JP2016045163A - X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 224
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 26
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 31
- 230000008569 process Effects 0.000 description 22
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 22
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 17
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 14
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 14
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 10
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 10
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000013170 computed tomography imaging Methods 0.000 description 4
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 4
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000010076 replication Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
本発明は、前記課題に鑑みてなされたもので、検査対象部の像に基づいて検査対象部の位置を特定する技術の提供を目的とする。
(1)X線検査装置の構成:
(2)X線検査処理:
(3)他の実施形態:
図1は本発明の一実施形態にかかるX線検査装置の概略ブロック図である。X線検査装置は、X線撮像機構部10と制御部20とを備えている。X線撮像機構部10は、X線発生器11とX線検出器12とを備えている。X線撮像機構部10は、検査対象部を含む部品WとX線発生器11とX線検出器12とが所定の相対位置関係となった状態で、X線発生器11によって部品WにX線を照射させる。
図3Aは、X線検査処理を示すフローチャートである。当該X線検査処理は、検査対象の部品WがX線の照射範囲に搬送された後に実行される。X線検査処理において、CPU27は、X線画像取得部27aの処理により、CT撮影処理を行う(ステップS100)。すなわち、CPU27は、X線画像取得部27aの処理により、発生器制御部21,検出器制御部22,位置決め機構制御部23に対して所定の指示を出力し、Z軸方向に傾斜した角度でX線が検査対象部Waに照射されるように、各部の配置を調整する。さらに、CPU27は、X線画像取得部27aの処理により、発生器制御部21に対して所定の指示を出力して所定の出力でX線を出力させ、検出器制御部22に対して所定の指示を出力してX線画像データ26bを取得する。さらに、CPU27は、以上のようにX線画像データ26b撮影する処理を、軸Aを回転軸とした回転を行った後の複数の撮影位置で実行し、複数の撮影位置で撮影したX線画像データ26bをメモリ26に記録する。
以上の実施形態は本発明を実施するための一例であり、エッジ量の所定方向への変化に基づいて検査対象部の所定方向の端部の位置を取得する限りにおいて、他にも種々の実施形態を採用可能である。例えば、検査対象部はメッキによって充填されたスルーホールに限定されず、BGAにおけるバンプ、C4方式で利用されるバンプ等であっても良いし、リード部品を実装するためのはんだ等であっても良い。また、良否判定のための処理は、上述の例に限定されない。例えば、ボイドと所定方向の端部との距離ではなく、ボイドと検査対象部の重心との距離等に基づいて良否判定が行われてもよい。
Claims (5)
- 所定方向に対して傾斜した角度でX線を検査対象部に照射して撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得手段と、
前記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行する再構成演算手段と、
当該再構成演算によって得られた再構成情報に基づいて、前記所定方向に垂直な方向のX線画像のエッジ量を取得するエッジ量取得手段と、
前記エッジ量の前記所定方向への変化に基づいて前記検査対象部の前記所定方向の端部の位置を取得する端部位置取得手段と、
を備えるX線検査装置。 - 前記端部位置取得手段は、
前記エッジ量の前記所定方向についての微分値のピーク位置に基づいて前記検査対象部の前記所定方向の端部の位置を取得する、
請求項1に記載のX線検査装置。 - 前記端部位置取得手段は、
前記ピーク位置から前記検査対象部の方向にオフセットした位置を前記端部の位置として取得する、
請求項1または請求項2のいずれかに記載のX線検査装置。 - 所定方向に対して傾斜した角度でX線を検査対象部に照射して撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得工程と、
前記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行する再構成演算工程と、
当該再構成演算によって得られた再構成情報に基づいて、前記所定方向に垂直な方向のX線画像のエッジ量を取得するエッジ量取得工程と、
前記エッジ量の前記所定方向への変化に基づいて前記検査対象部の前記所定方向の端部の位置を取得する端部位置取得工程と、
を含むX線検査方法。 - 所定方向に対して傾斜した角度でX線を検査対象部に照射して撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得機能と、
前記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行する再構成演算機能と、
当該再構成演算によって得られた再構成情報に基づいて、前記所定方向に垂直な方向のX線画像のエッジ量を取得するエッジ量取得機能と、
前記エッジ量の前記所定方向への変化に基づいて前記検査対象部の前記所定方向の端部の位置を取得する端部位置取得機能と、
をコンピュータに実現させるX線検査プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014171676A JP6391365B2 (ja) | 2014-08-26 | 2014-08-26 | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014171676A JP6391365B2 (ja) | 2014-08-26 | 2014-08-26 | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016045163A true JP2016045163A (ja) | 2016-04-04 |
JP6391365B2 JP6391365B2 (ja) | 2018-09-19 |
Family
ID=55635846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014171676A Active JP6391365B2 (ja) | 2014-08-26 | 2014-08-26 | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
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