JP2016063097A - カーボンナノチューブ配線構造およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】カーボンナノチューブを用いた低抵抗な配線構造およびその製造方法を提供する。【解決手段】カーボンナノチューブ配線構造は、第1の配線層1と、第1の配線層上に第1の層間絶縁膜2と、第1の層間絶縁膜上に第2の層間絶縁膜3と、第1の層間絶縁膜と第2の層間絶縁膜を貫通するコンタクトホール4と、コンタクトホールの下端の第1の配線層上に触媒金属膜と、第2の層間絶縁膜上に第2の配線層と、コンタクトホール内の触媒金属膜上に第1の配線層と第2の配線層を電気的に接続するカーボンナノチューブ6と、カーボンナノチューブ間に埋め込み膜7と、を備える。コンタクトホール長さをLとし、コンタクトホールの上端の開口面積をAとし、コンタクトホールの上端の開口直径をaとし、コンタクトホールの下端の開口面積をBとするとき、A及びBは、B/A>1.5を満たし、L及びAは、L/a≧2を満たす。【選択図】図1
Description
実施形態は、カーボンナノチューブ配線構造およびその製造方法に関する。
LSIや3Dメモリの微細化および多層化に伴い、金属配線において配線遅延の増大が大きな問題となっている。配線遅延の低減には、配線抵抗や配線間容量の低減が重要である。配線の低抵抗化には、例えばCuなどの低抵抗材料の適用が実用化されている。しかし、Cu配線においても、ストレスマイグレーションやエレクトロマイグレーションによる信頼性劣化、サイズ効果に起因する電気抵抗率の上昇、微細ビアホールへの埋め込みなどが問題となっており、低抵抗かつ電流密度耐性に優れた配線材料が求められている。
低抵抗・高信頼性が期待できる次世代配線材料として、高い電流密度耐性、電気伝導特性、熱伝導率、機械的強度など優れた物性を有するカーボンナノチューブやグラフェン等の炭素系材料の応用が注目されている。特に、高アスペクト比の縦方向層間配線にカーボンナノチューブを用いる配線構造が検討されている。
実施形態は、高密度なカーボンナノチューブ配線構造およびその製造方法を提供することを目的とする。
実施形態にかかるカーボンナノチューブ配線構造は、第1の配線層と、第1の配線層上に第1の層間絶縁膜と、第1の層間絶縁膜上に第2の層間絶縁膜と、第1の層間絶縁膜と第2の層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールと、コンタクトホールの下端の第1の配線層上に触媒金属膜と、第2の層間絶縁膜上に第2の配線層と、コンタクトホール内の触媒金属膜上に第1の配線層と第2の配線層を電気的に接続するカーボンナノチューブと、を備え、コンタクトホール長さをLとし、コンタクトホールの上端の開口面積をAとし、コンタクトホールの上端の開口直径をaとし、コンタクトホールの下端の開口面積をBとするとき、A及びBは、B/A>1.5を満たし、L及びaは、L/a≧2を満たす。
カーボンナノチューブ配線の電気抵抗は、コンタクトホール内に形成したカーボンナノチューブの本数で決まる。しかしながら、コンタクトホールのアスペクト比が2以上になると、プラズマ処理等による触媒金属膜を高密度に微粒化することが困難になり、十分な密度のカーボンナノチューブが得られず、電気抵抗を十分に低減できない懸念がある。コンタクトホールのアスペクト比が大きく、上層側の配線幅を狭くするという制約がある際に、カーボンナノチューブの低密度化の問題が起こりやすい。そのため、アスペクト比が大きなコンタクトホール内において、触媒金属膜が高密度に微粒子化せずとも、高密度なカーボンナノチューブを得ることが好ましい。
以下、実施形態の配線を例にカーボンナノチューブ配線構造について図面を用いて説明する。
以下、実施形態の配線を例にカーボンナノチューブ配線構造について図面を用いて説明する。
(実施形態1)
実施形態1のカーボンナノチューブ配線構造は、第1の配線層と、第1の配線層上に第1の層間絶縁膜と、第1の層間絶縁膜上に第2の層間絶縁膜と、第1の層間絶縁膜と第2の層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールと、コンタクトホールの下端の第1の配線層上に触媒金属膜と、第2の層間絶縁膜上に第2の配線層と、コンタクトホール内の触媒金属膜上に第1の配線層と第2の配線層を電気的に接続するカーボンナノチューブと、カーボンナノチューブ間に埋め込み膜又は空隙を有する。
実施形態1のカーボンナノチューブ配線構造は、第1の配線層と、第1の配線層上に第1の層間絶縁膜と、第1の層間絶縁膜上に第2の層間絶縁膜と、第1の層間絶縁膜と第2の層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールと、コンタクトホールの下端の第1の配線層上に触媒金属膜と、第2の層間絶縁膜上に第2の配線層と、コンタクトホール内の触媒金属膜上に第1の配線層と第2の配線層を電気的に接続するカーボンナノチューブと、カーボンナノチューブ間に埋め込み膜又は空隙を有する。
図1に、実施形態1のカーボンナノチューブ配線構造の構造断面図を示す。図1に示すカーボンナノチューブ配線構造は、例えば、半導体装置等の層間配線にかかる構造である。半導体装置としては、マイコン、MPU(Micro−Processing Unit)、PLD(Programmable Logic Device)や3次元NANDフラッシュメモリ等、特に限定されるものではない。実施形態1のカーボンナノチューブ配線のより具体的な利用例としては、アスペクト比(配線長/開口直径)が大きなBiCSメモリ構造のブロック間を接続するコンタクトプラグが挙げられる。
図1に示すカーボンナノチューブ配線構造は、第1の配線層1、第1の層間絶縁膜2、第2の層間絶縁膜3、触媒金属膜5(5A、5B)、カーボンナノチューブ6(コンタクトホール4中),埋め込み膜7(コンタクトホール4中)、第2の配線層8とを有する。
第1の配線層1は、Cuなどの導電材料で形成されたいわゆる下部配線層である。第1の配線層1は、半導体装置等の内部の配線層である。配線層中には、半導体回路を有していてもよい。第1の配線層1は、触媒金属膜5を介して、カーボンナノチューブ6と電気的に接続している。
第1の層間絶縁膜2は、第1の配線層1と第2の層間絶縁膜3との間に存在する絶縁膜である。第1の層間絶縁膜2は、カーボンナノチューブ6と埋め込み膜7が存在するコンタクトホール4と触媒金属膜5Bを挟む様に存在する。第1の配線層2の厚さ(コンタクトホール4の貫通方向の厚さ)をd1とする。第1の層間絶縁膜2の開口面積(第1の層間絶縁膜2の第1の配線層1側の開口部の開口面積)は、第2の層間絶縁膜3の開口面積(第2の層間絶縁膜3の第2の配線層8側の開口部の開口面積)よりも大きいことが好ましい。開口面積に違いを設けるために、第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜は異なるエッチングレートを有する材料からなる絶縁膜であることが好ましい。例えば、第1の層間絶縁膜2の誘電率は、第2の層間絶縁膜3の誘電率よりも高いことが好ましい。そこで、第1の層間絶縁膜2は、シリコン窒化膜が好ましく、例えば、SiNやSiCNなどの誘電率が4より大きい高誘電率絶縁膜である。第1の層間絶縁膜2は、単層でもよいし、材料の異なる複数の層で構成されていてもよい。なお、第2の層間絶縁膜3の誘電率が第1の層間絶縁膜の誘電率よりも高いという上記と逆の構成でもよい。
第2の層間絶縁膜3は、第1の層間絶縁膜2と第2の配線層8との間に存在する絶縁膜である。第2の層間絶縁膜3は、カーボンナノチューブ6と埋め込み膜7が存在するコンタクトホール4と触媒金属膜5Bを挟む様に存在する。第2の配線層3の厚さ(コンタクトホール4の貫通方向の厚さ)をd2とする。第1の層間絶縁膜2の説明で記載した理由により、第2の層間絶縁膜3は、第1の層間絶縁膜2で用いられる絶縁膜材料よりも低誘電率のシリコン酸化膜が好ましく、例えば、SiO2やSiOCなどの低誘電率絶縁膜である。第2の層間絶縁膜3は、単層でもよいし、材料の異なる複数の層で構成されていてもよい。
コンタクトホール4は、第1の配線層1と第2の配線層8との間に存在する領域である。コンタクトホール4底部には、触媒金属膜5Aが存在する。コンタクトホール4中には、多数本のカーボンナノチューブ6とカーボンナノチューブ6の間に埋め込み膜7が存在する。コンタクトホール4の開口した上端部において、カーボンナノチューブ6と第2の配線層が電気的及び物理的に接続している。コンタクトホール4の開口した下端部において、微粒子化した触媒金属膜5Aを介してカーボンナノチューブ6と第1の配線層1が電気的及び物理的に接続している。
コンタクトホール4の上端(コンタクトホール4と第2の配線層8との界面)の開口面積Aは、コンタクトホール4の下端(コンタクトホール4)の開口面積Bより狭いことが好ましい。つまり、B/A>1を少なくとも満たすことが好ましい。コンタクトホール4の形状は、上端が先細りのテーパー形状であることが好ましい。コンタクトホール4の開口面積には、触媒金属膜5の厚さは含まれない。
実施形態の配線構造では、コンタクトホール4の底部の微粒子化した触媒金属膜5Aからカーボンナノチューブが成長した配線を有する。コンタクトホール4のアスペクト比が大きな配線構造では、アスペクト比が小さな(2未満)配線構造と比べて触媒金属膜5が微粒子化しにくい。触媒金属膜5の微粒子化が生じにくいとカーボンナノチューブ6の密度(本/cm3)が低くなってしまう。そのため、コンタクトホール4のアスペクト比が大きい場合で、コンタクトホール4の上端と下端の開口面積が同じであると、そのコンタクトホール4内のカーボンナノチューブ6の密度は低くなる。しかし、触媒金属膜5のうち微粒子化した割合が低くても、コンタクトホール4の底部(下端)の面積をコンタクトホール4の上端の開口面積よりも大面積化することで、コンタクトホール4の底部に存在する微粒子化した触媒金属膜5Aの絶対数を大きくすることができる。そこで、第2の層間絶縁膜3に挟まれた領域のコンタクトホール4中のカーボンナノチューブ6の密度を高める観点から、B/A>1.5を満たすことが好ましく、B/A>2を満たすことがより好ましい。なお、開口面積は、走査型電子顕微鏡又は透過型電子顕微鏡で撮影した画像から求めることができる。撮影倍率は、コンタクトホールの開口面積に応じて適切な値が選択される。
また、第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3の境界におけるコンタクトホール4の開口面積Cは、A≦C<Bを満たすことが好ましい。開口面積Cが開口面積Aよりも小さいと、カーボンナノチューブ6が成長する段階で、第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3の境界におけるコンタクトホール4において、カーボンナノチューブ6が詰まってしまい、カーボンナノチューブ6が成長不十分となって、第2の配線層8まで到達しないものが増加してしまうことが好ましくない。
コンタクトホール4の長さLは、第1の配線層1から第2の配線層8までの長さである。コンタクトホール4の長さLは、例えば、100nm以上3μm以下である。実施形態のコンタクトホール4のアスペクト比は、コンタクトホール4の上端の開口直径を基準に定められる。コンタクトホール4が円形型に開口している場合は、配線構造の断面撮影画像から求められた直径をコンタクトホール4の上端の開口直径aとする。また、コンタクトホール4の開口形状が円形ではない場合は、コンタクトホール4の開口面積Aを求め、そして、開口直径aは、a=(A/π)1/2の式から求められた値とする。開口直径b及び開口直径cも同様に、配線構造の断面撮影画像から求められた値、又は、開口面積B((B/π)1/2)及び開口面積C((C/π)1/2)から求められる。なお、開口面積、開口直径、コンタクトホール4長さ、走査型電子顕微鏡又は透過型電子顕微鏡で撮影した画像から求めることができる。撮影倍率は、コンタクトホール4の開口面積又は配線長さ等に応じて適切な値が選択される。
なお、実施形態の開口直径aは、第2の配線層8の配線幅によって定まり、例えば、50nm以上100nm以下である。また、開口直径bは、第1の配線層の配線幅によって定まり、例えば、60nm以上300nm以下である。例えば、3DメモリであるBiCSメモリにカーボンナノチューブ配線を適用した場合を考えると、コンタクトホール4の上端部で面積の小さい第2の配線層8と接続するために、直径100nm以下の微細化が求められるが、コンタクトホール4の底部は面積の大きい第1の配線層1と接続することになり、直径100nm以上、例えば直径150nmとなるようにすることができる。
第1の層間絶縁膜2の厚さd1は、例えば、5nm以上100nm以下である。また、第2の層間絶縁膜3の厚さd2は、例えば、95nm以上2900nm以下である。d1とd2の比率は、d1が大きすぎると、第1の層間絶縁膜2のエッチング時間が長くなるという理由により好ましくない。そこで、d1/d2>0.04の関係を満たすことが好ましい。
第1の層間絶縁膜2に挟まれた領域のコンタクトホール4の角度θ1は、90°未満である。θ1の角度が小さすぎると、コンタクトホール4の勾配が急となり、カーボンナノチューブ6が成長不十分となる可能性がある。また、θ1が大きいと、カーボンナノチューブ6の高密度化の効果が小さくなる。そこで、θ1は、45°≦θ1≦85°を満たすことが好ましい。また、第2の層間絶縁膜3に挟まれた領域のコンタクトホール4の角度θ2は、θ1<θ2≦90°を満たす。このθ1とθ2が上記関係を満たすことで、開口面積の違いによるカーボンナノチューブの高密度化し、配線の低抵抗化に寄与する。また、カーボンナノチューブ6の高密度化等の観点から、θ1とθ2の差が大きすぎるのは好ましくなく、θ2/θ1<2を満たすことが好ましい。なお、θ1とθ2は次の式から求められる。
cotθ1=(b−c)/2d1 (式1)
cotθ2=(c−a)/2d1 (式2)
cotθ1=(b−c)/2d1 (式1)
cotθ2=(c−a)/2d1 (式2)
コンタクトホール4のアスペクト比が大きくなればなるほど、触媒金属膜5の微粒子化率は低下するため、実施形態のカーボンナノチューブ6の高密度化の効果が顕著となる。そこで、実施形態のカーボンナノチューブ配線構造のコンタクトホール4のアスペクト比は、10以上がより好ましく、30以上がより好ましい。実施形態のカーボンナノチューブ配線構造では、アスペクト比が30といった非常に大きな値であっても、第2の層間絶縁膜3で挟まれた領域において、例えば、1012本/cm3以上といった高密度なカーボンナノチューブ6によって、配線層を接続することができる。
触媒金属膜5は、コンタクトホール4の側壁及び底部に存在する金属膜である。触媒金属膜5は、カーボンナノチューブ6の成長に適した触媒作用を有する材料であるCo、Ni、Fe、Cu、RuとPt等から選ばれる金属、前記金属を含む合金または前記金属からなる群から選ばれる2種以上の金属を含む合金等が挙げられる触媒金属膜5の厚さは、カーボンナノチューブ6の成長に適した1nm以上5nm以下である。コンタクトホール4の底部の触媒金属膜5Aと第1の配線層1との間には、図示しない下地金属膜が存在していても良い。下地金属膜は、Ti、TiNとTaNのいずれかを含む薄膜又はTi、TiNとTaNのいずれかからなる薄膜、またはそれらの積層膜である。下地金属膜は、例えば、1nm以上20nm以下の厚さである。また、触媒金属膜5Bと第1の層間絶縁膜2の間及び触媒金属膜5Bと第2の層間絶縁膜3との間には、図示しない触媒金属不活性膜が存在していることが好ましい。触媒不活性膜によって、コンタクトホール4の側壁からのカーボンナノチューブ6の成長が抑制される。触媒金属不活性膜は、例えば、Si、SiO2とSiNのいずれかを含む薄膜、Si、SiO2とSiNのいずれかからなる薄膜あるいはSi、SiO2とSiNのいずれかの薄膜を組み合わせた積層薄膜である。触媒金属不活性膜は、例えば、1nm以上10nm以下の厚さである。また、触媒金属膜5Bを例えば10nm以上の膜厚にして、コンタクトホール4の側壁からグラフェンが成長するようにしてもよい。また、触媒金属膜5と第1の層間絶縁膜2の間及び触媒金属膜5と第2の層間絶縁膜3に拡散防止膜と導電膜を形成してもよい。拡散防止膜は、第1の層間絶縁膜2や第2の層間絶縁膜3中への導電膜と触媒金属膜5の拡散を抑制するために用いることが好ましい。導電膜は、層間配線の導電性を安定させたり向上させたりするため、触媒金属膜5下に用いることが好ましく、カーボンナノチューブ成長の助触媒となる金属が好ましい。導電膜としては金属膜を用いることができTi、Ta、Mn、MoとVからなる群から選ばれる1種以上の元素を含む金属膜が好ましい。
カーボンナノチューブ6は、第1の配線層1と第2の配線層を電気的に接続する。カーボンナノチューブ6は、コンタクトホール4の底部の微粒子化した触媒金属膜5Aから成長する。カーボンナノチューブ6は、単層でもよいし、多層のカーボンナノチューブでもよい。カーボンナノチューブ6の内部には、ドーパントを含んでもよい。ドーパントによって、カーボンナノチューブ6の直径を広げ、空間充填率を挙げることができる。カーボンナノチューブ6のドーパントとしては、アルカリ金属(K、Rb、Liなど)、ハロゲン元素(F2、Br2など)、塩化物(FeCl3、ZnCl2、CdCl2、YCl3、AlCl3など)などの原子や分子が挙げられる。カーボンナノチューブ6は、折れ曲がり、曲線、直線のいずれかの形状を有し、折れ曲がり、曲線、直線のなかから選ばれる複数の形状も有する。カーボンナノチューブ6の第2の層間絶縁膜3に挟まれた領域の密度は、配線の低抵抗化の観点から1012本/cm3以上が好ましい。
埋め込み膜7は、導電性又は絶縁性の埋め込み膜である。導電性の埋め込み膜としては、例えば、めっき法によるCuなどを用いることができる。また、絶縁性の埋め込み膜としては、例えば、SOD膜を用いることができる。なお、埋め込み膜7は、カーボンナノチューブ6に機械的強度を付与するために用いられる材料であり、例えば高い空間充填率によってカーボンナノチューブ6の強度が高い場合は、埋め込み膜7を省略することができる。
第2の配線層8は、Tiなどの導電材料で形成されたいわゆる上部配線層である。第2の配線層8は、カーボンナノチューブ6と良好なコンタクトを形成するTiなどが好ましい。第2の配線層8は、半導体装置等の内部の配線層である。配線層中には、半導体回路を有していてもよい。第2の配線層8は、カーボンナノチューブ6と電気的に接続している。また、Cuなどの導電材料を第2の配線層8上に形成してもよい。
実施形態によれば、カーボンナノチューブ成長用触媒金属膜が形成されたコンタクトホール4の底部の面積をコンタクトホール4の先端開口部よりも大きくすることができ、コンタクトホール4の先端開口部のカーボンナノチューブ6の密度をコンタクトホール4の底部のカーボンナノチューブ6の密度よりも高くすることができる。コンタクトホール4のアスペクト比が大きく、第2の配線層8の配線幅が狭い場合において、実施形態の様に、下層配線側の第1の配線層1の配線幅を広げ、かつ、カーボンナノチューブ6が成長可能な領域を広げる事によって、上層配線側の第2の配線層8のカーボンナノチューブ6の密度を高め、挟幅配線であっても低抵抗なカーボンナノチューブ配線を提供することができる。また、カーボンナノチューブ6を高密度化することで、平坦化工程時の研磨むらの解消やコンタクトホール4部の構造安定性の向上が望める。別の観点では、コンタクトホール4の底部のカーボンナノチューブ6の密度が比較的小さいため、カーボンナノチューブバンドル化による初期成長時の引き抜きを抑制することができる。
次に、図2から図8の工程図を参照して、実施形態1のカーボンナノチューブ配線構造の製造方法について説明する。実施形態のカーボンナノチューブ配線構造の製造方法は、第1の配線層を形成する工程と、第1の配線層上に第1の層間絶縁膜を形成する工程と、第1の層間絶縁膜上に第2の層間絶縁膜を形成する工程と、第1の層間絶縁膜と第2の層間絶縁膜をエッチングして、第1の層間絶縁膜と第2の層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホール上端部よりも面積が大きくなるように第1の層間絶縁膜をさらにエッチングする工程と、コンタクトホールに触媒金属膜を形成する工程と、触媒金属膜上にカーボンナノチューブを形成する工程と、カーボンナノチューブを平坦化する工程と、平坦化されたカーボンナノチューブと第2の層間絶縁膜上に第2の配線層を形成する工程と、を有する。
図2は、実施形態1の配線にかかる第1の層間絶縁膜2および第2の層間絶縁膜3の形成工程図である。最初に、第1の配線層1上に第1の層間絶縁膜2および第2の層間絶縁膜3を形成する。第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3は、例えばCVD(化学気相成長:Chemical Vapor Deposition)によって製膜される。
次に、図3は、実施形態1の配線にかかる第2の層間絶縁膜3のエッチング工程図である。図3に示すように、マスク9を形成し、例えばCF4、酸素を添加したCF4などのフッ素系ガスを用いたドライエッチングにより第2の層間絶縁膜3を第1の層間絶縁膜2まで貫通させる。
図4は、実施形態1の配線にかかる第1の層間絶縁膜2のエッチング工程図である。第2の層間絶縁膜3をエッチングした際に使用したガス系と異なる例えばCH2F2やCH3F2、酸素を添加したCH2F2やCH3F2などフッ素系ガスを用いたドライエッチングにより第1の層間絶縁膜2を第1の配線層1まで貫通させ、コンタクトホール4を形成する。このとき、コンタクトホール4の底部の開口部を第2の層間絶縁膜3の先端開口部よりも大きくなるようにする。また、第1の層間絶縁膜2を貫通するコンタクトホール4の形状は逆テーパーとなるようにエッチング時間を長めにすることが好ましい。コンタクトホール4の形成後、マスク9を除去する。
図5は、実施形態1の配線にかかる触媒金属膜5を形成する工程図である。次いで、図5に示すように、コンタクトホール4を含む全面に、触媒金属膜5を形成する。触媒金属膜5の形成方法は、PVD(物理気相成長:Physical Vapor Deposition)やCVDなどの成膜方法を採用することができる。しかし、コンタクトホールのアスペクト比が大きくなる場合には、段差被覆性が低いスパッタ等のPVDでは、ビア底に触媒金属膜を形成することは難しく、段差被覆性の良いCVDによる成膜が望ましい。
図6は、実施形態1の配線にかかるカーボンナノチューブ6を成長する工程図である。次に、図6に示すように、カーボンナノチューブ6を触媒金属膜5から成長させる。カーボンナノチューブ成長には、例えば熱CVD法、プラズマCVD法がある。プラズマCVD法を用いる場合、反応炉内で基板を例えば500℃に昇温し、原料ガスとしてメタンガスなどの炭化水素系ガスを、キャリアガスとして水素を導入して、例えばマイクロ波によってメタンガスを励起・放電させて、原料ガスをプラズマ化させ、触媒金属膜と反応させて、カーボンナノチューブ6を成長させる。また、カーボンナノチューブ成長を行う際、プラズマ表面処理により触媒金属膜5の微粒子化を行ってもよい。プラズマの原料ガスは、例えば水素またはアルゴンなどの希ガスが好ましいが、どちらかまたは両方を含んだ混合ガスでもよい。このとき、基板の加熱を行ってもよい。なお、触媒金属膜5の微粒子化のプラズマ処理を省略してもカーボンナノチューブ6を成長させる際の昇温による熱によって、触媒金属膜5が微粒子化する。
図7は、実施形態1の配線にかかる埋め込み膜7を形成する工程図である。埋め込み膜7は、CMPによる平坦化の際に研磨を良好に行うため、カーボンナノチューブ6を固定するために形成する。埋め込み膜は、絶縁性材料または導電性材料であってもよく、例えば塗布型絶縁膜であるSOD(Spin On Dielectric)をスピンコートにより形成する。スピンコート後は、例えば400℃で硬化させる。なお、前述のとおり、本工程は、カーボンナノチューブ6へのドーピングなどの工程を追加することなどにより省略することができる。
図8は、実施形態1の配線にかかる平坦化工程図である。次に、CMP(化学機械研磨:Chemical Mechanical Polishing)により平坦化を行い、コンタクトホール4内にカーボンナノチューブ6および埋め込み膜7を形成した配線構造が得られる。そして、カーボンナノチューブ6上部に、第2の配線層を形成することにより、図1に示すカーボンナノチューブ配線構造が得られる。
(実施形態2)
図9は実施形態2の断面構造である。実施形態1と異なる点は、触媒金属膜5がコンタクトホール4の側壁に存在せず、コンタクトホール4の底部と、第1の配線層1と第1の層間絶縁膜2の間に存在することである。従って、実施形態2のカーボンナノチューブ配線構造は、第1の配線層1と、第1の配線層1上に第1の層間絶縁膜2と、第1の層間絶縁膜2上に第2の層間絶縁膜3と、第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3を貫通するコンタクトホール4と、コンタクトホール4の下端の第1の配線層1上に触媒金属膜5と、第2の層間絶縁膜3上に第2の配線層8と、コンタクトホール4内の触媒金属膜5上に第1の配線層1と第2の配線層8を電気的に接続するカーボンナノチューブ6と、を備え、コンタクトホール4長さをLとし、コンタクトホール4の上端の開口面積をAとし、コンタクトホール4の上端の開口直径をaとし、コンタクトホール4の下端の開口面積をBとするとき、A及びBは、B/A>1.5を満たし、L及びaは、L/a(アスペクト比)≧2を満たす。そして、第1の配線層1と第1の層間絶縁膜2との間に触媒金属膜5をさらに有する。実施形態2のカーボンナノチューブ配線構造は、触媒金属膜5の存在位置以外は、実施形態1と共通するため、実施形態2の構造やその構成についての説明を省略する。
図9は実施形態2の断面構造である。実施形態1と異なる点は、触媒金属膜5がコンタクトホール4の側壁に存在せず、コンタクトホール4の底部と、第1の配線層1と第1の層間絶縁膜2の間に存在することである。従って、実施形態2のカーボンナノチューブ配線構造は、第1の配線層1と、第1の配線層1上に第1の層間絶縁膜2と、第1の層間絶縁膜2上に第2の層間絶縁膜3と、第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3を貫通するコンタクトホール4と、コンタクトホール4の下端の第1の配線層1上に触媒金属膜5と、第2の層間絶縁膜3上に第2の配線層8と、コンタクトホール4内の触媒金属膜5上に第1の配線層1と第2の配線層8を電気的に接続するカーボンナノチューブ6と、を備え、コンタクトホール4長さをLとし、コンタクトホール4の上端の開口面積をAとし、コンタクトホール4の上端の開口直径をaとし、コンタクトホール4の下端の開口面積をBとするとき、A及びBは、B/A>1.5を満たし、L及びaは、L/a(アスペクト比)≧2を満たす。そして、第1の配線層1と第1の層間絶縁膜2との間に触媒金属膜5をさらに有する。実施形態2のカーボンナノチューブ配線構造は、触媒金属膜5の存在位置以外は、実施形態1と共通するため、実施形態2の構造やその構成についての説明を省略する。
次に、図10から図15の工程図を参照して、実施形態2のカーボンナノチューブ配線構造の製造方法について説明する。実施形態のカーボンナノチューブ配線構造の製造方法は、第1の配線層を形成する工程と、第1の配線層上に触媒金属膜を形成する工程と、触媒金属膜上に第1の層間絶縁膜を形成する工程と、第1の層間絶縁膜上に第2の層間絶縁膜を形成する工程と、第1の層間絶縁膜と第2の層間絶縁膜をエッチングして、第1の層間絶縁膜と第2の層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホール上端部よりも面積が大きくなるように第1の層間絶縁膜をさらにエッチングする工程と、触媒金属膜上にカーボンナノチューブを形成する工程と、カーボンナノチューブを平坦化する工程と、平坦化されたカーボンナノチューブと第2の層間絶縁膜上に第2の配線層を形成する工程と、を有する。
図10は、実施形態2の配線にかかる触媒金属膜、第1の層間絶縁膜と第2の層間絶縁膜を形成する工程図である。図10に示すように第1の配線層1上にまず、触媒金属膜5を形成する。実施形態2では、被覆段差性は問わないため、コンタクトホール4のアスペクト比によらず、CVDで触媒金属膜5を製膜しても良いし、PVDで触媒金属膜5を成膜してもよい。続いて、触媒金属膜5上に実施形態1と同様に第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3を製膜する。
図11は、実施形態2の配線にかかる第1の層間絶縁膜2のエッチング工程図である。実施形態1と同様に第1の層間絶縁膜2をエッチングする。
図12は、実施形態2の配線にかかる第2の層間絶縁膜のエッチング工程図である。実施形態と同様に、第2の層間絶縁膜3をドライエッチングする。
図13は、実施形態2の配線にかかるカーボンナノチューブを成長する工程図である。そして、図13に示すように、カーボンナノチューブ6を触媒金属膜5から成長させる。触媒金属膜5がコンタクトホール4の側壁に存在しないが、実施形態1と同様の方法でカーボンナノチューブ6成長させることができる。
図14は、実施形態2の配線にかかる埋め込み膜7を形成する工程図である。そして、図15は、実施形態2の配線にかかる平坦化工程図である。図14と図15は実施形態1と同様の工程である。そして、カーボンナノチューブ6上部に、第2の配線層8を形成することにより、図9に示すカーボンナノチューブ配線構造が得られる。
(実施形態3)
実施形態3は、図1の形態の変形例である。図16に実施形態3のカーボンナノチューブ配線構造の構造断面図を示す。実施形態3において図1の形態と異なる点は、θ1が90°未満であることである。θ1以外は、図1の形態と共通するため、その説明を省略する。実施形態3では、テーパー形状が緩やかであるため、第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3の境界で、カーボンナノチューブ6の成長が阻害されにくく、より高密度のカーボンナノチューブ6を成長させることができるという利点を有する。
実施形態3は、図1の形態の変形例である。図16に実施形態3のカーボンナノチューブ配線構造の構造断面図を示す。実施形態3において図1の形態と異なる点は、θ1が90°未満であることである。θ1以外は、図1の形態と共通するため、その説明を省略する。実施形態3では、テーパー形状が緩やかであるため、第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3の境界で、カーボンナノチューブ6の成長が阻害されにくく、より高密度のカーボンナノチューブ6を成長させることができるという利点を有する。
(実施形態4)
実施形態4は、図9の形態の変形例である。図17に実施形態4のカーボンナノチューブ配線構造の構造断面図を示す。実施形態4において図9の形態と異なる点は、θ1が90°未満であって、コンタクトホール4の側面テーパー形状が曲線であることである。なお。第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3の境界でコンタクトホール4の側面の曲線は変曲点を有する。これらのこと以外は、図8の形態と共通するため、その説明を省略する。コンタクトホール4の側面のテーパー形状が曲線であっても、θ1とθ2も前述の式で求められる。実施形態4では、実施形態3よりもさらにテーパー形状が緩やかであるため、第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3の境界で、カーボンナノチューブ6の成長が阻害されにくく、より高密度のカーボンナノチューブ6を成長させることができるという利点を有する。
実施形態4は、図9の形態の変形例である。図17に実施形態4のカーボンナノチューブ配線構造の構造断面図を示す。実施形態4において図9の形態と異なる点は、θ1が90°未満であって、コンタクトホール4の側面テーパー形状が曲線であることである。なお。第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3の境界でコンタクトホール4の側面の曲線は変曲点を有する。これらのこと以外は、図8の形態と共通するため、その説明を省略する。コンタクトホール4の側面のテーパー形状が曲線であっても、θ1とθ2も前述の式で求められる。実施形態4では、実施形態3よりもさらにテーパー形状が緩やかであるため、第1の層間絶縁膜2と第2の層間絶縁膜3の境界で、カーボンナノチューブ6の成長が阻害されにくく、より高密度のカーボンナノチューブ6を成長させることができるという利点を有する。
(実施例1)
実施例1は、図1の形態のカーボンナノチューブ配線構造を有する半導体装置の実施例である。基板上に、第1の配線層1として、配線幅300nmのCu金属配線を形成する。次いで、第1の配線層1上に第1の層間絶縁膜2として、CVD法によって、SiNを50nmを形成する。次いで、第1の層間絶縁膜2上に第2の層間絶縁膜3として、CVD法によって、SiO2を950nmを形成する。次いで、コンタクトホール4用の100nmの円形の開口直径を有するマスク9を形成する。次いで、CF4ガスを用いて、第2の層間絶縁膜3をドライエッチングする。次いで、CH2F2ガスを用いて、第1の層間絶縁膜2をドライエッチングする。次いで、触媒金属膜5として、CVD法でNiを5nmコンタクトホール4内を含む領域に形成する。次いで、水素ガスにて、触媒金属膜5をプラズマ処理した後に、メタンガスを供給して、カーボンナノチューブを成長させる。次いで、SOD塗布液を用いてカーボンナノチューブ6を被覆する様に塗布し、約400℃で加熱処理して、SOD膜を形成する。次いで、CMPにより第2の層間絶縁膜3が露出するまで研磨し、最後にカーボンナノチューブ6と接続する様に、150nm幅の第2の配線層8を形成して、実施例1のカーボンナノチューブ配線構造を得る。得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは4で、アスペクト比は、10である。
実施例1は、図1の形態のカーボンナノチューブ配線構造を有する半導体装置の実施例である。基板上に、第1の配線層1として、配線幅300nmのCu金属配線を形成する。次いで、第1の配線層1上に第1の層間絶縁膜2として、CVD法によって、SiNを50nmを形成する。次いで、第1の層間絶縁膜2上に第2の層間絶縁膜3として、CVD法によって、SiO2を950nmを形成する。次いで、コンタクトホール4用の100nmの円形の開口直径を有するマスク9を形成する。次いで、CF4ガスを用いて、第2の層間絶縁膜3をドライエッチングする。次いで、CH2F2ガスを用いて、第1の層間絶縁膜2をドライエッチングする。次いで、触媒金属膜5として、CVD法でNiを5nmコンタクトホール4内を含む領域に形成する。次いで、水素ガスにて、触媒金属膜5をプラズマ処理した後に、メタンガスを供給して、カーボンナノチューブを成長させる。次いで、SOD塗布液を用いてカーボンナノチューブ6を被覆する様に塗布し、約400℃で加熱処理して、SOD膜を形成する。次いで、CMPにより第2の層間絶縁膜3が露出するまで研磨し、最後にカーボンナノチューブ6と接続する様に、150nm幅の第2の配線層8を形成して、実施例1のカーボンナノチューブ配線構造を得る。得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは4で、アスペクト比は、10である。
(実施例2)
第1の層間絶縁膜2として、SiNを用い、第2の層間絶縁膜3として、SiO2を用いる。そして、第2の層間絶縁膜3をドライエッチングするガスとして、CF4を用い、第1の層間絶縁膜2をドライエッチングするガスとして、CH2F2を用いること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例2のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例2で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは4で、アスペクト比は、10である。
第1の層間絶縁膜2として、SiNを用い、第2の層間絶縁膜3として、SiO2を用いる。そして、第2の層間絶縁膜3をドライエッチングするガスとして、CF4を用い、第1の層間絶縁膜2をドライエッチングするガスとして、CH2F2を用いること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例2のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例2で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは4で、アスペクト比は、10である。
(実施例3)
マスク9の開口直径を80nmとし、第2の配線層8の配線幅を100nmとすること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例3のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例3で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは5で、アスペクト比は、12.5である。
マスク9の開口直径を80nmとし、第2の配線層8の配線幅を100nmとすること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例3のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例3で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは5で、アスペクト比は、12.5である。
(実施例4)
第1の配線層の配線幅を500nmとし、第1の層間絶縁膜2を100nm形成してドライエッチングすること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例4のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例4で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは9で、アスペクト比は、10.5である。
第1の配線層の配線幅を500nmとし、第1の層間絶縁膜2を100nm形成してドライエッチングすること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例4のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例4で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは9で、アスペクト比は、10.5である。
(実施例5)
第1の配線層の配線幅を200nmとし、第1の層間絶縁膜2を10nm形成してドライエッチングすること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例5のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例5で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは1.5で、アスペクト比は、9.6である。
第1の配線層の配線幅を200nmとし、第1の層間絶縁膜2を10nm形成してドライエッチングすること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例5のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例5で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは1.5で、アスペクト比は、9.6である。
(実施例6)
第1の層間絶縁膜2の厚さを100nmとし、第2の層間絶縁膜3の厚さを2900nmとすること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例6のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例6で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは9で、アスペクト比は、30である。
第1の層間絶縁膜2の厚さを100nmとし、第2の層間絶縁膜3の厚さを2900nmとすること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例6のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例6で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは9で、アスペクト比は、30である。
(実施例7)
実施例7は、図16の形態のカーボンナノチューブ配線構造を有する半導体装置の実施例である。第2の層間絶縁膜3のエッチング時間を実施形態1よりも長くすること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例7のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例7で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは4で、アスペクト比は、10である。
実施例7は、図16の形態のカーボンナノチューブ配線構造を有する半導体装置の実施例である。第2の層間絶縁膜3のエッチング時間を実施形態1よりも長くすること以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例7のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例7で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは4で、アスペクト比は、10である。
(実施例8)
実施例8は、図9の形態のカーボンナノチューブ配線構造を有する半導体装置の実施例である。基板上に、第1の配線層1として、配線幅300nmのCu金属配線を形成する。次いで、第1の配線層1上に、触媒金属膜5として、PVD法でNiを5nm堆積する。次いで、触媒金属膜5上に第1の層間絶縁膜2として、CVD法によって、SiNを50nmを形成する。次いで、第1の層間絶縁膜2上に第2の層間絶縁膜3として、CVD法によって、SiO2を950nmを形成する。次いで、コンタクトホール4用の100nmの円形の開口直径を有するマスク9を形成する。次いで、CF4ガスを用いて、第2の層間絶縁膜3をドライエッチングする。次いで、CH2F2ガスを用いて、第1の層間絶縁膜2をドライエッチングする。次いで、水素ガスにて、触媒金属膜5をプラズマ処理した後に、メタンガスを供給して、カーボンナノチューブを成長させる。次いで、SOD塗布液を用いてカーボンナノチューブ6を被覆する様に塗布し、約400℃で加熱処理して、SOD膜を形成する。次いで、CMPにより第2の層間絶縁膜3が露出するまで研磨し、最後にカーボンナノチューブ6と接続する様に、150nm幅の第2の配線層8を形成して、実施例8のカーボンナノチューブ配線構造を得る。得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは4で、アスペクト比は、10である。
実施例8は、図9の形態のカーボンナノチューブ配線構造を有する半導体装置の実施例である。基板上に、第1の配線層1として、配線幅300nmのCu金属配線を形成する。次いで、第1の配線層1上に、触媒金属膜5として、PVD法でNiを5nm堆積する。次いで、触媒金属膜5上に第1の層間絶縁膜2として、CVD法によって、SiNを50nmを形成する。次いで、第1の層間絶縁膜2上に第2の層間絶縁膜3として、CVD法によって、SiO2を950nmを形成する。次いで、コンタクトホール4用の100nmの円形の開口直径を有するマスク9を形成する。次いで、CF4ガスを用いて、第2の層間絶縁膜3をドライエッチングする。次いで、CH2F2ガスを用いて、第1の層間絶縁膜2をドライエッチングする。次いで、水素ガスにて、触媒金属膜5をプラズマ処理した後に、メタンガスを供給して、カーボンナノチューブを成長させる。次いで、SOD塗布液を用いてカーボンナノチューブ6を被覆する様に塗布し、約400℃で加熱処理して、SOD膜を形成する。次いで、CMPにより第2の層間絶縁膜3が露出するまで研磨し、最後にカーボンナノチューブ6と接続する様に、150nm幅の第2の配線層8を形成して、実施例8のカーボンナノチューブ配線構造を得る。得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは4で、アスペクト比は、10である。
(実施例9)
実施例9は、図17の形態のカーボンナノチューブ配線構造を有する半導体装置の実施例である。第2の層間絶縁膜3のエッチング時間を実施形態8よりも長くすること以外は、実施例8と同様の方法によって、実施例9のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例9で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは4で、アスペクト比は、10である。
実施例9は、図17の形態のカーボンナノチューブ配線構造を有する半導体装置の実施例である。第2の層間絶縁膜3のエッチング時間を実施形態8よりも長くすること以外は、実施例8と同様の方法によって、実施例9のカーボンナノチューブ配線構造を得る。実施例9で得られるカーボンナノチューブ配線構造のB/Aは4で、アスペクト比は、10である。
明細書中、元素の一部は元素記号のみで表している。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態そのままに限定解釈されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成することができる。例えば、変形例の様に異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせても良い。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態そのままに限定解釈されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成することができる。例えば、変形例の様に異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせても良い。
1:第1の配線層
2:第1の層間絶縁膜
3:第2の層間絶縁膜
4:コンタクトホール
5:触媒金属膜
6:カーボンナノチューブ
7:埋め込み膜
8:第2の配線層
9:マスク
2:第1の層間絶縁膜
3:第2の層間絶縁膜
4:コンタクトホール
5:触媒金属膜
6:カーボンナノチューブ
7:埋め込み膜
8:第2の配線層
9:マスク
Claims (11)
- 第1の配線層と、
前記第1の配線層上に第1の層間絶縁膜と、
前記第1の層間絶縁膜上に第2の層間絶縁膜と、
前記第1の層間絶縁膜と前記第2の層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールと、
前記コンタクトホールの下端の前記第1の配線層上に触媒金属膜と、
前記第2の層間絶縁膜上に第2の配線層と
前記コンタクトホール内の前記触媒金属膜上に前記第1の配線層と前記第2の配線層を電気的に接続するカーボンナノチューブと、を備え、
前記コンタクトホール長さをLとし、
前記コンタクトホールの上端の開口面積をAとし、
前記コンタクトホールの上端の開口直径をaとし、
前記コンタクトホールの下端の開口面積をBとするとき、
前記A及びBは、B/A>1.5を満たし、
前記L及びaは、L/a≧2を満たすことを特徴とするカーボンナノチューブ配線構造。 - 前記Lとaは、L/a≧10を満たすことを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ配線構造。
- 前記コンタクトホール上端の前記カーボンナノチューブの密度は、前記コンタクトホール下端の前記カーボンナノチューブの密度よりも高いことを特徴とする請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブ配線構造。
- 前記第1の層間絶縁膜の前記コンタクトホール貫通方向の厚さをd1とし、
前記第2の層間絶縁膜の前記コンタクトホール貫通方向の厚さをd2とするとき、
前記d1とd2は、d1/d2>0.04の関係を満たすことを特徴とする請求項1乃至3に記載のカーボンナノチューブ配線構造。 - 前記第1の層間絶縁膜と前記第2の層間絶縁膜の界面における前記コンタクトホールの開口面積をCとするとき、
前記A、BとCは、A≦C<Bの関係を満たすことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ配線構造。 - 前記コンタクトホールの下端の開口直径をbとし、
前記第1層間絶縁膜と第2層間絶縁膜の界面における前記コンタクホールの開口直径をcとするとき、
cotθ1=(b−c)/2d1とし、
cotθ2=(c−a)/2d1とし、
前記θ1とθ2は、θ2/θ1<2と、θ1≧45°の関係を満たすことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ配線構造。 - 前記カーボンナノチューブ間の空隙に絶縁性又は導電性の埋め込み膜を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ配線構造。
- 第1の配線層を形成する工程と、
前記第1の配線層上に第1の層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の層間絶縁膜上に第2の層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の層間絶縁膜と前記第2の層間絶縁膜をエッチングして、前記第1の層間絶縁膜と前記第2の層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホール上端部よりも面積が大きくなるように前記第1の層間絶縁膜をさらにエッチングする工程と、
前記コンタクトホールに触媒金属膜を形成する工程と、
前記触媒金属膜上にカーボンナノチューブを形成する工程と、
前記カーボンナノチューブを平坦化する工程と、
平坦化された前記カーボンナノチューブと前記第2の層間絶縁膜上に第2の配線層を形成する工程と、を有することを特徴とするカーボンナノチューブ配線構造の製造方法。 - 第1の配線層を形成する工程と、
前記第1の配線層上に触媒金属膜を形成する工程と、
前記触媒金属膜上に第1の層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の層間絶縁膜上に第2の層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の層間絶縁膜と前記第2の層間絶縁膜をエッチングして、前記第1の層間絶縁膜と前記第2の層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホール上端部よりも面積が大きくなるように前記第1の層間絶縁膜をさらにエッチングする工程と、
前記触媒金属膜上にカーボンナノチューブを形成する工程と、
前記カーボンナノチューブを平坦化する工程と、
平坦化された前記カーボンナノチューブと前記第2の層間絶縁膜上に第2の配線層を形成する工程と、を有することを特徴とするカーボンナノチューブ配線構造の製造方法。 - 前記カーボンナノチューブを形成する工程の前に、前記触媒金属膜を微粒子化する処理を行う工程を更に有することを特徴とする請求項8又は9に記載のカーボンナノチューブ配線構造の製造方法。
- 前記第1の層間絶縁膜と前記第2の層間絶縁膜は、異なるエッチングレートを有し、
前記コンタクトホールを形成する工程で用いられるエッチングガスと、前記第1の層間絶縁膜をさらにエッチングする工程で用いられるエッチングガスは異なるガスであることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ配線構造の製造方法。
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