JP2016072470A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板SB上に、絶縁膜IF1、電荷蓄積膜EC1、絶縁膜IFE、電荷蓄積膜EC2および絶縁膜IF2からなる絶縁膜部IFPを形成する。電荷蓄積膜EC1は、シリコンおよび窒素を含有し、絶縁膜IFEは、シリコンおよび酸素を含有し、電荷蓄積膜EC2は、シリコンおよび窒素を含有する。絶縁膜IFEの厚さは、電荷蓄積膜EC1の厚さよりも薄く、電荷蓄積膜EC2の厚さは、電荷蓄積膜EC1の厚さよりも厚い。また、絶縁膜IFEは、水を含む処理液を用いて電荷蓄積膜EC1の上面を処理することにより、形成される。
【選択図】図15
Description
本実施の形態1における技術的思想は、同一の半導体チップに、半導体チップのメイン機能を実現する主回路と、主回路に付加されるアドオン回路と呼ばれる付加回路とを含む半導体装置であって、アドオン回路をMONOS型の書き換え可能な不揮発性メモリから構成する半導体装置に関する技術的思想である。
以下に示す本実施の形態1では、メイン機能を実現するシステムが形成された半導体チップを例に挙げて説明する。本実施の形態1における半導体チップは、相対的に低い電圧で駆動する低耐圧MISFETと、高電圧駆動を可能とするために相対的に高い電圧で駆動する高耐圧MISFETと、書き換え可能な不揮発性メモリセルとを含んでいる。
次に、図2は、不揮発性メモリの回路ブロック構成の一例を示す図である。図2において、不揮発性メモリ5は、メモリアレイ10と、直接周辺回路部11と、間接周辺回路部12と、を有している。
次に、実施の形態1の半導体装置としての半導体チップCHP1の構造を、図面を参照して説明する。図3および図4は、実施の形態1の半導体装置の要部断面図である。図4は、実施の形態1の半導体装置の要部断面図のうち、ゲート絶縁膜GIMの周辺を拡大して示す拡大断面図である。なお、図4では、理解を簡単にするため、層間絶縁膜IL1などMONOS型トランジスタMC上の部分、および、シリサイド膜CSの図示を省略している。
本実施の形態1における半導体装置は上記のように構成されており、以下に、この半導体装置に含まれるメモリセル(不揮発性メモリセル)の動作について説明する。
次に、本実施の形態1の半導体装置の製造方法について説明する。
次に、本実施の形態1の半導体装置におけるデータ保持特性、すなわちリテンション特性について、比較例1の半導体装置と対比しながら説明する。
次に、本実施の形態1の半導体装置におけるデータ消去効率について、比較例1〜比較例3の半導体装置と対比しながら説明する。
次に、本実施の形態1の半導体装置における閾値電圧の減衰率について、比較例1の半導体装置と対比しながら説明する。
次に、本実施の形態1の半導体装置におけるI/O回路面積の低減について、説明する。ここでは、検討例1〜検討例5を例示し、アドオン回路としてMONOS型トランジスタからなるメモリセルが主回路にアドオンされる場合において、MONOS型トランジスタに必要な書込・消去電圧と、その書込・消去電圧に対応した耐圧と、アドオンされる主回路のベースプロセスと、の関係を検討する。
本実施の形態1の半導体装置の製造方法では、半導体基板SB上に、絶縁膜IF1と、絶縁膜IF1上の電荷蓄積膜EC1と、電荷蓄積膜EC1上の絶縁膜IFEと、絶縁膜IFE上の電荷蓄積膜EC2と、電荷蓄積膜EC2上の絶縁膜IF2と、からなる絶縁膜部IFPを形成する。次いで、絶縁膜部IFP上に、導電膜CF1を形成し、導電膜CF1および絶縁膜部IFPをパターニングして、ゲート電極CGおよびゲート絶縁膜GIMを形成する。電荷蓄積膜EC1は、シリコンおよび窒素を含有し、絶縁膜IFEは、シリコンおよび酸素を含有し、電荷蓄積膜EC2は、シリコンおよび窒素を含有する。絶縁膜IFEの厚さTHIEは、電荷蓄積膜EC1の厚さTHE1よりも薄く、電荷蓄積膜EC2の厚さTHE2は、電荷蓄積膜EC1の厚さTHE1よりも厚い。また、絶縁膜IFEは、水を含む処理液を用いて電荷蓄積膜EC1の上面を処理することにより、形成される。
実施の形態1の半導体装置の製造方法では、処理液として純水を用いて半導体基板SBを液処理することにより、電荷蓄積膜EC1上に、絶縁膜IFEを形成した。それに対して、実施の形態2の半導体装置の製造方法では、オゾン水、過酸化水素水を含む処理液など、水を含む各種の処理液を用いて半導体基板SBを液処理することにより、電荷蓄積膜EC1上に、絶縁膜IFEを形成する。
図32は、実施の形態2の半導体装置の製造工程の一部を示すプロセスフロー図である。図32は、図6のステップS4に含まれる工程を示す。
本実施の形態2の半導体装置の製造方法では、実施の形態1の半導体装置の製造方法と同様に、絶縁膜IFEは、水を含む処理液を用いて電荷蓄積膜EC1の上面を処理することにより、形成される。そのため、本実施の形態2でも、実施の形態1と同様の効果を有する。
実施の形態1の半導体装置の製造方法では、処理液を用いて半導体基板SBを液処理することにより、電荷蓄積膜EC1上に、絶縁膜IFEを形成した。それに対して、実施の形態3の半導体装置の製造方法では、成膜装置を用いて絶縁膜IFEを形成する。
図33は、実施の形態3の半導体装置の製造工程の一部を示すプロセスフロー図である。図33は、図6のステップS4に含まれる工程を示す。
本実施の形態3の半導体装置の製造方法では、半導体基板SB上に、絶縁膜IF1と、絶縁膜IF1上の電荷蓄積膜EC1と、電荷蓄積膜EC1上の絶縁膜IFEと、絶縁膜IFE上の電荷蓄積膜EC2と、電荷蓄積膜EC2上の絶縁膜IF2と、からなる絶縁膜部IFPを形成する。次いで、絶縁膜部IFP上に、導電膜CF1を形成し、導電膜CF1および絶縁膜部IFPをパターニングして、ゲート電極CGおよびゲート絶縁膜GIMを形成する。電荷蓄積膜EC1は、シリコンおよび窒素を含有し、絶縁膜IFEは、シリコンおよび酸素を含有し、電荷蓄積膜EC2は、シリコンおよび窒素を含有する。絶縁膜IFEの厚さTHIEは、電荷蓄積膜EC1の厚さTHE1よりも薄く、電荷蓄積膜EC2の厚さTHE2は、電荷蓄積膜EC1の厚さTHE1よりも厚い。また、絶縁膜IFEは、600℃未満の温度でCVD法により形成される。
2 ROM
3 RAM
4 アナログ回路
5 不揮発性メモリ
6 I/O回路
10 メモリアレイ
11 直接周辺回路部
12 間接周辺回路部
CF1 導電膜
CG ゲート電極
CHP1 半導体チップ
CNT コンタクトホール
CS シリサイド膜
CT1〜CT8 セルトランジスタ
DL1〜DL4 データ線
DST 距離
EC、EC1、EC2 電荷蓄積膜
ECP 電荷蓄積部
ET1、ET2 電子トラップ位置
GIM ゲート絶縁膜
HL ホール
IF1、IF2、IFE 絶縁膜
IFP 絶縁膜部
IL1、IL2 層間絶縁膜
LDM n−型半導体領域
MC MONOS型トランジスタ
ML1 配線
MR メモリ形成領域
NDM n+型半導体領域
PG プラグ
PS 上面
PWM p型ウェル
SB 半導体基板
SL1〜SL4 ソース線
SNF 絶縁膜
STI 素子分離領域
SW サイドウォールスペーサ
TH1、TH2、THE1、THE2、THIE 厚さ
VMG p型半導体領域
WE1、WE2 ウェル
WL1、WL2 ワード線
Claims (9)
- (a)半導体基板を用意する工程、
(b)前記半導体基板の主面に、絶縁膜部を形成する工程、
(c)前記絶縁膜部上に、導電膜を形成する工程、
(d)前記導電膜および前記絶縁膜部をパターニングし、前記導電膜からなるゲート電極を形成し、前記ゲート電極と前記半導体基板との間の部分の前記絶縁膜部からなるゲート絶縁膜を形成する工程、
を有し、
前記(b)工程は、
(b1)前記半導体基板の前記主面に、シリコンおよび酸素を含有する第1絶縁膜を形成する工程、
(b2)前記第1絶縁膜上に、シリコンおよび窒素を含有する第2絶縁膜を形成する工程、
(b3)前記第2絶縁膜上に、シリコンおよび酸素を含有する第3絶縁膜を形成する工程、
(b4)前記第3絶縁膜上に、シリコンおよび窒素を含有する第4絶縁膜を形成する工程、
(b5)前記第4絶縁膜上に、シリコンおよび酸素を含有する第5絶縁膜を形成し、前記第1絶縁膜、前記第2絶縁膜、前記第3絶縁膜、前記第4絶縁膜および前記第5絶縁膜からなる前記絶縁膜部を形成する工程、
を含み、
前記第3絶縁膜の厚さは、前記第2絶縁膜の厚さよりも薄く、
前記第4絶縁膜の厚さは、前記第2絶縁膜の厚さよりも厚く、
前記(b3)工程では、水を含む第1処理液を用いて前記第2絶縁膜の上面を処理することにより、前記第3絶縁膜を形成する、半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記(b2)工程では、原子層堆積法により、前記第2絶縁膜を形成する、半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記ゲート電極および前記ゲート絶縁膜により不揮発性メモリが形成され、
前記不揮発性メモリは、前記半導体基板から前記ゲート絶縁膜に電子が注入されることにより、データが書き込まれ、前記半導体基板から前記ゲート絶縁膜にホールが注入されることにより、データが消去される、半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1処理液は、純水である、半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1処理液は、オゾン水である、半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1処理液は、過酸化水素水を含む、半導体装置の製造方法。 - 請求項4記載の半導体装置の製造方法において、
前記(b3)工程は、
(b6)前記第1処理液を用いて前記第2絶縁膜の上面を処理する工程、
(b7)フッ酸を含む第2処理液を用いて前記第2絶縁膜の上面を処理する工程、
を含み、
前記(b3)工程では、前記(b6)工程と前記(b7)工程とを交互に繰り返すことにより、前記第3絶縁膜を形成する、半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1絶縁膜は、酸化シリコンからなり、
前記第2絶縁膜は、窒化シリコンからなり、
前記第3絶縁膜は、酸化シリコンからなり、
前記第4絶縁膜は、窒化シリコンからなり、
前記第5絶縁膜は、酸化シリコンからなる、半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2絶縁膜は、電荷を蓄積する第1電荷蓄積部であり、
前記第4絶縁膜は、電荷を蓄積する第2電荷蓄積部である、半導体装置の製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3416195A2 (en) | 2017-04-25 | 2018-12-19 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing the semiconductor device |
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI685089B (zh) * | 2016-06-22 | 2020-02-11 | 聯華電子股份有限公司 | 半導體元件及其製作方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5587490A (en) * | 1978-12-25 | 1980-07-02 | Toshiba Corp | Non-voratile semiconductor memory device |
JPH07169728A (ja) * | 1993-12-14 | 1995-07-04 | Nippon Steel Corp | 半導体装置の製造方法 |
US20070166923A1 (en) * | 2006-01-18 | 2007-07-19 | Macronix International Co., Ltd. | Method for nitridation of the interface between a dielectric and a substrate in a MOS device |
JP2008098510A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2010016228A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその形成方法 |
JP2010056533A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-03-11 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05160095A (ja) | 1991-12-10 | 1993-06-25 | Sharp Corp | 半導体ウェハーの洗浄乾燥方法 |
JPH05235265A (ja) | 1992-02-21 | 1993-09-10 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH10247692A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Sony Corp | 不揮発性記憶素子 |
US7521378B2 (en) * | 2004-07-01 | 2009-04-21 | Micron Technology, Inc. | Low temperature process for polysilazane oxidation/densification |
US7060594B2 (en) * | 2004-10-19 | 2006-06-13 | Macronix International Co., Ltd. | Memory device and method of manufacturing including deuterated oxynitride charge trapping structure |
US7981745B2 (en) * | 2007-08-30 | 2011-07-19 | Spansion Llc | Sacrificial nitride and gate replacement |
JP2009289823A (ja) | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Renesas Technology Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2010177323A (ja) * | 2009-01-28 | 2010-08-12 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
KR102159845B1 (ko) * | 2012-07-01 | 2020-09-25 | 롱지튜드 플래쉬 메모리 솔루션즈 리미티드 | Sonos ono 스택 스케일링 |
-
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-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5587490A (en) * | 1978-12-25 | 1980-07-02 | Toshiba Corp | Non-voratile semiconductor memory device |
JPH07169728A (ja) * | 1993-12-14 | 1995-07-04 | Nippon Steel Corp | 半導体装置の製造方法 |
US20070166923A1 (en) * | 2006-01-18 | 2007-07-19 | Macronix International Co., Ltd. | Method for nitridation of the interface between a dielectric and a substrate in a MOS device |
JP2008098510A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2010016228A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその形成方法 |
JP2010056533A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-03-11 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11081596B2 (en) | 2017-04-19 | 2021-08-03 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and manufacturing device of the same |
TWI758462B (zh) * | 2017-04-19 | 2022-03-21 | 日商瑞薩電子股份有限公司 | 半導體裝置之製造方法 |
EP3416195A2 (en) | 2017-04-25 | 2018-12-19 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing the semiconductor device |
US11145744B2 (en) | 2017-06-19 | 2021-10-12 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
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