JP2016006714A - サスペンション用基板の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】積層された配線層間の絶縁層の表面の平坦性を向上させ、配線層におけるインピーダンスを安定させる。【解決手段】サスペンション用基板1は、金属基板20と、金属基板20上に設けられた第1絶縁層22と、第1絶縁層22上に設けられた第1配線層10と、第1絶縁層22及び第1配線層10上に設けられた第2絶縁層24と、第2絶縁層24上に設けられた第2配線層12と、を備える。第2配線層12は保護層26で覆われている。第1配線層10の厚みと、第1配線層10上の第2絶縁層24の厚みとの合計をT1とし、第1配線層10から所定距離離れて第2絶縁層24の表面が平坦となる位置における第2絶縁層24の厚みをT2としたとき、T1−T2<4.5μmを満たす。【選択図】図21

Description

本発明は、サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法に係り、特に、積層された配線層間の絶縁層の表面の平坦性を向上させたサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法に関する。
一般に、ハードディスクドライブ(HDD)は、データが記憶されるディスクに対してデータの書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドスライダが実装されたサスペンション用基板を備えている。このサスペンション用基板は、複数の配線層と、磁気ヘッドスライダが実装される実装領域の近傍に設けられた複数の配線パッドとを有し、各配線パッドが配線層にそれぞれ接続されている。これらの配線パッドが磁気ヘッドスライダのスライダパッドにそれぞれ接続されることにより、磁気ヘッドスライダに対してデータの受け渡しを行うようになっている。
近年、HDDの大容量化や情報伝達速度の高速化に伴い、サスペンション用基板における配線の多線化、微細化、積層化が求められている。例えば、クロストークの発生を抑制するため、金属基板と、金属基板上に形成された第1絶縁層と、第1絶縁層上に所定間隔を空けて形成された一対の第1配線層と、第1配線層を覆うように形成された第2絶縁層と、第2絶縁層上に所定間隔を空けて形成された一対の第2配線層とを備えるサスペンション用基板が提案されている(例えば特許文献1、2参照)。
しかし、このような従来の積層化配線を備えるサスペンション用基板では、第2絶縁層は、第1絶縁層及び第1配線層の上に形成されるため、第1絶縁層の表面及び第1配線層の表面によって生じる段差に追従した形状となり、第2絶縁層の表面に凹凸が生じる。このような第2絶縁層の凹凸表面上に第2配線層を形成した場合、第2配線層の位置ずれが生じたり、第2配線層のパターン不良が発生したりするおそれがある。その結果、第1配線層と第2配線層におけるインピーダンスが不安定になるという問題があった。
特開2009−188379号公報 特開2004−133988号公報
本発明は、積層された配線層間の絶縁層の表面の平坦性を向上させ、配線層におけるインピーダンスを安定させることができるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法を提供することを目的とする。
本発明によるサスペンション用基板は、金属基板と、前記金属基板上に設けられた第1絶縁層と、前記第1絶縁層上に設けられた第1配線層と、前記第1絶縁層及び前記第1配線層上に設けられた第2絶縁層と、前記第2絶縁層上に設けられた第2配線層と、を備え、前記第1配線層の厚みと、前記第1配線層上の前記第2絶縁層の厚みとの合計をT1とし、前記第1配線層から所定距離離れて前記第2絶縁層の表面が平坦となる位置における前記第2絶縁層の厚みをT2としたとき、T1−T2<4.5μmを満たすものである。
本発明によるサスペンション用基板においては、前記T2は、前記第1配線層から所定距離離れて前記第2絶縁層の表面が平坦な位置における、前記第2絶縁層の最小厚みである。
本発明によるサスペンション用基板においては、前記第1配線層の厚みは3μm以上7μm以下である。
本発明によるサスペンション用基板においては、前記第1絶縁層上に一対の前記第1配線層が設けられ、前記一対の第1配線層間に位置する前記第2絶縁層の厚みをT3としたとき、T1−T3<4.5μmを満たすものである。
本発明によるサスペンション用基板においては、前記第2配線層は、前記第1配線層と同一平面上に設けられた第1部分と、前記第2絶縁層上に設けられた第2部分とを含み、前記第2部分は、前記第1配線層に対して平面上に非平行であり、前記第2絶縁層を介して前記第1配線層を跨ぐものである。
本発明によるサスペンション用基板においては、前記第2配線層は、前記第1配線層に対して平行であり、かつ、この第1配線層の上方に設けられるものである。
本発明は、サスペンション用基板を有することを特徴とするサスペンションである。
本発明は、サスペンションと、このサスペンションに実装されたスライダとを有することを特徴とするヘッド付サスペンションである。
本発明は、ヘッド付サスペンションを有することを特徴とするハードディスクドライブである。
本発明によるサスペンション用基板の製造方法は、金属基板上に第1絶縁層を形成する工程と、前記第1絶縁層上に複数の第1配線層を形成する工程と、前記第1絶縁層及び前記複数の第1配線層上に、第1粘度を有する第1樹脂材料を塗布して乾燥させることにより第2絶縁層を形成する工程と、前記第2絶縁層上に第2配線層を形成する工程と、前記第2絶縁層及び前記第2配線層上に、前記第1粘度より低い第2粘度を有する第2樹脂材料を塗布して乾燥させることにより保護層を形成する工程と、を備えるものである。
本発明によるサスペンション用基板の製造方法においては、前記第1配線層の厚みと、前記第1配線層上の前記第2絶縁層の厚みとの合計をT1とし、前記第1配線層から所定距離離れて前記第2絶縁層の表面が平坦となる位置における前記第2絶縁層の厚みをT2としたとき、T1−T2<4.5μmを満たすものである。
本発明によるサスペンション用基板の製造方法においては、一対の前記第1配線層を形成し、前記一対の第1配線層間に位置する前記第2絶縁層の厚みをT3としたとき、T1−T3<4.5μmを満たすものである。
本発明によるサスペンション用基板の製造方法においては、前記複数の第1配線層に対して平面上に非平行をなし、前記第2絶縁層を介して前記複数の第1配線層を跨ぐように、前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層上に前記第2配線層を形成するものである。
本発明によるサスペンション用基板の製造方法においては、前記第1配線層に対して平行に、かつ、この第1配線層の上方に前記第2配線層を形成するものである。
本発明によるサスペンション用基板の製造方法においては、前記第1樹脂材料はポリイミド前駆体ワニスであり、前記第1粘度は、2000cP以上5000cP以下である。
本発明によれば、積層された配線層間の絶縁層を粘性の高い材料で形成することで、この絶縁層の表面の平坦性を向上させることができる。また、絶縁層の表面の平坦性を向上させることで、絶縁層上の配線層の位置ずれを防止し、配線のインピーダンスを安定させることができる。
本発明の第1の実施形態に係るサスペンション用基板の平面図である。 同第1の実施形態に係るサスペンション用基板の断面図である。 第2絶縁層の段差と第2配線層の形状の良否との関係を示すグラフである。 同第1の実施形態に係るサスペンション用基板の平面図である。 同第1の実施形態に係るサスペンション用基板の断面図である。 同第1の実施形態におけるサスペンションの一例を示す平面図である。 同第1の実施形態におけるヘッド付サスペンションの一例を示す平面図である。 同第1の実施形態におけるハードディスクドライブの一例を示す平面図である。 同第1の実施形態に係るサスペンション用基板の製造方法を説明する工程断面図である。 図9に続く工程断面図である。 図10に続く工程断面図である。 図11に続く工程断面図である。 図12に続く工程断面図である。 図13に続く工程断面図である。 図14に続く工程断面図である。 図15に続く工程断面図である。 図16に続く工程断面図である。 図17に続く工程断面図である。 図18に続く工程断面図である。 図19に続く工程断面図である。 図20に続く工程断面図である。 本発明の第2の実施形態に係るサスペンション用基板の断面図である。 第2絶縁層の段差と第2配線層の形状の良否との関係を示すグラフである。 第2絶縁層上に形成されるレジストパターンのSEM写真である。 本発明の第1の実施形態及び第2の実施形態を組み合わせたサスペンション用基板の断面図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
(第1の実施形態)図1は、本発明の第1の実施形態に係るサスペンション用基板1の平面図である。図1に示すように、サスペンション用基板1は、平面からみてスライダ(図示せず)を実装する実装領域2と、電極パッド3と、実装領域2と電極パッド3とを接続する複数の配線層(第1配線層10、第2配線層12)とを備えている。図1はサスペンション用基板1を示す簡略化した平面図であり、図1において複数の配線層は1本の線で表示されている。また、図1において電極パッド3を2つ示しているが、実際には配線層に応じた数の電極パッド3が設けられる。電極パッド3は、サスペンション用基板1と外部回路との接続に用いられるものである。
図2に、図1のA−A線に沿った断面を示す。すなわち、図2に示す図1のA−A断面図において、サスペンション用基板1は、金属基板20と、金属基板20上に設けられた第1絶縁層22と、第1絶縁層22上に設けられた第1配線層10(10R、10W)と、第1絶縁層22及び第1配線層10上に設けられた第2絶縁層24と、第2絶縁層24上に設けられた第2配線層12(12R、12W)と、第2絶縁層24及び第2配線層12上に設けられた保護層26とを有する。
第1配線層10は互いに所定間隔を空けて複数設けられ、同様に第2配線層12も互いに所定間隔を空けて複数設けられている。図2において、一対の第1配線層10と一対の第2配線層12とが示されている。そして、各第2配線層12は、対応する第1配線層10の上方に設けられ、各第2配線層12は対応する第1配線層10に対して平行に延びている。例えば、第1配線層10Rを読み込み用配線、第1配線層10Wを書き込み用配線とし、第2配線層12Rを書き込み用配線、第2配線層12Wを読み込み用配線とした場合、クロストークを低減した信号を伝送することができる。
図2に示すように、サスペンション用基板1においては、第1配線層10の厚みと、第1配線層10上の第2絶縁層24の厚みとの合計をT1、一対の第1配線層10間に位置する第2絶縁層24の厚みをT3としたとき、T1−T3<4.5μmを満たしており、第2絶縁層24の表面は段差が小さい状態になっている。例えば、T1は、第1配線層10の厚みと、第1配線層10上の第2絶縁層24の最大厚みとの合計である。また、例えば、T3は一対の第1配線層10間に位置する第2絶縁層24の最小の厚みである。
図3に、第2絶縁層24に形成される段差(T1−T3)と、第2配線層12が所望の形状で形成されたか否かの結果との関係を示す。図3において○印は第2配線層12が所望の形状で形成された、すなわち正常パターンであったことを示し、×印は第2配線層が所望の形状で形成できなかった、すなわち不良パターンであったことを示す。図3のグラフの横軸は第1配線層10の厚みを示す。図3から分かるように、T1−T3が4.5μm未満であれば、第2配線層12を所望の形状で形成することができる。
このようにT1とT3とを上述のように定め、第2絶縁層24の表面の段差を小さくすることにより、第2配線層12の形成位置にずれが生じず、第2配線層12を第1配線層10の上方の所望の位置に所望の形状となるように設けることができる。そのため、第2配線層12を安定的に形成でき、所望の配線インピーダンスが得られる。
図2において、一対の第1配線層10間の距離L1は、例えば5μm以上100μm以下となっている。第1配線層10の厚みは、信号を十分に伝送できるような厚みであればよく、例えば3μm以上12μm以下となっており、より好ましくは3μm以上7μm以下となっている。第1配線層10及び第2配線層12の幅は、例えば5μm以上100μm以下となっている。第1配線層10上の第2絶縁層24の厚みは、第1配線層10と第2配線層12のインピーダンスを制御できる厚みであればよく、例えば3μm以上15μm以下となっている。
図4は、図1の領域Bにおける配線層(第1配線層10、第2配線層12)を示す平面図である。図4に示すように、領域Bでは、第2配線層12が、一対の第1配線層10に対して平面上非平行となるようにして、一対の第1配線層10を跨ぐように設けられている。
図5に、図4のC−C線に沿った断面を示す。サスペンション用基板1は、金属基板20と、金属基板20上に設けられた第1絶縁層22と、第1絶縁層22上に設けられた第1配線層10と、第1絶縁層22及び第1配線層10上に設けられた第2絶縁層24と、第2絶縁層24上に設けられた第2配線層12と、第2配線層12を覆うように設けられた保護層26とを有する。
第2配線層12は、第2絶縁層24を介して一対の第1配線層10を跨ぐように設けられる。第2配線層12は、第1絶縁層22上(第1配線層10と同一平面上)に設けられた部分と、第1配線層10を跨ぐように第2絶縁層24上に設けられた部分とを含む。
上述のように、サスペンション用基板1においては、第1配線層10の厚みと、第1配線層10上の第2絶縁層24の厚みとの合計をT1、一対の第1配線層10間に位置する第2絶縁層24の厚みをT3としたとき、T1−T3<4.5μmを満たしており、第2絶縁層24の上面は段差が小さい状態になっている。第2絶縁層24に形成される段差(T1−T3)と、第1配線層10を跨ぐ第2配線層12が所望の形状で形成されたか否かの結果は図3と同様であった。すなわち、T1−T3が4.5μm未満であれば、第1配線層10を跨ぐ第2配線層12を所望の形状で形成することができる。
このため、第2絶縁層24の上面の段差や凹凸を小さくすることができ、第1配線層10を跨ぐ第2配線層12を安定的に形成し、第2配線層12の信頼性を向上させることができる。これにより、配線パターンの配列を断線することなく安定に変化させることができ、配線の引き回し自由度を向上させることができる。
図4において、一対の第1配線層10間の距離L2は、例えば5μm以上100μm以下となっている。図5に示す、第1配線層10の厚みは、信号を十分に伝送できるような厚みであればよく、例えば3μm以上12μm以下となっており、より好ましくは3μm以上7μm以下となっている。第1配線層10及び第2配線層12の幅は、例えば5μm以上100μm以下となっている。第1配線層10上の第2絶縁層24の厚みは、第1配線層10と第2配線層12のインピーダンスを制御できる厚みであればよく、例えば3μm以上15μm以下となっている。
次に、サスペンション用基板1の各構成部材について説明する。
電極パッド3は、例えば、各配線層10、12上に形成されたニッケル(Ni)めっき層と、このNiめっき層上に形成された金(Au)めっき層とを有する。
金属基板20の材料としては、所望の導電性、弾力性、および強度を有するものであれば特に限定されることはないが、例えば、ステンレス、アルミニウム、ベリリウム銅、またはその他の銅合金を用いることができ、ステンレスを用いることが好適である。
第1配線層10及び第2配線層12の材料としては、所望の導電性を有する材料であれば特に限定されることはないが、銅(Cu)を用いることが好適である。銅以外にも、純銅に準ずる電気特性を有する材料であれば用いることもできる。
第1絶縁層22および第2絶縁層24の材料としては、所望の絶縁性を有する材料であれば特に限定されることはないが、例えば、ポリイミド(PI)を用いることが好適である。
保護層26の材料としては、樹脂材料、例えば、ポリイミド(PI)を用いることが好適である。なお、保護層26の材料は、感光性材料であっても非感光性材料であっても用いることができる。
次に、図6により、本実施の形態におけるサスペンション41について説明する。図6に示すサスペンション41は、上述したサスペンション用基板1と、サスペンション用基板1の実装領域2とは反対側となる面(下面)に設けられ、後述するスライダ52(図7参照)をディスク63(図8参照)に対して保持するためのロードビーム42とを有している。
次に、図7により、本実施の形態におけるヘッド付サスペンション51について説明する。図7に示すヘッド付サスペンション51は、上述したサスペンション41と、サスペンション用基板1の実装領域2に実装され、裏面に複数のスライダパッドが設けられたスライダ52とを有している。
次に、図8により、本実施の形態におけるハードディスクドライブ61について説明する。図8に示すハードディスクドライブ61は、ケース62と、このケース62に回転自在に取り付けられ、データが記憶されるディスク63と、このディスク63を回転させるスピンドルモータ64と、ディスク63に所望のフライングハイトを保って近接するように設けられ、ディスク63に対してデータの書き込みおよび読み出しを行うスライダ52を含むヘッド付サスペンション51とを有している。このうちヘッド付サスペンション51は、ケース62に対して移動自在に取り付けられ、ケース62にはヘッド付サスペンション51のスライダ52をディスク63上に沿って移動させるボイスコイルモータ65が取り付けられている。また、ヘッド付サスペンション51とボイスコイルモータ65との間には、アーム66が連結されている。
次に、本実施形態に係るサスペンション用基板1の製造方法について、図9乃至図21に示す工程断面図を用いて説明する。図9乃至図21において、(a)は図2に対応する断面を示し、(b)は図5に対応する断面を示す。
まず、図9に示すように、第1絶縁層22としてのポリイミドが積層された金属基板20を準備する。
次に、図10に示すように、第1絶縁層22上にクロム(Cr)及び銅(Cu)のスパッタリング層30を形成する。
次に、図11に示すように、スパッタリング層30の上面及び金属基板20の下面にレジスト31、32を形成する。そして、フォトリソグラフィ法を用いて、レジスト31を第1配線層10に対応するパターンにパターニングする。
次に、図12に示すように、レジスト31の開口部に、電解銅めっき法により銅で構成された金属膜33を形成する。
次に、図13に示すように、レジスト31、32を除去する。
次に、図14に示すように、スパッタリング層30のうち、表面が露出している部分を除去する。これにより、スパッタリング層30及び金属膜33を有する第1配線層10が形成される。図2では一対の配線層10を示したが、ここではそれより多数の配線層10を形成するものとする。
次に、図15に示すように、第1配線層10を覆うように、第1絶縁層22及び第1配線層10上に、絶縁層を形成するための樹脂材料を塗布する。樹脂材料はポリイミド前駆体ワニスである。そして、ポリイミド前駆体ワニスを熱乾燥させて、第2絶縁層24を形成する。
なお、ここで塗布するポリイミド前駆体ワニスは、高い粘度を有するものであることが好ましく、例えば、500cP(センチポアズ)以上5000cP以下、より好ましくは2000cP以上5000cP以下の粘度を有する。粘度が2000cP未満の場合、塗布後に塗工ばらつきが生じやすく、所望の膜厚を得ることが困難になる。一方、粘度が5000cPより大きい場合、樹脂材料を塗布する装置の吐出量が不均一になり、塗布が困難になる。そのため、第2絶縁層24を形成する樹脂材料の粘度は2000cP以上5000cP以下が好ましい。
ポリイミド前駆体ワニスは、第1絶縁層22の表面及び第1配線層10の表面によって生じる段差の上に塗布される。しかし、この工程で塗布するポリイミド前駆体ワニスは粘度が高いため、段差にあまり追従した形状とはならない。そのため、第1配線層10の厚みと、第1配線層10上の第2絶縁層24の厚みとの合計をT1、第1配線層10間に位置する第2絶縁層24の厚みをT3としたときに、T1−T3<4.5μmとなるような、表面の段差の小さい第2絶縁層24を形成することができる。
次に、図16に示すように、第2絶縁層24上にクロム(Cr)及び銅(Cu)のスパッタリング層34を形成する。
次に、図17に示すように、スパッタリング層34の上面及び金属基板20の下面にレジスト35、36を形成する。そして、フォトリソグラフィ法を用いて、レジスト35を第2配線層12に対応するパターンにパターニングする。図17(a)では、第1配線層10の上方に、第1配線層と平行な開口部を形成するように、レジスト35がパターニングされる。また、図17(b)では、第1配線層10と平面上直交する(非平行となる)開口部を形成するように、レジスト35がパターニングされる。
レジスト35は、表面の段差の小さい第2絶縁層24上に形成されるため、パターニングが容易であり、所望の位置に開口部を形成することができる。
次に、図18に示すように、レジスト35の開口部に、電解銅めっき法により銅で構成された金属膜37を形成する。
次に、図19に示すように、レジスト35、36を除去する。
次に、図20に示すように、スパッタリング層34のうち、表面が露出している部分を除去する。これにより、スパッタリング層34及び金属膜37を有する第2配線層12が形成される。
次に、図21に示すように、第2配線層12を覆うように、第2絶縁層24及び第2配線層12上に、保護層を形成するための樹脂材料を塗布する。樹脂材料はポリイミド前駆体ワニスである。そして、ポリイミド前駆体ワニスを熱乾燥させて、保護層26を形成する。
なお、ここで塗布するポリイミド前駆体ワニスは、図14に示す工程で塗布したポリイミド前駆体ワニスよりも低い粘度を有する。そのため、図21(a)に示すように、保護層26は、第2絶縁層24の表面及び第2配線層12の表面によって生じる段差に追従した形状となる。
その後の工程は図示しないが、第1配線層10及び第2配線層12の端部を露出させ、Niめっき及びAuめっきを施して、外部回路との接続に用いられる電極パッド3及び実装領域2においてスライダ52に設けられたスライダパッドとの接続に用いられる配線パッドを形成する。その後、金属基板20の下面にパターン状のレジストを形成し、レジストの開口部から塩化第二鉄水溶液などの腐食液を用いて金属基板20をエッチングし、レジストを除去することで、本実施形態によるサスペンション用基板1が得られる。
このようにして得られたサスペンション用基板1の下面に、ロードビーム42が取り付けられて図6に示すサスペンション41が得られる。このサスペンション41の実装領域2に、裏面に複数のスライダパッドが設けられたスライダ52が実装されて図7に示すヘッド付サスペンション51が得られる。この場合、スライダ52のスライダパッドが、各配線層10、12の端部に設けられた配線パッドに接続される。さらに、このヘッド付サスペンション51がハードディスクドライブ61のケース62に取り付けられて、図8に示すハードディスクドライブ61が得られる。
図8に示すハードディスクドライブ61においてデータの読み出し及び書き込みを行う際、ボイスコイルモータ65によりヘッド付サスペンション51のスライダ52がディスク63上に沿って移動し、スピンドルモータ64により回転しているディスク63に所望のフライングハイトを保って近接する。このことにより、スライダ52とディスク63との間で、スライダパッドおよび配線パッドを介してデータの受け渡しが行われる。この間、サスペンション用基板1の実装領域2の配線パッドと電極パッド3との間に接続された各配線層10、12により電気信号が伝送される。
このように、第1の実施形態によれば、サスペンション用基板1の第2絶縁層24を粘性の高い材料で形成して、第2絶縁層24の表面の平坦性を向上させる。表面の段差の小さい第2絶縁層24上において、レジスト35のパターニングを容易に行うことができるため、第2配線層12の位置ずれを防止することができる。そのため、第2絶縁層24上に第2配線層12を安定的に形成することができ、所望の配線インピーダンスが得られる。また、図4に示すような、第1配線層10を跨ぐ第2配線層12を容易に形成することができる。
(第2の実施形態)図22に本発明の第2の実施形態に係るサスペンション用基板の断面を示す。図22に示す断面は、図1のA−A線に沿った断面である。図22において、図2に示す第1の実施形態と同一部分には同一符号を付して説明は省略する。
図22に示すように、サスペンション用基板1は、金属基板20と、金属基板20上に設けられた第1絶縁層22と、第1絶縁層22上に設けられた第1配線層10と、第1絶縁層22及び第1配線層10上に設けられた第2絶縁層24と、第2絶縁層24上に設けられた第2配線層12と、第2絶縁層24及び第2配線層12上に設けられた保護層26とを有する。第1配線層10、第2配線層12は2つ以上設けられていてもよい。
サスペンション用基板1においては、第1配線層10の厚みと、第1配線層10上の第2絶縁層24の厚みとの合計をT1、第1配線層10から所定距離離れて第2絶縁層24の表面が平坦となる位置における第2絶縁層24の厚みをT2としたとき、T1−T2<4.5μmを満たしており、第2絶縁層24の表面は平坦性が高い状態となっている。第2絶縁層24の表面が平坦となる位置とは、例えば、第2絶縁層24の厚み(第1絶縁層22の上面と第2絶縁層24の上面との間の距離)が最小となる位置である。また、例えば、T1は、第1配線層10の厚みと、第1配線層10上の第2絶縁層24の最大厚みとの合計である。
なお、図22の左右方向の端部において、第2絶縁層24が、テーパ形状を有していたり、段状に薄くなったりする場合は、第2絶縁層24の厚みは端部において最小となる。
そのため、このような場合は、端部を除いた領域における第2絶縁層24の最小厚みをT2とすることが好ましい。また、第1配線層10からみて図22の左方向における第2絶縁層24の最小厚みと、右方向における第2絶縁層24の最小厚みとの平均値をT2としてもよい。
図23に、第2絶縁層24に形成される段差(T1−T2)と、第2配線層12が所望の形状で形成されたか否かの結果との関係を示す。図23において○印は第2配線層12が所望の形状で形成された、すなわち正常パターンであったことを示し、×印は第2配線層が所望の形状で形成できなかった、すなわち不良パターンであったことを示す。図23のグラフの横軸は第1配線層10の厚みを示す。図23から分かるように、T1−T2が4.5μm未満であれば、第2配線層12を所望の形状で形成することができる。
第2配線層12のパターン形状の良否は、第2配線層12を形成する際に設けられるレジストパターンの形状に起因する。上記第1の実施形態で説明したように、第2配線層12は、第1絶縁層24上にスパッタリング層34を形成し(図16)、スパッタリング層34上にレジスト35を形成してパターニングし(図17)、レジスト35の開口部に電解銅めっき法で金属膜37を形成し(図18)、レジスト35を除去し(図19)、スパッタリング層34のうち表面が露出している部分を除去する(図20)ことで形成される。さらに、第2配線層12上には保護層26が形成される(図21)。
第2絶縁層24に形成される段差(T1−T2)が大きいと、レジスト35のパターニングの際に、精度良く開口部を形成することができない。図24(a)に、第1配線層10の厚みが13.5μm、T1−T2が8.3μmのときのレジスト35の開口部のSEM写真を示す。図24(a)から分かるように、第2絶縁層24に形成される段差(T1−T2)が大きいと、スパッタリング層34を露出する開口部にレジスト35が残存する。これは、第2絶縁層24の表面の段差により、レジスト35を硬化させる入射光が散乱することによって発生する。開口部にレジスト35が残存した状態でスパッタリング層34上に金属膜37を形成した場合、第2配線層12の形状不良が発生する。
しかし、第2絶縁層24に形成される段差(T1−T2)を4.5μm未満にし、第2絶縁層24の表面平坦性を高くすると、レジスト35のパターニングの際に、精度良く開口部を形成できる。図24(b)に、第1配線層10の厚みが6.8μm、T1−T2が3.8μmのときのレジスト35の開口部のSEM写真を示す。図24(b)から分かるように、レジスト35の開口部が精度良く形成されており、このような開口部により露出されたスパッタリング層34上に金属膜37を形成した場合、所望の形状の第2配線層12が得られる。
本実施形態に係るサスペンション用基板は、上記第1の実施形態と同様の方法で製造することができる。第2絶縁層24を形成するために用いるポリイミド前駆体ワニスの粘度を500cP以上5000cP以下、より好ましくは2000cP以上5000cP以下、とすることで、第1配線層10の厚みと、第1配線層10上の第2絶縁層24の厚みとの合計をT1、第1配線層10から所定距離離れて表面が平坦となる位置における第2絶縁層24の厚みをT2としたときに、T1−T2<4.5μmとなるような、表面の平坦性の高い第2絶縁層24を形成することができる。
なお、図23から分かるように、T1−T2には、第1配線層10の厚みが影響する。
T1−T2<4.5μmとするには、第1配線層10の厚みを7μm以下とすることが好ましい。また、第1配線層10の厚みは、信号を十分に伝送できるよう3μm以上とすることが好ましい。
このように、第2の実施形態によれば、サスペンション用基板1の第2絶縁層24を粘性の高い材料で形成して、第2絶縁層24の表面の平坦性を向上させる。表面の平坦性の高い第2絶縁層24上において、レジスト35のパターニングを容易に行うことができるため、所望の形状の第2配線層12を形成することができる。そのため、第2絶縁層24上に第2配線層12を安定的に形成することができ、所望の配線インピーダンスが得られる。
上記第1の実施形態と第2の実施形態とを組み合わせてもよい。すなわち、図25に示すように、第1配線層10の厚みと、第1配線層10上の第2絶縁層24の厚みとの合計をT1、一対の第1配線層10間に位置する第2絶縁層24の厚みをT3、第1配線層10から所定距離離れて第2絶縁層24の表面が平坦となる位置における第2絶縁層24の厚みをT2としたとき、T1−T3<4.5μmかつT1−T2<4.5μmを満たすようにする。このような構成にすることで、第2絶縁層24上に第2配線層12をさらに安定的に形成することができ、所望の配線インピーダンスが得られる。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
1 サスペンション用基板
2 実装領域
3 電極パッド
10 第1配線層
12 第2配線層
20 金属基板
22 第1絶縁層
24 第2絶縁層
26 保護層
30 スパッタリング層
31、32、 レジスト
33 金属膜
34 スパッタリング層
35、36 レジスト
37 金属膜
41 サスペンション
42 ロードビーム
51 ヘッド付サスペンション
52 スライダ
61 ハードディスクドライブ
62 ケース
63 ディスク
64 スピンドルモータ
65 ボイスコイルモータ
66 アーム

Claims (15)

  1. 金属基板と、
    前記金属基板上に設けられた第1絶縁層と、
    前記第1絶縁層上に設けられた第1配線層と、
    前記第1絶縁層及び前記第1配線層上に設けられた第2絶縁層と、
    前記第2絶縁層上に設けられた第2配線層と、
    を備え、
    前記第1配線層の厚みと、前記第1配線層上の前記第2絶縁層の厚みとの合計をT1とし、前記第1配線層から所定距離離れて前記第2絶縁層の表面が平坦となる位置における前記第2絶縁層の厚みをT2としたとき、T1−T2<4.5μmを満たすことを特徴とするサスペンション用基板。
  2. 前記T2は、前記第1配線層から所定距離離れて前記第2絶縁層の表面が平坦な位置における、前記第2絶縁層の最小厚みであることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
  3. 前記第1配線層の厚みは3μm以上7μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のサスペンション用基板。
  4. 前記第1絶縁層上に一対の前記第1配線層が設けられ、
    前記一対の第1配線層間に位置する前記第2絶縁層の厚みをT3としたとき、T1−T3<4.5μmを満たすことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のサスペンション用基板。
  5. 前記第2配線層は、前記第1配線層と同一平面上に設けられた第1部分と、前記第2絶縁層上に設けられた第2部分とを含み、前記第2部分は、前記第1配線層に対して非平行であり、前記第2絶縁層を介して前記第1配線層を跨ぐことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のサスペンション用基板。
  6. 前記第2配線層は、前記第1配線層に対して平行であり、かつ、この第1配線層の上方に設けられることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のサスペンション用基板。
  7. 請求項1乃至6のいずれか一項に記載のサスペンション用基板を有することを特徴とするサスペンション。
  8. 請求項7記載のサスペンションと、このサスペンションに実装されたスライダとを有することを特徴とするヘッド付サスペンション。
  9. 請求項8に記載のヘッド付サスペンションを有することを特徴とするハードディスクドライブ。
  10. 金属基板上に第1絶縁層を形成する工程と、
    前記第1絶縁層上に複数の第1配線層を形成する工程と、
    前記第1絶縁層及び前記複数の第1配線層上に、第1粘度を有する第1樹脂材料を塗布して乾燥させることにより第2絶縁層を形成する工程と、
    前記第2絶縁層上に第2配線層を形成する工程と、
    前記第2絶縁層及び前記第2配線層上に、前記第1粘度より低い第2粘度を有する第2樹脂材料を塗布して乾燥させることにより保護層を形成する工程と、
    を備えるサスペンション用基板の製造方法。
  11. 前記第1配線層の厚みと、前記第1配線層上の前記第2絶縁層の厚みとの合計をT1とし、前記第1配線層から所定距離離れて前記第2絶縁層の表面が平坦となる位置における前記第2絶縁層の厚みをT2としたとき、T1−T2<4.5μmを満たすことを特徴とする請求項10に記載のサスペンション用基板の製造方法。
  12. 一対の前記第1配線層を形成し、
    前記一対の第1配線層間に位置する前記第2絶縁層の厚みをT3としたとき、T1−T3<4.5μmを満たすことを特徴とする請求項11に記載のサスペンション用基板の製造方法。
  13. 前記複数の第1配線層に対して平面上に非平行をなし、前記第2絶縁層を介して前記複数の第1配線層を跨ぐように、前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層上に前記第2配線層を形成することを特徴とする請求項10乃至12のいずれか一項に記載のサスペンション用基板の製造方法。
  14. 前記第1配線層に対して平行に、かつ、この第1配線層の上方に前記第2配線層を形成することを特徴とする請求項10乃至12のいずれか一項に記載のサスペンション用基板の製造方法。
  15. 前記第1樹脂材料はポリイミド前駆体ワニスであり、前記第1粘度は、2000cP以上5000cP以下であることを特徴とする請求項10乃至14のいずれか一項に記載のサスペンション用基板の製造方法。
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