JP2015500507A - 偏光分離素子 - Google Patents
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Abstract
Description
(a+bi)2=n1 2×(1−W/P)+n2 2×W/P
偏光度D=(Tc−Tp)/(Tc+Tp)
(c+di)2=n1 2×n2 2/((1−W/P)×n2 2+W×n1 2/P)
(a+bi)2=n1 2×(1−W/P)+n2 2×W/P
(c+di)2=n1 2×n2 2/((1−W/P)×n2 2+W×n1 2/P)
実施例
石英ガラスを60℃のアセトンとIPA(ISO−Propyl Alcohol)に20分ずつ超音波洗浄下で表面の異物を除去した。その後、上記石英ガラスに電子−ビーム蒸着(E−Beam Evaporation)を通じて1Å/secの速度でシリコン薄膜を50nmの厚さで蒸着した。蒸着されたシリコン薄膜の上にMicro Resist社のmr−8010rを100nm厚さでスピンコーティングした後、95度で1分間ベークした。次に、150nmピッチのインプリンティングマスタを利用してインプリント工程を行った。インプリント時にプレス(Press)の温度は160℃であり、40Barで3分間維持した後、2分間クーリング(cooling)し、100℃で脱型(Demold)した。その後、ICP RIE装備を利用してシリコンを乾式エッチングした。その後、有機溶媒としてアセトンを利用してインプリント用レジストを除去し、凹部の幅Wが75nm、ピッチPが150nmであるシリコン偏光分離素子を製造した。
石英ガラスを60℃のアセトンとIPAに20分ずつ超音波洗浄下で表面の異物を除去した。その後、上記石英ガラスに電子−ビーム蒸着(E−Beam Evaporation)を通じて1Å/secの速度でアルミニウム薄膜を150nmの厚さで蒸着した。蒸着されたアルミニウム薄膜の上にMicro Resist社のmr−8010rを100nm厚さでスピンコーティングした後、95℃で1分間ベークした。次に、120nmピッチのインプリンティングマスタを利用してインプリント工程を行った。インプリント時にプレス(Press)の温度は、160℃であり、40Barで3分間維持した後、2分間クーリング(cooling)し、100℃で脱型(Demold)した。その後、ICP RIE装備を利用してアルミニウムを乾式エッチングした。その後、有機溶媒としてアセトンを利用してインプリント用レジストを除去し、凹部の幅Wが60nm、ピッチPが120nmであるアルミニウム偏光分離素子を製造した。
実施例及び比較例で製造された偏光分離素子について下記方式でその物性を評価した。
Spectroscopic ellipsometry装備及びOscillationmodelingを利用して実施例及び比較例で製造された偏光分離素子に300nmの波長の光を照射し、上記偏光分離素子の凹部の光学定数を測定した。
実施例の偏光分離素子と比較例の偏光分離素子それぞれのW、P値、誘電物質(空気)の屈折率n1の値1及び上記で測定された偏光分離素子の凹部の光学定数n2を数式1及び数式2に代入して計算し、その結果は、下記表1の通りである。
それぞれの波長帯域によって測定された透過率に基づいて消光比Tc/Tpを計算した。実施例及び比較例の波長帯別の消光比を比較すれば、表2の通りである。
(1)実験例1
実施例で製作したシリコン偏光分離素子を加速実験のために水に浸漬した後、60℃でそれぞれ20分、60分、120分間加熱した。次に、使用しないアルミニウム偏光分離素子2枚を重ねて、透過率測定装備に挿入し、偏光された光源を作った後、上記シリコン偏光分離素子の方向を偏光方向と垂直水平に配置した後、Tp及びTcを測定した。ここで、Tpは、凹部と平行な方向の偏光の透過度を意味し、Tcは、凹部と垂直な方向の偏光の透過度を意味する。測定結果は、図6に示した。
比較例で製作したアルミニウム偏光分離素子に紫外線ランプを500時間照射した後、実験例1と同様の方法で、照射前後のTp及びTcを測定した。測定結果は、図7に示した。
比較例で製作したアルミニウム偏光分離素子を水に浸漬した後、60℃で30分間加熱し、アルミニウムがすべて酸化されて透明に変わって、そのため、偏光分離素子の機能が消えることを確認した。結果は、図8に示す。
実施例で製作したシリコン偏光分離素子及び比較例で製作したアルミニウム偏光分離素子のTc及びTpをN&K社のスペクトロメーターを利用して測定し、結果を図9に示した。
2 凹凸
2a 凹部
2b 溝部
10、101、102 光照射手段
20 集光板
30 偏光板
40 マスク
50 被照射体
60 被照射体が保持される装備
実施例
石英ガラスを60℃のアセトンとIPA(ISO−Propyl Alcohol)に20分ずつ超音波洗浄下で表面の異物を除去した。その後、上記石英ガラスに電子−ビーム蒸着(E−Beam Evaporation)を通じて1Å/secの速度でシリコン薄膜を50nmの厚さで蒸着した。蒸着されたシリコン薄膜の上にMicro Resist社のmr−8010rを100nm厚さでスピンコーティングした後、95度で1分間ベークした。次に、150nmピッチのインプリンティングマスタを利用してインプリント工程を行った。インプリント時にプレス(Press)の温度は160℃であり、40Barで3分間維持した後、2分間クーリング(cooling)し、100℃で脱型(Demold)した。その後、ICP RIE装備を利用してシリコンを乾式エッチングした。その後、有機溶媒としてアセトンを利用してインプリント用レジストを除去し、凸部の幅Wが75nm、ピッチPが150nmであるシリコン偏光分離素子を製造した。
石英ガラスを60℃のアセトンとIPAに20分ずつ超音波洗浄下で表面の異物を除去した。その後、上記石英ガラスに電子−ビーム蒸着(E−Beam Evaporation)を通じて1Å/secの速度でアルミニウム薄膜を150nmの厚さで蒸着した。蒸着されたアルミニウム薄膜の上にMicro Resist社のmr−8010rを100nm厚さでスピンコーティングした後、95℃で1分間ベークした。次に、120nmピッチのインプリンティングマスタを利用してインプリント工程を行った。インプリント時にプレス(Press)の温度は、160℃であり、40Barで3分間維持した後、2分間クーリング(cooling)し、100℃で脱型(Demold)した。その後、ICP RIE装備を利用してアルミニウムを乾式エッチングした。その後、有機溶媒としてアセトンを利用してインプリント用レジストを除去し、凸部の幅Wが60nm、ピッチPが120nmであるアルミニウム偏光分離素子を製造した。
Spectroscopic ellipsometry装備及びOscillationmodelingを利用して実施例及び比較例で製造された偏光分離素子に300nmの波長の光を照射し、上記偏光分離素子の凸部の光学定数を測定した。
実施例の偏光分離素子と比較例の偏光分離素子それぞれのW、P値、誘電物質(空気)の屈折率n1の値1及び上記で測定された偏光分離素子の凸部の光学定数n2を数式1及び数式2に代入して計算し、その結果は、下記表1の通りである。
(1)実験例1
実施例で製作したシリコン偏光分離素子を加速実験のために水に浸漬した後、60℃でそれぞれ20分、60分、120分間加熱した。次に、使用しないアルミニウム偏光分離素子2枚を重ねて、透過率測定装備に挿入し、偏光された光源を作った後、上記シリコン偏光分離素子の方向を偏光方向と垂直水平に配置した後、Tp及びTcを測定した。ここで、Tpは、凸部と平行な方向の偏光の透過度を意味し、Tcは、凸部と垂直な方向の偏光の透過度を意味する。測定結果は、図6に示した。
2 凹凸
2a 凸部
2b 凹部
10、101、102 光照射手段
20 集光板
30 偏光板
40 マスク
50 被照射体
60 被照射体が保持される装備
Claims (19)
- 基板と;上記基板の上に形成されており、シリコンを含む凹部と誘電物質が存在する溝部を有する凹凸と;を含み、下記数式1によって計算されるaが0.74〜10であり、bが0.5〜10である紫外線偏光分離素子:
[数式1]
(a+bi)2=n1 2×(1−W/P)+n2 2×W/P
上記数式1で、iは、虚数単位であり、n1は、上記誘電物質の300nm波長の光に対する屈折率であり、n2は、上記凹部の300nmの波長の光に対する屈折率であり、Wは、上記凹部の幅であり、Pは、上記凹部のピッチである。 - 基板と;上記基板の上に形成されており、シリコンを含む凹部と誘電物質が存在する溝部を有する凹凸と;を含み、下記数式2によって計算されるcが1.3〜10であり、dが0.013〜0.1である紫外線偏光分離素子:
[数式2]
(c+di)2=n1 2×n2 2/((1−W/P)×n2 2+W×n1 2/P)
上記数式2で、iは、虚数単位であり、n1は、上記誘電物質の300nm波長の光に対する屈折率であり、n2は、上記凹部の300nm波長の光に対する屈折率であり、Wは、上記凹部の幅であり、Pは、上記凹部のピッチである。 - 基板と;上記基板の上に形成されており、シリコンを含む凹部と誘電物質が存在する溝部を有する凹凸と;を含み、下記数式1によって計算されるaが0.74〜10であり、bが0.5〜10であり、下記数式2によって計算されるcが1.3〜10であり、dが0.013〜0.1である紫外線偏光分離素子:
[数式1]
(a+bi)2=n1 2×(1−W/P)+n2 2×W/P
[数式2]
(c+di)2=n1 2×n2 2/((1−W/P)×n2 2+W×n1 2/P)
上記数式1及び2で、iは、虚数単位であり、n1は、上記誘電物質の300nm波長の光に対する屈折率であり、n2は、上記凹部の300nm波長の光に対する屈折率であり、Wは、上記凹部の幅であり、Pは、上記凹部のピッチである。 - 誘電物質の250nm〜350nm波長の光に対する屈折率が1〜3である、請求項1〜3のいずれかに記載の紫外線偏光分離素子。
- 凹部の250nm〜350nm波長の光に対する屈折率が1〜10である、請求項1〜3のいずれかに記載の紫外線偏光分離素子。
- 凹部は、0.5〜10の吸光係数を有する吸光性である、請求項1〜3のいずれかに記載の紫外線偏光分離素子。
- 凹部には、ホウ素、炭素、窒素、アルミニウム、リン、ガリウム、ゲルマニウム、砒素、クロム及びニッケルよりなる群から選択される1つ以上がドーピングされている、 請求項1〜3のいずれかに記載の紫外線偏光分離素子。
- 下記数式3で計算されるDが0.67〜0.98である、 請求項1〜3のいずれかに記載の紫外線偏光分離素子:
[数式3]
D=(Tc−Tp)/(Tc+Tp)
上記数式3で、Tcは、上記凹部と直交する方向に偏光された250nm〜350nmの波長の光の上記偏光分離素子に対する透過度であり、Tpは、上記凹部と平行な方向に偏光された250nm〜350nmの波長の光の上記偏光分離素子に対する透過度である。 - 凹部のピッチは、50nm〜200nmである、 請求項1〜3のいずれかに記載の紫外線偏光分離素子。
- 凹部のピッチPに対する上記凹部の幅Wの比率W/Pが0.2〜0.8である、 請求項9に記載の紫外線偏光分離素子。
- 凹部の高さは、20nm〜300nmである、請求項1〜3のいずれかに記載の紫外線偏光分離素子。
- 下記数式4で計算されるRが2〜2000である、 請求項1〜3のいずれかに記載の紫外線偏光分離素子:
[数式4]
R=Tc/Tp
上記数式4で、Tcは、上記凹部と直交する方向に偏光された250nm〜350nmの波長の光の上記偏光分離素子に対する透過度であり、Tpは、上記凹部と平行な方向に偏光された250nm〜350nmの波長の光の上記偏光分離素子に対する透過度である。 - 基板の上にケイ素を使用して凹部を形成し、上記凹部によって形成された溝部に誘電物質を導入し、凹凸を形成することを含む、請求項1〜3のいずれかに記載の紫外線偏光分離素子の製造方法。
- 基板の上にシリコンを蒸着して凹部を形成する、請求項13に記載の紫外線偏光分離素子の製造方法。
- 被照射体が保持される装備と;請求項1〜3のいずれかに記載の紫外線偏光分離素子と;を含む光の照射装置。
- 被照射体が保持される装備と偏光分離素子との間に光配向マスクをさらに含む、請求項15に記載の光照射装置。
- マスクに向けて直線偏光された光を照射することができる光源をさらに含む、請求項16に記載の装置。
- 請求項16に記載の装置の被照射体が保持される装備に被照射体を保持し、偏光分離素子及びマスクを介して上記被照射体に光を照射する方法。
- 請求項16に記載の装置の被照射体が保持される装備に光配向膜を保持し、偏光分離素子及びマスクを介して上記光配向膜に直線偏光された光を照射する整列された光配向膜の製造方法。
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