる工程の後、前記下地膜から前記樹脂と前記カーボンナノチューブを剥離して、前記樹脂と前記カーボンナノチューブとを前記放熱シートとする工程とを有することを特徴とする付記5に記載の電子装置の製造方法。
加熱により前記樹脂を軟化させて、前記樹脂を前記電子部品に接着する工程と、
加熱により前記樹脂を軟化させて、前記樹脂を前記放熱部材に接着する工程とを有することを特徴とする付記6に記載の電子装置の製造方法。
前記カーボンナノチューブの側面に形成され、アルミニウム、チタン、タンタル、モリブデン、鉄、コバルト、ニッケル、金、銀、及び白金のいずれかを含む酸化シリコンの被覆膜と、
を有することを特徴とする放熱シート。
Claims (5)
- 基板の上に下地膜を形成する工程と、
前記下地膜の上に複数のカーボンナノチューブを成長させる工程と、
加熱により前記下地膜の少なくとも一部を蒸発させることにより、蒸発した前記下地膜の材料を含む被覆膜で前記カーボンナノチューブをコーティングする工程と、
を有することを特徴とする放熱シートの製造方法。 - 前記被覆膜を形成した後、複数の前記カーボンナノチューブの間に樹脂を含浸させる工程を更に有することを特徴とする請求項1に記載の放熱シートの製造方法。
- 前記樹脂をマスクにしながら前記カーボンナノチューブの先端に形成された前記被覆膜をエッチングすることにより、前記樹脂から前記先端を表出させる工程を更に有することを特徴とする請求項2に記載の放熱シートの製造方法。
- 基板の上に下地膜を形成する工程と、
前記下地膜の上に複数のカーボンナノチューブを成長させる工程と、
加熱により前記下地膜の少なくとも一部を蒸発させることにより、蒸発した前記下地膜の材料を含む被覆膜で前記カーボンナノチューブをコーティングする工程と、
前記コーティングする工程の後、複数の前記カーボンナノチューブを備えた放熱シートを作製する工程と、
前記放熱シートの表面と裏面の各々を、電子部品と放熱部材の各々に圧着する工程と、
を有することを特徴とする電子装置の製造方法。 - 複数のカーボンナノチューブと、
前記カーボンナノチューブの側面に形成され、アルミニウム、チタン、タンタル、モリブデン、鉄、コバルト、ニッケル、金、銀、及び白金のいずれかを含む酸化シリコンの被覆膜と、
を有することを特徴とする放熱シート。
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