KR102096606B1 - 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법 - Google Patents

실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 튜브, 파이프와 같은 곡면 내부에 나노임프린트 공정으로 직접 미세구조를 성형하여 항균 및 방오 기능성을 부여할 수 있도록 한 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법에 관한 것으로, 실린더 표면에 패터닝할 나노 패턴을 폴리머 필름에 패터닝하는 단계;나노 패턴이 패터닝된 폴리머 필름을 원통형상의 실린더 내부면에 동일형상으로 부착하는 단계;나노 패턴이 패터닝된 폴리머 필름이 부착된 실린더 내부 중앙에 내부면과 일정 간격 이격되는 원통형상의 구조체를 어셈블링하는 단계;원통형상의 구조체와 폴리머 필름 내부면의 이격 영역에 소프트 몰드 제조를 위한 몰드 물질층을 채우고 큐어링하여 외부면에 나노패턴이 패터닝되는 실린더 형상의 소프트 몰드를 제조하는 단계;를 포함하고, 상기 소프트 몰드는 나노 임프린트 공정시에 공기를 이용하여 내부에서 가해지는 압력에 의해 외측방향으로 확장되는 것이다.

Description

실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법{Fabrication of nanoimprint soft mold for cylinder surface and nano-imprint process for cylindrical surface}
본 발명은 튜브 내부 나노 패터닝에 관한 것으로, 구체적으로 튜브, 파이프와 같은 곡면 내부에 나노임프린트 공정으로 직접 미세구조를 성형하여 항균 및 방오 기능성을 부여할 수 있도록 한 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법에 관한 것이다.
저반사, 초발수, 자가세정, 항균, 방오, 김서림 방지와 같은 다양한 기능성을 구현하기 위해 나노임프린트 기술을 이용하여 표면에 마이크로/나노 스케일의 미세구조를 형성하는 기술에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
표면에 미세구조를 형성하기 위해 최종형상과 반대의 형상을 가지는 몰드를 이용하여 고온/고압 또는 UV 경화를 이용하는 나노임프린트 리소그래피(Nanoimprint lithography, NIL) 공정기술을 이용하여 미세 구조를 형성하고 있다.
그러나 종래 기술의 NIL 공정기술은 평면 또는 제한된 곡율반경을 가지는 표면에만 미세구조를 형성할 수 있는 단점이 있다.
따라서, 종래 기술을 이용하여 튜브와 같은 제한적인 공간을 가지는 구조물의 표면에 기능성 나노구조를 형성하는 것은 불가능한 실정이다.
최근, 세균 등에 의한 오염이 문제가 되고 있는 정수기용 튜브의 경우 항균특성의 표면 코팅을 이용하여 기능성을 제어하거나, 소결과 같은 방법을 이용하여 미세구조를 제어하는 방법을 사용하였다.
이러한 방법들은 기능성과 고가의 제작비용으로 인하여 실제 적용에 한계가 있다.
종래 기술의 나노임프린트리소그래피 기술은 평평한 기판위에 몰딩을 이용하여 마이크로/나노 미세구조를 제작하여 왔다.
이와 같은 나노임프린트리소그래피 기술로는 튜브, 파이프 내부를 성형 하는 것이 어렵다.
또한, 종래 기술에서 원형 파이프 내부에의 미세패턴 제조 기술로는 방오 특성을 위해 ZnO 수용액이라는 특정한 재료와 미세 패턴을 사용하여 수행하였으며, ZnO 수용액 고화를 위해 섭씨 200도에서 3시간 혹은 150도에서 5시간의 긴 공정 시간이 소요되며 ZnO과 원형파이프 내주면을 완전하게 접착시키기 위해 정해진 온도를 갖는 장소에서 정해진 시간동안 어닐링하는 추가적인 공정도 필요하다.
또한, 파이프 내의 방오 및 유체 유동 속도 증가가 요구되는 응용 분야에 적용되었을 시 ZnO 일부가 부식되어 튜브에서 제거될 경우, 유체의 오염 및 침전물이 될 수 있다.
따라서, 공정의 단순화 및 낮은 제조 비용으로 튜브, 파이프와 같은 곡면 내부에 나노 패터닝을 할 수 있는 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 나노임프린트 공정을 위한 새로운 기술의 개발이 요구되고 있다.
대한민국 등록특허 제10-0823020호 대한민국 공개특허 제10-2014-0010386호 대한민국 공개특허 제10-2015-0035996호
본 발명은 종래 기술의 나노임프린트리소그래피 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 튜브, 파이프와 같은 곡면 내부에 나노임프린트 공정으로 직접 미세구조를 성형하여 항균 및 방오 기능성을 부여할 수 있도록 한 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 원형 튜브에 직접 미세 패턴을 제조하기 때문에 추가적인 재료가 필요 없고, 나노임프린트리소그래피를 통한 미세패턴만으로 항균 및 방오 특성을 얻을 수 있도록 한 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 임프린트를 위해 고분자 튜브 유리전이온도 이상의 온도에서 짧은 공정을 진행하고, 추가적인 어닐링 공정을 하지 않아 공정을 단순화하고, 재현성을 높인 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 방오 특성을 위해 수용액 등의 특정한 재료를 사용하지 않아 항균 및 방오가 요구되는 응용분야에서 정수기용 튜브와 같은 사람이 직접 마실 수 있는 제품에도 적용 될 수 있도록 한 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 열선을 프레임 외부에 깔고 프레임 내부에서 임프린트 공정을 진행할 수 있도록 한 열전도 장비를 제작 및 적용하여 단순화된 공정으로 한 번에 튜브 내부 미세구조 성형할 수 있도록 한 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 방법은 실린더 표면에 패터닝할 나노 패턴을 폴리머 필름에 패터닝하는 단계;나노 패턴이 패터닝된 폴리머 필름을 원통형상의 실린더 내부면에 동일형상으로 부착하는 단계;나노 패턴이 패터닝된 폴리머 필름이 부착된 실린더 내부 중앙에 내부면과 일정 간격 이격되는 원통형상의 구조체를 어셈블링하는 단계;원통형상의 구조체와 폴리머 필름 내부면의 이격 영역에 소프트 몰드 제조를 위한 몰드 물질층을 채우고 큐어링하여 외부면에 나노패턴이 패터닝되는 실린더 형상의 소프트 몰드를 제조하는 단계;를 포함하고, 상기 소프트 몰드는 나노 임프린트 공정시에 공기를 이용하여 내부에서 가해지는 압력에 의해 외측방향으로 확장되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 몰드 물질층은, 원통형상의 구조체와 폴리머 필름 내부면의 이격 영역에 PDMS(Polydimethylsiloxane)를 채우고 큐어링하여 외부면에 나노패턴이 패터닝되는 실린더 형상의 소프트 몰드를 제조하는 것을 특징으로 한다.
다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법은 나노 임프린트 공정시에 공기를 이용하여 내부에서 가해지는 압력에 의해 외측방향으로 확장되는 소프트 몰드 내부에 복수 개의 공기 배출통로를 갖는 공기블로워 구조체를 결합하는 단계;히팅 장비 내부에 나노임프린팅 대상이 되는 폴리머 튜브를 위치시키고, 폴리머 튜브 내부의 중앙에 결합된 소프트 몰드 및 공기블로워 구조체를 위치시키는 단계;히팅 장비를 가열하면서 공기블로워 구조체를 통하여 공기를 주입하여 소프트 몰드를 외측 방향으로 확장시켜 소프트 몰드의 나노 패턴이 폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 나노임프린트를 진행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 나노임프린트를 진행하는 단계에서, 폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 나노임프린트를 진행하고 쿨링 공정 및 디몰딩 공정으로 내부면에 나노 패턴이 패터닝된 폴리머 튜브를 분리하여 나노임프린트 공정을 완료하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 소프트 몰드 내부에 일정간격으로 복수 개의 공기 배출통로를 갖는 공기블로워 구조체를 결합한 상태에서 클램프로 양측을 밀폐하고, 공기를 주입하여 실린더 형상의 소프트 몰드를 외측 방향으로 확장시키는 것을 특징으로 한다.
그리고 공기블로워 구조체의 공기 배출통로는, 원형의 형상으로 동일 크기를 갖고 서로 일정 간격을 갖고 위치되는 것을 특징으로 한다.
그리고 공기블로워 구조체의 공기 배출통로는, 소프트 몰드에 가해지는 공기 압력을 전체 영역에서 균일하게 하기 위하여 공기블로워 구조체의 양측 입구에서 중앙쪽으로 갈수록 배출통로의 크기를 점차 다르게 하거나, 배출통로가 되는 홀들 간의 이격 거리를 다르게 하는 것을 특징으로 한다.
그리고 나노임프린트를 진행하는 단계에서, 나노임프린트 공정은 히팅 장비 내에서 한번의 공정으로 소프트 몰드의 나노 패턴이 폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 하고, 히팅 장비는 폴리머 튜브의 외측 프레임에 복수 개의 열선을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 튜브, 파이프와 같은 곡면 내부에 나노임프린트 공정으로 직접 미세구조를 성형하여 항균 및 방오 기능성을 부여할 수 있도록 한다.
둘째, 원형 튜브에 직접 미세 패턴을 제조하기 때문에 추가적인 재료가 필요 없고, 나노임프린트리소그래피를 통한 미세패턴만으로 항균 및 방오 특성을 얻을 수 있도록 한다.
셋째, 임프린트를 위해 고분자 튜브 유리전이온도 이상의 온도에서 짧은 공정을 진행하고, 추가적인 어닐링 공정을 하지 않아 공정을 단순화하고, 재현성을 높인다.
넷째, 방오 특성을 위해 수용액 등의 특정한 재료를 사용하지 않아 항균 및 방오가 요구되는 응용분야에서 정수기용 튜브와 같은 사람이 직접 마실 수 있는 제품에도 적용 될 수 있다.
다섯째, 열선을 프레임 외부에 깔고 프레임 내부에서 임프린트 공정을 진행할 수 있도록 한 열전도 장비를 제작 및 적용하여 단순화된 공정으로 한 번에 튜브 내부 미세구조 성형할 수 있도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 순서를 나타낸 플로우 차트
도 2는 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 과정을 나타낸 구성도
도 3은 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 순서도
도 4a와 도 4b는 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정을 나타낸 구성도
도 5는 본 발명에 따른 공기블로워 구조체를 통한 공기 주입시의 소프트 몰드의 외측 방향 확장 특성을 나타낸 구성도
도 6은 본 발명에 따른 나노임프린트 공정을 위한 히팅 장비의 일 예를 나타낸 구성도
이하, 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법의 바람직한 실시 예에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법의 특징 및 이점들은 이하에서의 각 실시 예에 대한 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 순서를 나타낸 플로우 차트이고, 도 2는 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 과정을 나타낸 구성도이다.
본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법은 소프트 몰드 내부에 공기블로워 구조체를 위치시키고 공기를 주입하여 압력을 가하여 소프트 몰드를 외측으로 확장시키면서 열을 가하여 나노임프린팅 대상이 되는 폴리머 튜브 내부면에 나노 패턴이 패터닝되도록 한 것이다.
이와 같은 본 발명은 튜브, 파이프와 같은 곡면 내부에 나노임프린트 공정으로 직접 미세구조를 성형하는 것으로, 원형 튜브에 직접 미세 패턴을 제조하기 때문에 추가적인 재료가 필요 없고, 나노임프린트리소그래피를 통한 미세패턴만으로 항균 및 방오 특성을 얻을 수 있도록 한 것이다.
본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조는 도 1 및 도 2에서와 같이, 실린더 표면에 패터닝할 나노 패턴을 폴리머 필름(21)에 패터닝한다.(S101)
이어, 나노 패턴이 패터닝된 폴리머 필름(21)을 원통형상의 실린더(22) 내부면에 동일형상으로 부착한다.(S102)
그리고 나노 패턴이 패터닝된 폴리머 필름이 부착된 실린더(22) 내부 중앙에 내부면과 일정 간격 이격되는 원통형상의 구조체(23)를 어셈블링한다.(S103)
이어, 원통형상의 구조체(23)와 내부면의 이격 영역에 PDMS(Polydimethylsiloxane)(24)를 채우고 큐어링하여 외부면에 나노패턴이 패터닝되는 실린더 형상의 소프트 몰드(25)를 제조한다.(S25)
이와 같은 공정으로 제조된 소프트 몰드(25)를 이용하여 원형 튜브에 직접 미세 패턴을 형성하기 때문에 추가적인 재료가 필요 없고, 나노임프린트리소그래피를 통한 미세패턴만으로 항균 및 방오 특성을 얻을 수 있으며, 임프린트를 위해 고분자 튜브 유리전이온도 이상인 섭씨 약 100~150도에서 10~20분의 짧은 공정으로 패터닝을 한다.
이와 같은 공정에서 추가적인 어닐링 공정을 필요로 하지 않는다.
이와 같은 공정으로 제조된 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 순서도이고, 도 4a와 도 4b는 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정을 나타낸 구성도이다.
먼저, 실린더 형상의 소프트 몰드(41) 내부에 일정간격으로 복수 개의 공기 배출통로를 갖는 공기블로워 구조체(42)를 결합한다.(S301)
여기서, 소프트 몰드(41)의 외부면에는 폴리머 튜브(44)에 패터닝되는 나노패턴이 패터닝되어 있다.
이어, 히팅 장비(45) 내부에 나노임프린팅 대상이 되는 폴리머 튜브(44)를 위치시키고, 폴리머 튜브(44) 내부의 중앙에 결합된 [소프트 몰드 + 공기블로워 구조체]를 위치시킨다.(S302)
그리고 히팅 장비(45)를 가열하면서 공기블로워 구조체(42)를 통하여 공기를 주입하여 소프트 몰드(41)를 외측 방향으로 확장시켜 소프트 몰드(41)의 나노 패턴이 폴리머 튜브(44)의 내부면에 패터닝되도록 나노임프린트를 진행한다.(S303)
이와 같은 공정으로 폴리머 튜브(44)의 내부면에 패터닝되도록 나노임프린트를 진행하고 쿨링 공정 및 디몰딩 공정으로 내부면에 나노 패턴이 패터닝된 폴리머 튜브(44)를 분리하여 나노임프린트 공정을 완료한다.
도 5는 본 발명에 따른 공기블로워 구조체를 통한 공기 주입시의 소프트 몰드의 외측 방향 확장 특성을 나타낸 구성도이다.
실린더 형상의 소프트 몰드(41) 내부에 일정간격으로 복수 개의 공기 배출통로를 갖는 공기블로워 구조체(42)를 결합한 상태에서 클램프(43)로 양측을 밀폐하고, 공기를 주입하여 실린더 형상의 소프트 몰드(41)를 외측 방향으로 확장시키는 것이다.
여기서, 실린더 형상의 소프트 몰드(41)에 패터닝되는 나노 패턴의 크기는 폴리머 튜브(44)의 내부면에 패터닝되는 나노 패턴의 크기를 고려하여 결정되는 것으로, 외측 방향으로의 확장에 의한 패턴 크기의 변화가 나노임프린트 공정시에 영향을 주지 않도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 공기블로워 구조체를 통한 공기 주입시의 공기 주입량 및 세기, 히팅 장비를 통한 히팅온도 등의 공정 조건은 나노임프린트 대상이 되는 재료 특성 및 나노 패턴 형상, 크기 등을 고려하여 조절될 수 있다.
그리고 공기블로워 구조체(42)의 복수 개의 공기 배출통로는 일정 간격을 갖고, 원형 등의 균일한 형상으로 제작되는 것을 일 예로 설명하였으나, 이로 제한되지 않는다.
소프트 몰드(41)에 가해지는 공기 압력을 전체 영역에서 균일하게 하기 위하여 공기블로워 구조체(42)의 양측 입구에서 중앙쪽으로 갈수록 배출통로의 홀 크기를 점차 크게 하거나, 배출통로가 되는 홀들 간의 이격 거리를 다르게 하는 것도 가능하다.
예를 들어, 배출통로가 되는 홀의 크기가 모두 동일한 경우에는 이격 거리를 중앙으로 갈수록 점차 작게하여 소프트 몰드(41)에 가해지는 공기 압력을 전체 영역에서 균일하게 하는 것도 가능하다.
도 6은 본 발명에 따른 나노임프린트 공정을 위한 히팅 장비의 일 예를 나타낸 구성도이다.
나노임프린트 공정을 위한 히팅 장비는 한 번에 튜브 내부 미세구조 성형하기 위한 것으로, 열선을 프레임 외부에 깔고 프레임 내부에서 임프린트 공정을 진행하는 것이다.
열선의 개수 및 설치 위치는 도 6에서의 실시 예로 제한되지 않는다.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 및 이를 이용한 나노임프린트 공정 방법은 소프트 몰드 내부에 공기블로워 구조체를 위치시키고 공기를 주입하여 압력을 가하여 소프트 몰드를 외측으로 확장시키면서 열을 가하여 나노임프린팅 대상이 되는 폴리머 튜브 내부면에 나노 패턴이 패터닝되도록 한 것이다.
이와 같은 본 발명은 튜브, 파이프와 같은 곡면 내부에 나노임프린트 공정으로 직접 미세구조를 성형하는 것으로, 원형 튜브에 직접 미세 패턴을 제조하기 때문에 추가적인 재료가 필요 없고, 나노임프린트리소그래피를 통한 미세패턴만으로 항균 및 방오 특성을 얻을 수 있다.
이상에서의 설명에서와 같이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명이 구현되어 있음을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 명시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구 범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
41. 소프트 몰드
42. 공기블로워 구조체
43. 클램프
44. 폴리머 튜브
45. 히팅 장비

Claims (8)

  1. 실린더 표면에 패터닝할 나노 패턴을 폴리머 필름에 패터닝하는 단계;
    나노 패턴이 패터닝된 폴리머 필름을 원통형상의 실린더 내부면에 동일형상으로 부착하는 단계;
    나노 패턴이 패터닝된 폴리머 필름이 부착된 실린더 내부 중앙에 내부면과 일정 간격 이격되는 원통형상의 구조체를 어셈블링하는 단계;
    원통형상의 구조체와 폴리머 필름 내부면의 이격 영역에 소프트 몰드 제조를 위한 몰드 물질층을 채우고 큐어링하여 외부면에 나노패턴이 패터닝되는 실린더 형상의 소프트 몰드를 제조하는 단계;를 포함하고,
    상기 소프트 몰드는 나노 임프린트 공정시에,
    나노임프린팅 대상이 되는 폴리머 튜브가 히팅 장비 내부에 위치되고, 폴리머 튜브 내부의 중앙에 소프트 몰드가 결합된 상태에서 히팅 장비를 가열하면서 공기를 주입하여 소프트 몰드를 외측 방향으로 확장시켜 소프트 몰드의 나노 패턴이 폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 나노임프린트를 진행하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 몰드 물질층은,
    원통형상의 구조체와 폴리머 필름 내부면의 이격 영역에 PDMS(Polydimethylsiloxane)를 채우고 큐어링하여 외부면에 나노패턴이 패터닝되는 실린더 형상의 소프트 몰드를 제조하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 방법.
  3. 나노 임프린트 공정시에 공기를 이용하여 내부에서 가해지는 압력에 의해 외측방향으로 확장되는 소프트 몰드 내부에 복수 개의 공기 배출통로를 갖는 공기블로워 구조체를 결합하는 단계;
    히팅 장비 내부에 나노임프린팅 대상이 되는 폴리머 튜브를 위치시키고, 폴리머 튜브 내부의 중앙에 결합된 소프트 몰드 및 공기블로워 구조체를 위치시키는 단계;
    히팅 장비를 가열하면서 공기블로워 구조체를 통하여 공기를 주입하여 소프트 몰드를 외측 방향으로 확장시켜 소프트 몰드의 나노 패턴이 폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 나노임프린트를 진행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 나노임프린트를 진행하는 단계에서,
    폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 나노임프린트를 진행하고 쿨링 공정 및 디몰딩 공정으로 내부면에 나노 패턴이 패터닝된 폴리머 튜브를 분리하여 나노임프린트 공정을 완료하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법.
  5. 제 3 항에 있어서, 소프트 몰드 내부에 일정간격으로 복수 개의 공기 배출통로를 갖는 공기블로워 구조체를 결합한 상태에서 클램프로 양측을 밀폐하고, 공기를 주입하여 실린더 형상의 소프트 몰드를 외측 방향으로 확장시키는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법.
  6. 제 3 항에 있어서, 공기블로워 구조체의 공기 배출통로는,
    원형의 형상으로 동일 크기를 갖고 서로 일정 간격을 갖고 위치되는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법.
  7. 제 3 항에 있어서, 공기블로워 구조체의 공기 배출통로는,
    소프트 몰드에 가해지는 공기 압력을 전체 영역에서 균일하게 하기 위하여 공기블로워 구조체의 양측 입구에서 중앙쪽으로 갈수록 배출통로의 크기를 점차 다르게 하거나,
    배출통로가 되는 홀들 간의 이격 거리를 다르게 하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법.
  8. 제 3 항에 있어서, 나노임프린트를 진행하는 단계에서,
    나노임프린트 공정은 히팅 장비 내에서 한번의 공정으로 소프트 몰드의 나노 패턴이 폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 하고,
    히팅 장비는 폴리머 튜브의 외측 프레임에 복수 개의 열선을 구비하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법.
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