JP2015220231A - 超伝導膜ユニットおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】超伝導膜ユニットならびに、超伝導膜の効率を向上させるための当該ユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】本開示は、超伝導膜ユニットおよびその製造方法に関する。超伝導膜ユニットは基板および超伝導膜を含む。基板の格子定数は5.0Å〜5.5Åである。超伝導膜は基板上に配設される。当該超伝導膜はYBa2Cu3O7およびY2BaCuO5を含む。Y2BaCuO5はYBa2Cu3O7中に分散される。
【選択図】図2A
【解決手段】本開示は、超伝導膜ユニットおよびその製造方法に関する。超伝導膜ユニットは基板および超伝導膜を含む。基板の格子定数は5.0Å〜5.5Åである。超伝導膜は基板上に配設される。当該超伝導膜はYBa2Cu3O7およびY2BaCuO5を含む。Y2BaCuO5はYBa2Cu3O7中に分散される。
【選択図】図2A
Description
本開示は、超伝導膜ユニットおよびその製造方法に関する。
超伝導発電機は、小型で、軽量で、高効率あるという利点を有する。したがって、超伝導発電機は、発電の分野において利用することができる。
現在、高温超伝導線のコストは高い。さらに、現在のプロセスによって製造される超伝導線の臨界電流密度は、依然として改良が必要である。したがって、高温超伝導線の利用においては、超伝導線の臨界電流密度を向上させることが重要である。
一般的に、超伝導線は、高磁場下において利用される。磁束は、渦として超伝導線を通過する。超伝導線に印加される電流と当該渦との間にローレンツ力が働くため、当該渦はローレンツ力によって移動し、それにより、超伝導線の効率が低下する。すなわち、ローレンツ力による磁束の渦の移動を減らすことが重要である。
さらに、ローレンツ力による磁束の渦の移動を減らすもしくは避けるために、超伝導線の超伝導体中に結晶学的欠陥または非超伝導相を形成することが開発されている。詳細には、結晶学的欠陥もしくは非超伝導相は、ピンニングセンターとしての役割を果たし、それにより、超伝導体における磁束の渦の移動が制限される。したがって、超伝導体中にピンニングセンターを形成することによって、超伝導線の効率が向上する。
超伝導線の超伝導体中に欠陥を形成するために、イオン照射を利用することができる。しかしながら、イオン照射は、欠陥の形成に対して高価な方法である。したがって、大量生産のためには、ピンニングセンターとしての役割を果たすナノ粒子の非超伝導相を超伝導体中に形成することが、より実現可能的である。したがって、超伝導線の効率を向上させるために、超伝導体中にナノ粒子の非超伝導相を製造するプロセスを改良することが重要である。
本開示は、超伝導膜ユニットならびに、超伝導膜の効率を向上させるための当該ユニットの製造方法を提供する。
本開示の一実施形態により、超伝導膜ユニットが提供される。基板の格子定数は、5.0Å〜5.5Åである。超伝導膜は、基板上に配設される。当該超伝導膜は、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5を含む。この場合、Y2BaCuO5は、YBa2Cu3O7中に分散されている。
本開示の一実施形態により、超伝導膜ユニットの製造方法が提供される。当該方法は以下の工程を含む。格子定数が5.0Å〜5.5Åである基板が提供される。YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5を含むターゲットが提供される。堆積工程が行われ、それにより、ターゲットが基板上に同時にYBa2Cu3O7およびY2BaCuO5を形成し、この場合、Y2BaCuO5はYBa2Cu3O7中に分散されている。
本開示の超伝導膜ユニットおよびその製造方法により、当該単一のターゲットによって、当該超伝導膜が基板上に堆積される。当該ターゲットは、基板上にYBa2Cu3O7(超伝導相)およびY2BaCuO5(非超伝導相)を形成する。さらに、基板の格子定数は5.0Å〜5.5Åであり、そのため、基板の格子定数と超伝導膜の格子定数との差はより大きい。したがって、Y2BaCuO5は、YBa2Cu3O7中に均一に分散された粒子として形成される。これにより、ピンニングセンターの最小化および非集中化が達成され、それにより、ピンニングセンターの量が増加され、磁束の渦は、より均一に超伝導体中に分配される。結果として、渦の間の反発力が低くなり、ピンニングの効果が向上し、これは、臨界電流密度が高められることを意味する。
本開示は、以下において提供される詳細な説明と、単なる例示であって本開示の限定ではない添付の図面とにより、より完全に理解されるであろう。
以下の詳細な記述において、説明目的のため、開示される実施形態の十分な理解を提供するために多くの特定の詳細について説明する。しかしながら、これらの特定の詳細がなくても、1つまたは複数の実施形態を実施することができるということは明かであろう。他の例において、周知の構造体および装置は、図面を簡素化するために、図式的に示される。
最初に、本開示の実施形態による超伝導膜ユニットの製造方法のフローチャートである図1を参照されたい。最初に、基板が提供される(S101)。当該基板の格子定数は、5.0Å〜5.5Åである。基板の材料は、例えば、イットリア安定化ジルコニア(YSZ、YSZの格子定数は5.139Å)、ランタンアルミネート(LaAlO3、LAO、LAOの格子定数は5.364Å)、Y3NbO7(Y3NbO7の格子定数は5.250Å)、Gd2Zr2O7(Gd2Zr2O7の格子定数は5.264Å)、CeO2(CeO2の格子定数は5.411Å)、またはNdGaO3(NdGaO3の格子定数は5.431Å)である。ただし、本開示は、これらに限定されるわけではない。
次いで、ターゲットが提供される(S102)。当該ターゲットは、イットリウム、バリウム、および銅を含む。当該ターゲットの構成元素は、製造される超伝導膜に対応している。本開示の別の実施形態において、当該ターゲットは、例えば、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5を含み、この場合、当該Y2BaCuO5の質量百分率は5質量%〜15質量%であり、これはターゲットの総質量に対するものである。いくつかの他の実施形態において、Y2BaCuO5の質量百分率は8質量%であり、これはターゲットの総質量に対するものである。この実施形態において、製造される超伝導膜の材料はYBa2Cu3O7(超伝導相)およびY2BaCuO5(非超伝導相)を含み、Y2BaCuO5の質量百分率は5質量%〜15質量%であり、これは超伝導膜の総質量に対するものである。いくつかの他の実施形態において、Y2BaCuO5の質量百分率は8質量%であり、これは超伝導膜の総質量に対するものである。この実施形態において、ターゲットは、例えば、上部種付け種溶融凝固法または焼結法などによって形成される。したがって、当該ターゲットはよりコンパクトでかつより良質であり、その結果、製造される超伝導膜の臨界電流密度(Jc)が向上する。
この実施形態および他の実施形態において、本開示は、基板を提供する工程(S101)およびターゲットを提供する工程(S102)の順序に限定されない。いくつかの他の実施形態において、ターゲットが提供され、次いで、基板が提供される。
最後に、堆積工程が行われる(S103)。それにより、当該ターゲットは、基板上にYBa2Cu3O7およびY2BaCuO5を同時に形成する。この実施形態において、堆積工程は、パルスレーザーデポジションであり、当該パルスレーザーデポジションのレーザーの平均波長は248nmである。この実施形態および他の実施形態において、パルスレーザーデポジションのレーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。この実施形態および他の実施形態において、堆積工程の間の基板の温度は、780℃〜850℃である。
当該堆積工程の際に、ターゲットは、それぞれYBa2Cu3O7およびY2BaCuO5を形成する。さらに、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5は基板に接触しており、ならびに基板の格子定数(5.0Å〜5.5Å)と超伝導相YBa2Cu3O7の格子定数(a=3.821Å、b=3.885Å)の差はより大きい。したがって、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5は、堆積工程の際に同時に基板上に形成されるが、Y2BaCuO5は、YBa2Cu3O7中に均一に分散されたナノ粒子として形成される。その結果、ピンニングセンターの最小化および非集中化が達成される。
ピンニングセンターがより小さく、ならびにより非集中化される場合、ピンニングセンターの量は増加し、磁束の渦は、より均一に超伝導体中に分配される。それにより、渦の間の反発力が低くなり、ピンニングの効果が向上し、これは、臨界電流密度が高められることを意味する。
以下において、本開示の超伝導膜ユニットについて説明する。本開示の実施形態による超伝導膜ユニットの模式図である図2を参照されたい。超伝導膜ユニット10は、基板100および超伝導膜200を含む。本開示において、本明細書で説明される基板100は、例えば、超伝導線におけるバッファ層と見なされ、とりわけ、基板100は、超伝導膜が接触しかつ超伝導膜が配設されるバッファ層と見なされる。基板100の格子定数は、5.0Å〜5.5Åである。超伝導膜200は、基板100の上に配設される。超伝導膜200の材料は、YBa2Cu3O7(超伝導相)およびY2BaCuO5(非超伝導相)を含む。Y2BaCuO5は、YBa2Cu3O7中に分散される。さらに、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5は、基板100に接触している。
本開示のいくつかの他の実施形態において、Y2BaCuO5はナノ粒子である。
本開示のいくつかの他の実施形態において、Y2BaCuO5の直径は15nm〜30nmである。
本開示のいくつかの他の実施形態において、Y2BaCuO5の質量百分率は5質量%〜15質量%であり、これは超伝導膜200の総質量に対するものである。本開示のいくつかの他の実施形態において、Y2BaCuO5の質量百分率は8質量%であり、これは超伝導膜200の総質量に対するものである。
いくつかの他の実施形態において、基板100の材料は、イットリア安定化ジルコニア(YSZ、YSZの格子定数は5.139Å)、ランタンアルミネート(LaAlO3、LAO、LAOの格子定数は5.364Å)、Y3NbO7(Y3NbO7の格子定数は5.250Å)、Gd2Zr2O7(Gd2Zr2O7の格子定数は5.264Å)、CeO2(CeO2の格子定数は5.411Å)、またはNdGaO3(NdGaO3の格子定数は5.431Å)である。ただし、本開示はこれらに限定されるわけではない。
いくつかの他の実施形態において、超伝導膜200の厚さは150nm〜350nmである。
超伝導膜ユニット10は超伝導線に利用することができる。本開示の実施形態による超伝導線の模式図である図2Bを参照されたい。当該図に示されているように、超伝導線9は超伝導膜ユニット10と担持体20とを含む。超伝導膜ユニット10は担持体20上に配設される。超伝導線9は本開示の超伝導膜ユニット10を含むので、超伝導線9の性能は向上する。
以下の実施例および比較例により、本開示の超伝導膜ユニットの製造方法を説明する。
実施例1(LAO)
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ、1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を、当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとLAO基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は、薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1気圧(atm)の酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例1の超伝導膜の製造が完了する。本開示の実施例1の超伝導膜のTEM分析である図3を参照されたい。図3に示されているように、Y2BaCuO5はYBa2Cu3O7中に均一に分散された粒子として形成されており、Y2BaCuO5の直径は15nm〜30nmである。
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ、1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を、当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとLAO基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は、薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1気圧(atm)の酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例1の超伝導膜の製造が完了する。本開示の実施例1の超伝導膜のTEM分析である図3を参照されたい。図3に示されているように、Y2BaCuO5はYBa2Cu3O7中に均一に分散された粒子として形成されており、Y2BaCuO5の直径は15nm〜30nmである。
実施例2(YSZ)
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末をそれぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を、92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を、当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとYSZ基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は、薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例2の超伝導膜の製造が完了する。
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末をそれぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を、92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を、当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとYSZ基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は、薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例2の超伝導膜の製造が完了する。
実施例3(Y3NbO7)
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を、92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を、当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を、4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとY3NbO7基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例3の超伝導膜の製造が完了する。
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を、92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を、当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を、4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとY3NbO7基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例3の超伝導膜の製造が完了する。
実施例4(Gd2Zr2O7)
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を、92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を、当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとGd2Zr2O7基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例4の超伝導膜の製造が完了する。
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を、92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を、当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとGd2Zr2O7基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例4の超伝導膜の製造が完了する。
実施例5(CeO2)
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとCeO2基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は、薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例5の超伝導膜の製造が完了する。
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとCeO2基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は、薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例5の超伝導膜の製造が完了する。
実施例6(NdGaO3)
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末である出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を、92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとNdGaO3基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例6の超伝導膜の製造が完了する。
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末である出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を、92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとNdGaO3基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は、1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、実施例6の超伝導膜の製造が完了する。
比較例1(STO)
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末である出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとSTO(SrTiO3)基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力をポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、比較例1の超伝導膜の製造が完了する。本開示の比較例1の超伝導膜のTEM分析である図4を参照されたい。図に示されるように、黒い部分はYBa2Cu3O7を表しており、白い部分はY2BaCuO5を表している。比較例1の超伝導膜におけるY2BaCuO5は、層状に凝集している。
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末である出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとSTO(SrTiO3)基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力をポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。しかしながら、本開示は薄膜の当該厚さに限定されない。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、比較例1の超伝導膜の製造が完了する。本開示の比較例1の超伝導膜のTEM分析である図4を参照されたい。図に示されるように、黒い部分はYBa2Cu3O7を表しており、白い部分はY2BaCuO5を表している。比較例1の超伝導膜におけるY2BaCuO5は、層状に凝集している。
比較例2(STO)
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、1:2:3のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7の粉末の出発材料が得られる。次に、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、当該混合物を、900℃で8時間焼結する。最後に、温度を室温まで下げて、YBa2Cu3O7のターゲットの製造が完了する。YBa2Cu3O7のターゲットとSTO(SrTiO3)基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を780℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、比較例2の超伝導膜の製造が完了する。
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、1:2:3のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7の粉末の出発材料が得られる。次に、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、当該混合物を、900℃で8時間焼結する。最後に、温度を室温まで下げて、YBa2Cu3O7のターゲットの製造が完了する。YBa2Cu3O7のターゲットとSTO(SrTiO3)基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を780℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、比較例2の超伝導膜の製造が完了する。
比較例3(MgO)
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を、92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を、当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を、4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとMgO基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、比較例3の超伝導膜の製造が完了する。本開示の比較例3の超伝導膜のTEM分析である図5を参照されたい。図5に示されるように、基板のマグネシウムは超伝導膜へと拡散する。
最初に、出発材料として、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末を調製する。Y2O3、BaCO3、およびCuOの粉末を、それぞれ1:2:3および2:1:1のモル比で均一に混合する。次いで、当該混合物を900℃で8時間焼結する。その後、当該混合物を粉砕し、次いで、焼結を2回行う。すなわち、焼結プロセスは3回行われる。それにより、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料が得られる。次に、当該YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5の粉末の出発材料を、92:8の質量比で均一に混合する。次いで、当該混合物を、25〜35MPaの圧力下で押し固める。その後、種結晶としての役割を果たさせるために、SmBa2Cu3O7の結晶を、当該混合物の表面の中央に位置する。次いで、温度を上げて、908℃で4時間維持する。次いで、温度を1045℃まで上げて、1時間維持する。その後、温度を、4℃/時の冷却速度以内で1045℃から992℃まで冷却する。次いで、温度を0.2℃/時の冷却速度以内で992℃から982℃まで冷却する。最後に、温度を室温まで下げて、ターゲットの製造が完了する。8質量%のY2BaCuO5を伴うYBa2Cu3O7のターゲットとMgO基板とを、堆積装置のチャンバー内に配置する。次いで、当該チャンバーの圧力を、ポンプで約1×10-6mbarまで下げる。次に、チャンバー内の基板の温度を850℃まで上げる。次いで、300mTorrの酸素をチャンバー内に導入する。その後、248nmの平均波長を有するレーザー光源によって堆積工程を行う。それにより、ターゲットが基板上に堆積され、その結果、薄膜が基板上に形成される。レーザーのエネルギー密度は1.5J/cm2〜2.0J/cm2である。薄膜(すなわち、超伝導膜)の厚さが150〜350nmに達した後、チャンバー内の基板の温度を500℃まで下げる。次いで、0.8〜1atmの酸素をチャンバー内に導入し、当該圧力を0.5〜1時間維持する。最後に、温度を室温まで下げて、比較例3の超伝導膜の製造が完了する。本開示の比較例3の超伝導膜のTEM分析である図5を参照されたい。図5に示されるように、基板のマグネシウムは超伝導膜へと拡散する。
第1〜2表を参照されたい。第1表は、実施例1〜2の間での基板、格子定数、ターゲット、および超伝導膜の臨界電流密度の比較を示している。第2表は、比較例1〜3の間での基板、格子定数、ターゲット、および超伝導膜の臨界電流密度の比較を示している。実施例1〜2、比較例1、および比較例3におけるターゲットは、同一であるが(YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5)、実施例1〜2、比較例1、および比較例3の基板は異なっている。比較例2において、ターゲットはYBa2Cu3O7である。
実施例1〜2の基板の格子定数とYBa2Cu3O7の格子定数(a=3.821Å、b=3.885Å)との差が大きいため、堆積工程の間にYBa2Cu3O7およびY2BaCuO5は同時に基板上に形成されるが、Y2BaCuO5は、YBa2Cu3O7中に均一に分散されたナノ粒子として形成される。それにより、ピンニングセンターの最小化および非集中化が達成される。上記の結果は、図3のTEM分析において確認することができる。比較例1に関して、比較例1と実施例1〜2との違いは、比較例1において使用される基板がSTOであることであり、これは3.905Åの格子定数を有し、超伝導膜におけるYBa2Cu3O7の格子定数に近い。図4のTEM分析において、黒い領域はYBa2Cu3O7を表しており、白い領域はY2BaCuO5を表している。図3と比較した場合、図4のTEM分析では、比較例1において使用されるSTO基板の格子定数と超伝導膜におけるYBa2Cu3O7の格子定数との差が小さいため、Y2BaCuO5は、図3に示されるようなYBa2Cu3O7中に分散されるナノ粒子として形成されるのではなく、層状に凝集している。換言すれば、ピンニングセンターがより小さく、より非集中化される場合、ピンニングセンターの量は増加し、磁束の渦は、より均一に超伝導体中に分配される。それにより、渦の間の反発力が低くなり、ピンニングの効果が向上し、これは、臨界電流密度が高められることを意味する。第1表に示されるように、実施例1の臨界電流密度(3.26MA/cm2)および実施例2の臨界電流密度(2.06MA/cm2)は、比較例1の電流密度(0.99MA/cm2)よりも著しく大きい。
比較例2において、比較例2のターゲットはY2BaCuO5を有さないため、比較例2の臨界電流密度は非常に小さい(0.11MA/cm2)。
比較例3に関して、堆積工程の間の基板温度は780℃〜850℃であるため、MgO基板中のマグネシウムは当該堆積工程中に超伝導膜へと拡散する。図5に示されているように、マグネシウムが超伝導膜中へと拡散し、それにより、超伝導膜における超伝導相の超伝導性が損なわれる。77Kおよび様々な磁場の下での、実施例1および2、比較例1および2における超伝導膜の臨界電流密度のダイヤグラムである図6を参照されたい。図に示されているように、実施例1の超伝導膜の臨界電流密度(Jc)は、77Kおよび1Tの下において3.26MA/cm2であり、実施例2の超伝導膜の臨界電流密度(Jc)は、77Kおよび1Tの下において2.06MA/cm2である。ただし、同じ条件下において、比較例1および比較例2の超伝導膜の臨界電流密度はそれぞれ0.99MA/cm2および0.11MA/cm2である。
本開示の超伝導膜ユニットおよびその製造方法により、当該単一のターゲットによって、当該超伝導膜が基板上に堆積される。当該ターゲットは、基板上にYBa2Cu3O7(超伝導相)およびY2BaCuO5(非超伝導相)を形成する。さらに、基板の格子定数は5.0Å〜5.5Åであり、そのため、基板の格子定数と超伝導膜の格子定数との差はより大きい。したがって、Y2BaCuO5は、YBa2Cu3O7中に均一に分散された粒子として形成される。ピンニングセンターの最小化および非集中化が達成され、それにより、ピンニングセンターの量が増加され、磁束の渦は、より均一に超伝導体中に分配される。結果として、渦の間の反発力が低くなり、ピンニングの効果が向上し、これは、臨界電流密度が高められることを意味する。
本開示のいくつかの他の実施形態において、ターゲットは、上部種付け溶融凝固法または焼結法などによって形成される。したがって、当該ターゲットはよりコンパクトであり、それにより製造される超伝導膜の品質が向上する。
開示される実施形態に対し、様々な変更および変形を為すことが可能であることは、当業者に明らかであろう。本明細書および実施例は、単なる例示と見なされるべきであり、本開示の真の範囲は以下の特許請求項およびそれらの等価物によって示されることが意図される。
Claims (18)
- 格子定数が5.0Å〜5.5Åである基板と、
前記基板上に配設された、YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5を含む超伝導膜と、を含み、
前記Y2BaCuO5が前記YBa2Cu3O7中に分散されている、超伝導膜ユニット。 - 前記Y2BaCuO5および前記YBa2Cu3O7が前記基板に接触している、請求項1に記載の超伝導膜ユニット。
- 前記Y2BaCuO5の質量百分率が、前記超伝導膜の総質量に対して5質量%〜15質量%である、請求項1に記載の超伝導膜ユニット。
- 前記基板が、イットリア安定化ジルコニア(YSZ)、ランタンアルミネート(LAO)、Y3NbO7、Gd2Zr2O7、CeO2、またはNdGaO3である、請求項1に記載の超伝導膜ユニット。
- 前記Y2BaCuO5が、前記YBa2Cu3O7中に分散された粒子として形成される、請求項1に記載の超伝導膜ユニット。
- 前記Y2BaCuO5の直径が15nm〜30nmである、請求項5に記載の超伝導膜ユニット。
- 前記超伝導膜の厚さが150nm〜350nmである、請求項1に記載の超伝導膜ユニット。
- 超伝導線に利用される、請求項1に記載の超伝導膜ユニット。
- 基板の格子定数が5.0Å〜5.5Åである基板を準備し、
YBa2Cu3O7およびY2BaCuO5を含むターゲット、であるターゲットを準備し、
前記ターゲットで前記基板上に同時に前記YBa2Cu3O7および前記Y2BaCuO5を形成する、堆積工程を行い、前記Y2BaCuO5が前記YBa2Cu3O7中に分散されている、超伝導膜ユニットの製造方法。 - 前記堆積工程における前記基板の温度が780℃〜850℃である、請求項9に記載の方法。
- 前記堆積工程がパルスレーザーデポジションである、請求項9に記載の方法。
- 前記パルスレーザーデポジションのレーザーのエネルギー密度が1.5J/cm2〜2.0J/cm2である、請求項11に記載の方法。
- 前記パルスレーザーデポジションのレーザーの平均波長が248nmである、請求項11に記載の方法。
- 前記堆積工程の前に、さらに、
上部種付け溶融凝固法または焼結法を行うことを含む、請求項9に記載の方法。 - 前記Y2BaCuO5の質量百分率が、前記ターゲットの総質量に対して5質量%〜15質量%である、請求項9に記載の方法。
- 前記Y2BaCuO5が、前記堆積工程中に、YBa2Cu3O7中に分散された粒子として形成される、請求項9に記載の方法。
- 前記基板が、イットリア安定化ジルコニア(YSZ)、ランタンアルミネート(LAO)、Y3NbO7、Gd2Zr2O7、CeO2、またはNdGaO3である、請求項9に記載の方法。
- 前記Y2BaCuO5および前記YBa2Cu3O7が前記基板に接触している、請求項9に記載の方法。
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