JP5136668B2 - サスペンション用基板、サスペンション用基板の製造方法、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ - Google Patents
サスペンション用基板、サスペンション用基板の製造方法、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5136668B2 JP5136668B2 JP2011060891A JP2011060891A JP5136668B2 JP 5136668 B2 JP5136668 B2 JP 5136668B2 JP 2011060891 A JP2011060891 A JP 2011060891A JP 2011060891 A JP2011060891 A JP 2011060891A JP 5136668 B2 JP5136668 B2 JP 5136668B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring layer
- suspension
- adjustment
- protruding portion
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/403—Edge contacts; Windows or holes in the substrate having plural connections on the walls thereof
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/486—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives with provision for mounting or arranging electrical conducting means or circuits on or along the arm assembly
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/05—Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate
- H05K1/056—Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate the metal substrate being covered by an organic insulating layer
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/03—Conductive materials
- H05K2201/0332—Structure of the conductor
- H05K2201/0388—Other aspects of conductors
- H05K2201/0397—Tab
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09145—Edge details
- H05K2201/09172—Notches between edge pads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
まず、本発明のサスペンション用基板について説明する。本発明のサスペンション用基板は、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁層と、上記絶縁層上に形成された配線層とを有し、素子と接続するための接続端子領域において、上記配線層は、上記金属支持基板の端部よりも突出し、接続端子を構成する配線層突出部を有し、上記接続端子領域において、上記絶縁層は、上記金属支持基板の端部よりも突出し、上記配線層突出部を支持する絶縁層突出部を有し、上記配線層突出部は複数設けられ、上記複数の配線層突出部の両側には、上記絶縁層上に形成され、第一調整部および第二調整部から構成される調整部が設けられ、上記複数の配線層突出部の最も外側にある配線層突出部を、第一最外配線層突出部および第二最外配線層突出部とした場合に、上記第一最外配線層突出部および上記第一調整部の間の間隔と、隣接する上記配線層突出部の間の間隔と、上記第二最外配線層突出部および上記第二調整部の間の間隔とが、等しいことを特徴とするものである。
以下、本発明のサスペンション用基板について、サスペンション用基板の部材と、サスペンション用基板の構成とに分けて説明する。
まず、本発明のサスペンション用基板の部材について説明する。本発明のサスペンション用基板は、少なくとも金属支持基板、絶縁層、配線層および調整部を有するものである。
次に、本発明のサスペンション用基板の構成について説明する。本発明のサスペンション用基板は、素子と接続するための接続端子領域を有するものである。サスペンション用基板に実装される素子としては、例えば、磁気ヘッドスライダ、アクチュエータ、半導体等を挙げることができる。また、上記アクチュエータは、磁気ヘッドを有するものであっても良く、磁気ヘッドを有しないものであっても良い。
次に、本発明のサスペンション用基板の製造方法について説明する。本発明のサスペンション用基板の製造方法は、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁部材と、上記絶縁部材上に形成された配線層と有し、素子と接続するための接続端子領域を形成する位置において、上記配線層は、上記金属支持基板の端部よりも突出し、接続端子を構成する配線層突出部を有し、上記配線層突出部は複数設けられ、上記複数の配線層突出部の両側には、上記絶縁部材上に形成され、第一調整部および第二調整部から構成される調整部が設けられ、上記複数の配線層突出部の最も外側にある配線層突出部を、第一最外配線層突出部および第二最外配線層突出部とした場合に、上記第一最外配線層突出部および上記第一調整部の間の間隔と、隣接する上記配線層突出部の間の間隔と、上記第二最外配線層突出部および上記第二調整部の間の間隔とが等しい積層体を準備する積層体準備工程と、上記配線層突出部および上記調整部をレジストとして、上記絶縁部材をウェットエッチングし、上記金属支持基板の端部よりも突出し、上記配線層突出部を支持する絶縁層突出部を有する絶縁層を形成する絶縁部材エッチング工程と、を有することを特徴とするものである。
以下、本発明のサスペンション用基板の製造方法について、工程毎に説明する。
本発明における積層体準備工程は、上述した積層体を準備する工程である(図9(a)〜(f))。
次に、本発明における絶縁部材エッチング工程について説明する。本発明における絶縁部材エッチング工程は、上記配線層突出部および上記調整部をレジストとして、上記絶縁部材をウェットエッチングし、上記金属支持基板の端部よりも突出し、上記配線層突出部を支持する絶縁層突出部を有する絶縁層を形成する工程である(図9(g)〜(l))。
本発明においては、上述した工程の他に、接続端子領域において露出する配線層の表面に、めっき部を形成するめっき部形成工程を有することが好ましい。めっき部を形成する方法としては、例えば、電解めっき法を挙げることができる。また、本発明により得られるサスペンション用基板については、上記「A.サスペンション用基板」に記載した内容と同様であるので、ここでの記載は省略する。
次に、本発明のサスペンションについて説明する。本発明のサスペンションは、上述したサスペンション用基板を含むことを特徴とするものである。
次に、本発明の素子付サスペンションについて説明する。本発明の素子付サスペンションは、上述したサスペンションと、上記サスペンションの素子実装領域に実装された素子と、を有することを特徴とするものである。
次に、本発明のハードディスクドライブについて説明する。本発明のハードディスクドライブは、上述した素子付サスペンションを含むことを特徴とするものである。
実施例1では、図2(c)に示すように、カバー層4の一部を、第一調整部5aおよび第二調整部5bとして用いてサスペンション用基板を作製した。サスペンション用基板の作製は、図9に示す方法と同様の方法を採用した。まず、厚さ20μmのステンレス鋼(SST)である金属支持部材1Xと、厚さ10μmのポリイミド樹脂である絶縁部材2Xと、厚さ9μmのめっき銅である配線部材3Xとを有する積層部材を準備した(図9(a)、(b))。次に、積層部材の両面をアクリル系感光性ドライフィルムで覆い、露光・現像を行うことにより、所定のレジストパターンを形成し、その後、レジストパターンから露出する金属支持部材1Xおよび配線部材3Xを、塩化鉄系エッチング液を用いてウェットエッチングすることにより、金属支持基板1および配線層3を形成した(図9(c)、(d))。次に、特開2008−310946号公報に記載された非感光性のポリイミド樹脂を用いて、カバー層4、第一調整部5aおよび第二調整部5bを形成した(図9(e)、(f))。この際、図9(f)におけるX1、X2およびX3は40μmとした。
実施例2では、図5(a)に示すように、引き回し領域の配線層3の一部を、調整部5として用いてサスペンション用基板を作製した。具体的には、カバー層の形状、および引き回し領域の配線層の形状を変え、引き回し領域の配線層の一部を調整部としたこと以外は、実施例1と同様にして、サスペンション用基板を得た。
X1およびX3を55μmとし、X2を40μmとしたこと以外は、実施例1と同様にしてサスペンション用基板を得た。得られたサスペンション用基板において、配線層突出部を支持する絶縁層突出部の厚さを共焦点式レーザー顕微鏡で測定した。その結果、内側配線層突出部を支持する絶縁層突出部の厚さは、最外配線層突出部を支持する絶縁層突出部の厚さよりも大きくなった。n=40のサンプルにおいて、両者の差(厚さの差A)は、最小で2μmであり、最大で6μmであった。また、同様にn=4000のサンプルにおいて、最外配線層突出部にシワ(変形)が生じた割合を実体顕微鏡で測定したところ、変形発生率は0.13%であった。
X1、X2およびX3を、後述する表1に記載された値に変更したこと以外は、実施例1と同様にしてサスペンション用基板を得た。また、得られたサスペンション用基板に対して、実施例1と同様に、厚さの差A、変形発生率を測定した。その結果を表1に示す。
Claims (13)
- 金属支持基板と、前記金属支持基板上に形成された絶縁層と、前記絶縁層上に形成された配線層とを有し、
ヘッド部側に形成され、素子と接続するための素子実装領域において、前記配線層は、前記金属支持基板の端部よりも突出し、接続端子を構成する配線層突出部を有し、
前記素子実装領域において、前記絶縁層は、前記金属支持基板の端部よりも突出し、前記配線層突出部を支持する絶縁層突出部を有し、
前記配線層突出部は複数設けられ、前記複数の配線層突出部の両側には、前記絶縁層上に形成され、第一調整部および第二調整部から構成される調整部が設けられ、
前記複数の配線層突出部の最も外側にある配線層突出部を、第一最外配線層突出部および第二最外配線層突出部とした場合に、前記第一最外配線層突出部および前記第一調整部の間の間隔と、隣接する前記配線層突出部の間の間隔と、前記第二最外配線層突出部および前記第二調整部の間の間隔とが、等しいことを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記調整部が、前記配線層を覆うカバー層の一部であることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
- 前記調整部が、引き回し領域の前記配線層の一部であることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
- 前記調整部が、前記配線層とは電気的に接続されていないダミー配線部であることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
- 前記第一最外配線層突出部を支持する前記絶縁層突出部の厚さ、および、前記第二最外配線層突出部を支持する前記絶縁層突出部の厚さが、前記複数の配線層突出部の内側にある内側配線層突出部を支持する前記絶縁層突出部の50%以上であることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかの請求項に記載のサスペンション用基板。
- 前記第一最外配線層突出部および前記第一調整部の間の間隔と、隣接する前記配線層突出部の間の間隔と、前記第二最外配線層突出部および前記第二調整部の間の間隔とが、それぞれ30μm〜70μmの範囲内であることを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれかの請求項に記載のサスペンション用基板。
- 金属支持基板と、前記金属支持基板上に形成された絶縁部材と、前記絶縁部材上に形成された配線層と有し、
ヘッド部側に形成され、素子と接続するための素子実装領域を形成する位置において、前記配線層は、前記金属支持基板の端部よりも突出し、接続端子を構成する配線層突出部を有し、
前記配線層突出部は複数設けられ、前記複数の配線層突出部の両側には、前記絶縁部材上に形成され、第一調整部および第二調整部から構成される調整部が設けられ、
前記複数の配線層突出部の最も外側にある配線層突出部を、第一最外配線層突出部および第二最外配線層突出部とした場合に、前記第一最外配線層突出部および前記第一調整部の間の間隔と、隣接する前記配線層突出部の間の間隔と、前記第二最外配線層突出部および前記第二調整部の間の間隔とが等しい積層体を準備する積層体準備工程と、
前記配線層突出部および前記調整部をレジストとして、前記絶縁部材をウェットエッチングし、前記金属支持基板の端部よりも突出し、前記配線層突出部を支持する絶縁層突出部を有する絶縁層を形成する絶縁部材エッチング工程と、
を有することを特徴とするサスペンション用基板の製造方法。 - 前記調整部が、前記配線層を覆うカバー層の一部であることを特徴とする請求項7に記載のサスペンション用基板の製造方法。
- 前記調整部が、引き回し領域の前記配線層の一部であることを特徴とする請求項7に記載のサスペンション用基板の製造方法。
- 前記調整部が、前記配線層とは電気的に接続されていないダミー配線部であることを特徴とする請求項7に記載のサスペンション用基板の製造方法。
- 請求項1から請求項6までのいずれかの請求項に記載のサスペンション用基板を含むことを特徴とするサスペンション。
- 請求項11に記載のサスペンションと、前記サスペンションの素子実装領域に実装された素子と、を有することを特徴とする素子付サスペンション。
- 請求項12に記載の素子付サスペンションを含むことを特徴とするハードディスクドライブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011060891A JP5136668B2 (ja) | 2010-03-24 | 2011-03-18 | サスペンション用基板、サスペンション用基板の製造方法、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010067469 | 2010-03-24 | ||
JP2010067469 | 2010-03-24 | ||
JP2011060891A JP5136668B2 (ja) | 2010-03-24 | 2011-03-18 | サスペンション用基板、サスペンション用基板の製造方法、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011222108A JP2011222108A (ja) | 2011-11-04 |
JP5136668B2 true JP5136668B2 (ja) | 2013-02-06 |
Family
ID=44656208
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011060891A Expired - Fee Related JP5136668B2 (ja) | 2010-03-24 | 2011-03-18 | サスペンション用基板、サスペンション用基板の製造方法、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8519272B2 (ja) |
JP (1) | JP5136668B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8758910B2 (en) | 2010-06-29 | 2014-06-24 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Substrate for suspension, and production process thereof |
JP5348234B2 (ja) * | 2011-12-21 | 2013-11-20 | 大日本印刷株式会社 | サスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンション、ハードディスクドライブおよびサスペンション用基板の製造方法 |
JP5829139B2 (ja) * | 2012-02-03 | 2015-12-09 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板およびその製造方法ならびに接続端子 |
JP2013251291A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板およびその製造方法 |
JP6157978B2 (ja) | 2012-11-26 | 2017-07-05 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板およびその製造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5959807A (en) * | 1996-06-24 | 1999-09-28 | Hutchinson Technology, Inc. | Head suspension with motion restraining tethers |
JP2001043647A (ja) | 1999-07-15 | 2001-02-16 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ハードディスク装置、スライダ保持構造、ヘッド・ジンバル・アッセンブリ及びその製造方法 |
JP2001052456A (ja) | 1999-08-06 | 2001-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サスペンションとそれを用いた情報記録再生装置および情報記録再生装置の駆動方法 |
JP2001305750A (ja) | 2000-04-18 | 2001-11-02 | Toray Eng Co Ltd | ポリイミドフィルムのエッチング方法 |
JP2002269714A (ja) | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Toshiba Corp | ヘッドサスペンションアッセンブリの製造方法およびヘッドサスペンションアッセンブリ |
JP4028477B2 (ja) * | 2003-12-04 | 2007-12-26 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板およびその製造方法 |
JP4238195B2 (ja) | 2004-10-25 | 2009-03-11 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板 |
JP2007095136A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板 |
JP2008172012A (ja) | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板 |
JP2008198738A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板およびその製造方法 |
JP4866812B2 (ja) * | 2007-08-27 | 2012-02-01 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板の接続構造 |
JP5239299B2 (ja) * | 2007-11-06 | 2013-07-17 | 大日本印刷株式会社 | サスペンション基板およびその製造方法 |
-
2011
- 2011-03-18 JP JP2011060891A patent/JP5136668B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-03-22 US US13/053,349 patent/US8519272B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8519272B2 (en) | 2013-08-27 |
US20110235213A1 (en) | 2011-09-29 |
JP2011222108A (ja) | 2011-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5136668B2 (ja) | サスペンション用基板、サスペンション用基板の製造方法、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ | |
JP2008186567A (ja) | インライン型リード部を有するヘッドサスペンションフレクシャ | |
US8609992B2 (en) | Circuit board, manufacturing method of circuit board, suspension substrate, suspension, device-mounted suspension, and hard disk drive | |
JP6129465B2 (ja) | サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法 | |
JP2012023296A (ja) | 回路基板、回路基板の製造方法、サスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ | |
JP2011081861A (ja) | 配線回路基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブおよび配線回路基板の製造方法 | |
JP5793849B2 (ja) | サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ、並びにサスペンション用基板の製造方法 | |
JP2011198402A (ja) | サスペンション用フレキシャー基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブ | |
JP5195956B2 (ja) | サスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンション、およびハードディスクドライブ | |
JP2011003246A (ja) | サスペンション用基板 | |
JP5975364B2 (ja) | サスペンション用基板の製造方法 | |
JP5860584B2 (ja) | サスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ | |
JP2011258265A (ja) | サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブおよびサスペンション用基板の製造方法 | |
JP2012018742A (ja) | サスペンション用基板、サスペンション用基板の製造方法、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ | |
JP6024226B2 (ja) | サスペンション用フレキシャー基板 | |
JP6100725B2 (ja) | サスペンション用基板の製造方法 | |
JP5131604B2 (ja) | サスペンション用基板およびサスペンション用基板の製造方法 | |
JP2012123864A (ja) | サスペンション用フレキシャー基板、サスペンション、ヘッド付サスペンションおよびハードディスクドライブ | |
JP5482465B2 (ja) | サスペンション用フレキシャー基板の製造方法 | |
JP5724278B2 (ja) | サスペンション用基板、サスペンション用基板の製造方法、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ | |
JP6092505B2 (ja) | サスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンション、ハードディスクドライブ、およびサスペンション用基板の製造方法 | |
JP5131605B2 (ja) | サスペンション用基板 | |
JP5605402B2 (ja) | サスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンション、ハードディスクドライブ、およびサスペンション用基板の製造方法 | |
JP5051309B2 (ja) | サスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンション、ハードディスクドライブ、およびサスペンション用基板の製造方法 | |
JP2012074096A (ja) | サスペンション用基板、サスペンション用基板の製造方法、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120314 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20120706 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20120713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120724 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121016 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121029 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5136668 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151122 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |