JP2015203310A

JP2015203310A - ダイヤフラム真空ポンプ

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Publication number: JP2015203310A
Application number: JP2014081532A
Authority: JP
Inventors: 眞一有賀; Shinichi Ariga
Original assignee: Tokyo Rikakikai Co Ltd
Current assignee: Tokyo Rikakikai Co Ltd
Priority date: 2014-04-11
Filing date: 2014-04-11
Publication date: 2015-11-16
Anticipated expiration: 2034-04-11
Also published as: HK1214639A1; JP6349134B2; CN104976102A; CN104976102B

Abstract

【課題】吸気通路及び排気通路に接続させる配管の配置の自由度を向上させると共に、吸気側逆止弁及び排気側逆止弁の組付性の向上を図る。【解決手段】吸気側逆止弁と排気側逆止弁とを、弁体３２ｆをケース部材３２ａに収容した弁ユニット３２でそれぞれ形成する。吸気通路と排気通路とは、基端部に大径取付部３１ａを備えたノズル３１で形成し、大径取付部３１ａの基端部に、弁ユニット３２を収容する収容部３１ｂを設ける。収容部３１ｂに弁ユニット３２を収容し、ポンプ室に形成した挿入孔に大径取付部３１ａをそれぞれ挿入し、大径取付部３１ａの外面とポンプ室の天井壁の外面とに亘って抑え板３４を取り付けることにより、吸気通路と前記排気通路とがポンプ室に固定される。【選択図】図１

Description

本発明は、ダイヤフラム真空ポンプに関し、詳しくは、ダイヤフラム真空ポンプのポンプ室に設けられる吸気通路及び排気通路と逆止弁の構造に関する。

従来、ダイヤフラム真空ポンプとして、往復動するコネクティングロッドに取り付けられたダイヤフラムにより拡縮するポンプ室と、該ポンプ室に連通する吸気通路と排気通路と、前記ポンプ室から前記吸気通路への流体の逆流を規制する吸気側逆止弁と、前記排気通路から前記ポンプ室への流体の逆流を規制する排気側逆止弁とを備えたものがあった（例えば、特許文献１参照。）。

特開平６−１８５４６６号公報

しかし、上述の特許文献１のものでは、気密性の保持を図るために吸気通路及び排気通路は、ポンプ室に固定されており、吸気通路及び排気通路に接続させる配管の配置に自由度がなかった。また、吸気側逆止弁及び排気側逆止弁の組付に手間が掛かり、メンテナンス性が良くなかった。

そこで本発明は、吸気通路及び排気通路に接続させる配管の配置の自由度を向上させると共に、吸気側逆止弁及び排気側逆止弁の組付性の向上を図ったダイヤフラム真空ポンプを提供することを目的としている。

上記目的を達成するため、本発明のダイヤフラム真空ポンプは、ダイヤフラムの作動により拡縮するポンプ室と、該ポンプ室に連通する吸気通路及び排気通路と、前記ポンプ室から前記吸気通路への流体の逆流を規制する吸気側逆止弁と、前記排気通路から前記ポンプ室への流体の逆流を規制する排気側逆止弁とを備えたダイヤフラム真空ポンプにおいて、前記吸気側逆止弁と前記排気側逆止弁とは、弁体をケース部材に収容した弁ユニットでそれぞれ形成され、前記吸気通路と前記排気通路とは、基端部に大径取付部を備えたノズルで形成され、前記大径取付部の基端部に、前記弁ユニットをシール材を介して収容する収容部が形成され、前記ポンプ室は、前記ダイヤフラムと対向する天井壁に、前記大径取付部を挿入させる挿入孔を内部に備えた一対のノズル取付部が形成されると共に、前記天井壁に、前記挿通孔と前記ポンプ室とを連通させる連通孔が形成され、前記収容部に前記弁ユニットを収容し、前記挿入孔に前記大径取付部をそれぞれ挿入し、前記大径取付部と前記ポンプ室の天井壁とに亘って抑え板を着脱可能に取り付けることによって、前記吸気通路と前記排気通路とが前記ポンプ室に固定されることを特徴としている。

また、前記弁ユニットは、前記収容部に収容可能な有底円筒状のケース部材と、該ケース部材の底部の内面中心部から突出するピン部材と、前記底部に形成される通孔と、前記底部の内面の前記通孔よりも内周側と外周側とにそれぞれ形成される２本の環状突部と、前記ピン部材に挿通され、底面側が前記環状突部に当接可能な弁体と、前記ピン部材に装着され、前記弁体を前記ピン部材の基部に保持するストッパ部材とを備え、前記弁ユニットの前記底部をポンプ室側に向けて配置することによって前記排気側逆止弁が形成され、前記弁ユニットの開口部をポンプ室側に向けて配置することにより前記吸気側逆止弁が形成される。

本発明のダイヤフラム真空ポンプによれば、吸気通路と排気通路とは、基端部に設けた大径取付部を、ポンプ室の天井壁に設けた挿入孔に挿通して任意の方向に向け、抑え板で固定することにより、吸気通路と排気通路とに接続される配管の配置に自由度を持たせることができ、関連装置とダイヤフラム真空ポンプとを良好に接続させることができる。また、吸気側逆止弁と排気側逆止弁とをユニット化させたことにより、組み付け性の向上を図ることができると共に、ダイヤフラム真空ポンプの内部に汚れが生じた際には、洗浄剤を吸引運転することで軽便な洗浄が可能であり、また、吸気通路と排気通路と吸気側逆止弁と排気側逆止弁とを簡便に分解して洗浄することができ、メンテナンス性の向上を図ることができる。

さらに、弁ユニットは、底部をポンプ室側に向けて配置することによって排気側逆止弁が形成され、開口部をポンプ室側に向けて配置することにより吸気側逆止弁が形成されることにより、排気側逆止弁と吸気側逆止弁とを同一の弁ユニットを用いて形成することができ、コストの削減化を図ることができる。さらに、弁ユニットは、通常時はストッパ部材により常に閉弁状態を保っていることから、速やかに作動させることができ、また、弁体が作動する際に摩擦抵抗が生じないことから、僅かな気流に対しても良好に作動させることができる。

本発明の一形態例を示すダイヤフラム真空ポンプの要部断面図である。同じくダイヤフラム真空ポンプの要部断面図である。同じく弁ユニットの平面図である。図３のＩＶ−ＩＶ断面図である。同じくダイヤフラム真空ポンプの断面平面図である。同じくダイヤフラム真空ポンプの作動状態の説明図である。

図１乃至図６は本発明のダイヤフラム真空ポンプの一形態例を示す図である。本形態例のダイヤフラム真空ポンプ１１は、モータ１２と、該モータ１２から水平方向に突出した出力軸１２ａに連結されて回転するカムシャフト１２ｂと、該カムシャフト１２ｂに設けられた偏心カム１２ｃにより作動するクランク機構１３と、該クランク機構１３に取り付けられ、カムシャフト１２ｂに直交する水平方向に往復動するコネクティング部材１４と、該コネクティング部材１４の両端部にそれぞれ取り付けられたダイヤフラム１５，１６と、該ダイヤフラム１５，１６の進退によって容積が拡縮する一対のポンプ室１７，１８と、一方のポンプ室１７に連通する吸気通路１９及び排気通路２０と、他方のポンプ室１８に連通する吸気通路２１及び排気通路２２と、ポンプ室１７，１８から吸気通路１９，２１への空気の逆流を規制する吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂと、排気通路２０，２２からポンプ室１７，１８への空気の逆流を規制する排気側逆止弁２４ａ，２４ｂとを備えている。

クランク機構１３は、カムシャフト１２ｂに直交して取り付けられるとともに、該カムシャフト１２ｂと一体となって回転する偏心カム１２ｃと、該偏心カム１２ｃの外周に第１ベアリング１３ａを介して回動可能に連結される従動部材１３ｂと、該従動部材１３ｂに、第２ベアリング１３ｃと連結ピン１３ｄとを介して連結される前記コネクティング部材１４とを備えている。偏心カム１２ｃは、カムシャフト１２ｂの外周に取り付けられた円形の部材で、偏心カム１２ｃの中心軸とカムシャフト１２ｂの中心軸とは異なる位置に配置される。従動部材１３ｂは、一端側に形成された大径部１３ｅと、他端側に形成された小径部１３ｆとを有する略ダルマ形状に形成され、大径部１３ｅに形成された取付孔に取り付けられた前記第１ベアリング１３ａを介して偏心カム１２ｃが連結され、小径部１３ｆに形成された取付孔に取り付けられた第２ベアリング１３ｃを介して連結ピン１３ｄが取り付けられ、該連結ピン１３ｄに前記コネクティング部材１４が連結されている。

コネクティング部材１４は、従動部材１３ｂの一側面と両端面とを覆う枠部材１４ａと、従動部材１３ｂの他側面を覆う板部材１４ｂとを、従動部材１３ｂを挟んで接合したもので、一端側には、カムシャフト１２ｂを挿通すると共にコネクティング部材１４の水平方向の移動を許容する長孔からなる挿通孔１４ｃが形成され、他端側には、従動部材１３ｂに連結される前記連結ピン１３ｄを嵌合する連結ピン嵌合孔１４ｄがそれぞれ形成されている。さらに、枠部材１４ａの両端部には、ダイヤフラム１５，１６を装着するための装着部１４ｅ，１４ｅが設けられている。また、コネクティング部材１４の水平方向の長さは、一方のダイヤフラム１５が上死点のときに他方のダイヤフラム１６が下死点となり、他方のダイヤフラム１６が上死点のときに一方のダイヤフラム１５が下死点となる長さに形成されている。

このように形成されたクランク機構１３は、樹脂製の枠体で形成されたケーシング２５内に収容される。ケーシング２５のカムシャフト１２ｂに直交する一対の側面２５ａ，２５ａには、カムシャフト１２ｂを回転可能に保持するベアリング２６ａをそれぞれ備えた軸受ハウジング２６，２６がそれぞれ設けられ、モータ１２によって駆動されるカムシャフト１２ｂの両端部が軸受ハウジング２６，２６に支持されて配置される。ケーシング２５内に配置されたカムシャフト１２ｂの略中央部には、前記クランク機構１３が配置され、ケーシング２５のカムシャフト１２ｂに平行な一対の側面２５ｂ，２５ｂには、ダイヤフラム取付部２５ｃ，２５ｃが開口してそれぞれ設けられている。各ダイヤフラム取付部２５ｃには、側面２５ｂから外方に突出するリング状の外周突部２５ｄと、外周突部２５ｄの内周側に形成され、前記ダイヤフラム１５の周縁を取り付ける周溝２５ｅとがそれぞれ形成されている。また、カムシャフト１２ｂの偏心カム１２ｃを挟んで対向する位置には、クランク機構１３を安定して作動させるための一対のバランサー２７，２７が取り付けられている。

ダイヤフラム１５，１６は、コネクティング部材１４に取り付けられる厚肉の中心部から外周側に向けて薄肉になる円盤状に形成され、外周側の薄肉部１５ａ，１６ａの外周縁に、前記周溝２５ｅに係合する係合突部１５ｂ，１６ｂがそれぞれ形成されている。このように形成されたダイヤフラム１５，１６は、中央部がコネクティング部材１４に取り付けられ、係合突部１５ｂ，１６ｂを前記周溝２５ｅ，２５ｅに嵌着し、外側からカバー部材２８を装着することにより、係合突部１５ｂ，１６ｂが周溝２５ｅ，２５ｅに気密に取り付けられ、ダイヤフラム１５，１６の外面とカバー部材２８の内面との間に前記ポンプ室１７，１８が形成される。

各カバー部材２８は、ケーシング２５の外周突部２５ｄにシール材２９を介して気密に取り付けられるフランジ部２８ａと、周溝２５ｅ，２５ｅに嵌着したダイヤフラム１５，１６の係合突部１５ｂ，１６ｂにそれぞれ当接して係合突部１５ｂ，１６ｂを周溝２５ｅ，２５ｅ内に押圧する押圧部２８ｂと、ダイヤフラム１５，１６の外面との間にポンプ室１７，１８をそれぞれ形成する球面状凹部２８ｃと、吸気通路１９，２１をそれぞれ取り付ける吸気通路ノズル取付部２８ｄと、排気通路２０，２２をそれぞれ取り付ける排気通路ノズル取付部２８ｅとが形成され、吸気通路ノズル取付部２８ｄと排気通路ノズル取付部２８ｅの底部には、前記吸気側逆止弁２３ａと前記排気側逆止弁２４ａのダイヤフラム側を挿入する挿入部２８ｆがそれぞれ形成されている。さらに吸気通路ノズル取付部２８ｄに形成される挿入部２８ｆには、ポンプ室１７，１８にそれぞれ連通する吸気孔２８ｇ（本発明の連通孔）が、排気通路ノズル取付部２８ｅに形成される挿入部２８ｆには、ポンプ室１７，１８にそれぞれ連通する排気孔２８ｈ（本発明の連通孔）がそれぞれ形成されている。

本形態例の吸気通路１９，２１と排気通路２０，２２とは、同一のＬ字状のノズル３１で形成され、また、吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂと排気側逆止弁２４ａ，２４ｂとは、同一の弁ユニット３２で形成されている。このノズル３１は、基端部に吸気通路ノズル取付部２８ｄ又は排気通路ノズル取付部２８ｅに嵌入される大径取付部３１ａが形成され、大径取付部３１ａの基端部には、弁ユニット３２（吸気側逆止弁２３ａ及び排気側逆止弁２４ａ）の反ダイヤフラム側を収容する収容部３１ｂとシール材３３を嵌着するシール溝３１ｃとが形成されている。

弁ユニット３２は、挿入部２８ｆと収容部３１ｂとに収容可能な有底円筒状のケース部材３２ａと、ケース部材３２ａの底部３２ｂの内面中心部から突出するピン部材３２ｃと、底部３２ｂの周方向に等間隔に形成される４つの通孔３２ｄと、底部３２ｂの内面の各通孔３２ｄよりも内周側と外周側とにそれぞれ形成された２本の同心円状の環状突部３２ｅ，３２ｅと、ピン部材３２ｃに挿通され、底面側が環状突部３２ｅ，３２ｅに当接可能なゴム製の円盤状の弁体３２ｆと、ピン部材３２ｃに圧入され、弁体３２ｆをピン部材３２ｃの基部に保持するストッパ部材３２ｇとを備えている。ストッパ部材３２ｇは、中央部が弁体側に向けて突出する円錐状に形成され、突出した中央部で弁体３２ｆの中央部をケース部材３２ａの底部側に保持すると共に、弁体３２ｆの外周側がケース部材３２ａの開口側に弾性変形して環状突部３２ｅ，３２ｅから十分に離れることを可能としている。これにより、通孔３２ｄからケース部材３２ａ内に向かう流れのみを許容し、逆方向の流れを遮断する逆止弁が形成される。この弁ユニット３２は、底部３２ｂをポンプ室側に向けて配置することにより排気側逆止弁２４ａ，２４ｂとすることができ、開口部３２ｈをポンプ室側に向けて配置することにより吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂとすることができる。したがって、１種類の弁ユニット３２によって吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂ及び排気側逆止弁２４ａ，２４ｂを形成することができる。

各ポンプ室１７，１８の各吸気通路１９，２１では、まず、ノズル３１の大径取付部３１ａのシール溝３１ｃにシール材３３をそれぞれ嵌着し、ケース部材３２ａの開口部３２ｈをポンプ室側に向けた弁ユニット３２を収容部３１ｂにそれぞれ装着することにより、ポンプ室１７，１８から吸気通路１９，２１への流体の逆流を規制する吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂが一体に設けられた吸気通路１９，２１を形成する。そして、ノズル３１の先端側を抑え板３４の開口内に挿入した状態で、各大径取付部３１ａを吸気通路ノズル取付部２８ｄにそれぞれ嵌入することにより、吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂのポンプ室側がカバー部材２８の挿入部２８ｆにそれぞれ挿入された状態になるので、ノズル３１の先端側を適当な方向に向けた状態で、前記抑え板３４を複数のボルト３５で吸気通路ノズル取付部２８ｄに固定することにより、各吸気通路１９，２１が各カバー部材２８にそれぞれ取り付けられ、各吸気通路１９，２１が、吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂ及び吸気孔２８ｇ，２８ｇを介してポンプ室１７，１８にそれぞれ連通した状態になる。

各ポンプ室１７，１８の各排気通路２０，２２では、まず、ノズル３１の大径取付部３１ａのシール溝３１ｃにシール材３３をそれぞれ嵌着し、ケース部材３２ａの底部３２ｂをポンプ室側に向けた弁ユニット３２を収容部３１ｂにそれぞれ装着することにより、排気通路２０，２２からポンプ室１７，１８への空気の逆流を規制する排気側逆止弁２４ａ，２４ｂが一体に設けられた排気通路２０，２２を形成する。そして、ノズル３１の先端側を抑え板３４の開口内に挿入した状態で、各大径取付部３１ａを吸気通路ノズル取付部２８ｄにそれぞれ嵌入することにより、排気側逆止弁２４ａ，２４ｂのポンプ室側がカバー部材２８の挿入部２８ｆにそれぞれ挿入された状態になるので、ノズル３１の先端側を適当な方向に向けた状態で、前記抑え板３４を複数のボルト３５で吸気通路ノズル取付部２８ｄに固定することにより、各排気通路２０，２２が各カバー部材２８にそれぞれ取り付けられ、各排気通路２０，２２が、排気側逆止弁２４ａ，２４ｂ及び排気孔２８ｈ，２８ｈを介してポンプ室１７，１８にそれぞれ連通した状態になる。

本形態例では、一方のポンプ室１７は、モータ側に吸気通路１９が、反モータ側に排気通路２０がそれぞれ設けられ、他方のポンプ室１８は、モータ側に排気通路２２が、反モータ側に吸気通路２１がそれぞれ設けられ、通常は、一方のポンプ室１７の排気通路２０と他方のポンプ室１８の吸気通路２１とを連結管３６によって連結した状態で用いられる。

連結管３６は、吸気通路又は排気通路を構成するノズル３１の外径に対応した内径を有するコ字状のパイプで形成され、両端部には、ノズル３１を接続するための連結部材３６ａが取り付けられている。連結部材３６ａは、一端側開口内に連結管３６の先端部が挿入されて気密に固着され、他端側開口内には、ノズル３１の先端部を着脱可能な状態で気密に嵌入させるためのＯリング３６ｂが装着されている。

上述のダイヤフラム真空ポンプ１１を用いて、減圧対象物からガスを吸引して排気する操作を行う際には、一方のポンプ室１７の排気通路２０と、他方のポンプ室１８の吸気通路２１とを連結管３６によって連結し、減圧対象物を一方のポンプ室１７の吸気通路１９に連結した状態でモータ１２を作動させる。なお図６は、説明の便宜上、ポンプ室を平面断面図、クランク機構を側面図で説明する。まず、図５及び図６（Ａ）に示されるように、一方のダイヤフラム１５が下死点、他方のダイヤフラム１６が上死点となる状態から、図６（Ｂ）に示されるように、カムシャフト１２ｂと共に偏心カム１２ｃが時計回りに９０度回動すると、これに伴って従動部材１３ｂが従動し、コネクティング部材１４が一方のポンプ室１７側に水平方向に移動することにより、一方のダイヤフラム１５が一方のポンプ室１７の容積を縮小させて排気行程になると共に、他方のダイヤフラム１６が他方のポンプ室１８の容積を拡大させて吸気行程になる。続いて、図６（Ｃ）に示されるように、偏心カム１２ｃが時計回りに１８０度回動すると、一方のダイヤフラム１５が上死点に至ると共に、他方のダイヤフラム１６が下死点に至る。この図６（Ａ）の状態から図６（Ｃ）の状態に至る間、すなわち、一方のダイヤフラム１５が下死点から上死点に至り、他方のダイヤフラム１６が上死点から下死点に至る間は、排気行程中の一方のポンプ室１７内のガスが排気側逆止弁２４ａから排気され、排気通路２０、連結管３６、吸気通路２１、吸気側逆止弁２３ｂを通って吸気行程中の他方のポンプ室１８に吸入される。このとき、一方のポンプ室１７では、吸気側逆止弁２３ａにより、ポンプ室１７から吸気通路１９へのガスの排出が抑制され、他方のポンプ室１８では、排気側逆止弁２４ｂにより、排気通路２２からポンプ室１８内へのガスの吸入が抑制される。

さらに、図６（Ｄ）に示されるように、偏心カム１２ｃが時計回りに２７０度回動すると、コネクティング部材１４が他方のポンプ室１８側に水平方向に移動することにより、他方のダイヤフラム１６がポンプ室１８の容積を縮小させて排気行程になるとともに、一方のダイヤフラム１５がポンプ室１７の容積を拡大させて吸気行程になる。次いで、偏心カム１２ｃが時計回りに３６０度回動すると、図６（Ａ）に示されるように、一方のダイヤフラム１５が下死点に至ると共に、他方のダイヤフラム１６が上死点に至る。この図６（Ｃ）の状態から図６（Ａ）の状態に至る間、すなわち、一方のダイヤフラム１５が上死点から下死点に至り、他方のダイヤフラム１６が下死点から上死点に至る間は、減圧対象物からのガスが吸気通路１９から吸気側逆止弁２３ａを介して吸気行程中の一方のポンプ室１７内に吸引され、排気行程中の他方のポンプ室１８内のガスが排気側逆止弁２４ｂから排気通路２２に排気される。このとき、一方のポンプ室１７では、排気側逆止弁２４ａにより、排気通路２０からポンプ室１７へのガスの吸入が抑制され、他方のポンプ室１８では、吸気側逆止弁２３ｂにより、ポンプ室１８から吸気通路２１へのガスの排出が抑制される。このように、モータ１２によってカムシャフト１２ｂを回転させることにより、両ポンプ室１７，１８が交互に吸気行程と排気行程とを繰り返し、両ポンプ室１７，１８を直列に接続した状態で減圧対象物の排気操作を行うことができる。

本形態例は、上述のように形成されていることにより、吸気通路１９，２１と排気通路２０，２２の先端部を任意の方向に向けてカバー部材２８に取り付けることができることから、吸気通路１９，２１と排気通路２０，２２とに接続される配管の配置に自由度を持たせることができ、関連装置とダイヤフラム真空ポンプ１１とを良好に接続させることができる。また、吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂと排気側逆止弁２４ａ，２４ｂとをユニット化させたことにより、組み付け性の向上を図ることができると共に、ダイヤフラム真空ポンプ１１の内部に汚れが生じた際には、吸気通路１９，２１と排気通路２０，２２と吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂと排気側逆止弁２４ａ，２４ｂとを分解して洗浄することができ、メンテナンス性の向上を図ることができる。

さらに、吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂと排気側逆止弁２４ａ，２４ｂとを構成する弁ユニット３２は、同一のものが用いられ、ケース部材３２ａの開口部３２ｈをポンプ室側に向けて吸気通路１９，２１の収容部３１ｂ，３１ｂに収容することにより吸気側逆止弁２３ａ，２３ｂが形成され、ケース部材３２ａの底部３２ｂをポンプ室側に向けて収容部３１ｂ，３１ｂに収容することにより排気側逆止弁２４ａ，２４ｂが形成されることにより、コストの削減化を図ることができる。また、各弁ユニット３２は、通常時は常に閉弁状態を保っていることから、速やかに作動させることができ、さらに、弁体３２ｆが作動する際に摩擦抵抗が生じないことから、僅かな気流に対しても良好に作動させることができる。

なお、本発明は上述の形態例のように、吸気側の弁ユニットと排気側の弁ユニットとを同一の弁ユニットで形成するものに限らない。また、弁ユニットのストッパ部材は、ピン部材に螺着されるものや、接着されるものでも良い。さらに、ポンプ室やクランク機構、コネクティング部材の構造は任意である。

１１…ダイヤフラム真空ポンプ、１２…モータ、１２ａ…出力軸、１２ｂ…カムシャフト、１２ｃ…偏心カム、１３…クランク機構、１３ａ…第１ベアリング、１３ｂ…従動部材、１３ｃ…第２ベアリング、１３ｄ…連結ピン、１３ｅ…大径部、１３ｆ…小径部、１４…コネクティング部材、１４ａ…枠部材、１４ｂ…板部材、１４ｃ…挿通孔、１４ｄ…連結ピン嵌合孔、１４ｅ…装着部、１５，１６…ダイヤフラム、１５ａ，１６ａ…薄肉部、１５ｂ，１６ｂ…係合突部、１７，１８…ポンプ室、１９，２１…吸気通路、２０，２２…排気通路、２３ａ，２３ｂ…吸気側逆止弁、２４ａ，２４ｂ…排気側逆止弁、２５…ケーシング、２５ａ，２５ｂ…側面、２５ｃ…ダイヤフラム取付部、２５ｄ…外周突部、２５ｅ…周溝、２６…軸受ハウジング、２６ａ…ベアリング、２７…バンランサー、２８…カバー部材、２８ａ…フランジ部、２８ｂ…押圧部、２８ｃ…球状凹部、２８ｄ…吸気通路ノズル取付部、２８ｅ…排気通路ノズル取付部、２８ｆ…挿入部、２８ｇ…吸気孔、２８ｈ…排気孔、２９…シール材、３１…ノズル、３１ａ…大径取付部、３１ｂ…収容部、３１ｃ…シール溝、３２…弁ユニット、３２ａ…ケース部材、３２ｂ…底部、３２ｃ…ピン部材、３２ｄ…通孔、３２ｅ…環状突部、３２ｆ…弁体、３２ｇ…ストッパ部材、３２ｈ…開口部、３３…シール材、３４…抑え板、３５…ボルト、３６…連結管、３６ａ…連結部材、３６ｂ…Ｏリング

Claims

ダイヤフラムの作動により拡縮するポンプ室と、該ポンプ室に連通する吸気通路及び排気通路と、前記ポンプ室から前記吸気通路への流体の逆流を規制する吸気側逆止弁と、前記排気通路から前記ポンプ室への流体の逆流を規制する排気側逆止弁とを備えたダイヤフラム真空ポンプにおいて、
前記吸気側逆止弁と前記排気側逆止弁とは、弁体をケース部材に収容した弁ユニットでそれぞれ形成され、前記吸気通路と前記排気通路とは、基端部に大径取付部を備えたノズルで形成され、前記大径取付部の基端部に、前記弁ユニットをシール材を介して収容する収容部が形成され、前記ポンプ室は、前記ダイヤフラムと対向する天井壁に、前記大径取付部を挿入させる挿入孔を内部に備えた一対のノズル取付部が形成されると共に、前記天井壁に、前記挿入孔と前記ポンプ室とを連通させる連通孔が形成され、前記収容部に前記弁ユニットを収容し、前記挿入孔に前記大径取付部をそれぞれ挿入し、前記大径取付部と前記ポンプ室の天井壁とに亘って抑え板を着脱可能に取り付けることによって、前記吸気通路と前記排気通路とが前記ポンプ室に固定されることを特徴とするダイヤフラム真空ポンプ。
前記弁ユニットは、前記収容部と前記挿入部とに収容可能な有底円筒状のケース部材と、該ケース部材の底部の内面中心部から突出するピン部材と、前記底部に形成される通孔と、前記底部の内面の前記通孔よりも内周側と外周側とにそれぞれ形成される２本の環状突部と、前記ピン部材に挿通され、底面側が前記環状突部に当接可能な弁体と、前記ピン部材に装着され、前記弁体を前記ピン部材の基部に保持するストッパ部材とを備え、前記弁ユニットの前記底部をポンプ室側に向けて配置することによって前記排気側逆止弁が形成され、前記弁ユニットの開口部をポンプ室側に向けて配置することにより前記吸気側逆止弁が形成されることを特徴とする請求項１記載のダイヤフラム真空ポンプ。