JP2015213130A - インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態のインプリント装置100について説明する。インプリント装置100は、半導体デバイスなどの製造に使用され、モールド1を用いて基板上のインプリント材6を成形するインプリント処理を行う。例えば、インプリント装置100は、凹凸のパターンが形成されたモールド1を基板上のインプリント材6に接触させた状態で当該インプリント材6を硬化させる。そして、インプリント装置100は、モールド1と基板4との間隔を広げ、硬化したインプリント材6からモールド1を剥離(離型)することによって基板上にインプリント材6で構成されたパターンを形成することができる。インプリント材6を硬化する方法には、熱を用いる熱サイクル法と光を用いる光硬化法とがあり、第1実施形態では、光硬化法を採用する例について説明する。光硬化法とは、インプリント材6として未硬化の紫外線硬化樹脂を基板上に供給し、モールド1とインプリント材6とを接触させた状態でインプリント材6に紫外線を照射することにより当該インプリント材6を硬化させる方法である。ここでは、光として紫外線を用いる場合について説明するが、異なる波長の光を用いてもよい。
図1は、第1実施形態のインプリント装置100を示す概略図である。インプリント装置100は、モールド1を保持するモールドステージ2と、基板4を保持する基板ステージ5と、基板上のインプリント材6に光を照射して当該インプリント材6を硬化させる硬化部3とを含みうる。また、インプリント装置100は、インプリント材6を基板4に供給する供給部7と、制御部8とを含みうる。制御部8は、例えばCPUやメモリなどを有し、インプリント処理を制御する(インプリント装置100の各部を制御する)。
ここで、制御部8がマップを作成する方法について説明する。図2は、各ノズル7cによるインプリント材6の液滴の吐出を制御するためのマップを作成する方法を示すフローチャートである。S101では、制御部8は、モールド1に形成された凹凸のパターンの設計情報(パターンの位置および凹部の深さを示す情報)に基づいて、当該パターンに必要なインプリント材6の供給量分布11を求める。例えば、制御部8は、各ノズル7cから液滴として吐出されるインプリント材の吐出量が目標量であると仮定し、モールド1を用いて凹凸のパターンに成形されたインプリント材6の厚さが許容範囲に収まるように供給量分布11を求める。成形されたインプリント材6の厚さは、例えば、インプリント材6で構成されたパターンの凹部と基板4との間の膜厚のことである。一般に、この膜厚は、残膜(RLT)と呼ばれている。残膜の代わりに、基板上に形成されたインプリント材6のパターンの高さを用いてもよい。図3は、モールド1に形成されたパターンの設計情報に基づいて求められた供給量分布11の一例を示す図である。ここでは、供給量分布11は、色の濃淡による多値の画像データで表されており、色が濃い方がインプリント材6の供給量が多いことを示している。例えば、図3に示される供給量分布11おいて、領域11bは、パターンの凹凸の深さが領域11cより深いためにインプリント材6を領域11cより多く供給する領域を示す。同様に、領域11aは、パターンの凹凸の深さが領域11bより深いためにインプリント材6を領域11bより多く供給する領域を示す。
図5は、第1実施形態におけるインプリント処理を示すフローチャートである。S201では、制御部8は、モールド1をモールドステージ2の下に搬送するようにモールド搬送機構(不図示)を制御し、モールド1を保持するようにモールドステージ2を制御する。モールド1(パターン領域1a)には、上述のように設計情報に従った凹凸のパターンが形成されており、モールド1に形成されたパターンを識別するための個別IDが設定されている。制御部8は、読み取り機構(不図示)にモールド1の個別IDを読み取らせ、その個別IDを取得する。S202では、制御部8は、S201で取得したモールド1の個別IDに基づいて、ディスペンサ7bが有する複数のノズル7bの各々を制御するためのマップを取得する。マップは、モールド1に形成された凹凸のパターンの設計情報に基づいて予め作成されてもよいし、個別IDからパターンの設計情報を読み出して逐次作成されてもよい。S203では、制御部8は、基板4を基板ステージ5の上に搬送するように基板搬送機構(不図示)を制御し、基板4を保持するように基板ステージ5を制御する。これにより、基板4がインプリント装置内に配置される。
次に、S212において実施される吐出量情報の取得について、図6を参照しながら説明する。図6は、吐出量情報の取得についてのフローチャートである。第1実施形態では、各ノズル7cから基板4(ダミー基板を含む)に供給され、モールド1を用いて成形されることなく硬化部3によって硬化されたインプリント材6の液滴の体積が、吐出量情報として取得される。
次に、S213において実施されるマップの更新について説明する。図10は、マップの更新についてのフローチャートである。S213−1では、制御部8は、吐出量情報(各ノズル7cと各硬化液滴6aの体積との関係)を取得する。例えば、制御部8は、図8(b)に示される吐出量情報に対して高周波成分を取り除く処理を行う。これにより、制御部8は、図11(a)に示される吐出量情報を得ることができる。図11(a)に示される吐出量情報において、範囲13aではノズル7cから液滴として吐出されるインプリント材6の吐出量が目標量より多く、範囲13bではノズル7cから液滴として吐出されるインプリント材6の吐出量が目標量より少ない。S213−2では、制御部8は、S213−1で取得した吐出量情報に基づいて、インプリント材6の供給量を調整するための分布(調整分布14)を作成する。図11(b)は、調整分布14を色の濃淡による多値の画像データで表した図である。図11(b)に示される調整分布14において、図11(a)に示される吐出量情報の範囲13aに対応する領域14aは、例えば、インプリント材6の供給量を−5%だけ減らす領域である。また、吐出量情報の範囲13bに対応する領域14bは、インプリント材6の供給量を+10%だけ増やす部分である。領域14aおよび14b以外の領域については、インプリント材6の供給量の調整(増減)は行われない。
本発明の第2実施形態のインプリント装置について説明する。第2実施形態のインプリント装置は、更新される前のマップ12に従って基板4に供給され、モールド1を用いて成形されたインプリント材6の厚さ分布(膜厚分布)を吐出量情報として取得する。ここで、第2実施形態のインプリント装置では、図5に示されるフローチャートに従ってインプリント処理が行われるが、第1実施形態のインプリント装置100と比べて、吐出量情報の取得およびマップの更新が異なる。以下では、第2実施形態のインプリント装置における吐出量情報の取得およびマップの更新について説明する。また、第2実施形態のインプリント装置は、第1実施形態のインプリント装置100と装置構成が同じであるため、ここでは装置構成についての説明を省略する。
第2実施形態のインプリント装置において実施される吐出量情報の取得(S212)について説明する。S212では、制御部8は、モールド1を用いて成形されたインプリント材6の膜厚分布を、吐出量分布として取得する。膜厚分布は、例えば、モールド1によって基板上のインプリント材6を成形する工程(S201〜110)が行われた基板4を用いて、当該基板4(ショット領域)の複数箇所でインプリント材6の厚さ(膜厚)を計測することにより取得されうる。インプリント材6の膜厚は、例えば、インプリント材6で構成されたパターンの凹部と基板4との間の膜厚のことであり、インプリント装置内に設けられた計測部40や、インプリント装置の外部に設けられた計測装置などによって計測されうる。図13(a)は、基板上(ショット領域上)の各箇所におけるインプリント材6の膜厚を示す図である。図13(a)では、各箇所におけるインプリント材6の膜厚が、色の濃淡による多値の画像データによって表される。例えば、図13(a)における箇所21dをインプリント材6の膜厚の目標値としたとき、箇所21aはインプリント材6の厚さが目標値より厚い箇所を示し、箇所21bおよび21cはインプリント材6の厚さが目標値より薄い箇所を示す。そして、図13(a)に示される各箇所におけるインプリント材6の膜厚に基づいて、図13(b)に示すように、複数のノズル7cの配列方向(Y方向)におけるインプリント材6の膜厚の分布(膜厚分布)が制御部8によって求められる。図13(b)において、横軸は各ノズル7cにおけるY方向の位置を示しており、縦軸はインプリント材6の膜厚における目標値からの誤差を示す。ここで、膜厚分布におけるインプリント材6の膜厚は、複数のノズル7cの配列方向と垂直な方向におけるインプリント材6の膜厚の平均値であるとよい。
第2実施形態のインプリント装置において実施されるマップの更新(S213)について説明する。第2実施形態のインプリント装置では、図10に示されるフローチャートに従ってマップの更新が行われる。S213−1では、制御部8は、図13(b)に示される膜厚分布を、吐出量情報として取得する。図13(b)に示される吐出量情報において、範囲22aではノズル7cから液滴として吐出されるインプリント材6の吐出量が目標量より多く、範囲22bおよび22cではノズル7cから液滴として吐出されるインプリント材6の吐出量が目標量より少ない。S213−2では、制御部8は、S213−2で取得した吐出量情報に基づいて、インプリント材6の供給量を調整するための分布(調整分布23)を作成する。図13(c)は、調整分布23を色の濃淡による多値の画像データで表した図である。図13(c)に示される調整分布23において、図13(b)に示される吐出量情報の範囲22aに対応する領域23aは、例えばインプリント材6の供給量を−5%だけ減らす領域である。また、吐出量情報の範囲22bに対応する領域23bは、例えばインプリント材6の供給量を+5%だけ増やす領域であり、吐出量情報の範囲22cに対応する領域23cは、例えばインプリント材6の供給量を+15%だけ増やす領域である。領域23a〜23c以外の領域については、インプリント材6の供給量の調整(増減)は行われない。
本発明の第3実施形態のインプリント装置について説明する。第3実施形態のインプリント装置は、更新される前のマップ12に従って基板4に供給され、モールド1を用いて成形されたインプリント材6によって構成されたパターンと目標パターンとの差(欠損)についての情報(欠損情報)を取得する。そして、第3実施形態のインプリント装置は、取得した欠損情報に基づいて、基板上に供給させるべきインプリント材6の液滴の配置を示すマップを更新する。ここで、インプリント材6で構成されたパターンにおける欠損とは、例えばモールド1のパターンの凹部にインプリント材6が十分に充填されないことにより生じる欠損(未充填欠損)などを含みうる。また、第3実施形態のインプリント装置は、第1実施形態のインプリント装置100と装置構成が同じであるため、ここでは装置構成についての説明を省略する。
次に、S313において実施されるマップの更新について説明する。図17は、マップの更新についてのフローチャートである。S313−1では、制御部8は、図16に示される欠損分布31(欠損情報)を取得する。S313−2では、制御部8は、S313−1で取得した欠損情報に基づいて、インプリント材6の供給量を調整するための分布(調整分布)を作成する。例えば、制御部8は、インプリント材のパターンにおける欠損が生じている箇所ではインプリント材6の供給量が増加するように調整分布を作成するとよい。S313−3では、制御部8は、モールド1のパターンの設計情報から作成された供給量分布11と、S313−2で作成された調整分布とに基づいて、基板上に供給させるべきインプリント材6の液滴の配置を示すマップを新たに作成する。例えば、制御部8は、S313−2で作成された調整分布に基づいて、インプリント材のパターンにおける欠損が生じている箇所に供給させるインプリント材6の液滴の数が増えるようにマップを新たに作成する。S313−4では、制御部8は、S313−3において新たに作成されたマップを記憶し、マップの更新を行う。
本発明の第4実施形態のインプリント装置400について、図18を参照しながら説明する。図18は、第4実施形態のインプリント装置400を示す概略図である。第4実施形態のインプリント装置400は、モールド1のパターンを基板上のインプリント材6に転写する処理を行う複数のインプリント部10a〜10dと、計測部40と、搬送部50と、制御部8とを含みうる。各インプリント部10a〜10dは、硬化部3と、モールドステージ2と、基板ステージ5と、供給部7とを含みうる。計測部40は、例えば、複数のインプリント部10に対して1つ設けられうる。そして、計測部40は、第1実施形態のように基板上に形成された硬化液滴6aの体積、もしくはモールド1を用いて成形されたインプリント材の厚さを計測するように構成されうる。また、搬送部50は、各インプリント部10a〜10dにおいて硬化液滴6aが形成された基板4、もしくはモールド1を用いてインプリント材6が成形された基板4を計測部40に搬送する。このように構成されたインプリント装置400では、制御部8は、各インプリント部10a〜10dにおいて処理された基板4を搬送するタイミングを決定しうる。
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された樹脂に上記のインプリント装置を用いてパターンを形成する工程(基板にインプリント処理を行う工程)と、かかる工程でパターンを形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (12)
- モールドを用いて基板上に供給されたインプリント材を成形するインプリント装置であって、
前記インプリント材の液滴を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数のノズルを有し、各ノズルからの前記液滴の吐出によって前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、
前記基板上に供給させるべき前記液滴の前記基板上における配置を示すマップに従って、各ノズルにおける前記液滴の吐出を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、各ノズルから前記液滴として吐出される前記インプリント材の吐出量に関する情報に基づいて、前記モールドを用いて成形される前記インプリント材の厚さが許容範囲に収まるように前記マップを更新する、ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記インプリント材を硬化する硬化部を更に含み、
前記制御部は、各ノズルに前記液滴を吐出させることにより前記基板に供給された前記液滴を前記モールドを用いて成形することなく前記硬化部に硬化させ、硬化した当該液滴の体積を前記情報として取得する、ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記基板上において硬化した前記液滴の体積を計測する計測部を含む、ことを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記計測部は、前記基板上において硬化した前記液滴に光を照射して反射された被検光と参照光とによって得られる干渉縞に基づいて前記液滴の体積を計測する、ことを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。
- 前記硬化部は、前記供給部と前記計測部との間に配置されている、ことを特徴とする請求項3乃至4のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記マップに従って前記基板に供給され、前記モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚分布を前記情報として取得する、ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記基板に供給され、前記モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚を計測する計測部を含む、ことを特徴とする請求項6に記載のインプリント装置。
- 前記膜厚分布は、前記複数のノズルの配列方向における前記インプリント材の膜厚の分布を含む、ことを特徴とする請求項6又は7に記載のインプリント装置。
- 前記膜厚分布における前記インプリント材の膜厚は、前記配列方向と垂直な方向における前記インプリント材の膜厚の平均値を含む、ことを特徴とする請求項8に記載のインプリント装置。
- モールドを用いて基板上に供給されたインプリント材を成形するインプリント装置であって、
前記インプリント材の液滴を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数のノズルを有し、各ノズルからの前記液滴の吐出によって前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、
前記基板上に供給させるべき前記液滴の前記基板上における配置を示すマップに従って、各ノズルにおける前記液滴の吐出を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記マップに従って前記基板に供給され、前記モールドを用いて成形された前記インプリント材によって構成されたパターンと目標パターンとの差についての情報に基づいて、前記差が生じている箇所の数が閾値以下になるように前記マップを更新する、ことを特徴とするインプリント装置。 - モールドを用いて基板上に供給されたインプリント材を成形するインプリント方法であって、
前記インプリント材の液滴を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数のノズルを用い、前記基板上に供給させるべき前記液滴の前記基板上における配置を示すマップに従って、各ノズルから前記液滴を吐出させる吐出工程と、
各ノズルから前記液滴として吐出される前記インプリント材の吐出量に関する情報に基づいて、前記モールドを用いて成形される前記インプリント材の厚さが許容範囲に収まるように前記マップを更新する更新工程と、
を含むことを特徴とするインプリント方法。 - 請求項1乃至10のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程でパターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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