JP2016075482A - 形状測定装置及び形状測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象物20を保持するホルダ12と、被測定面21に光を照射して該被測定面21との距離を非接触で測定するセンサ7と、センサ7を中心軸R1回りに回転させるエンコーダ5と、センサ7を中心軸R1と直交する軸R2上で移動させるセンサ移動機構であって、中心軸R1との交点の両側にわたってセンサ7を移動可能なスライドレール4及びバー6と、ホルダ12をZ軸に沿って移動させると共にXY面内において移動させるXYZステージと、センサ7から出力された測定値に基づいて被測定面21の球心の位置を算出し、該球心の位置をセンサ7の回転中心Cに一致させる制御を行う制御装置14とを備える。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る形状測定装置の構成例を示す模式図である。図1に示すように、本実施の形態に係る形状測定装置1は、凸又は凹の球面状をなす被測定面を有する測定対象物の該被測定面の形状を測定する形状測定装置であって、より詳細には、被測定面の各点における径方向の形状偏差を測定する。形状測定装置1は、ベース2と、該ベース2に固定された2つの支持部材3と、これらの支持部材3に対してエンコーダ5を介して回転可能に取り付けられた2つのスライドレール4と、スライドレール4に設けられたレール部4aに沿って摺動可能に取り付けられたバー6と、該バー6に固定されたセンサ7と、ベース2上に水平面内において回転可能に設けられたθステージ8と、該θステージ8上に設けられたXステージ9、Yステージ10、及びZステージ11と、Zステージ11上において測定対象物20を保持するホルダ12と、ベース2上に脚部13aを介して設けられ、周囲の温度を測定する温度計測器13と、当該形状測定装置1全体の動作を制御する制御装置14とを備える。以下においては、鉛直方向をZ方向とし、該Z方向と直交する水平面をXY面とする。
次に、本発明の実施の形態の変形例について説明する。
上記実施の形態においては、測定対象物の被測定面(球面)の形状を測定する場合を説明したが、図1に示す形状測定装置1においては、測定対象物の被測定面に対する外周面の偏心量を測定することも可能である。
2 ベース
3 支持部材
5 エンコーダ
4 スライドレール
4a レール部
4b 支点
6 バー
7 センサ
8 θステージ
9 Xステージ
10 Yステージ
11 Zステージ
12 ホルダ
13 温度計測器
13a 脚部
14 制御装置
141 記憶部
142 演算部
143 表示部
144 制御部
20 測定対象物
21、23 被測定面
22 マスター
24 外周面
Claims (15)
- 球面状をなす被測定面を有する測定対象物の該被測定面の形状を測定する形状測定装置であって、
前記測定対象物を保持するホルダと、
前記被測定面に光を照射することにより、前記被測定面との距離を非接触で測定して測定値を出力するセンサと、
前記センサを第1の軸回りに回転させるセンサ回転機構と、
前記センサを、前記第1の軸と直交する第2の軸上で移動させるセンサ移動機構であって、前記第1の軸との交点の両側にわたって前記センサを移動可能なセンサ移動機構と、
前記ホルダを、鉛直方向と平行な第3の軸に沿って移動させると共に、該第3の軸と直交する面内で移動させるホルダ移動機構と、
前記センサから出力された前記測定値に基づいて前記被測定面の形状を算出すると共に、該被測定面の球心の位置を算出し、前記ホルダ移動機構に対し、前記球心の位置を、前記第1の軸と前記第2の軸との前記交点に一致させる制御を行う制御装置と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。 - 前記第2の軸上における前記センサの位置は、前記被測定面の大域的な形状に応じて調節可能である、ことを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記ホルダを前記第3の軸回りに回転させるホルダ回転機構をさらに備える、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の形状測定装置。
- 前記制御装置は、
前記センサにより表面の少なくとも一部に真球面を有するマスターを測定することにより得られた測定値から当該形状測定装置における組み付け誤差を算出し、該組み付け誤差を用いて、前記センサから出力された前記被測定面の前記測定値を補正する、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 前記制御装置は、
当該形状測定装置に関して予め取得された、前記センサが照射する前記光の角度特性に関する情報を記憶する記憶部を有し、
前記角度特性に関する情報を用いて、少なくとも前記センサの前記第1の軸回りの回転量に基づき、前記被測定面に照射される前記光の照射角度に起因する前記測定値の誤差を補正する、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 前記制御装置は、
当該形状測定装置に関して予め取得された測長距離に関する情報を記憶する記憶部を有し、
前記測長距離に関する情報を用いて、前記センサと前記被測定面との距離に起因する前記測定値の誤差を補正する、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 当該形状測定装置の周囲における温度を計測する温度計測器をさらに備え、
前記制御装置は、
当該形状測定装置に関して予め取得された温度特性に関する情報を記憶する記憶部を有し、
前記温度特性に関する情報を用いて、前記温度の変化に起因する前記測定値の誤差を補正する、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 前記制御装置は、前記センサが測定した前記被測定面と前記測定対象物の外周面の測定値に基づき、前記被測定面に対する前記外周面の偏心量を算出する、ことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 球面状をなす被測定面を有する測定対象物の該被測定面の形状を測定する形状測定装置を用いて行われる形状測定方法であって、
前記形状測定装置は、前記測定対象物を保持するホルダと、前記被測定面に光を照射することにより、前記被測定面との距離を非接触で測定して測定値を出力するセンサと、前記センサを第1の軸回りに回転させるセンサ回転機構と、前記センサを、前記第1の軸と直交する第2の軸上で移動させるセンサ移動機構であって、前記第1の軸との交点の両側にわたって前記センサを移動可能なセンサ移動機構と、前記ホルダを、鉛直方向と平行な第3の軸に沿って移動させると共に、該第3の軸と直交する面内で移動させるホルダ移動機構と、を備え、
前記センサから出力された前記測定値に基づいて前記被測定面の形状を算出すると共に、該被測定面の球心の位置を算出し、前記ホルダ移動機構により、前記球心の位置を、前記第1の軸と前記第2の軸との前記交点に一致させるステップを含むことを特徴とする形状測定方法。 - 前記第2の軸上における前記センサの位置を、前記被測定面の大域的な形状に応じて調節するステップをさらに含む、ことを特徴とする請求項9に記載の形状測定方法。
- 前記センサにより、表面の少なくとも一部に真球面を有するマスターの前記真球面を測定して、測定値を出力するマスター測定ステップと、
前記マスター測定ステップにおいて測定された前記マスターの測定値に基づいて、前記形状測定装置における組み付け誤差を算出する第1の演算ステップと、
前記第1の演算ステップにおいて算出された前記組み付け誤差を用いて、前記センサから出力された前記被測定面の前記測定値を補正する第2の演算ステップと、
をさらに含むことを特徴とする請求項9又は10に記載の形状測定方法。 - 前記形状測定装置に関して予め取得された、前記センサが照射する前記光の角度特性に関する情報を用いて、少なくとも前記センサの前記第1の軸回りの回転量に基づき、前記被測定面に照射される前記光の照射角度に起因する前記測定値の誤差を補正する補正ステップをさらに含む、ことを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載の形状測定方法。
- 前記形状測定装置に関して予め取得された測長距離に関する情報を用いて、前記センサと前記被測定面との距離に起因する前記測定値の誤差を補正する補正ステップをさらに含む、ことを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載の形状測定方法。
- 前記形状測定装置に関して予め取得された温度特性に関する情報を用いて、前記形状測定装置の周囲における温度の変化に起因する前記測定値の誤差を補正する補正ステップをさらに含む、ことを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載の形状測定方法。
- 前記センサが測定した前記被測定面と前記測定対象物の外周面の測定値に基づき、前記被測定面に対する前記外周面の偏心量を算出するステップをさらに含む、ことを特徴とする請求項9〜14のいずれか1項に記載の形状測定方法。
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