JP2015521376A - 円柱状ポリマーマスクおよび製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、Boris Kobrinらに譲渡され、同時係属中である、2013年3月15日に出願された名称「CYLINDRICAL POLYMER MASK AND METHOD OF FABRICATION」の米国仮特許出願第61/798,629号(代理人整理番号RO−020−PR)の優先権の利益を主張するものであり、その開示全体を参照によってここに引用する。
このセクションIに開示される態様は、回転式マスクを製造する方法および装置を含む。このセクションには、様々な他の方法および装置も含まれている。鋳造/成形プロセスおよび同軸鋳造部品を用いて回転式マスクの可撓性層を鋳造してもよく、これにより、回転式マスクにおける継ぎ目の存在を最小化または排除することを含む利益を提供することができる。このセクションの実施例には、他の様々な利点も含まれ得る。
このセクションIIの開示の態様は、犠牲鋳造部品を用いて回転式マスクを製造する方法および装置を含む。様々な他の方法および装置もこのセクションに含まれる。このセクションの態様に係る犠牲鋳造部品をパターン形成された鋳造部品と合わせて用いて回転式マスク用の可撓性層を鋳造してもよく、それよって表面のパターンを傷つけることなく、将来的に使用するパターン形成された鋳造部品を保全することを含む利益を与えることができる。このセクションの実施に対して他の様々な利点もあるであろう。
このセクションIIIに開示の態様は、より小さな面積のマスターマスクを用いて連続的なインプリントを行う仕組みを使用してより大面積マスターマスクをパターニングする方法および装置を含む。様々な他の方法および装置もまたこのセクションに含まれている。連続的なインプリントは多種多様な目的のために比較的大面積の基板をパターニングするのに用いることができ、これによってインプリント間の継ぎ目の可視度または影響を最小化または排除することを含む利点を与えることができる。このセクションの様々な他の利点は、このセクションを読むことで明らかになるであろう。
このセクションIVに開示される態様は、様々な暴露およびエピタキシャル技術を含む鋳造部品の表面をパターニングするための方法および装置を含む。様々な他の方法および装置もまたこのセクションに含まれる。このセクションの態様に係る、鋳造表面をパターニングすることは、回転式マスクの可撓性層の鋳造プロセスと合わせて用いることができ、これによって回転式マスクのパターンにおける継ぎ目を最小限にするか排除することを含んでもよい利点が得られる。このセクションの様々な他の利点はこのセクションを読むことで明らかになるであろう。
このセクションVの態様の開示は、丸められた積層体を用いて回転式マスクを形成する方法および装置を含む。他の様々な方法および装置もまた、このセクションに含まれる。このセクションの態様に係る回転式マスクを形成することは、回転式マスク用の可撓性層を形成するのに用いてもよく、これによって、積層体の端が合う継ぎ目層を最小限に抑えるまたは排除することを含む利点を与えることができる。このセクションを実施することによって様々な他の利点もあってもよい。
いくつかの実施例では、サブマスターはPETフィルム基板を有していてもよく、パターンは、UV硬化ポリマーを用いてその上に形成してもよい。
このセクションVIの開示の態様は、多段階で同軸鋳造部品を用いる、多層マスクを形成する方法および装置を含む。様々な他の方法および装置もまたこのセクションに含まれる。このセクションの態様にかかる多層マスクの形成は回転式マスク用の可撓性層を形成するのに用いることができ、それによって回転式マスクが余分な緩衝性または可撓性を有することを含む利点を与えることができる。このセクションの実施には、他にも様々な利点があってもよい。
なお、本開示の様々な態様が可撓性層を主に2つ有する多層マスクを参照して説明されているが、本開示の態様は2つより多い数の可撓性層を有する多層マスクを形成する上でも容易に実施可能である。
Claims (195)
- 中空の鋳造シリンダーおよびマスクシリンダーの同軸組立であって、
前記鋳造シリンダーおよび前記マスクシリンダーの一方の内径が、前記マスクシリンダーおよび前記鋳造シリンダーの他方の外径よりも大きい同軸組立と、
前記鋳造シリンダーと前記マスクシリンダーの間の空隙への液体ポリマー前駆体液の注入と、
前記鋳造シリンダーと前記マスクシリンダーの間の前記空隙の液体ポリマー前駆体液の硬化と、これによる硬化ポリマー層の形成と、
前記マスクシリンダーの表面上に硬化ポリマーの層を残すように鋳造シリンダーを取り外すことと、
前記硬化ポリマーの表面へのパターニングと、
を含む、円筒状マスクの製造方法。 - 前記同軸組立が第1のプレート、第2のプレートおよびピンを備える組立体装置の使用を含み、前記ピンは前記鋳造シリンダーおよび前記マスクシリンダーの対面端において前記第1のプレートおよび前記第2のプレートを共に保持するように構成され、前記液体ポリマーの注入は前記液体ポリマーを前記第1のプレートの孔を通して注入することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のプレートが前記マスクシリンダーと平行に並べられた第1の溝および前記鋳造シリンダーと並行に並べられた第2の溝を備え、前記第2のプレートが前記マスクシリンダーと平行に並べられた第1の溝および前記鋳造シリンダーと並行に並べられた第2の溝を備える、請求項2に記載の方法。
- 前記鋳造シリンダーは前記マスクシリンダーの外径よりも大きい内径を備え、前記鋳造シリンダーはパターン形成された内表面を備え、前記ポリマーの前記パターニングは前記パターン形成された内表面を用いて前記パターン形成された内表面上のパターンを前記ポリマーの表面へ転写する、請求項1に記載の方法。
- 前記同軸組立の前に前記鋳造シリンダーの前記内表面へのパターニングをさらに含む、請求項4に記載の方法。
- 前記鋳造シリンダーの前記内表面へのパターニングがナノ多孔性表面を形成するための陽極酸化処理の実施を含む、請求項5に記載の方法。
- 前記鋳造シリンダーがアルミニウムからなる、請求項6に記載の方法。
- 前記鋳造シリンダーがその内表面に沈着したアルミニウムを備える、請求項6に記載の方法。
- 前記鋳造シリンダーの前記内表面へのパターニングは、
前記鋳造シリンダーの前記内表面上に自己集合ナノ粒子を沈着させることと、
前記ナノ粒子をエッチマスクとして用いて前記鋳造シリンダーの前記内表面をエッチングすることと、
前記ナノ粒子の除去とを含む、請求項5に記載の方法。 - 前記ナノ粒子がナノ球体である、請求項9に記載の方法。
- 前記鋳造シリンダーの前記内表面へのパターニングが、パターンを備えるより小さな領域のマスターマスクを用いた前記鋳造シリンダーの前記内表面への連続的なインプリントを含む、請求項5に記載の方法。
- 前記鋳造シリンダーの前記内表面へのパターニングがナノインプリントリソグラフィ処理を含む、請求項5に記載の方法。
- 前記鋳造シリンダーの前記内表面へのパターニングがナノコンタクトリソグラフィ処理を含む、請求項5に記載の方法。
- 前記鋳造シリンダーの前記内表面へのパターニングがフォトリソグラフィ処理を含む、請求項5に記載の方法。
- 前記ポリマーの前記パターニングが前記除去の後の前記ポリマーの前記外表面へのパターニングを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パターニングが円筒状マスクの製造方法の過程で、前記パターン形成された外表面のパターンが前記ポリマーの前記内表面に転写されるようにパターン形成された外表面を備えるマスクシリンダーを使用することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記同軸組立の前に、液体ポリマーを鋳造シリンダーの内表面に沈着させることと、
前記同軸組立の前に、前記液体ポリマー前駆体液の注入が、前記液体ポリマー前駆体液の前記マスクシリンダーの前記外表面と前記硬化ポリマーの前記内表面の間の空隙への注入を含むように、前記鋳造シリンダーの前記内表面上に前記ポリマーを硬化させることと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - マスクシリンダーと、
前記マスクシリンダーの前記外表面上のシームレスポリマー層と、を備え、
前記シームレスポリマー層は前記シームレスポリマー層の表面上にパターンを有する、請求項1の方法によって製造された円筒状マスク。 - 前記パターンがシームレスである、請求項18に記載の円筒状マスク。
- マスクシリンダーと、
前記マスクシリンダーの前記外表面上の第1のシームレスポリマー層と、
前記第1のポリマー層の前記外表面上の第2のシームレスポリマー層と、を備えるマスクであって、
前記第2のポリマー層が前記第1のポリマー層よりも堅固であり、さらに前記第2のポリマー層がその外表面にパターンを有する、請求項17の方法によって製造された円筒状マスク。 - 前記パターンがシームレスである、請求項20に記載の円筒状マスク。
- マスクシリンダーと、
前記マスクシリンダーの表面上にシームレス可撓性層と、を含み、前記可撓性層がその表面上にパターンを備える、円筒状マスク。 - 前記パターンが前記可撓性層の外表面上にある、請求項22に記載の円筒状マスク。
- 前記パターンがシームレスである、請求項22に記載の円筒状マスク。
- 前記可撓性層がインナーポリマー層およびアウターポリマー層を含み、前記インナーポリマー層が前記マスクシリンダーの前記外表面上にあり、さらに前記アウターポリマー層が前記インナーポリマー層の前記外表面上にある、請求項22に記載の円筒状マスク。
- 前記アウターポリマー層が前記インナーポリマー層よりも堅固な材料であり、さらに前記アウターポリマー層が前記インナーポリマー層よりも薄い、請求項24に記載の円筒状マスク。
- 前記パターンがナノスケールの特徴を含む、請求項22に記載の円筒状マスク。
- 前記可撓性層が均一な厚さを有する、請求項22に記載の円筒状マスク。
- 前記基板上における請求項22の前記円筒状マスクを回転させることによって基板を繰り返しパターニングすることを含む、リソグラフィ法。
- 請求項58に記載の方法によってパターニング形成された基板。
- 軸方向に対称な基板と、
前記基板の外表面における可撓性層と、
前記可撓性層の外表面におけるシームレスパターンと、を備え、
a)第1のマスターマスクの内部における第1の鋳造構成部品の同軸組立であって、
前記第1のマスターマスクは前記第1の鋳造構成部品の外形よりも大きい内径を含み、前記第1のマスターマスクの内表面がパターンを含む、同軸組立と、
b)前記第1の鋳造構成部品の外表面と前記第1のマスターマスクの内表面の間の空隙における第1のポリマー前駆体液の沈着と、
c)第1の硬化ポリマーを生成するための前記第1のポリマー前駆体液の硬化であって、
前記第1の硬化ポリマーの外表面が前記マスターマスクの前記パターンに対応するパターンを含む、硬化と、
d)前記第1の硬化ポリマーからの前記第1の鋳造構成部品の除去と、
e)前記第1のマスターマスクからの前記第1の硬化ポリマーの除去と、
f)第2の鋳造構成部品の内部における前記第1の硬化ポリマーの組立と、
g)前記第1の硬化ポリマーの内部における第2の鋳造構成部品の同軸組立であって、
前記第2の鋳造構成部品が前記第1の硬化ポリマーの内径よりも小さい外径を備える、同軸組立と、
h)前記第2の鋳造構成部品の外表面と前記第1の硬化ポリマーの内表面の間の空隙における第2のポリマー前駆体液の沈着と、
i)第2の硬化ポリマーを生成するための前記第2のポリマー前駆体液の硬化であって、
これによって、前記第2の硬化ポリマーおよび前記第1の硬化ポリマーは共に前記回転式マスクの可撓性層を形成する硬化と、からなる方法によって製造される、回転式マスク。 - 回転式マスクの製造方法であって、
a)第1のマスターマスクの第1の表面上における第1のポリマー前駆体液の沈着と、
前記第1のマスターマスクの前記第1の表面はパターンを備える、沈着と、
b)第1の硬化ポリマーを生成するための前記第1のポリマー前駆体液の硬化であって、
前記第1の硬化ポリマーおよび前記第1のマスターマスクは共にラミネートを形成する、硬化と、
c)前記ラミネートの第1の端が前記第1の硬化ポリマー欠損の一片を備え、さらに前記ラミネートの第2の端が前記第1のマスターマスク欠損の一片を備えるようにした構成と、
d)第1の鋳造構成部品の内部における前記ラミネートの回転と、
e)前記第1の硬化ポリマーの一片に対応する前記回転したラミネートの隙間における第2のポリマー前駆体液の沈着と、
f)第2の硬化ポリマーを生成するための前記第2のポリマー前駆体液の硬化であって、
これによって、前記第1の硬化ポリマーおよび前記第2の硬化ポリマーは共に前記回転式マスクの可撓性層を形成し、これによって、前記可撓性層の前記外表面が前記第1のマスターマスクの前記パターンに対応するパターンを含む、硬化と、を含む、回転式マスクの製造方法。 - 前記f)の後に、g)前記ラミネートからの前記第1の鋳造構成部品の除去をさらに含む、請求項32に記載の方法。
- 前記f)の後に、h)前記可撓性層からの前記第1のマスターマスクの除去をさらに含む、請求項32に記載の方法。
- 前記第1の鋳造構成部品が円筒状の形状をなす、請求項32に記載の方法。
- 前記第1のマスターマスクの前記パターンがナノスケールの特徴を含む、請求項32に記載の方法。
- 前記b)の後に、前記c)が前記第1の硬化ポリマーの一片の除去を含む、請求項32に記載の方法。
- 前記a)の処理時に、前記c)が前記第1のマスターマスクの前記第1の表面の一片を露出させたままにすることを含む、請求項32に記載の方法。
- 前記d)が前記ラミネートの前記端の重複を含む、請求項32に記載の方法。
- 前記ラミネートの前記第1の端が前記ラミネートの前記第2の端と相反する、請求項32に記載の方法。
- 前記第1のマスターマスクがPET基板を含む、請求項32に記載の方法。
- i)前記a)の前に、前記第1のマスターマスクの前記第1の表面上への前記パターン形成をさらに含む、請求項32に記載の方法。
- パターンを有する第2のマスターマスクを用いた基板へのインプリントであって、前記第2のマスターマスクの前記パターンは前記基板よりも小さな領域を備えるインプリントと、
前記基板の望ましい領域にパターンが形成されるまで連続的に前記インプリントを繰り返し、この連続的な繰り返しによってその前にインプリントされた前記基板の一部を重複させることと、を含み、
前記第2のマスターマスクを用いた前記基板への前記インプリントは、
第3のポリマー前駆体液の沈着と、
前記第3のポリマー前駆体液の前記マスターマスクおよび前記基板の間への押圧と、
前記第3のポリマー前駆体液の硬化、を含む前記インプリントと、を含む、請求項42に記載の第1のマスターマスクの前記第1の表面上への前記パターン形成。 - 前記ポリマー前駆体液がPDMSを含む、請求項32に記載の方法。
- 前記方法において前記可撓性層が1および3mmの間の厚さになるように処理される、請求項32に記載の方法。
- 前記第1の鋳造構成部品が犠牲鋳造構成部品である、請求項32に記載の方法。
- 前記第1の鋳造構成部品が犠牲鋳造構成部品であり、前記g)が前記第1の鋳造部品の破砕、溶解または収縮を含む、請求項33に記載の方法。
- 前記d)が前記第1の鋳造部品の内表面に近接した前記マスターマスクの第2の表面とともに処理される、請求項32に記載の方法。
- 回転式マスクの製造方法であって、
a)第1のマスターマスク内部の第1の鋳造構成部品の同軸組立であって、前記第1のマスターマスクは前記第1の鋳造構成部品の外径よりも大きな内径を含み、前記第1のマスターマスクの内表面はパターンを備える、同軸組立と、
b)前記第1の鋳造構成部品の外表面および前記第1のマスターマスクの内表面の間の空隙への第1のポリマー前駆体液の沈着と、
c)第1の硬化ポリマーを生成するための前記第1のポリマー前駆体液の硬化であって、これによって前記第1の硬化ポリマーの前記外表面は前記マスターマスクのパターンに対応するパターンを備える、硬化と、
d)前記第1の硬化ポリマーからの前記第1の鋳造構成部品の除去と、
e)前記第1のマスターマスクからの前記第1の硬化ポリマーの除去と、
f)第2の鋳造構成部品の内部における前記第1の硬化ポリマーの組立と、
g)前記第1の硬化ポリマーの内部における第2の鋳造構成部品の同軸組立であって、前記第2の鋳造構成部品は前記第1の硬化ポリマーの内径よりも小さな外径を備える、同軸組立と、
h)第2のポリマー前駆体液の前記第2の鋳造構成部品の外表面および前記第1の硬化ポリマーの内表面の間の空隙への沈着と、
i)第2の硬化ポリマー形成のための前記第2のポリマー前駆体液の硬化であって、前記第2の硬化ポリマーおよび前記第1の硬化ポリマーは共に前記回転式マスクの可撓性層を形成する硬化と、を含む、回転式マスクの製造方法。 - j)前記f)の前に、前記第1の硬化ポリマーの前記外表面を保護層によって覆うことをさらに含む、請求項49に記載の方法。
- 前記第2の鋳造構成部品が前記回転式マスクの基板である、請求項49に記載の方法。
- 前記第2の鋳造構成部品が溶融シリカを含む、請求項49に記載の方法。
- 前記鋳造構成部品が円筒状の形状をなす、請求項49に記載の方法。
- k)前記a)の前に、前記第1のマスターマスクの前記内表面にパターニングし、
前記k)は、
前記第1のマスターマスクの内表面上への構造多孔質層の形成であって、前記第1のマスターマスクは光放射に透明である、形成と、
前記構造多孔質層の複数の孔の充填材による充填と、
前記孔のどれにも入らない前記充填材の部分の除去と、
前記孔における充填材からの複数の突起の形成であって、前記突起は構造多孔質層を超えて延在する、形成と、をさらに含む、請求項49に記載の方法。 - 前記ポリマー前駆体液がPDMSを含む、請求項49に記載の方法。
- 前記d)が前記第1の鋳造構成部品の破砕、溶解または収縮を含む、請求項49に記載の方法。
- 前記第1のマスターマスクの前記内径および前記第1の鋳造構成部品の前記外径の差が2および6mmの間である、請求項49に記載の方法。
- 前記第1のマスターマスクの前記パターンがナノスケールの特徴を含む請求項49に記載の方法。
- 軸方向に対称な基板と、
前記基板の外表面における可撓性層と、
前記可撓性層の外表面におけるシームレスパターンと、を含み、請求項32の方法によって製造される、回転式マスク。 - (a)パターンを備えるマスターマスクを用いた基板へのインプリントであって、前記パターンは基板よりも小さな領域を備える、インプリントと、
(b)前記基板の望ましい領域にパターンが形成されるまでの連続的な前記(a)の繰り返しであって、この連続的な繰り返しによってその前にインプリントされた前記基板の一部を重複させる繰り返しと、を含み、
ここにおいて、前記マスターマスクを用いた基板への前記インプリントは
(i)ポリマー前駆体液の沈着と、
(ii)前記ポリマー前駆体液の前記マスターマスクおよび前記基板の間への押圧と、
(iii)前記ポリマー前駆体液の硬化と、を含む、連続的な繰り返し、を含む、基板へのパターニング方法。 - 前記インプリントの前に前記マスターマスク上に前記パターンを形成することをさらに含む、請求項60に記載の方法。
- 前記パターンの前記形成が電子線リソグラフィによって前記マスターマスクを前記パターニングすることをさらに含む、請求項61に記載の方法。
- 前記パターンの前記形成がフォトリソフグラフィによって前記マスターマスクを前記パターニングすることを含む、請求項61に記載の方法。
- 前記パターンの前記形成が干渉リソグラフィによって前記マスターマスクを前記パターニングすることを含む、請求項61に記載の方法。
- 前記パターンの前記形成が自己組立体によって前記マスターマスクを前記パターニングすることを含む、請求項61に記載の方法。
- 前記パターンの前記形成が陽性酸化アルミニウムによって前記マスターマスクを前記パターニングすることを含む、請求項61に記載の方法。
- 前記パターンの前記形成がナノスフィアリソグラフィによって前記マスターマスクを前記パターニングすることを含む、請求項61に記載の方法。
- 前記パターンの前記形成がナノインプリントリソグラフィによって前記マスターマスクを前記パターニングすることを含む、請求項61に記載の方法。
- 前記ポリマー前駆体液の沈着が前記マスターマスク上への前記ポリマー前駆体液の沈着を含む、請求項60に記載の方法。
- 前記ポリマー前駆体液の沈着が前記基板上への前記ポリマー前駆体液の沈着を含む、請求項60に記載の方法。
- 前記ポリマー前駆体液の沈着がインプリントされるべき領域内におけるポリマー前駆体液の1つ以上の孤立液滴の沈着を含む、請求項60に記載の方法。
- 前記ポリマー前駆体液の沈着が、ディッピング、スピニング、溶射、ナイフエッジコーティング、グラビアコーティングなどによるポリマー前駆体液の連続的な沈着を含む、請求項60に記載の方法。
- 前記ポリマー前駆体液の前記マスターマスクおよび前記基板の間への押圧が、前記ポリマー前駆体液の前記マスターマスクおよび前記基板の間への拡散の制御を含む、請求項60に記載の方法。
- 前記拡散の制御が前記マスターマスクと前記基板との間の接触線に沿った機械的圧力を保持することと、前記接触線を前記マスターマスクの端に向かって連続的に移動させることとを含む、請求項73に記載の方法。
- 前記ポリマー前駆体液の前記マスターマスクおよび前記基板の間への押圧が、前記マスターマスクの前記基板への押圧を含む、請求項60に記載の方法。
- 前記ポリマー前駆体液の前記マスターマスクおよび前記基板の間への押圧が、前記基板の前記マスターマスクへの押圧を含む、請求項60に記載の方法。
- 前記基板が平面を備える、請求項60に記載の方法。
- 前記基板が曲面を備える、請求項60に記載の方法。
- 前記基板が剛性である、請求項60に記載の方法。
- 前記基板が柔軟である、請求項60に記載の方法。
- 前記パターンがナノスケールの特徴を含む、請求項60に記載の方法。
- 前記マスターマスクの前記パターンがポストの配列を備える、請求項60に記載の方法。
- 前記ポストがナノスケールである、請求項82に記載の方法。
- 前記ポストが1nmから1000nmの特性寸法(CD)および10nmから10000nmの深度を備える、請求項83に記載の方法。
- 前記ポストが50nmから400nmのCDおよび100nmから1000nmの深度を備える請求項83に記載の方法。
- 前記配列がCDの2倍のピッチを備える、請求項84に記載の方法。
- 前記マスターマスクの前記パターンが孔の配列を備える、請求項60に記載の方法。
- 前記マスクの前記パターンが一次元連続表面レリーフ形成である、請求項60に記載の方法。
- 前記連続表面レリーフ形成が正弦波表面レリーフ形成である、請求項88に記載の方法。
- 前記マスクの前記パターンが二次元連続表面レリーフ形成である、請求項60に記載の方法。
- 前記連続表面レリーフ形成が正弦波表面レリーフ形成である、請求項90に記載の方法。
- 前記基板がプラスチック膜である、請求項60に記載の方法。
- 前記基板が金属膜である、請求項60に記載の方法。
- 前記基板が薄板ガラスである、請求項60に記載の方法。
- 前記基板がガラスパネルである、請求項60に記載の方法。
- 前記基板が半導体ウエハーである、請求項60に記載の方法。
- (b)がインプリント部分の不規則な配置を生成する、前記基板への不規則な前記インプリントの反復を含む、請求項60に記載の方法。
- 第1の表面と、
前記第1の表面上に沈着したパターン形成された層と、
前記パターン形成された層は複数のインプリントと、を含み、前記インプリント間の境界はそれぞれ一方のインプリントがもう一方のインプリントの一部に重複することを含む、請求項60の方法によってパターン形成された基板。 - 第1の表面と、
前記第1の表面上に沈着したパターン形成された層と、
前記パターン形成された層は複数のインプリントと、を含み、前記インプリント間の境界はそれぞれ一方のインプリントがもう一方のインプリントの一部に重複することを含む、パターン形成された基板。 - 前記第1の表面が曲面を含む、請求項99に記載の基板。
- 前記第1の表面が平面を含む、請求項99に記載の基板。
- 前記基板がプラスチック膜である、請求項99に記載の基板。
- 前記基板がガラスパネルである、請求項99に記載の基板。
- 前記パターン形成された基板がリソグラフィマスクである、請求項103に記載の基板。
- 前記基板がナノインプリントリソグラフィ鋳型である、請求項99に記載の基板。
- 前記パターン形成された層がナノスケールの特徴を備えるパターンを含む、請求項99に記載の基板。
- 前記パターン形成された層がポストの配列を備えるパターンを備える、請求項99に記載の基板。
- 前記ポストがナノスケールである、請求項99に記載の基板。
- 前記ポストが1nmから10000nmのCDおよび10nmから1000nmの深度を備える、請求項108に記載の基板。
- 前記配列が前記CDの2倍のピッチを備える、請求項109に記載の基板。
- 前記パターン形成された層が孔の配列を備えるパターンを備える、請求項99に記載の基板。
- 前記パターン形成された層の前記領域が20,000mm2よりも大きい、請求項99に記載の基板。
- 前記パターン形成された層の前記領域が400,000mm2よりも大きい、請求項99に記載の基板。
- インプリントの前記領域がそれぞれ2500mm2よりも小さい、請求項99に記載の基板。
- インプリントの前記領域がそれぞれ100mm2から2500mm2である、請求項99に記載の基板。
- 前記インプリントが規則的配列に配列された、請求項99に記載の基板。
- 前記インプリントが長方形配列に配列された、請求項116に記載の基板。
- 前記インプリントが六角形配列に配列された、請求項116に記載の基板。
- 前記インプリントが不規則的配列に配列された、請求項99に記載の基板。
- シリンダーの内表面上における構造多孔質層の層の形成であって、前記シリンダーは光放射に透明である、形成と、
前記構造多孔質層の1つ以上の孔の充填材による充填と、
前記1つ以上の孔のどれにも入らない前記充填材の一部の除去と、
前記1つ以上の孔における充填材からの1つ以上の突起の形成であって、前記突起は構造多孔質層を超えて延在する、形成と、を含む、円筒状リソグラフィマスク用のマスター型を形成する方法。 - 前記充填材が、放射線感光材料である、請求項120に記載の方法。
- 前記1つ以上の孔のどれにも入らない前記充填材の前記一部の除去は、
前記シリンダーの外表面を、前記構造多孔質層の孔に入っている充填材を硬化させるのに十分な長さの時間の放射線に露出させることと、
硬化されていない前記充填材の一部を取り除くために形成された現像剤を用いて前記充填材を現像することと、を含む、請求項121に記載の方法。 - 前記放射線感光材料がさらにシリコンを含む、請求項122に記載の方法。
- 前記硬化放射線感光材料のアニールをさらに含む、請求項123に記載の方法。
- 前記1つ以上の突起の形成が前記構造多孔質層の少なくとも一部分をエッチング除去する、請求項121に記載の方法。
- 前記シリンダーの前記内表面がエピタキシャルシード層である、請求項120に記載の方法。
- 前記充填材が前記エピタキシャルシード層のエピタキシャル成長である、請求項126に記載の方法。
- 前記エピタキシャルシード層が半導体材である、請求項127に記載の方法。
- 前記1つ以上の突起のそれぞれが、発光ダイオード(LED)として作動するために形成されており、これによって1つ以上のLEDが存在する、請求項128に記載の方法。
- 前記1つ以上のLEDのそれぞれが個別にアドレス可能である、請求項129に記載の方法。
- 前記構造多孔質層上に延在する1つ以上の突起を形成するために、前記1つ以上の孔に前記充填材を持たせることが、前記構造多孔質層の厚さを超えるエピタキシャル成長を形成することを含む、請求項127に記載の方法。
- 前記1つ以上の突起が1ナノメートルから100ミクロンの形状を備える、請求項120に記載の方法。
- 前記1つ以上の突起が10ナノメートルから1ミクロンの形状を備える、請求項120に記載の方法。
- 前記1つ以上の突起が50ナノメートルから500ナノメートルの形状を備える、請求項120に記載の方法。
- 内表面および外表面を備える光放射に透明なシリンダーと、
前記シリンダーの前記内表面から前記シリンダーの中心部に向かって内側に延在する1つ以上の突起と、を備える、円筒状フォトマスク用のマスター型。 - 前記1つ以上の突起が1ナノメートルから100ミクロンの形状を有する、請求項135に記載のマスター型。
- 前記1つ以上の突起が10ナノメートルから1ミクロンの形状を有する、請求項135に記載のマスター型。
- 前記1つ以上の突起が50ナノメートルから500ナノメートルの形状を有する、請求項135に記載のマスター型。
- 前記1つ以上の突起がシリコンを備えるアニールされた感光材料によって形成される、請求項135に記載のマスター型。
- 前記シリンダーの前記内表面がエピタキシャルシード層である、請求項135に記載のマスター型。
- 前記1つ以上の突起が前記エピタキシャルシード層と同様の素材である、請求項140に記載のマスター型。
- 前記エピタキシャルシード層が半導体材である、請求項141に記載のマスター型。
- 1つ以上の前記突起がLEDである、請求項142に記載のマスター型。
- 前記1つ以上の突起のそれぞれが個別にアドレス可能である、請求項143に記載のマスター型。
- シリンダーの内表面上への放射線感光層の形成であって、前記シリンダーは光放射に透明である、形成と、
自己組織化単分子膜(SAM)の形成であって、前記SAMは前記放射線感光の第1の部分を覆い、さらにSAMの第2の部分は覆われていない、形成と、
前記SAMの部分のうちの1つの光放射放射への露出であって、前記光放射は露出される前記放射線感光層の前記部分を硬化させるために形成された、露出と、
前記放射線感光層の第2の部分が選択的に除去されるように、現像液を用いて前記放射線感光層を現像することと、を含む、円筒状フォトマスクのマスター型を形成する方法。 - 前記SAMが前記放射線感光層の露出した表面上に形成される、請求項145に記載の方法。
- 前記SAMが金属ナノ球体を含む、請求項146に記載の方法。
- 前記光放射放射が前記シリンダー内に配置された放射源から発せられ、および前記光放射が前記放射線感光材料の第2の部分を露出する、請求項147に記載の方法。
- 前記現像液が前記放射線感光層の前記硬化部を選択的に除去する、請求項148に記載の方法。
- 前記SAMが量子ドットを含む、請求項146に記載の方法。
- 前記光放射放射が前記量子ドットから発せられ、さらに前記光放射が前記放射線感光層の第1の部分を露出する、請求項150に記載の方法。
- 前記現像液が前記放射線感光層の前記未硬化部を選択的に除去する、請求項151に記載の方法。
- 前記SAMが前記シリンダーの外表面上に形成される、請求項145に記載の方法。
- 前記SAMが金属ナノ球体を含む、請求項153に記載の方法。
- 前記光放射放射が前記シリンダー内に配置された放射源から発せられ、および前記光放射が前記放射線感光材料の第2の部分を露出する、請求項154に記載の方法。
- 前記現像液が前記放射線感光層の前記硬化部を選択的に除去する、請求項155に記載の方法。
- 前記SAMが量子ドットを含む、請求項153に記載の方法。
- 前記光放射が前記量子ドットから発せられ、および前記光放射が前記放射線感光材料の第1の部分を露出する、請求項157に記載の方法。
- 前記現像液が前記放射線感光層の前記未硬化部を選択的に除去する、請求項158に記載の方法。
- 前記放射線感光材料がさらにシリコンを含む、請求項153に記載の方法。
- 前記硬化放射線感光材料のアニールをさらに含む、請求項160に記載の方法。
- 第1の半径を有するパターン化構成部品と、
第2の半径を有する犠牲鋳造構成部品であって、前記第2の半径は前記第1の半径とは異なり、前記パターン化構成部品および前記犠牲鋳造構成部品は前記二つのうち小さな半径を有する構成部品が大きな半径を備える構成部品の内部にて同軸挿入されうるように構成され、さらに前記犠牲鋳造構成部品に対面する前記パターン化構成部品の表面は1つ以上のパターン形成された特徴を有する犠牲鋳造構成部品と、を備える、円筒型マスター型組立体。 - 前記第1の半径が前記第2の半径よりも大きい、請求項162に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記犠牲鋳造構成部品が容易に破砕可能な材料から構成される、請求項163に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記容易に破砕可能な材料が溶融シリカまたはガラスである、前記請求項164に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記犠牲鋳造構成部品が溶解可能な材料から構成される、請求項163に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記溶解可能な材料が糖類である、請求項166に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記犠牲鋳造構成部品が可鍛性の材料から構成される、請求項163に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記可鍛性の材料がアルミニウムである、請求項168に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記可鍛性の材料がプラスチックである、請求項168に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記犠牲鋳造構成部品が密封されたシリンダーである、請求項163に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記密封されたシリンダーが膨張および収縮してもよい、請求項161に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記第2の半径が前記第1の半径よりも大きい、請求項162に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記犠牲鋳造構成部品が容易に破砕可能な材料から構成される、請求項173に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記容易に破砕可能な材料が溶融シリカまたはガラスである、請求項174に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記第2の半径が前記第1の半径よりわずか2ミリメートル大きい、請求項173に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記1つ以上の特徴が1ナノメートルから100ミクロンの形状を備える、請求項162に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記1つ以上の特徴が10ナノメートルから1ミクロンの形状を備える、請求項162に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記1つ以上の特徴が50ナノメートルから500ミクロンの形状を備える、請求項162に記載の円筒型マスター型組立体。
- 前記マスター型組立体が第1の半径および第2の半径を有する犠牲鋳造構成部品を備える円筒状パターン化構成部品を含み、前記第2の半径は前記第1の半径とは異なり、さらに前記犠牲鋳造構成部品に対面する前記パターン化構成部品の表面は1つ以上の特徴を備えること、を含む、円筒状マスター型組立体を用いて表面上に形成される1つ以上の特徴を備えるように構成された円筒状マスクの製造方法あって、
a)前記構成部品のうちの小さい半径を備える部品の前記部品のうち大きい半径を備える部品への同軸挿入と、
b)前記円筒状 パターン化構成部品および前記犠牲鋳造構成部品の間の空隙への液状前駆体の注入と、
c)前記エラストマー性材料を形成するための前記液状前駆体の硬化と、
d)前記犠牲鋳造構成部品の除去と、を含む、方法。 - 前記犠牲鋳造構成部品の除去が前記犠牲鋳造構成部品の破砕を含む、請求項180に記載の方法。
- 前記犠牲鋳造構成部品の除去が前記犠牲鋳造構成部品の溶媒による溶解を含む、請求項180に記載の方法。
- 前記犠牲鋳造構成部品が糖類に基づく材料から構成され、さらに前記溶媒が水である、請求項182に記載の方法。
- 前記第2の半径が前記第1の半径よりも小さい、請求項180に記載の方法。
- 前記犠牲鋳造構成部品の除去が前記犠牲鋳造構成部品の塑性的変形を含む、請求項184に記載の方法。
- 前記犠牲鋳造構成部品が密閉されたシリンダーであり、さらに前記犠牲鋳造構成部品の除去が前記犠牲鋳造構成部品の収縮を含む、請求項184に記載の方法。
- 前記第1の半径が前記第2の半径よりも小さい、請求項180に記載の方法。
- 前記パターン化構成部品の前記軸に並行な方向で、エラストマー性材料をそれ自体の上に再び被せることで、前記エラストマー性材料が前記パターン化構成部品から除去および反転させられるようにすること、をd)の後にさらに含む、請求項187に記載の方法。
- 前記第2の半径と前記第1の半径の差が2ミリメートル以下である、請求項188に記載の方法。
- 内半径を備える円筒状エラストマー構成部品、前記エラストマー構成部品はその中に形成されたナノパターンを備える主要表面を備える、構成部品と、
外半径を備える堅固な透明円筒状構成部品、前記外半径は前記円筒状エラストマー構成部品に適合する形状である、構成部品と、
前記エラストマー構成部品の内表面と前記堅固な透明円筒状構成部品の外表面の間のガス量を保持するように形成されたガスリテーナと、を含む、円筒状マスク。 - 前記ガスリテーナが2つのシールを備え、それぞれのシールが対応するガス量の端を密閉する、請求項190に記載の円筒状マスク。
- 前記シールがOリングもしくはガスケットである、請求項191に記載の円筒状マスク。
- 前記ガスリテーナがブラダーである、請求項190に記載の円筒状マスク。
- 前記円筒状エラストマー性構成部品の前記主要表面が円筒状外表面である、請求項190に記載の円筒状マスク。
- 前記第2の鋳造構成部品が犠牲鋳造構成部品であり、さらに前記方法が前記第2の鋳造構成部品の除去をさらに含む、請求項49に記載の方法。
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