JP2015204326A - シリコンウェーハの熱処理方法、及びシリコンウェーハ - Google Patents
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Abstract
Description
この発明に係るシリコンウェーハ(以下、ウェーハという。)の熱処理方法のシーケンスの一例を図1に示す。この熱処理方法は、ランプアニール炉を用いた第一熱処理HT1と、バッチ式熱処理炉を用いた第二熱処理HT2の2つの熱処理を連続して行うことで構成される。
第一熱処理HT1は、図1に示すように、まず、ウェーハを酸化雰囲気としたランプアニール炉内に搬入し、昇温速度R1で保持温度T1まで昇温する。次に、保持温度T1でウェーハを所定時間保持する。ウェーハを保持温度T1で保持時間D1だけ保持した後に、冷却速度R2で冷却する。
第二熱処理HT2は、図1に示すように、まず、炉内温度を所定温度(例えば600℃)に保持するとともに酸化雰囲気としたバッチ式熱処理炉内にウェーハを搬入し、その搬入後、前記所定温度から保持温度T2まで所定の昇温速度R3で昇温する。炉内温度が保持温度T2に到達したら、その保持温度T2で第一保持時間D21そのまま保持する。第一保持時間D21を経過したら、炉内の雰囲気を酸化雰囲気から非酸化雰囲気に切り替える。そして、この非酸化雰囲気において、さらに第二保持時間D22そのまま保持する。第二保持時間D22を経過したら、この保持温度T2から所定温度(例えば600℃)まで所定の冷却速度R4で冷却し、所定温度(例えば600℃)に到達したら、炉内からウェーハを搬出する。
本実施形態においては、チョクラルスキー法によって育成されたインゴットから切り出された、面内にOSFリングを含む直径300mmのウェーハを用いた。このウェーハの格子間酸素濃度は11×1017atoms/cm3(old ASTM)である。この育成に用いた融液には窒素が添加されている。窒素は、結晶育成時に導入されるCOPのサイズを小さくする作用を有し、COPのサイズを小さくすることによって、第一熱処理HT1において、より短時間でCOPを消滅させることができるためである。この窒素は偏析係数が大きいためインゴットのトップ部からテール部に向けて濃度が大きく変化し、トップ部で2×1014atoms/cm3、テール部で10×1014atoms/cm3程度となる。なお、窒素を添加しないウェーハを使用することもできる。
第一熱処理HT1及び第二熱処理HT2を行った後に、SIMSを用いて測定した酸素濃度のウェーハ深さ方向分布を図7に示す。この酸素濃度は、old ASTM規格による換算濃度である。第一熱処理HT1を酸化雰囲気(O2中)で行うと、ウェーハ表面に酸化膜が形成され、この酸化膜から格子間酸素がウェーハ内に注入される。このため、格子間酸素濃度がウェーハ表層の1〜3μmの深さ範囲で特に高くなる分布となる(本図中のA1参照)。このように、第一熱処理HT1を酸化雰囲気で行い、ウェーハ表層の格子間酸素濃度を高めることにより、ウェーハ表層の強度が向上し、ウェーハ表層に欠陥が導入されることに起因してデバイスのリーク不良が生じるのを防ぐことができる。
第一熱処理HT1において、ウェーハに導入される空孔V及び格子間シリコン原子Iのウェーハ深さ方向分布をシミュレーションした。このシミュレーションにおいては、空孔V及び格子間シリコン原子Iの拡散及び対消滅を考慮した次の数1に示す数式を用いている(K.Nakamura、Ph.D.Thesis,Tohoku University、Sendai.(2001))。右辺第1項が空孔V又は格子間シリコン原子Iのフラックス(拡散)を、右辺第2項が空孔Vと格子間シリコン原子Iの対消滅に相当する。
上記のように、酸化雰囲気中において、ウェーハを1300℃以上1400℃以下の保持温度T1の範囲内で保持し、さらに10℃/秒以上150℃/秒以下の冷却速度R2で冷却する第一熱処理HT1と、酸化雰囲気中において、ウェーハを800℃以上1250℃以下の保持温度T2の範囲内で保持する第二熱処理HT2を連続的に行うことにより、ウェーハ表層のDZ層の結晶完全性を確保しつつ、バルクに十分な強度及びゲッタリング能を付与するためのBMDを形成することができる。
Claims (6)
- チョクラルスキー法で育成されたシリコンインゴットから切り出されたシリコンウェーハに対し、酸化雰囲気中において、1300℃以上1400℃以下の保持温度で熱処理する第1工程と、
前記第1工程で熱処理したシリコンウェーハを、酸化雰囲気中において、10℃/秒以上150℃/秒以下の冷却速度で冷却する第2工程と、
前記第2工程で冷却したシリコンウェーハを、酸化雰囲気中において、800℃以上1250℃以下の保持温度で1時間以上100時間以下熱処理する第3工程と、
を有するシリコンウェーハの熱処理方法。 - 前記第3工程で熱処理したシリコンウェーハを、非酸化雰囲気中において、800℃以上1250℃以下の保持温度で1時間以上100時間以下熱処理する第4工程をさらに有する請求項1に記載のシリコンウェーハの熱処理方法。
- 前記第1工程前の段階における前記シリコンウェーハ中に存在する空洞欠陥の平均サイズが、同体積の球状換算値において、直径80nm以下であり、かつ前記空洞欠陥の密度が100個/cm3以上である請求項1又は2に記載のシリコンウェーハの熱処理方法。
- 前記第2工程における冷却速度を変化させることによって、又は前記第3工程における保持時間を変化させることによって、シリコンウェーハ表面からの無欠陥層の深さを変化させる請求項1から3のいずれか1項に記載のシリコンウェーハの熱処理方法。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載のシリコンウェーハの熱処理方法によって熱処理されたシリコンウェーハであって、バルクにおける酸素析出物の面内平均密度が1.0×109個/cm3以上1.0×1010個/cm3以下であり、表面からの各深さ位置における前記酸素析出物密度の面内ばらつきが1桁以内であることを特徴とするシリコンウェーハ。
- バルクにおける全ての前記酸素析出物のうち、90%以上の数の酸素析出物のサイズが35〜75nmの範囲内であることを特徴とする請求項5に記載のシリコンウェーハ。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017157812A (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-07 | 上海新昇半導體科技有限公司 | ウェハの熱処理方法 |
JP2017220587A (ja) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | 信越半導体株式会社 | シリコンウェーハの高感度欠陥評価方法およびシリコン単結晶の製造方法 |
JP2019192831A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 | シリコンウェーハの熱処理方法 |
JP2021516866A (ja) * | 2018-03-15 | 2021-07-08 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフトSiltronic AG | 半導体ウェーハを生産するためのプロセス |
WO2024009659A1 (ja) * | 2022-07-08 | 2024-01-11 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハ及びその製造方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9899297B1 (en) * | 2016-09-30 | 2018-02-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device having a through-silicon via and manufacturing method thereof |
DE102017219255A1 (de) * | 2017-10-26 | 2019-05-02 | Siltronic Ag | Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium |
JP6978928B2 (ja) * | 2017-12-25 | 2021-12-08 | グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 | シリコンウェーハの評価方法 |
CN110965127A (zh) * | 2019-12-10 | 2020-04-07 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 一种超薄硅单晶切片热处理强化工艺 |
JP2021130578A (ja) * | 2020-02-19 | 2021-09-09 | グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 | 半導体シリコンウェーハの製造方法 |
CN112652532A (zh) * | 2020-12-22 | 2021-04-13 | 长江存储科技有限责任公司 | 半导体结构的形成方法 |
CN114280072B (zh) * | 2021-12-23 | 2023-06-20 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 单晶硅体内bmd的检测方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05275431A (ja) * | 1992-03-25 | 1993-10-22 | Mitsubishi Materials Corp | シリコンウェーハのig熱処理方法 |
JP2002299344A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | シリコン単結晶ウェーハの熱処理方法 |
JP2010040587A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Covalent Materials Corp | シリコンウェーハの製造方法 |
JP2013074139A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Globalwafers Japan Co Ltd | シリコンウェーハの熱処理方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8476149B2 (en) * | 2008-07-31 | 2013-07-02 | Global Wafers Japan Co., Ltd. | Method of manufacturing single crystal silicon wafer from ingot grown by Czocharlski process with rapid heating/cooling process |
US20120001301A1 (en) * | 2009-04-13 | 2012-01-05 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Annealed wafer, method for producing annealed wafer and method for fabricating device |
-
2014
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05275431A (ja) * | 1992-03-25 | 1993-10-22 | Mitsubishi Materials Corp | シリコンウェーハのig熱処理方法 |
JP2002299344A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | シリコン単結晶ウェーハの熱処理方法 |
JP2010040587A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Covalent Materials Corp | シリコンウェーハの製造方法 |
JP2013074139A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Globalwafers Japan Co Ltd | シリコンウェーハの熱処理方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017157812A (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-07 | 上海新昇半導體科技有限公司 | ウェハの熱処理方法 |
CN107154354A (zh) * | 2016-03-03 | 2017-09-12 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 晶圆热处理的方法 |
CN107154354B (zh) * | 2016-03-03 | 2020-12-11 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 晶圆热处理的方法 |
DE102016114940B4 (de) | 2016-03-03 | 2023-04-27 | Zing Semiconductor Corporation | Thermisches Verarbeitungsverfahren für einen Wafer |
JP2017220587A (ja) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | 信越半導体株式会社 | シリコンウェーハの高感度欠陥評価方法およびシリコン単結晶の製造方法 |
JP2021516866A (ja) * | 2018-03-15 | 2021-07-08 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフトSiltronic AG | 半導体ウェーハを生産するためのプロセス |
JP7062078B2 (ja) | 2018-03-15 | 2022-05-02 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフト | 半導体ウェーハを生産するためのプロセス |
JP2019192831A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 | シリコンウェーハの熱処理方法 |
JP7051560B2 (ja) | 2018-04-26 | 2022-04-11 | グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 | シリコンウェーハの熱処理方法 |
WO2024009659A1 (ja) * | 2022-07-08 | 2024-01-11 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハ及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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