JP2015500508A - 偏光分離素子 - Google Patents
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Abstract
Description
(a+bi)2 = n1 2×(1−W/P) + n2 2×W/P
偏光度D=(Tc−Tp)/(Tc+Tp)
(c+di)2 = n1 2×n2 2 / ((1−W/P)×n2 2+W×n1 2/P)
(a+bi)2 = n1 2×(1−W/P) + n2 2×W/P
(c+di)2 = n1 2×n2 2 / ((1−W/P)×n2 2+W×n1 2/P)
[実施例1]
石英ガラスを60℃のアセトンとIPA(Iso−Propyl alcohol)に20分ずつ超音波で洗浄して表面の異物を除去した。以後、前記石英ガラスに電子ビーム蒸着(E−Beam Evaporation)を通じて1Å/secの速度でGaAs(300nmの光波長に対する屈折率3.69、吸光係数1.97)薄膜を50nmの厚さで蒸着した。蒸着されたGaAs薄膜上に、Micro Resist社のmr−8010rを100nm厚さでスピンコーティングした後、95度で1分間ベーキングした。次に、150nmピッチのインプリンティングマスターを利用してインプリント工程を実行した。インプリント時のプレス(Press)の温度は、160℃であり、40Barで3分間維持した後、2分間クーリング(cooling)して、100℃で脱型(Demold)した。以後、ICP RIE装備を利用してGaAsを乾式蝕刻した。その後、有機溶媒でアセトンを利用してインプリント用レジストを除去して、凸部の幅Wは75nm、ピッチPが150nmである偏光分離素子を製作した。
石英ガラスに電子ビーム蒸着(E−Beam Evaporation)を通じてInP(300nmの光波長に対する屈折率3.2、吸光係数1.74)薄膜を50nmの厚さで蒸着させたことの以外は、実施例1と同一な方法で、凸部の幅Wは75nm、ピッチPが150nmであるInP偏光分離素子を製作した。
石英ガラスに電子ビーム蒸着(E−Beam Evaporation)を通じてシリコン(300nmの光波長に対する屈折率5、吸光係数4.09)薄膜を50nmの厚さで蒸着させたことの以外は、実施例1と同一な方法で、凸部の幅Wは75nm、ピッチPが150nmであるシリコン偏光分離素子を製作した。
石英ガラスを60℃のアセトンとIPAに20分ずつ超音波で洗浄して表面の異物を除去した。以後、前記石英ガラスに電子ビーム蒸着(E−Beam Evaporation)を通じて1Å/secの速度でアルミニウム(300nmの光波長に対する屈折率0.28、吸光係数3.64)薄膜を200nmの厚さで蒸着した。蒸着されたアルミニウム薄膜上に、Micro Resist社のmr−8010rを100nm厚さでスピンコーティングした後、95℃で1分間ベーキングした。その後、150nmピッチのインプリンティングマスターを利用してインプリント工程を実行した。インプリント時のプレス(Press)の温度は、160℃であり、40Barで3分間維持した後、2分間クーリング(cooling)して、100℃で脱型(Demold)した。以後、ICP RIE装備を利用してアルミニウムを乾式蝕刻した。その後、有機溶媒でアセトンを利用してインプリント用レジストを除去して、凸部の幅Wは75nm、ピッチPが150nmである偏光分離素子を製作した。
実施例1〜実施例3、及び比較例で製造された偏光分離素子に対して、下記方式でその物性を評価した。
使用しなかったアルミニウム偏光分離素子2枚を重ねて透過率測定装備に挿入して偏光された光源を作った後、製作された偏光分離素子の方向を偏光方向と垂直水平で位置させた後、Tp及びTcを測定した。ここで、Tpは、凸部と平行な方向の偏光透過度を意味し、Tcは、凸部と垂直である方向の偏光透過度を意味する。
Spectroscopic ellipsometry装備及びOscillation modelingを利用して、実施例及び比較例で製造された偏光分離素子に300nmの波長の光を照射して、前記偏光分離素子の凸部の屈折率及び吸光係数を測定した。その結果は、下記表1のようである。
実施例1〜実施例3の偏光分離素子と比較例の偏光分離素子各々のW、P値、誘電物質(空気)の屈折率(n1)値1と、前記測定された偏光分離素子の凸部の光学定数(n2)を、数式1及び数式2に代入して計算した。その結果は、下記表2のようである。
各々の波長帯域によって測定された透過率に基づいて消光比(Tc/Tp)を計算した。実施例1〜実施例3及び比較例の波長帯別消光比を比較すれば、表3のようである。
2:凹凸
2a:凸部
2b:凹部
10、101、102:光照射手段
20:集光板
30:偏光板
40:マスク
50:被照射体
60:被照射体が据え置かれる装備
Claims (19)
- 基板と、
前記基板上に形成されており、300nmの波長の光に対する屈折率が1〜10であり、吸光係数が0.5〜10である光吸収性物質とを含む凸部と、誘電物質が存在する凹部を有する凹凸を含むことを特徴とする紫外線偏光分離素子。 - 下記数式1により計算されるaが0.74〜10であり、bが0.5〜10であることを特徴とする請求項1に記載の紫外線偏光分離素子。
[数1]
(a+bi)2 = n1 2×(1−W/P) + n2 2×W/P
前記数式1で、iは、虚数単位であり、n1は、前記誘電物質の300nm波長の光に対する屈折率であり、n2は、前記凸部の300nmの波長の光に対する屈折率であり、Wは、前記凸部の幅であり、Pは、前記凸部のピッチである。 - 下記数式2により計算されるcが1.3〜10であり、dが0.013〜0.1であることを特徴とする請求項1に記載の紫外線偏光分離素子。
[数2]
(c+di)2 = n1 2×n2 2 / ((1−W/P)×n2 2+W×n1 2/P)
前記数式2で、iは、虚数単位であり、n1は、 前記誘電物質の300nm波長の光に対する屈折率であり、n2は、前記凸部の300nm波長の光に対する屈折率であり、Wは、前記凸部の幅であり、Pは、前記凸部のピッチである。 - 下記数式1により計算されるaが0.74〜10であり、bが0.5〜10であり、下記数式2により計算されるcが1.3〜10であり、dが0.013〜0.1であることを特徴とする請求項1に記載の紫外線偏光分離素子。
[数1]
(a+bi)2 = n1 2×(1−W/P) + n2 2×W/P
[数2]
(c+di)2 = n1 2×n2 2 / ((1−W/P)×n2 2+W×n1 2/P)
前記数式1及び数式2で、iは、虚数単位であり、n1は、 前記誘電物質の300nm波長の光に対する屈折率であり、n2は、前記凸部の300nmの波長の光に対する屈折率であり、Wは、前記凸部の幅であり、Pは、前記凸部のピッチである。 - 誘電物質の250nm〜350nm波長の光に対する屈折率は、1〜3であることを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれか一項に記載の紫外線偏光分離素子。
- 凸部の250nm〜350nm波長の光に対する屈折率は、1〜10であることを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれか一項に記載の紫外線偏光分離素子。
- 凸部は、0.5〜10の吸光係数を有する吸光性であることを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれか一項に記載の紫外線偏光分離素子。
- 光吸収性物質は、シリコン、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、タングステン、酸化タングステン、ガリウムヒ素、アンチモン化ガリウム、アルミニウムガリウムヒ素、テルル化カドミウム、クロム、モリブデン、ニッケル、ガリウムホスファイド、インジウムガリウムヒ素、インジウムホスファイド、アンチモン化インジウム、テルル化カドミウム亜鉛、酸化スズ、酸化セシウム、チタン酸ストロンチウム、シリコンカーバイド、イリジウム、酸化イリジウムまたはセレン化テルル化亜鉛からなった群より選択された1種以上であることを特徴とする請求項1に記載の偏光分離素子。
- 下記数式3で計算されるDが0.67〜0.98であることを特徴とする請求項1に記載の紫外線偏光分離素子。
[数3]
偏光度D=(Tc−Tp)/(Tc+Tp)
前記数式3で、Tcは、前記凸部と直交する方向に偏光された250nm〜350nmの波長の光の前記偏光分離素子に対する透過度であり、Tpは、前記凸部と平行な方向に偏光された250nm〜350nmの波長の光の前記偏光分離素子に対する透過度である。 - 凸部のピッチは、50nm〜200nmであることを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれか一項に記載の紫外線偏光分離素子。
- 凸部のピッチに対する前記凸部の幅Wの割合(W/P)は、02〜0.8であることを特徴とする請求項10に記載の紫外線偏光分離素子。
- 凸部の高さは、20nm〜300nmであることを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれか一項に記載の紫外線偏光分離素子。
- 下記数式4で計算されるRが2〜2000であることを特徴とする請求項1に記載の 紫外線偏光分離素子。
[数4]
R = Tc/Tp
前記数式4で、Tcは、前記凸部と直交する方向に偏光された250nm〜350nmの波長の光の前記偏光分離素子に対する透過度であり、Tpは、前記凸部と平行な方向に偏光された250nm〜350nmの波長の光の前記偏光分離素子に対する透過度である。 - 基板上に光吸収性物質を使用して凸部を形成し、前記凸部によって形成された凹部に誘電物質を導入して凹凸を形成する方法を含む請求項1に記載の紫外線偏光分離素子の製造方法。
- 被照射体が据え置かれる装備と、
請求項1に記載の偏光分離素子と、を含むことを特徴とする光照射装置。 - 被照射体が据え置かれる装備と偏光分離素子との間に光配向マスクをさらに含むことを特徴とする請求項15に記載の光照射装置。
- マスクに向いて直線偏光された光を照射することができる光源をさらに含むことを特徴とする請求項16に記載の光照射装置。
- 請求項16に記載の光照射装置の被照射体が据え置かれる装備に被照射体を据え置き、偏光分離素子及びマスクを媒介で前記被照射体に光を照射することを特徴とする方法。
- 請求項16に記載の光照射装置の被照射体が据え置かれる装備に光配向膜を据え置き、偏光分離素子及びマスクを媒介で前記光配向膜に直線偏光された光を照射することを特徴とする整列された光配向膜の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018092202A (ja) * | 2015-07-03 | 2018-06-14 | ウシオ電機株式会社 | グリッド偏光素子 |
KR101892054B1 (ko) | 2017-01-18 | 2018-08-28 | 신화인터텍 주식회사 | 편광 광학 부재 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101827658B1 (ko) * | 2013-11-13 | 2018-02-08 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 편광자, 편광자용 기판 및 광 배향 장치 |
US20160231176A1 (en) * | 2015-02-05 | 2016-08-11 | Polarization Solutions, Llc | Light irradiation device having polarization measuring mechanism |
US20180323078A1 (en) * | 2015-12-24 | 2018-11-08 | Intel Corporation | Pitch division using directed self-assembly |
CN106918947A (zh) * | 2017-04-10 | 2017-07-04 | 惠科股份有限公司 | 显示面板及其制造方法 |
KR102559836B1 (ko) * | 2018-01-31 | 2023-07-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 편광자, 상기 편광자를 포함한 광학 장치, 상기 편광자를 포함한 디스플레이 장치 및 상기 편광자의 제조 방법 |
KR102007751B1 (ko) * | 2018-03-05 | 2019-08-06 | 동우 화인켐 주식회사 | 광배향 조사장치 |
CN112014916B (zh) * | 2019-05-30 | 2022-06-21 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种偏振线栅及其制作方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11211422A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Nikon Corp | 線幅測定装置及び方法 |
JP2006201273A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
JP2009086192A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Toppan Printing Co Ltd | 偽造防止構造体及びそれを用いた偽造防止枚葉体、並びにその真偽判定方法 |
US20090231702A1 (en) * | 2008-03-17 | 2009-09-17 | Qihong Wu | Optical films and methods of making the same |
JP2010501085A (ja) * | 2006-08-15 | 2010-01-14 | エーピーアイ ナノファブリケーション アンド リサーチ コーポレーション | 偏光子薄膜及びこの製作方法 |
JP2010277077A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-12-09 | Sumitomo Chemical Co Ltd | ワイヤグリッド偏光子 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100323731B1 (ko) * | 1998-11-06 | 2002-05-09 | 구본준, 론 위라하디락사 | 광조사장치 |
US6243199B1 (en) | 1999-09-07 | 2001-06-05 | Moxtek | Broad band wire grid polarizing beam splitter for use in the visible wavelength region |
JP2002328222A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-15 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 偏光素子及びその製造方法 |
US7670758B2 (en) * | 2004-04-15 | 2010-03-02 | Api Nanofabrication And Research Corporation | Optical films and methods of making the same |
JP2006178186A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Seiko Epson Corp | 偏光制御素子、偏光制御素子の製造方法、偏光制御素子の設計方法、電子機器 |
JP2006330521A (ja) | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Nippon Zeon Co Ltd | グリッド偏光フィルム、グリッド偏光フィルムの製造方法、光学積層体、光学積層体の製造方法、および液晶表示装置 |
US20070183035A1 (en) * | 2005-10-31 | 2007-08-09 | Koji Asakawa | Short-wavelength polarizing elements and the manufacture and use thereof |
WO2008022097A2 (en) | 2006-08-15 | 2008-02-21 | Api Nanofabrication And Research Corp. | Methods for forming patterned structures |
KR20100049766A (ko) * | 2008-11-04 | 2010-05-13 | (주)세현 | 편광 소자의 제조 방법 |
JP5402101B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2014-01-29 | セイコーエプソン株式会社 | 偏光素子、投射型表示装置、液晶装置、電子機器 |
BR112014013560A2 (pt) * | 2011-12-05 | 2017-06-13 | Lg Chemical Ltd | elemento de separação por polarização de raio ultravioleta, métodos para fabricar um elemento de separação por polarização de raio ultravioleta, e para irradiar luz, e, dispositivo de irradiação de luz |
-
2012
- 2012-12-05 EP EP12855352.6A patent/EP2790043B1/en active Active
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- 2012-12-05 JP JP2014544682A patent/JP2015500508A/ja active Pending
- 2012-12-05 WO PCT/KR2012/010492 patent/WO2013085284A1/ko unknown
-
2013
- 2013-09-27 US US14/039,924 patent/US9541693B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11211422A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Nikon Corp | 線幅測定装置及び方法 |
JP2006201273A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
JP2010501085A (ja) * | 2006-08-15 | 2010-01-14 | エーピーアイ ナノファブリケーション アンド リサーチ コーポレーション | 偏光子薄膜及びこの製作方法 |
JP2009086192A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Toppan Printing Co Ltd | 偽造防止構造体及びそれを用いた偽造防止枚葉体、並びにその真偽判定方法 |
US20090231702A1 (en) * | 2008-03-17 | 2009-09-17 | Qihong Wu | Optical films and methods of making the same |
JP2010277077A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-12-09 | Sumitomo Chemical Co Ltd | ワイヤグリッド偏光子 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018092202A (ja) * | 2015-07-03 | 2018-06-14 | ウシオ電機株式会社 | グリッド偏光素子 |
KR101892054B1 (ko) | 2017-01-18 | 2018-08-28 | 신화인터텍 주식회사 | 편광 광학 부재 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2790043A4 (en) | 2015-07-29 |
KR20130062896A (ko) | 2013-06-13 |
EP2790043B1 (en) | 2022-07-13 |
US9541693B2 (en) | 2017-01-10 |
CN104105987B (zh) | 2016-08-24 |
WO2013085284A1 (ko) | 2013-06-13 |
EP2790043A1 (en) | 2014-10-15 |
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