JP2015502417A - 研磨用スラリー及びこれを用いた基板の研磨方法 - Google Patents
研磨用スラリー及びこれを用いた基板の研磨方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015502417A JP2015502417A JP2014539865A JP2014539865A JP2015502417A JP 2015502417 A JP2015502417 A JP 2015502417A JP 2014539865 A JP2014539865 A JP 2014539865A JP 2014539865 A JP2014539865 A JP 2014539865A JP 2015502417 A JP2015502417 A JP 2015502417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slurry
- polishing
- tungsten
- titanium oxide
- content
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 168
- 239000002002 slurry Substances 0.000 title claims abstract description 131
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 48
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 110
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims abstract description 96
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 94
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract description 91
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 76
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 69
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 claims description 40
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- MVFCKEFYUDZOCX-UHFFFAOYSA-N iron(2+);dinitrate Chemical compound [Fe+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O MVFCKEFYUDZOCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims description 23
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 claims description 20
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 claims description 20
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 19
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 9
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 claims description 8
- JQWHASGSAFIOCM-UHFFFAOYSA-M sodium periodate Chemical compound [Na+].[O-]I(=O)(=O)=O JQWHASGSAFIOCM-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 5
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 claims description 5
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- SHXXPRJOPFJRHA-UHFFFAOYSA-K iron(iii) fluoride Chemical compound F[Fe](F)F SHXXPRJOPFJRHA-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 4
- LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-difluorophenoxy)pyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=CN=C1OC1=CC=C(F)C=C1F LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- KGIGUEBEKRSTEW-UHFFFAOYSA-N 2-vinylpyridine Chemical compound C=CC1=CC=CC=N1 KGIGUEBEKRSTEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910021594 Copper(II) fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XYXNTHIYBIDHGM-UHFFFAOYSA-N ammonium thiosulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S([O-])(=O)=S XYXNTHIYBIDHGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ODWXUNBKCRECNW-UHFFFAOYSA-M bromocopper(1+) Chemical compound Br[Cu+] ODWXUNBKCRECNW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- GWFAVIIMQDUCRA-UHFFFAOYSA-L copper(ii) fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Cu+2] GWFAVIIMQDUCRA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- AXZAYXJCENRGIM-UHFFFAOYSA-J dipotassium;tetrabromoplatinum(2-) Chemical compound [K+].[K+].[Br-].[Br-].[Br-].[Br-].[Pt+2] AXZAYXJCENRGIM-UHFFFAOYSA-J 0.000 claims description 3
- FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M iron chloride Chemical compound [Cl-].[Fe] FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- 229910000358 iron sulfate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- BAUYGSIQEAFULO-UHFFFAOYSA-L iron(2+) sulfate (anhydrous) Chemical compound [Fe+2].[O-]S([O-])(=O)=O BAUYGSIQEAFULO-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- GYCHYNMREWYSKH-UHFFFAOYSA-L iron(ii) bromide Chemical compound [Fe+2].[Br-].[Br-] GYCHYNMREWYSKH-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 claims description 3
- -1 potassium ferricyanide Chemical compound 0.000 claims description 3
- JLKDVMWYMMLWTI-UHFFFAOYSA-M potassium iodate Chemical compound [K+].[O-]I(=O)=O JLKDVMWYMMLWTI-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- 239000001230 potassium iodate Substances 0.000 claims description 3
- 229940093930 potassium iodate Drugs 0.000 claims description 3
- 235000006666 potassium iodate Nutrition 0.000 claims description 3
- 229910001487 potassium perchlorate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L sodium persulfate Substances [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- AQLJVWUFPCUVLO-UHFFFAOYSA-N urea hydrogen peroxide Chemical compound OO.NC(N)=O AQLJVWUFPCUVLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000005708 Sodium hypochlorite Substances 0.000 claims description 2
- JRKICGRDRMAZLK-UHFFFAOYSA-L peroxydisulfate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O JRKICGRDRMAZLK-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011591 potassium Substances 0.000 claims description 2
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 50
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 34
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 21
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- QTMDXZNDVAMKGV-UHFFFAOYSA-L copper(ii) bromide Chemical compound [Cu+2].[Br-].[Br-] QTMDXZNDVAMKGV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- WQYVRQLZKVEZGA-UHFFFAOYSA-N hypochlorite Chemical compound Cl[O-] WQYVRQLZKVEZGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021590 Copper(II) bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021592 Copper(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910021576 Iron(III) bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUTXIHLAWFEWGM-UHFFFAOYSA-H iron(3+) sulfate Chemical compound [Fe+3].[Fe+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O RUTXIHLAWFEWGM-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 229910000360 iron(III) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L potassium persulfate Chemical compound [K+].[K+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000001488 sodium phosphate Substances 0.000 description 1
- 229910000162 sodium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- FEONEKOZSGPOFN-UHFFFAOYSA-K tribromoiron Chemical compound Br[Fe](Br)Br FEONEKOZSGPOFN-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K trisodium phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])([O-])=O RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N tungsten trioxide Chemical compound O=[W](=O)=O ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/10—Etching compositions
- C23F1/14—Aqueous compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1409—Abrasive particles per se
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/32115—Planarisation
- H01L21/3212—Planarisation by chemical mechanical polishing [CMP]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/7684—Smoothing; Planarisation
Abstract
Description
下降圧力:5psi、
定盤の速度:約93rpm、
スピンドルの速度:約87rpm、
スラリーの流速:約100mL/分
上述した方法を用いて酸化チタン研磨粒子の含量を変化させながらスラリーを製造し、これを用いて研磨を行い、その結果を下記表2に示す。このとき、スラリーの総重量に対して、硝酸鉄は約0.1重量%にし、且つ、過酸化水素水は約2重量%にした。研磨装備及び条件は、上述した通りである。
上述した方法を用いて酸化剤として働く過酸化水素水の含量を変化させながらタングステン及びシリコン酸化膜の研磨を行い、その結果を下記表3に示す。このとき、スラリーの総重量に対して、酸化チタンの含量は約1.0重量%にし、硝酸鉄は約0.1重量%にした。研磨装備及び条件は、上述した通りである。
上述した方法を用いて酸化促進剤として働く硝酸鉄の含量を変化させながらタングステン及びシリコン酸化膜の研磨を行い、その結果を下記表4に示す。このとき、スラリーの総重量に対して、酸化チタンの含量は約1.0重量%にし、過酸化水素水の含量は約2重量%にした。研磨装備及び条件は、上述した通りである。
上述した方法を用いて酸化促進剤として働くPVPの含量を変化させながらタングステン及びシリコン酸化膜の研磨を行い、その結果を下記表5に示す。このとき、スラリーの総重量に対して、酸化チタンの含量は約1.0重量%にし、過酸化水素水の含量は約2重量%にし、硝酸鉄の含量は約0.1重量%にした。研磨装備及び条件は、上述した通りである。
110:シリコン酸化膜
120:タングステン層
300:研磨粒子
Claims (31)
- タングステン研磨用スラリーであって、
研磨を行う研磨剤及び酸化物形成を促す酸化促進剤を含み、
前記研磨剤として酸化チタン粒子を含むスラリー。 - 前記酸化チタンの含量は、スラリーの総重量に対して、約0.2重量%超え約10重量%以下である請求項1に記載のスラリー。
- 前記酸化促進剤として、硝酸鉄、フェリシアン化カリウム、塩化鉄、硫酸鉄、フッ化鉄、臭化鉄、塩化銅、フッ化銅及び臭化銅よりなる群から選ばれた少なくとも一種を含み、
前記酸化促進剤の含量は、スラリーの総重量に対して、約0.002重量%以上約0.1重量%以下である請求項1または請求項2に記載のスラリー。 - 前記酸化チタンの含量は、スラリーの総重量に対して、約0.7〜約5重量%である請求項3に記載のスラリー。
- 前記酸化チタンの含量は、スラリーの総重量に対して、約1.0〜約2.0重量%である請求項4に記載のスラリー。
- 前記酸化促進剤の含量は、スラリーの総重量に対して、約0.01重量%以上約0.1重量%以下である請求項3に記載のスラリー。
- 前記酸化促進剤の含量は、スラリーの総重量に対して、約0.05〜約0.1重量%である請求項3に記載のスラリー。
- 前記スラリーは、pHが約1〜約4に調節される請求項3に記載のスラリー。
- 酸化物を形成する酸化剤として、過酸化水素水、過酸化尿素、過硫酸アンモニウム、チオ硫酸アンモニウム、次亜塩素酸ナトリウム、過ヨウ素酸ナトリウム、過硫酸ナトリウム 、ヨウ素酸カリウム、過塩素酸カリウム及び過硫酸カリウムよりなる群から選ばれた少なくとも一種を含み、
前記酸化剤の含量は、スラリーの総重量に対して、約0.5重量%以上約5.0重量%未満である請求項3に記載のスラリー。 - 前記酸化剤の含量は、スラリーの総重量に対して、約0.5重量%〜約2重量%である請求項9に記載のスラリー。
- 前記酸化剤の含量は、スラリーの総重量に対して、約1重量%〜約2重量%である請求項9に記載のスラリー。
- 選択比向上剤として、ポリビニールピロリドン、ビニールピリジン及びビニールピロリドンよりなる群から選ばれた少なくとも一種を含む請求項3に記載のスラリー。
- 前記選択比向上剤の含量は、スラリーの総重量に対して、約0.05重量%以上約3.0重量%未満である請求項12に記載のスラリー。
- 前記選択比向上剤の含量は、スラリーの総重量に対して、約0.05重量%〜約1.0重量%である請求項13に記載のスラリー。
- 前記選択比向上剤の含量は、スラリーの総重量に対して、約0.05〜0.1重量%である請求項13に記載のスラリー。
- 前記酸化チタン粒子は結晶相に形成され、平均1次粒子径が約10nm〜約100nmである請求項3に記載のスラリー。
- タングステン研磨用スラリーであって、
研磨を行う研磨剤として酸化チタン粒子を含み、
前記酸化チタン粒子は結晶相に形成され、少なくとも一部はアナターゼ結晶相に形成され、
前記酸化チタン粒子は、平均1次粒子径が約10nm〜約100nmであるスラリー。 - 前記酸化チタン粒子は、多面体状を呈する請求項17に記載のスラリー。
- 前記酸化チタン粒子は、平均1次粒子径が約15nm以上約50nm未満である請求項18に記載のスラリー。
- 前記酸化チタン粒子は、アナターゼ相とルチル相を有し、前記アナターゼ相とルチル相の総和を100としたとき、前記アナターゼ相が約50を超える請求項17に記載のスラリー。
- 前記酸化チタンの含量は、スラリーの総重量に対して、約0.2重量%超え約10重量%以下である請求項17から請求項20のうちのいずれか1項に記載のスラリー。
- 前記スラリーは、酸化物の形成を促す酸化促進剤を含む請求項21に記載のスラリー。
- 前記スラリーは、pH調節剤を含む請求項21に記載のスラリー。
- 基板の研磨方法であって、
タングステン層が形成された基板を設ける過程と、
研磨剤としての酸化チタン粒子と酸化促進剤を含む1次スラリーを設ける過程と、
前記1次スラリーを前記基板の上に供給しながら前記タングステン層を研磨する過程と、
を含み、
前記研磨過程においては、前記タングステン層の上部表面にタングステン酸化膜が形成され、前記酸化チタン粒子の少なくとも一部が前記タングステン酸化膜の内部に浸透して前記タングステン層及び前記タングステン酸化膜を研磨する基板の研磨方法。 - 前記1次スラリーを前記基板の上に供給しながら酸化剤を前記基板の上に供給する請求項24に記載の基板の研磨方法。
- 前記1次スラリーを前記基板の上に供給しながら選択比向上剤を前記基板の上に供給する請求項24または請求項25に記載の基板の研磨方法。
- 前記選択比向上剤または前記酸化剤は、前記1次スラリーとは別途の流入ラインを介して前記基板の上に提供される請求項26に記載の基板の研磨方法。
- 前記酸化促進剤は硝酸鉄を含み、前記酸化剤は過酸化水素水である請求項25に記載の基板の研磨方法。
- 前記研磨過程が行われる間に前記タングステン酸化膜は所定の膜厚に保たれる請求項24に記載の基板の研磨方法。
- 前記研磨過程が行われる間に前記酸化チタン粒子の少なくとも一部は前記タングステン層表面と直接的に接触する請求項24または請求項29に記載の研磨方法。
- 前記タングステン層が形成された基板を設ける過程においては、
前記基板の上に絶縁膜を形成し、前記絶縁膜にトレンチを形成し、
前記トレンチを含む絶縁膜の全面にタングステン層を形成する請求項24、請求項25、請求項28または請求項29に記載の基板の研磨方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120038419A KR101257336B1 (ko) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 연마용 슬러리 및 이를 이용한 기판 연마 방법 |
KR10-2012-0038419 | 2012-04-13 | ||
PCT/KR2012/007367 WO2013154236A1 (en) | 2012-04-13 | 2012-09-14 | Polishing slurry and method of polishing using the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015502417A true JP2015502417A (ja) | 2015-01-22 |
JP6030145B2 JP6030145B2 (ja) | 2016-11-24 |
Family
ID=48443660
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014539865A Active JP6030145B2 (ja) | 2012-04-13 | 2012-09-14 | 研磨用スラリー及びこれを用いた基板の研磨方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140312266A1 (ja) |
JP (1) | JP6030145B2 (ja) |
KR (1) | KR101257336B1 (ja) |
CN (1) | CN104066807B (ja) |
TW (1) | TWI608061B (ja) |
WO (1) | WO2013154236A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017066386A (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | ユービーマテリアルズ インコーポレイテッド | スラリー及びこれを用いた基板の研磨方法 |
JP2021509768A (ja) * | 2018-01-08 | 2021-04-01 | シーエムシー マテリアルズ,インコーポレイティド | 改善されたトポグラフィーを有するタングステンバフ研磨組成物 |
KR20220025593A (ko) * | 2020-08-24 | 2022-03-03 | 에스케이씨솔믹스 주식회사 | 연마패드 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법 |
JP7368997B2 (ja) | 2019-09-30 | 2023-10-25 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014109929A1 (en) | 2013-01-11 | 2014-07-17 | Applied Materials, Inc | Chemical mechanical polishing apparatus and methods |
WO2016032145A1 (ko) * | 2014-08-26 | 2016-03-03 | 주식회사 케이씨텍 | 연마 슬러리 조성물 |
CN106661429B (zh) * | 2014-08-26 | 2019-07-05 | 凯斯科技股份有限公司 | 抛光浆料组合物 |
KR101682097B1 (ko) * | 2014-08-26 | 2016-12-02 | 주식회사 케이씨텍 | 연마 슬러리 조성물 |
CN107914211A (zh) * | 2016-10-11 | 2018-04-17 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种化学机械研磨方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10121035A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-05-12 | Showa Denko Kk | 磁気ディスク基板研磨用組成物 |
WO2001000745A1 (fr) * | 1999-06-28 | 2001-01-04 | Showa Denko K.K. | Composition pour le polissage d'un substrat de disque magnetique et procede de fabrication de ce substrat |
WO2001048109A1 (fr) * | 1999-12-27 | 2001-07-05 | Taiho Industries, Co., Ltd. | Agent de traitement de surface dure, agent anti-salissures et procede de traitement de surface |
JP2002003825A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-09 | Asahi Kasei Corp | 光活性を有する半導体基板金属膜研磨用組成物 |
JP2002009023A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-11 | Asahi Kasei Corp | 半導体基板金属膜研磨用組成物 |
JP2002173669A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Asahi Kasei Corp | 半導体基板上金属膜研磨用スラリー |
JP2002528903A (ja) * | 1998-10-23 | 2002-09-03 | アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド | 活性剤溶液を含有し、化学機械的に磨くためのスラリーシステム |
JP2011014840A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Adeka Corp | Cmp用研磨組成物 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5340370A (en) * | 1993-11-03 | 1994-08-23 | Intel Corporation | Slurries for chemical mechanical polishing |
US5993686A (en) * | 1996-06-06 | 1999-11-30 | Cabot Corporation | Fluoride additive containing chemical mechanical polishing slurry and method for use of same |
US6152976A (en) * | 1996-08-30 | 2000-11-28 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Abrasive composition for disc substrate, and process for polishing disc substrate |
US6068787A (en) * | 1996-11-26 | 2000-05-30 | Cabot Corporation | Composition and slurry useful for metal CMP |
US6083419A (en) * | 1997-07-28 | 2000-07-04 | Cabot Corporation | Polishing composition including an inhibitor of tungsten etching |
US6478837B1 (en) * | 1999-06-28 | 2002-11-12 | Showa Denko K.K. | Abrasive composition substrate for magnetic recording disks and process for producing substrates for magnetic recording disk |
US6280490B1 (en) * | 1999-09-27 | 2001-08-28 | Fujimi America Inc. | Polishing composition and method for producing a memory hard disk |
JP2001269859A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-02 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体 |
US6551935B1 (en) * | 2000-08-31 | 2003-04-22 | Micron Technology, Inc. | Slurry for use in polishing semiconductor device conductive structures that include copper and tungsten and polishing methods |
JP4003116B2 (ja) * | 2001-11-28 | 2007-11-07 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 磁気ディスク用基板の研磨用組成物及びそれを用いた研磨方法 |
KR20030063763A (ko) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | 한국과학기술연구원 | 텅스텐 씨엠피용 슬러리 |
US7132058B2 (en) * | 2002-01-24 | 2006-11-07 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Tungsten polishing solution |
US20030139047A1 (en) * | 2002-01-24 | 2003-07-24 | Thomas Terence M. | Metal polishing slurry having a static etch inhibitor and method of formulation |
US7513920B2 (en) * | 2002-02-11 | 2009-04-07 | Dupont Air Products Nanomaterials Llc | Free radical-forming activator attached to solid and used to enhance CMP formulations |
TWI288772B (en) * | 2003-01-24 | 2007-10-21 | Rohm & Haas Elect Mat | Tungsten polishing solution |
KR100600598B1 (ko) * | 2003-10-02 | 2006-07-13 | 제일모직주식회사 | 텅스텐 배선 연마용 슬러리 조성물 |
US7172493B2 (en) * | 2003-11-24 | 2007-02-06 | Nikon Corporation | Fine force actuator assembly for chemical mechanical polishing apparatuses |
US20050194562A1 (en) * | 2004-02-23 | 2005-09-08 | Lavoie Raymond L.Jr. | Polishing compositions for controlling metal interconnect removal rate in semiconductor wafers |
KR20060099313A (ko) * | 2005-03-11 | 2006-09-19 | 삼성전자주식회사 | 산화막 연마억제제를 함유하는 화학 기계 연마 슬러리 |
US20070075042A1 (en) * | 2005-10-05 | 2007-04-05 | Siddiqui Junaid A | Stabilizer-Fenton's reaction metal-vinyl pyridine polymer-surface-modified chemical mechanical planarization composition and associated method |
US7803711B2 (en) | 2007-09-18 | 2010-09-28 | Cabot Microelectronics Corporation | Low pH barrier slurry based on titanium dioxide |
CN101724346A (zh) * | 2008-10-10 | 2010-06-09 | 安集微电子(上海)有限公司 | 一种化学机械抛光液 |
-
2012
- 2012-04-13 KR KR1020120038419A patent/KR101257336B1/ko active IP Right Grant
- 2012-09-14 WO PCT/KR2012/007367 patent/WO2013154236A1/en active Application Filing
- 2012-09-14 JP JP2014539865A patent/JP6030145B2/ja active Active
- 2012-09-14 US US14/357,768 patent/US20140312266A1/en not_active Abandoned
- 2012-09-14 CN CN201280065754.4A patent/CN104066807B/zh active Active
- 2012-09-21 TW TW101134779A patent/TWI608061B/zh active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10121035A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-05-12 | Showa Denko Kk | 磁気ディスク基板研磨用組成物 |
JP2002528903A (ja) * | 1998-10-23 | 2002-09-03 | アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド | 活性剤溶液を含有し、化学機械的に磨くためのスラリーシステム |
WO2001000745A1 (fr) * | 1999-06-28 | 2001-01-04 | Showa Denko K.K. | Composition pour le polissage d'un substrat de disque magnetique et procede de fabrication de ce substrat |
WO2001048109A1 (fr) * | 1999-12-27 | 2001-07-05 | Taiho Industries, Co., Ltd. | Agent de traitement de surface dure, agent anti-salissures et procede de traitement de surface |
JP2002003825A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-09 | Asahi Kasei Corp | 光活性を有する半導体基板金属膜研磨用組成物 |
JP2002009023A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-11 | Asahi Kasei Corp | 半導体基板金属膜研磨用組成物 |
JP2002173669A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Asahi Kasei Corp | 半導体基板上金属膜研磨用スラリー |
JP2011014840A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Adeka Corp | Cmp用研磨組成物 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017066386A (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | ユービーマテリアルズ インコーポレイテッド | スラリー及びこれを用いた基板の研磨方法 |
JP2021509768A (ja) * | 2018-01-08 | 2021-04-01 | シーエムシー マテリアルズ,インコーポレイティド | 改善されたトポグラフィーを有するタングステンバフ研磨組成物 |
JP7370984B2 (ja) | 2018-01-08 | 2023-10-30 | シーエムシー マテリアルズ リミティド ライアビリティ カンパニー | 改善されたトポグラフィーを有するタングステンバフ研磨組成物 |
JP7368997B2 (ja) | 2019-09-30 | 2023-10-25 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
KR20220025593A (ko) * | 2020-08-24 | 2022-03-03 | 에스케이씨솔믹스 주식회사 | 연마패드 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법 |
KR102415203B1 (ko) | 2020-08-24 | 2022-06-30 | 에스케이씨솔믹스 주식회사 | 연마패드 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013154236A8 (en) | 2014-04-03 |
US20140312266A1 (en) | 2014-10-23 |
JP6030145B2 (ja) | 2016-11-24 |
CN104066807B (zh) | 2016-06-29 |
KR101257336B1 (ko) | 2013-04-23 |
WO2013154236A1 (en) | 2013-10-17 |
TW201341490A (zh) | 2013-10-16 |
CN104066807A (zh) | 2014-09-24 |
TWI608061B (zh) | 2017-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6030145B2 (ja) | 研磨用スラリー及びこれを用いた基板の研磨方法 | |
JP3874068B2 (ja) | 研磨用組成物 | |
JP6940557B2 (ja) | 酸化物エロージョン低減のためのタングステン化学機械研磨 | |
JP4264781B2 (ja) | 研磨用組成物および研磨方法 | |
TWI299747B (en) | Chemical-mechanical polishing composition and method for using the same | |
JP3616802B2 (ja) | スラリー組成物およびそれを用いる化学機械的研磨方法 | |
TWI516581B (zh) | 硏磨漿料以及使用所述硏磨漿料的基底硏磨方法 | |
JP5312345B2 (ja) | 金属配線形成用cmpスラリー組成物 | |
JP6297083B2 (ja) | 研磨スラリー及びこれを用いた基板の研磨方法 | |
JP2011151405A (ja) | 半導体素子の表面平坦化方法 | |
CN101065457A (zh) | 化学机械研磨方法与研磨液组合物 | |
CN109531282B (zh) | 用于钴的化学机械抛光方法 | |
TW201309787A (zh) | 一種鎢研磨用cmp漿料組合物 | |
CN101095216A (zh) | 用于化学机械抛光的系统、方法与研磨液 | |
JP4657408B2 (ja) | 金属膜用研磨剤 | |
WO2009070967A1 (fr) | Liquide de polissage chimico-mécanique | |
TWI573848B (zh) | 含有釕及銅之基板之化學機械硏磨方法 | |
JP2008098652A (ja) | 化学機械研磨用スラリおよび半導体装置の製造方法 | |
JP6251765B2 (ja) | 研磨スラリー及びこれを用いた基板の研磨方法 | |
TWI306895B (en) | Slurry for mechanical polishing (cmp) of metals and use thereof | |
JP4231950B2 (ja) | 金属膜用研磨剤 | |
JP2008078577A (ja) | 基板処理方法 | |
JP5204376B2 (ja) | 金属膜研磨用組成物および金属膜研磨用組成物の製造方法 | |
KR101279970B1 (ko) | 금속 배선 연마용 cmp 슬러리 조성물 | |
JP2007095944A (ja) | 半導体集積回路の化学的機械的平坦化方法。 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160301 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160920 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161019 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6030145 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314531 |
|
S804 | Written request for registration of cancellation of exclusive licence |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314803 |