JP2015507587A - ゲッター用フィラーを備えた真空ガラスパネル及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(実施例1)
Zr合金100重量部に対してZr84重量部、Al16重量部からなるZr合金を含み、厚さが0.1mmのシートを製作してパンチング加工することによって、Zr合金ゲッター用フィラーを製作した。
Zr合金100重量部に対してZr70重量部、Al30重量部を使用した点を除いては、実施例1と同一の方法でZr合金ゲッター用フィラーを製作した。
Zr合金100重量部に対してZr90重量部、Al10重量部を使用した点を除いては、実施例1と同一の方法でZr合金ゲッター用フィラーを製作した。
Zr合金100重量部に対してZr76.5重量部、Fe23.5重量部を使用した点を除いては、実施例1と同一の方法でZr合金ゲッター用フィラーを製作した。
Zr合金100重量部に対してZr80重量部、Ti20重量部を使用した点を除いては、実施例1と同一の方法でZr合金ゲッター用フィラーを製作した。
Zr合金100重量部に対してZr87重量部、Ti13重量部を使用した点を除いては、実施例1と同一の方法でZr合金ゲッター用フィラーを製作した。
Zrのみからなる0.1mmのZrシートをパンチング加工することによって、Zrゲッター用フィラーを製作した。
Zr合金100重量部に対してZr50重量部、Al50重量部を使用した点を除いては、実施例1と同一の方法でZr合金ゲッター用フィラーを製作した。
下板ガラス上に多数の排出穴が形成されたパイプ形態の間隔維持棒を下板ガラス面のエッジから1mmないし30mmほど内側に位置させた後、下板ガラス上にマイクロスペーサーを横及び縦方向に一定の間隔で位置させ、縁部に位置した間隔維持棒のうち一つは長くし、排気管として役割を行えるように下板ガラスの外側に延びるようにした。
前記実施例によって製造されたゲッター用フィラーを用いて真空ガラスを製造し、前記実施例によって製造された真空ガラスと比較例で製造された真空ガラスのゲッター活性化温度及び活性化直後の残留ガスの吸着性能を評価した。結果は、下記の表1に示した通りである。
Claims (12)
- 上部ガラス板;
前記上部ガラス板と対向する下部ガラス板;
前記上部ガラス板と下部ガラス板との間の空間に真空層を形成するように、前記上部ガラス板と下部ガラス板の縁部に沿って形成され、前記上部ガラス板と下部ガラス板を密封する密封部;及び
前記真空層内のガスを吸着する少なくとも一つのゲッター用フィラー;を含む真空ガラスパネル。 - 前記ゲッター用フィラーは、ガス吸着材質としてZrを含むことを特徴とする、請求項1に記載の真空ガラスパネル。
- 前記ゲッター用フィラーは、Al、Fe、Tiより選ばれる1種以上とZrとが合金されたZr合金を含むことを特徴とする、請求項1に記載の真空ガラスパネル。
- 前記Zr合金100重量部に対して、Zrの含量は70重量部ないし90重量部であることを特徴とする、請求項3に記載の真空ガラスパネル。
- 前記ゲッター用フィラーは、500℃でも形態を維持する耐熱性と5000kg/cm3より高い圧縮強度を有することを特徴とする、請求項1に記載の真空ガラスパネル。
- 前記ゲッター用フィラーは、側面に沿って凹凸を形成した多面体であって、マトリックス配列で多数配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の真空ガラスパネル。
- 前記ゲッター用フィラーは、0.4mmないし0.6mmの長さ(L)及び0.2mmないし0.3mmの高さ(h)を有することを特徴とする、請求項1に記載の真空ガラスパネル。
- 上部ガラス板と下部ガラス板を用意する段階;
真空チャンバ内で前記下部ガラス板の縁部に沿って密封材を塗布して密封部を形成する段階;
前記下部ガラス板の上部面に多数のゲッター用フィラーを配置する段階;及び
前記下部ガラス板の上部に前記上部ガラス板を配置して加熱し、前記上部ガラス板と下部ガラス板を対向するように合着する段階;
を含む真空ガラスパネルの製造方法。 - 前記密封部を形成する段階において、前記密封材は、ガラスフリットをペースト形態に用意した材質であることを特徴とする、請求項2に記載の真空ガラスパネルの製造方法。
- 前記ゲッター用フィラーを配置する段階は、
吸着ノズルを用いて前記ゲッター用フィラーを運搬して前記下部ガラス板の上部面にローディングすることを特徴とする、請求項8に記載の真空ガラスパネルの製造方法。 - 前記上部ガラス板と下部ガラス板を対向するように合着する段階は、
前記真空チャンバ内で真空排気を行うと同時に、前記上部ガラス板全面に対する加熱を行う段階をさらに含み、
前記上部ガラス板全面に対する加熱によって前記ゲッター用フィラーの活性化が行われることを特徴とする、請求項8に記載の真空ガラスパネルの製造方法。 - 前記ゲッター用フィラーを配置する段階では、
前記ゲッター用フィラーは、側面に沿って凹凸を形成した多面体であって、マトリックス配列で多数配置されることを特徴とする、請求項8に記載の真空ガラスパネルの製造方法。
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