JP2016088837A - ガラス基板の製造方法、および、ガラス基板の製造装置 - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 242
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 87
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims abstract description 298
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 claims abstract description 200
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims abstract description 38
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 56
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 17
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 13
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 13
- 238000013019 agitation Methods 0.000 claims description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 6
- 241000220317 Rosa Species 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 21
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 15
- 206010040925 Skin striae Diseases 0.000 description 14
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 8
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 6
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000007500 overflow downdraw method Methods 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 3
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 3
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000010309 melting process Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000575 Ir alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000002438 flame photometric detection Methods 0.000 description 1
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
Description
最初に、ガラス基板の製造工程について説明する。ガラス基板は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイおよび有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ(FPD)用のガラス基板、タッチパネル用のガラス基板、太陽電池パネル用のガラス基板、および、保護用のガラス基板等として用いられる。ガラス基板は、例えば、0.3mm未満の厚みを有し、かつ、縦680mm〜2200mmおよび横880mm〜2500mmの寸法を有する。
(b)Al2O3:10質量%〜25質量%、
(c)B2O3:1質量%〜18質量%、
(d)MgO:0質量%〜10質量%、
(e)CaO:0質量%〜20質量%、
(f)SrO:0質量%〜20質量%、
(g)BaO:0質量%〜10質量%、
(h)RO:5質量%〜20質量%(Rは、Mg、Ca、SrおよびBaから選択される少なくとも1種である。)、
(i)R’2O:0質量%〜2.0質量%(R’は、Li、NaおよびKから選択される少なくとも1種である。)、
(j)SnO2、Fe2O3およびCeO2から選ばれる少なくとも1種の金属酸化物。
攪拌工程S3で使用される攪拌装置100について説明する。図3は、攪拌装置100の側面図である。攪拌装置100は、主として、第1攪拌装置100aと、第2攪拌装置100bとから構成されている。第1攪拌装置100aは、主として、第1攪拌槽101aと、第1攪拌槽101a内に設置される第1攪拌器102aとから構成されている。第2攪拌装置100bは、主として、第2攪拌槽101bと、第2攪拌槽101b内に設置される第2攪拌器102bとから構成されている。図4は、第1攪拌器102aの斜視図であり、図5は、第2攪拌器102bの斜視図である。
攪拌装置100の動作について説明する。図7は、攪拌装置100における熔融ガラス90の流れを表す図である。熔融ガラス90の流れは、白抜きの矢印で示されている。攪拌装置100において、熔融ガラス90は、第1攪拌槽101aの内部、および、第2攪拌槽101bの内部を所定の高さ位置まで満たしている。接続管107の内部は、熔融ガラス90で満たされている。そのため、図7に示されるように、第1攪拌槽101aおよび第2攪拌槽101b内の熔融ガラス90の液面90aの高さ位置は、接続管107の上端の高さ位置よりも上方にある。なお、第1攪拌槽101a内の熔融ガラス90の温度は、第2攪拌槽101b内の熔融ガラス90の温度よりも、40℃〜70℃高いことが好ましい。
攪拌装置100の上流側導管103内では、熔融ガラス90と共に異質ガラス93が流れていることがある。異質ガラス93は、熔融ガラス90とは異なる成分および比重を有するガラスである。例えば、異質ガラス93は、熔融ガラス90よりもシリカの含有量が高く、熔融ガラス90よりも比重が小さいガラスである。また、例えば、異質ガラス93は、熔融ガラス90よりもジルコニアの含有量が高く、熔融ガラス90よりも比重が大きいガラスである。以下、異質ガラス93は、熔融ガラス90よりも比重が小さいガラスであるとする。
(5−1)変形例A
実施形態では、熔融ガラス90は、最初に、第1攪拌槽101a内において鉛直方向に沿って下方から上方に導かれながら攪拌され、次に、第2攪拌槽101b内において鉛直方向に沿って上方から下方に導かれながら攪拌される。しかし、図10に示されるように、熔融ガラス90は、最初に、第1攪拌槽301a内において鉛直方向に沿って上方から下方に導かれながら攪拌され、次に、第2攪拌槽301b内において鉛直方向に沿って下方から上方に導かれながら攪拌されてもよい。図10は、本変形例に係る攪拌装置300における熔融ガラス90の流れを表す図である。熔融ガラス90の流れは、白抜きの矢印で示されている。
実施形態では、流路変更部材107aは、図6に示されるように、滑らかな螺旋構造を有している。しかし、流路変更部材107aは、接続管107内を流れる流体の圧力の増加を最小限に抑えるような構造を有していれば、他の形状を有していてもよい。
実施形態では、熔融ガラス90は、無アルカリガラスまたは微アルカリガラスであり、攪拌装置100において、熔融ガラス90は、1400℃〜1550℃の温度範囲で攪拌される。しかし、熔融ガラス90は、攪拌装置100で攪拌される熔融ガラス90よりも多量のアルカリ成分が添加された熔融ガラスであってもよい。この場合、攪拌装置100において、熔融ガラスは、1300℃〜1400℃の温度範囲で攪拌される。
実施形態では、第1羽根106a1〜106a4は、2枚の第1支持板108aが、第1シャフト105aの軸方向に対して直交するように設けられている。しかし、第1支持板108aは、第1シャフト105aの軸方向に直交する平面に対して傾斜した状態で、第1シャフト105aに取り付けられてもよい。なお、本変形例は、第2攪拌器102bの第2羽根106b1〜106b5に対しても、適用可能である。
実施形態では、第1シャフト105aは、その回転軸が第1攪拌槽101aの円筒形状の中心軸と一致するように、配置されている。しかし、第1シャフト105aは、その回転軸が第1攪拌槽101aの円筒形状の中心軸から離間するように、配置されてもよい。
実施形態では、第2攪拌器102bは、第1攪拌器102aと同じサイズを有するが、第1攪拌器102aと異なるサイズを有してもよい。例えば、第2攪拌器102bは、第1攪拌器102aよりも小さいサイズを有してもよい。
90 熔融ガラス
93 異質ガラス
100 攪拌装置
101a 第1攪拌槽
101b 第2攪拌槽
102a 第1攪拌器
102b 第2攪拌器
103 上流側導管
104 下流側導管
107 接続管
107a 流路変更部材
200 ガラス基板製造装置
Claims (7)
- ガラス原料を熔解して熔融ガラスを得る熔解工程と、前記熔解工程で得られた前記熔融ガラスを攪拌する攪拌工程と、前記攪拌工程で攪拌された前記熔融ガラスからガラス基板を成形する成形工程とを備えるガラス基板の製造方法であって、
前記攪拌工程は、
前記熔融ガラスを上流側導管に流して、前記上流側導管と接続される第1攪拌槽に前記熔融ガラスを供給する供給工程と、
前記第1攪拌槽内において、前記供給工程で供給された前記熔融ガラスを、鉛直方向に沿った第1方向に導きながら攪拌する第1攪拌工程と、
前記第1攪拌工程で攪拌された前記熔融ガラスを、前記第1攪拌槽と第2攪拌槽とを接続する接続管に流して前記第2攪拌槽に移送する移送工程と、
前記第2攪拌槽内において、前記移送工程で移送された前記熔融ガラスを、前記第1方向の反対方向に導きながら攪拌する第2攪拌工程と
を有し、
前記移送工程では、前記熔融ガラスと異なる比重を有する異質ガラスが前記接続管に流入し、前記接続管において前記異質ガラスの流れの高さ位置が変化する、
ガラス基板の製造方法。 - 前記異質ガラスは、前記熔融ガラスよりも比重が小さく、
前記第1方向は、下方から上方に向かう方向であり、
前記供給工程では、前記異質ガラスが、前記上流側導管の上部を流れ、
前記第1攪拌工程では、前記供給工程において前記上流側導管の上部を流れた前記異質ガラスが、前記第1攪拌槽の側面を伝いながら上昇し、
前記移送工程では、前記第1攪拌工程において前記第1攪拌槽の側面を伝いながら上昇した前記異質ガラスが、前記接続管の下部を流れた後に、前記接続管内で上昇し、
前記第2攪拌工程では、前記移送工程において前記接続管内で上昇した前記異質ガラスが、前記熔融ガラスと共に攪拌される、
請求項1に記載のガラス基板の製造方法。 - 前記異質ガラスは、前記熔融ガラスよりも比重が大きく、
前記第1方向は、上方から下方に向かう方向であり、
前記供給工程では、前記異質ガラスが、前記上流側導管の下部を流れ、
前記第1攪拌工程では、前記供給工程において前記上流側導管の下部を流れた前記異質ガラスが、前記第1攪拌槽の側面を伝いながら下降し、
前記移送工程では、前記第1攪拌工程において前記第1攪拌槽の側面を伝いながら下降した前記異質ガラスが、前記接続管の上部を流れた後に、前記接続管内で下降し、
前記第2攪拌工程では、前記移送工程において前記接続管内で下降した前記異質ガラスが、前記熔融ガラスと共に攪拌される、
請求項1に記載のガラス基板の製造方法。 - 熔融ガラスを攪拌する攪拌装置と、前記攪拌装置によって攪拌された前記熔融ガラスからガラス基板を成形する成形装置とを備えるガラス基板の製造装置であって、
前記攪拌装置は、
第1攪拌槽と、
第2攪拌槽と、
前記第1攪拌槽内に設置され、前記第1攪拌槽内の前記熔融ガラスを、鉛直方向に沿った第1方向に導きながら攪拌するための第1攪拌器と、
前記第2攪拌槽内に設置され、前記第2攪拌槽内の前記熔融ガラスを、前記第1方向の反対方向に導きながら攪拌するための第2攪拌器と、
前記第1攪拌槽の側部と接続され、前記第1攪拌槽に前記熔融ガラスを供給するための上流側導管と、
前記第1攪拌槽の側部と前記第2攪拌槽の側部とを接続し、前記第1攪拌槽から前記第2攪拌槽に前記熔融ガラスを移送するための接続管と、
前記第2攪拌槽の側部と接続され、前記第2攪拌槽内から前記熔融ガラスを流出させるための下流側導管と、
を備え、
前記接続管は、前記接続管内に設置される流路変更部材を有し、かつ、前記熔融ガラスと異なる比重を有する異質ガラスが流入し、
前記流路変更部材は、前記接続管に流入した前記異質ガラスの流れの高さ位置を変化させる、
ガラス基板の製造装置。 - 前記流路変更部材は、前記接続管内の流れを捩じることによって、前記異質ガラスの流れの高さ位置を変化させる、
請求項4に記載のガラス基板の製造装置。 - 前記異質ガラスは、前記熔融ガラスよりも比重が小さく、
前記第1方向は、下方から上方に向かう方向であり、
前記上流側導管は、前記第1攪拌槽の下方側部と接続され、
前記接続管は、前記第1攪拌槽の上方側部と前記第2攪拌槽の上方側部とを接続し、
前記下流側導管は、前記第2攪拌槽の下方側部と接続され、
前記流路変更部材は、前記接続管の下部を流れる前記異質ガラスを上昇させる、
請求項4または5に記載のガラス基板の製造装置。 - 前記異質ガラスは、前記熔融ガラスよりも比重が大きく、
前記第1方向は、上方から下方に向かう方向であり、
前記上流側導管は、前記第1攪拌槽の上方側部と接続され、
前記接続管は、前記第1攪拌槽の下方側部と前記第2攪拌槽の下方側部とを接続し、 前記下流側導管は、前記第2攪拌槽の上方側部と接続され、
前記流路変更部材は、前記接続管の上部を流れる前記異質ガラスを下降させる、
請求項4または5に記載のガラス基板の製造装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150148081A KR101778377B1 (ko) | 2014-10-31 | 2015-10-23 | 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판의 제조 장치 |
TW104135129A TWI596067B (zh) | 2014-10-31 | 2015-10-26 | Manufacturing method of a glass substrate, and manufacturing apparatus of a glass substrate |
CN201510725372.5A CN105565644B (zh) | 2014-10-31 | 2015-10-30 | 玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014222491 | 2014-10-31 | ||
JP2014222491 | 2014-10-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016088837A true JP2016088837A (ja) | 2016-05-23 |
JP6133958B2 JP6133958B2 (ja) | 2017-05-24 |
Family
ID=56018661
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015206606A Active JP6133958B2 (ja) | 2014-10-31 | 2015-10-20 | ガラス基板の製造方法、および、ガラス基板の製造装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6133958B2 (ja) |
KR (1) | KR101778377B1 (ja) |
TW (1) | TWI596067B (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019011226A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | AvanStrate株式会社 | 表示装置用ガラス基板の製造方法、及び表示装置用ガラス基板製造装置 |
WO2019082470A1 (ja) * | 2017-10-24 | 2019-05-02 | 日本電気硝子株式会社 | 溶融ガラスの搬送装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014514239A (ja) * | 2011-04-29 | 2014-06-19 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス物品を作製する装置および方法 |
JP2015174806A (ja) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 日本電気硝子株式会社 | 溶融ガラスの流れ置換部材 |
-
2015
- 2015-10-20 JP JP2015206606A patent/JP6133958B2/ja active Active
- 2015-10-23 KR KR1020150148081A patent/KR101778377B1/ko active IP Right Grant
- 2015-10-26 TW TW104135129A patent/TWI596067B/zh active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6133958B2 (ja) | 2017-05-24 |
TW201630823A (zh) | 2016-09-01 |
TWI596067B (zh) | 2017-08-21 |
KR20160051618A (ko) | 2016-05-11 |
KR101778377B1 (ko) | 2017-09-13 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
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