JP2016006714A - サスペンション用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
そのため、このような場合は、端部を除いた領域における第2絶縁層24の最小厚みをT2とすることが好ましい。また、第1配線層10からみて図22の左方向における第2絶縁層24の最小厚みと、右方向における第2絶縁層24の最小厚みとの平均値をT2としてもよい。
T1−T2<4.5μmとするには、第1配線層10の厚みを7μm以下とすることが好ましい。また、第1配線層10の厚みは、信号を十分に伝送できるよう3μm以上とすることが好ましい。
2 実装領域
3 電極パッド
10 第1配線層
12 第2配線層
20 金属基板
22 第1絶縁層
24 第2絶縁層
26 保護層
30 スパッタリング層
31、32、 レジスト
33 金属膜
34 スパッタリング層
35、36 レジスト
37 金属膜
41 サスペンション
42 ロードビーム
51 ヘッド付サスペンション
52 スライダ
61 ハードディスクドライブ
62 ケース
63 ディスク
64 スピンドルモータ
65 ボイスコイルモータ
66 アーム
Claims (15)
- 金属基板と、
前記金属基板上に設けられた第1絶縁層と、
前記第1絶縁層上に設けられた第1配線層と、
前記第1絶縁層及び前記第1配線層上に設けられた第2絶縁層と、
前記第2絶縁層上に設けられた第2配線層と、
を備え、
前記第1配線層の厚みと、前記第1配線層上の前記第2絶縁層の厚みとの合計をT1とし、前記第1配線層から所定距離離れて前記第2絶縁層の表面が平坦となる位置における前記第2絶縁層の厚みをT2としたとき、T1−T2<4.5μmを満たすことを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記T2は、前記第1配線層から所定距離離れて前記第2絶縁層の表面が平坦な位置における、前記第2絶縁層の最小厚みであることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
- 前記第1配線層の厚みは3μm以上7μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のサスペンション用基板。
- 前記第1絶縁層上に一対の前記第1配線層が設けられ、
前記一対の第1配線層間に位置する前記第2絶縁層の厚みをT3としたとき、T1−T3<4.5μmを満たすことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のサスペンション用基板。 - 前記第2配線層は、前記第1配線層と同一平面上に設けられた第1部分と、前記第2絶縁層上に設けられた第2部分とを含み、前記第2部分は、前記第1配線層に対して非平行であり、前記第2絶縁層を介して前記第1配線層を跨ぐことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のサスペンション用基板。
- 前記第2配線層は、前記第1配線層に対して平行であり、かつ、この第1配線層の上方に設けられることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のサスペンション用基板。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載のサスペンション用基板を有することを特徴とするサスペンション。
- 請求項7記載のサスペンションと、このサスペンションに実装されたスライダとを有することを特徴とするヘッド付サスペンション。
- 請求項8に記載のヘッド付サスペンションを有することを特徴とするハードディスクドライブ。
- 金属基板上に第1絶縁層を形成する工程と、
前記第1絶縁層上に複数の第1配線層を形成する工程と、
前記第1絶縁層及び前記複数の第1配線層上に、第1粘度を有する第1樹脂材料を塗布して乾燥させることにより第2絶縁層を形成する工程と、
前記第2絶縁層上に第2配線層を形成する工程と、
前記第2絶縁層及び前記第2配線層上に、前記第1粘度より低い第2粘度を有する第2樹脂材料を塗布して乾燥させることにより保護層を形成する工程と、
を備えるサスペンション用基板の製造方法。 - 前記第1配線層の厚みと、前記第1配線層上の前記第2絶縁層の厚みとの合計をT1とし、前記第1配線層から所定距離離れて前記第2絶縁層の表面が平坦となる位置における前記第2絶縁層の厚みをT2としたとき、T1−T2<4.5μmを満たすことを特徴とする請求項10に記載のサスペンション用基板の製造方法。
- 一対の前記第1配線層を形成し、
前記一対の第1配線層間に位置する前記第2絶縁層の厚みをT3としたとき、T1−T3<4.5μmを満たすことを特徴とする請求項11に記載のサスペンション用基板の製造方法。 - 前記複数の第1配線層に対して平面上に非平行をなし、前記第2絶縁層を介して前記複数の第1配線層を跨ぐように、前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層上に前記第2配線層を形成することを特徴とする請求項10乃至12のいずれか一項に記載のサスペンション用基板の製造方法。
- 前記第1配線層に対して平行に、かつ、この第1配線層の上方に前記第2配線層を形成することを特徴とする請求項10乃至12のいずれか一項に記載のサスペンション用基板の製造方法。
- 前記第1樹脂材料はポリイミド前駆体ワニスであり、前記第1粘度は、2000cP以上5000cP以下であることを特徴とする請求項10乃至14のいずれか一項に記載のサスペンション用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015158463A JP5975364B2 (ja) | 2015-08-10 | 2015-08-10 | サスペンション用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015158463A JP5975364B2 (ja) | 2015-08-10 | 2015-08-10 | サスペンション用基板の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010246526A Division JP5793849B2 (ja) | 2010-11-02 | 2010-11-02 | サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016138700A Division JP2016201167A (ja) | 2016-07-13 | 2016-07-13 | サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016006714A true JP2016006714A (ja) | 2016-01-14 |
JP5975364B2 JP5975364B2 (ja) | 2016-08-23 |
Family
ID=55225053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015158463A Expired - Fee Related JP5975364B2 (ja) | 2015-08-10 | 2015-08-10 | サスペンション用基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5975364B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016201167A (ja) * | 2016-07-13 | 2016-12-01 | 大日本印刷株式会社 | サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7407498B2 (ja) | 2017-09-15 | 2024-01-04 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板およびその製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005267724A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Nippon Steel Chem Co Ltd | Hddサスペンション用積層体の製造方法 |
JP2007073991A (ja) * | 2006-11-20 | 2007-03-22 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板 |
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JP2009206379A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板 |
JP2009246092A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板およびその製造方法 |
-
2015
- 2015-08-10 JP JP2015158463A patent/JP5975364B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2016201167A (ja) * | 2016-07-13 | 2016-12-01 | 大日本印刷株式会社 | サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5975364B2 (ja) | 2016-08-23 |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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