JP2015206747A - エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 - Google Patents

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018099743A (ja) * 2016-12-19 2018-06-28 株式会社デンソーウェーブ ロボットのたわみ補正方法、ロボットの制御装置
CN109941369A (zh) * 2019-03-07 2019-06-28 杭州宇树科技有限公司 一种机器人集成关节单元及应用其的足式机器人
JP2021012212A (ja) * 2016-01-18 2021-02-04 株式会社ニコン エンコーダ装置
CN112665617A (zh) * 2019-10-16 2021-04-16 多摩川精机株式会社 旋转设备控制系统及编码器
WO2024009515A1 (ja) * 2022-07-08 2024-01-11 ファナック株式会社 位置検出システムおよびアクチュエータ

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04297817A (ja) * 1991-03-27 1992-10-21 Mitsutoyo Corp アブソリュートエンコーダ装置
JP2002116058A (ja) * 2000-10-11 2002-04-19 Yaskawa Electric Corp エンコーダデータ変換回路
JP2004163133A (ja) * 2002-11-11 2004-06-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd ロータリーエンコーダ
JP2004317411A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Yaskawa Electric Corp 絶対値エンコーダおよびその補正装置ならびにその補正方法
JP2005190461A (ja) * 2003-12-05 2005-07-14 Yokogawa Electric Corp 多変数伝送器及び多変数伝送器の演算処理方法
JP2010049584A (ja) * 2008-08-25 2010-03-04 Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd センサノード及びセンサネットワークシステム
JP2010282372A (ja) * 2009-06-03 2010-12-16 Aisin Seiki Co Ltd データ通信方法及び車輪の状態検出装置
JP2012137311A (ja) * 2010-12-24 2012-07-19 Nikon Corp エンコーダ装置、駆動装置、及びロボット装置
JP2012517640A (ja) * 2009-02-13 2012-08-02 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド インターフェース
JP2012247306A (ja) * 2011-05-27 2012-12-13 Nikon Corp エンコーダ装置、駆動装置、及びロボットシステム
WO2013136935A1 (ja) * 2012-03-13 2013-09-19 インフォメティス株式会社 センサ、センサ信号処理装置および電力線信号符号化装置
WO2013146371A1 (ja) * 2012-03-30 2013-10-03 株式会社デンソーウェーブ エンコーダ、エンコーダの取り付け方法、トルク制限機構、駆動装置及びロボット装置

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04297817A (ja) * 1991-03-27 1992-10-21 Mitsutoyo Corp アブソリュートエンコーダ装置
JP2002116058A (ja) * 2000-10-11 2002-04-19 Yaskawa Electric Corp エンコーダデータ変換回路
JP2004163133A (ja) * 2002-11-11 2004-06-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd ロータリーエンコーダ
JP2004317411A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Yaskawa Electric Corp 絶対値エンコーダおよびその補正装置ならびにその補正方法
JP2005190461A (ja) * 2003-12-05 2005-07-14 Yokogawa Electric Corp 多変数伝送器及び多変数伝送器の演算処理方法
JP2010049584A (ja) * 2008-08-25 2010-03-04 Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd センサノード及びセンサネットワークシステム
JP2012517640A (ja) * 2009-02-13 2012-08-02 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド インターフェース
JP2010282372A (ja) * 2009-06-03 2010-12-16 Aisin Seiki Co Ltd データ通信方法及び車輪の状態検出装置
JP2012137311A (ja) * 2010-12-24 2012-07-19 Nikon Corp エンコーダ装置、駆動装置、及びロボット装置
JP2012247306A (ja) * 2011-05-27 2012-12-13 Nikon Corp エンコーダ装置、駆動装置、及びロボットシステム
WO2013136935A1 (ja) * 2012-03-13 2013-09-19 インフォメティス株式会社 センサ、センサ信号処理装置および電力線信号符号化装置
WO2013146371A1 (ja) * 2012-03-30 2013-10-03 株式会社デンソーウェーブ エンコーダ、エンコーダの取り付け方法、トルク制限機構、駆動装置及びロボット装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021012212A (ja) * 2016-01-18 2021-02-04 株式会社ニコン エンコーダ装置
US11385081B2 (en) 2016-01-18 2022-07-12 Nikon Corporation Encoder apparatus, drive apparatus, stage apparatus, and robot apparatus with light emission adjuster
JP2018099743A (ja) * 2016-12-19 2018-06-28 株式会社デンソーウェーブ ロボットのたわみ補正方法、ロボットの制御装置
CN109941369A (zh) * 2019-03-07 2019-06-28 杭州宇树科技有限公司 一种机器人集成关节单元及应用其的足式机器人
JP2022523966A (ja) * 2019-03-07 2022-04-27 杭州宇▲樹▼科技有限公司 ロボット用の統合関節モジュール及びそれを適用した歩行ロボット
JP7245558B2 (ja) 2019-03-07 2023-03-24 杭州宇▲樹▼科技有限公司 ロボット用の統合関節モジュール及びそれを適用した歩行ロボット
CN112665617A (zh) * 2019-10-16 2021-04-16 多摩川精机株式会社 旋转设备控制系统及编码器
CN112665617B (zh) * 2019-10-16 2024-04-19 多摩川精机株式会社 旋转设备控制系统及编码器
WO2024009515A1 (ja) * 2022-07-08 2024-01-11 ファナック株式会社 位置検出システムおよびアクチュエータ

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