JP2016092052A - 配線基板の製造方法 - Google Patents
配線基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016092052A JP2016092052A JP2014221170A JP2014221170A JP2016092052A JP 2016092052 A JP2016092052 A JP 2016092052A JP 2014221170 A JP2014221170 A JP 2014221170A JP 2014221170 A JP2014221170 A JP 2014221170A JP 2016092052 A JP2016092052 A JP 2016092052A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper foil
- hole
- carbon black
- conductor
- wiring board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Abstract
【課題】電気的絶縁信頼性の高い高密度配線を有する配線基板の製造方法を提供すること。【解決手段】ガラスクロス3入りの樹脂材料4から成る絶縁層1の表面に、第1の銅箔7aおよび第2の銅箔7bが分離可能に密着された分離可能銅箔7が第2の銅箔7bを外側にして張着された銅張積層板10を準備する工程と、銅張積層板10の上面から下面にかけて貫通孔5を形成する工程と、貫通孔5内壁および分離可能銅箔7の露出表面をカーボンブラック膜6で被覆する工程と、第2の銅箔7bを第1の銅箔7aから分離除去する工程と、貫通孔5内においてカーボンブラック膜6を下地導体にするとともに、絶縁層1表面において第1の銅箔7aを下地導体にしてセミアディティブ法により電解めっきを行うことにより貫通孔5内および絶縁層1表面に配線導体2を形成する工程とを行なう。【選択図】図2
Description
本発明は、高密度配線を有する配線基板の製造方法に関するものである。
従来、高密度配線を有する配線基板として、例えばガラスクロス入りの樹脂材料から成る絶縁層に複数の貫通孔を設け、これらの貫通孔内および絶縁層の表面にめっき導体から成る配線導体を形成した配線基板が知られている。
ところで近年、通信機器や音楽プレーヤー等に代表される電子機器の小型化に伴い、これらの電子機器に搭載される配線基板も小型化が進み、更なる高密度配線化が求められている。
しかしながら、上述の配線基板では、更なる高密度配線化の要求に対応して貫通孔の配列ピッチを狭いものとしていくと、貫通孔内を充填するめっき導体を構成する金属イオンが、隣接する貫通孔同士の間でマイグレーションを起こして電気的な絶縁信頼性が低下してしまうという問題があった。これは貫通孔を設けた際に、絶縁層の厚み方向の中央部に補強材として一般的に入っているガラスクロスの断面が貫通孔内に露出し、その露出したガラスクロスと樹脂材料との界面を伝って金属イオンが移動するためである。
しかしながら、上述の配線基板では、更なる高密度配線化の要求に対応して貫通孔の配列ピッチを狭いものとしていくと、貫通孔内を充填するめっき導体を構成する金属イオンが、隣接する貫通孔同士の間でマイグレーションを起こして電気的な絶縁信頼性が低下してしまうという問題があった。これは貫通孔を設けた際に、絶縁層の厚み方向の中央部に補強材として一般的に入っているガラスクロスの断面が貫通孔内に露出し、その露出したガラスクロスと樹脂材料との界面を伝って金属イオンが移動するためである。
そこで、本願出願人は、先に特願2014−038572において、高密度配線を有する配線基板を提供する方法を提案した。この方法は、まず絶縁層表面に銅箔が張着された両面銅張積層板に貫通孔を設けて、貫通孔内壁および銅箔の露出表面をカーボンブラック膜で被覆し、これを下地導体として貫通孔内および銅箔上に第1のめっき導体を形成した後、絶縁層表面の第1のめっき導体および銅箔をエッチング除去して貫通孔内の上下方向の中央部の第1のめっき導体を残す。そして、貫通孔の第1のめっき導体よりも外側の部分および絶縁層表面に無電解めっき膜を被覆した後、無電解めっき膜を下地導体としてセミアディティブ法により絶縁層表面に第2のめっき導体から成る配線導体を形成する工程を行うものである。
ところが、特願2014−038572で提案した方法によると、銅箔表面のカーボンブラック膜が厚く被覆された場合に、カーボンブラック膜により銅箔のエッチングが阻害されて銅箔を完全に除去しきれないことがある。したがって、貫通孔内および銅箔の表面にカーボンブラック膜を厚く被着することができない。このため、貫通孔内のカーボンブラック膜がポーラスなものとなって貫通孔同士の間のマイグレーションを十分に防止することができない場合があった。
ところが、特願2014−038572で提案した方法によると、銅箔表面のカーボンブラック膜が厚く被覆された場合に、カーボンブラック膜により銅箔のエッチングが阻害されて銅箔を完全に除去しきれないことがある。したがって、貫通孔内および銅箔の表面にカーボンブラック膜を厚く被着することができない。このため、貫通孔内のカーボンブラック膜がポーラスなものとなって貫通孔同士の間のマイグレーションを十分に防止することができない場合があった。
本発明は、隣接する貫通孔の配設ピッチを狭いものとしても、隣接する貫通孔の間におけるマイグレーションが有効に防止されることにより電気的絶縁信頼性の高い、高密度配線を有する配線基板の製造方法を提供することを課題とするものである。
本発明の配線基板の製造方法は、ガラスクロス入りの樹脂材料から成る絶縁層の表面に、第1の銅箔および第2の銅箔が分離可能に密着された分離可能銅箔が第2の銅箔を外側にして張着された銅張積層板を準備する工程と、銅張積層板の上面から下面にかけて貫通孔を形成する工程と、貫通孔内壁および分離可能銅箔の露出表面をカーボンブラック膜で被覆する工程と、第2の銅箔を第1の銅箔から分離除去する工程と、貫通孔内においてカーボンブラック膜を下地導体にするとともに、絶縁層表面において第1の銅箔を下地導体にしてセミアディティブ法により電解めっきを行うことにより貫通孔内および絶縁層表面に配線導体を形成する工程と、を行なうことを特徴とするものである。
本発明の配線基板の製造方法によれば、貫通孔を有する銅張積層板の貫通孔内および分離可能銅箔の露出表面をカーボンブラック膜で被覆した後、第2の銅箔を第1の銅箔から分離除去する。そして、貫通孔内においてカーボンブラック膜を下地導体にするとともに、絶縁層表面において第1の銅箔を下地導体にしてセミアディティブ法により電解めっきを行うことで貫通孔内および絶縁層表面に配線導体を形成する。
このため、カーボンブラック膜を厚いものとしたとしても、分離可能銅箔の露出表面を被覆するカーボンブラック膜を第2の銅箔とともに完全に除去するとこができる。したがって、貫通孔の内壁を厚いカーボンブラック膜で被覆することが可能となり、このカーボンブラック膜が貫通孔同士の間のマイグレーションに対するバリアとして機能するので、隣接する貫通孔の配設ピッチを狭いものにしたとしても、隣接する貫通孔の間におけるマイグレーションが有効に防止される。その結果、電気的絶縁信頼性の高い、高密度配線を有する配線基板の製造方法を提供することができる。
このため、カーボンブラック膜を厚いものとしたとしても、分離可能銅箔の露出表面を被覆するカーボンブラック膜を第2の銅箔とともに完全に除去するとこができる。したがって、貫通孔の内壁を厚いカーボンブラック膜で被覆することが可能となり、このカーボンブラック膜が貫通孔同士の間のマイグレーションに対するバリアとして機能するので、隣接する貫通孔の配設ピッチを狭いものにしたとしても、隣接する貫通孔の間におけるマイグレーションが有効に防止される。その結果、電気的絶縁信頼性の高い、高密度配線を有する配線基板の製造方法を提供することができる。
次に、本発明の配線基板の実施形態の一例を添付の図1を基に説明する。図1において、1は絶縁層、2は配線導体であり、主としてこれらで配線基板Aが形成されている。
絶縁層1は、ガラスクロス3入りの樹脂材料4から成る。樹脂材料4としては、エポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられる。
絶縁層1の上面から下面にかけては、複数の貫通孔5が形成されている。貫通孔5の直径は、30〜100μm程度である。
貫通孔5の内壁は、カーボンブラック膜6で被覆されている。カーボンブラック膜6は、カーボンブラックの微粒子の連続層により形成されている。カーボンブラック膜6を形成するカーボンブラックの粒径は、0.05〜0.1μm程度である。
配線導体2は、貫通孔5内においてカーボンブラック膜6を下地導体にするとともに、絶縁層1表面において第1の銅箔7aを下地導体にして、銅等の良導電性金属から成る。
次に、本発明の配線基板の製造方法における実施形態の一例を、添付の図2(a)〜(d)および図3(e)〜(h)を基に説明する。なお、これらの図2および図3において、上述した配線基板Aの場合と同様の部位には同様の符号を付して詳細な説明は省略する。
先ず、図2(a)に示すように、第1の銅箔7aおよび第2の銅箔7bが分離可能に密着された分離可能銅箔7が第2の銅箔7bを外側にして張着された銅張積層板10を準備する。絶縁層1の厚みは150〜200μm程度、第1の銅箔7aの厚みは1〜3μm程度であり、第2の銅箔7bの厚みは15〜18μm程度である。
次に、図2(b)に示すように、銅張積層板10の上面から下面にかけて貫通孔5を形成する。貫通孔5は、例えばレーザー加工により形成する。レーザー加工では、貫通孔5におけるレーザーの入射側の開口径が出射側の開口径よりも大きくなる。したがって、貫通孔5はテーパ形状となる。貫通孔5がこのようにテーパ形状であると、貫通孔5の内部をめっき導体で充填することが容易となる。絶縁層1における貫通孔5の直径は、レーザーの入射側で80〜100μm程度、レーザーの出射側で30〜60μm程度となる。また、分離可能銅箔7は、絶縁層1よりもレーザー加工されにくいので、貫通孔5の上下端に分離可能銅箔7の一部が庇状に突出した状態となる。なお、貫通孔5を形成した後には、デスミア処理をすることが好ましい。
次に、図2(c)に示すように、貫通孔5の内壁および分離可能銅箔7の露出表面をカーボンブラック膜6で被覆する。カーボンブラック膜6による被覆は、貫通孔5が形成された銅張積層板10の表面をクリーニングおよびコンディショニング処理によりプラス電荷に帯電させた後、この帯電面にマイナス電荷をもつカーボンブラック粒子を吸着させる方法が用いられる。カーボンブラックの微粒子を吸着させるには、カーボンブラックの微粒子が分散されたカーボンブラック分散液中に銅張積層板10を浸漬したり、カーボンブラック分散液をスプレーしたりする方法が採用される。これによりカーボンブラック微粒子の連続膜が形成される。なお、必要に応じてカーボンブラック粒子の吸着を複数回繰り返してもよい。
次に、図2(d)に示すように、第2の銅箔7bを第1の銅箔7aから分離除去する。このとき、分離可能銅箔7の表面を被覆するカーボンブラック膜6は、第2の銅箔7bとともに除去される。
次に、図3(e)に示すように、絶縁層1上下面の第1の銅箔7a上に配線導体2のパターンに対応した開口パターンを有するめっきレジスト8を形成する。
次に、図3(f)に示すように、めっきレジスト8の開口パターンから露出する第1の銅箔7aの表面に、電解銅めっき法によりめっき導体9を析出させる。このめっき導体9は、貫通孔5内を充填するとともに絶縁層1の上下面で10〜20μm程度の厚みとなるように形成する。この場合、めっき導体9は、貫通孔5内においてカーボンブラック膜6を下地導体にするとともに、絶縁層1表面において第1の銅箔7aを下地導体にして被着される。
次に、図3(g)に示すように、めっきレジスト8を剥離除去する。めっきレジスト8の剥離には、アルカリ系の剥離液を用いることができる。
最後に、図3(h)に示すように、めっき導体9から露出する第1の銅箔7aをエッチング除去する。これによって、貫通孔5内および絶縁層1の上下面にめっき導体9から成る配線導体2が形成された配線基板Aが完成する。
このように、本例の配線基板の製造方法によれば、貫通孔5を有する銅張積層板10の貫通孔5内および分離可能銅箔7の露出表面をカーボンブラック膜6で被覆した後、第2の銅箔7bをその上のカーボンブラック膜6とともに第1の銅箔7aから分離除去する。そして、貫通孔5内においてカーボンブラック膜6を下地導体にするとともに、絶縁層1表面において第1の銅箔7aを下地導体にしてセミアディティブ法により電解めっきを行うことで貫通孔5内および絶縁層1表面に配線導体2を形成する。
このため、カーボンブラック膜6をカーボンブラック微粒子の連続膜が形成される程度に厚いものとしたとしても、分離可能銅箔7の露出表面を被覆するカーボンブラック膜6を第2の銅箔7bとともに完全に除去するとこができる。したがって、貫通孔5の内壁をカーボンブラック微粒子の連続膜が形成される程度に厚いカーボンブラック膜6で被覆することが可能となり、このカーボンブラック膜6が貫通孔5同士の間のマイグレーションに対するバリアとして機能するので、隣接する貫通孔5の配設ピッチを狭いものにしたとしても、隣接する貫通孔5の間におけるマイグレーションが有効に防止される。その結果、電気的絶縁信頼性の高い、高密度配線を有する配線基板の製造方法を提供することができる。
このため、カーボンブラック膜6をカーボンブラック微粒子の連続膜が形成される程度に厚いものとしたとしても、分離可能銅箔7の露出表面を被覆するカーボンブラック膜6を第2の銅箔7bとともに完全に除去するとこができる。したがって、貫通孔5の内壁をカーボンブラック微粒子の連続膜が形成される程度に厚いカーボンブラック膜6で被覆することが可能となり、このカーボンブラック膜6が貫通孔5同士の間のマイグレーションに対するバリアとして機能するので、隣接する貫通孔5の配設ピッチを狭いものにしたとしても、隣接する貫通孔5の間におけるマイグレーションが有効に防止される。その結果、電気的絶縁信頼性の高い、高密度配線を有する配線基板の製造方法を提供することができる。
1 絶縁層
2 配線導体
3 ガラスクロス
4 樹脂材料
5 貫通孔
6 カーボンブラック膜
7 分離可能銅箔
7a 第1の銅箔
7b 第2の銅箔
A 配線基板
2 配線導体
3 ガラスクロス
4 樹脂材料
5 貫通孔
6 カーボンブラック膜
7 分離可能銅箔
7a 第1の銅箔
7b 第2の銅箔
A 配線基板
Claims (1)
- ガラスクロス入りの樹脂材料から成る絶縁層の表面に、第1の銅箔および第2の銅箔が分離可能に密着された分離可能銅箔が前記第2の銅箔を外側にして張着された銅張積層板を準備する工程と、前記銅張積層板の上面から下面にかけて貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔内壁および前記分離可能銅箔の露出表面をカーボンブラック膜で被覆する工程と、前記第2の銅箔を前記第1の銅箔から分離除去する工程と、前記貫通孔内において前記カーボンブラック膜を下地導体にするとともに、前記絶縁層表面において前記第1の銅箔を下地導体にしてセミアディティブ法により電解めっきを行うことにより前記貫通孔内および前記絶縁層表面に配線導体を形成する工程とを行なうことを特徴とする配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014221170A JP2016092052A (ja) | 2014-10-30 | 2014-10-30 | 配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014221170A JP2016092052A (ja) | 2014-10-30 | 2014-10-30 | 配線基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016092052A true JP2016092052A (ja) | 2016-05-23 |
Family
ID=56017133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014221170A Pending JP2016092052A (ja) | 2014-10-30 | 2014-10-30 | 配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016092052A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019029609A (ja) * | 2017-08-03 | 2019-02-21 | 日立化成株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
JP2019029610A (ja) * | 2017-08-03 | 2019-02-21 | 日立化成株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
CN114641136A (zh) * | 2020-12-16 | 2022-06-17 | 深南电路股份有限公司 | 电路板的铜层凸台制作方法及电路板 |
US20230089856A1 (en) * | 2019-08-22 | 2023-03-23 | HongQiSheng Precision Electronics (QinHuangDao) Co.,Ltd. | Transparent circuit board and method for manufacturing the same |
CN114641136B (zh) * | 2020-12-16 | 2024-05-14 | 深南电路股份有限公司 | 电路板的铜层凸台制作方法及电路板 |
-
2014
- 2014-10-30 JP JP2014221170A patent/JP2016092052A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019029609A (ja) * | 2017-08-03 | 2019-02-21 | 日立化成株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
JP2019029610A (ja) * | 2017-08-03 | 2019-02-21 | 日立化成株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
US20230089856A1 (en) * | 2019-08-22 | 2023-03-23 | HongQiSheng Precision Electronics (QinHuangDao) Co.,Ltd. | Transparent circuit board and method for manufacturing the same |
US11950371B2 (en) * | 2019-08-22 | 2024-04-02 | Hongqisheng Precision Electronics (Qinhuangdao) Co., Ltd. | Method for manufacturing transparent circuit board |
CN114641136A (zh) * | 2020-12-16 | 2022-06-17 | 深南电路股份有限公司 | 电路板的铜层凸台制作方法及电路板 |
CN114641136B (zh) * | 2020-12-16 | 2024-05-14 | 深南电路股份有限公司 | 电路板的铜层凸台制作方法及电路板 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4564342B2 (ja) | 多層配線基板およびその製造方法 | |
JP2009124098A (ja) | 電気部材及びそれを用いた印刷回路基板の製造方法 | |
US9814138B2 (en) | Wiring substrate | |
JP5908003B2 (ja) | 印刷回路基板及び印刷回路基板の製造方法 | |
JP2013168691A (ja) | 印刷回路基板及びそのビアホールの充填方法 | |
JP2016092052A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
KR20160080526A (ko) | 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
TWI450656B (zh) | 電路板及其製作方法 | |
JP5432800B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2012160559A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2009295635A (ja) | プリント配線板 | |
CN103260357B (zh) | 布线基板的制造方法 | |
JP2010205801A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2012044081A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2013042681A (ja) | 遺伝子解析用配線基板 | |
JP2011049447A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP2013206937A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP2015162644A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
KR101009118B1 (ko) | 랜드리스 인쇄회로기판의 제조방법 | |
JP2017228553A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2012049160A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
KR101298320B1 (ko) | 인쇄회로기판 및 그의 비아홀 충전방법 | |
JP2012160558A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2015173160A (ja) | ビアフィリングめっき方法 | |
JP2011071358A (ja) | 配線基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20160401 |