JP2015200602A - 接触子及び検査治具 - Google Patents

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Abstract

【課題】製造及び保守が容易な4端子測定に好適な検査治具及び接触子を提供する。【解決手段】接触子10は、導電性の接触針11とコイルばね12からなる。コイルばね12は、ばね特性のある本体部122と、接触針11を内側に連結する一端部121と、本体部122のコイル径の内側に最端部123aを有する他端部123からなる。接触針11は円形の軸状部材であって、電子部品に接触する先端111と、先端に続く軸状の突出部112と、一端部121と連結されて本体部122の伸縮を内側から同軸に案内する中継部114と、突出部112と中継部114の間にあって、偏平状に所定長さ圧延されて軸幅が拡大した偏平面には傾斜が有ってコイルばね12の線径分強、突出部112と中継部114との軸が偏心した係止部113がある接触子。【選択図】 図2

Description

本発明は、プリント配線基板や電子部品等に備えられた電極端子に接触される接触子及び検査治具に関するものである。
近年、プリント配線基板の微細、高密度に対応したビルドアップ工法による多層製品が定在化している。この製造工法による基板には、層間の配線である微細なビアホールなどが多数存在することになる。その信頼性試験の1つとして、検査端子間の内部配線抵抗を正確に測定して良否を判定する4端子測定(ケルビン法)が行われている。
4端子測定は1つの検査端子に2本の接触子を導電接触させるために、接触子の個数が2倍になる。微細な検査端子には2本の接触点の間隔が小さいことが必要になる。
上記に対応した先行技術として、特許文献1のプリント配線板の検査治具がある。この検査治具は、特許文献1の図1(以下(先1の図1)とする)に示す通りプランジャー(先1の3、25、26、27)の軸を偏心移動させ、かつ先端を斜め断面にすることにより接触点の間隔を最小にしている。
しかし、プランジャーとスプリングとが直列に配置されて、各軸の外径は概略同じであって、プランジャー(先1の3)は連結部(先1の8)において接合されて偏心している。この場合、偏心方向の幅は2倍となって、接触子の配置蜜度が小さくなる。又、プランジャーの基部の円錐端とスプリングの終端とが連接(直列に当接)するので、荷重の方向が垂直軸から傾斜した方向になる。これは、プランジャーに回転と傾斜が生じて、尖端の位置精度が悪くなる。連結部を摺動自在に案内する案内部(先1の19)は、長孔が好ましいがルーター加工は工数を要して多数の孔開けには適さない。丸孔では連結部の案内が不十分になる。
(先1の図3)のプランジャー(先1の25)では連結部(先1の8x)が円柱で丸孔に案内されて回転と傾斜は改善する。しかし、プランジャー(先1の25)の形状が複雑で製作のコスト的な問題がある。プランジャーの別の形態として、軸状部材が屈曲した(先1の図4、5)のプランジャー(先1の26、27)の場合、コスト的に改善されている。又、連結部(先1の8y、8z)の屈曲量を調節して所望の寸法に偏心させることができる。しかし、プランジャーの長円形柱の連結部(先1の8y、8z)を垂直摺動させる案内には上述した案内部(先1の19)の問題が共通する。
上述の案内部の課題は、特許文献2において、特に(先2の図2)に、第1の穴(先2の19a)と第2の穴(先2の19b)を重ねて略長穴として改善されている。しかし、各穴を重ねた面積が拡大して接触子の配置蜜度が小さく(悪く)なる。
特許文献3の図16には、第2プランジャ(先3の182)の軸を偏心させて接触子の先端の接触点の間隔を小さくしている。しかし、第2プランジャ(先3の182)は径と軸が異なる複雑な形状となる問題がある。又、反対側に円錐端の第1プランジャ(先3の31、181)を配置して部品点数がバネ部材と合わせて3個となりコスト改善の余地もある。
特許文献4の図7、8には、プランジャ(先4の141)とコイルバネ(先4の145)を同軸に配置したコンタクトピン(先4の140)がある。コイルバネの他方を密着細巻きにして、簡易の円錐端として他方にはプランジャを不要にしている。しかし、プランジャは金属薄板からプレス打抜き加工により製造されるので断面が矩形であるので、絶縁部材の丸孔に組み込まれ、1万回以上の繰り返しの摺動には適さない。矩形孔はドリル加工では困難となる。
次に、(先4の図9)にはプランジャ(先4の41)は丸棒をプレス加工で先端の端子部(先4の42)と幅広部(先4の43)を潰ぶして(カシメ)形成することが可能であることが示されている。しかし、端子部(先4の42)のV字形状には複雑な後加工を要する。又、プランジャが回転して、2個のコンタクトピンの接触点の間隔を小さくすることにはならない。
上記のように、2本の接触子の接触点の間隔を小さくする、又は、製造を容易にする各種の工夫がなされているが、それぞれに問題点を有している。
特許3711264号公報 特開2006−170633公報 再公WO2008/133209号公報 特許3768183号公報
プリント配線基板の4端子測定を行う場合、接触子の数が2倍となり、これに検査点の増加が相乗することにより、検査治具の全体価格が騰貴する。このように検査治具の製造コストが問題となっている。本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、製造が容易であり、安価に製造でき、加えて保守も容易であって、高密度のプリント配線板への通電に好適であり、かつ4端子測定に好適な検査治具及び接触子を提供することを目的とする。
第1の手段の本発明は、電子部品の検査に用いられる検査治具に組み込まれて使用される接触子であって、導電性の接触針とコイルばねからなり、コイルばねは、一端に接触針を内側に連結する一端部と、一端部に続いて伸縮してばね特性のある本体部と、本体部の他端にコイル径の内側に最端部のある他端部とを有し、接触針は円形の軸状部材であって、電子部品に接触する先端と、先端に続く突出部と、一端部と連結されて本体部の伸縮を内側から同軸に案内する中継部と、突出部と中継部の間にあって、偏平状に所定長さ圧延されて軸幅が拡大した偏平面には傾斜が有って前記コイルばねの線径分強、突出部と中継部との軸が偏心した係止部とを有し、連結された突出部と本体部の外周側面は実質的に同一面にある接触子。
第2の手段の本発明は、上記手段の接触子において、先端の形状が、検査部位と接触する接触点が偏心方向の外周にある。
第3の手段の本発明は、上記手段の接触子において、接触針の係止部はプレス加工により形成されている。
第4の手段の本発明は、上記手段の接触子において、接触針の係止部の端部には、略左右対称な傾斜のある肩部がある。
第5の手段の本発明は、上記手段の接触子において、係止部の(偏平)圧延部分の表裏は軸方向に相互に移動がある。
第6の手段の本発明は、上記手段の接触子において、コイルばねの一端部は密着巻きにて本体部から縮径されている。
第7の手段の本発明は、電子部品の検査に用いられる検査治具であって、第1乃至6の手段の何れかに記載の接触子と、接触子を保持する接触子保持体と、接触子保持体に連結された電極部とを備え、接触子保持体は、先端が露出するように突出部を軸方向に摺動可能に支持する案内部と、接触子の係止部からコイルばねを軸方向に摺動可能に収納する筒状空洞部と、を含み、電極部は、接触子保持体に連結された電気絶縁性の電極板と、電極板を貫通するように電極板に固定され、一端面が他端部の最端部に当接することにより、他端部に電気的に接続されるとともに、本体部を付勢する軸状の導電性の電極が筒状空洞部と同軸にある検査治具。
第8の手段の本発明は、上記手段の検査治具において、2個の接触子を偏心軸上に先端を内側に1対に配置している。
第1又は3の手段に依れば、接触針は棒状部材を外周として、係止部はプレス加工により係止部の拡幅と軸の偏心が形成されているので、量産性に適して、製作のコストを低減する。コイルばねは接触針の中継部を内側に連結して、本体部の伸縮は摺動して案内さているのでコイルばねの線抵抗を改善する。コイルばねと中継部が同軸にあるので接触針の動作軸が安定して、偏心(軸移動)が小さく(線径強)ても接触子の回転量は小さく安定した位置精度(バラツキ)になる。係止部は両側に拡幅されているので、係止が確実である。係止部は所定長さあるので、傾斜させて偏心するのが容易である。接触子の外径はコイルばねの外径となるので、コイルばねの径を小さくして接触子の配置密度を上げることが出来る。コイルばねの最端部を内側にして、小さな電極との導電接触を確実にしている。高密度多量点の4端子測定用の接触子に適応する。
第2の手段に依れば、先端の形成が斜め断面など容易であり、接触点が接触子の外周にあるので、2本の接触点の間隔が最小となって、小さな検査端子の4端子測定に適応する。
第4の手段に依れば、接触子が検査治具に実装された場合、係止部の肩部に略左右対称な傾斜があるので、案内部(孔)に付勢されて突出部が中心に案内される。これは、特に第2の手段の接触針の回転を小さな偏心(軸移動)で抑止し接触点の位置精度を向上させる。
第5の手段に依れば、係止部は1回のプレスで拡幅、傾斜、偏心(軸移動)が同時にできて生産性が良い。
第6の手段に依れば、コイルばねの一端部は縮径されているので、接触針とコイルばねが確実に連結されて1体となって、接触子の挿入と取出しなど組み立てと保守が容易である。又、一端部は密着巻きにて本体部から縮径されているので、接触針の中継部とコイルばねが同軸に連結されて接触針の回転を抑止する。
第7の手段に依れば、接触子に付勢が掛り、電極と接触子は導電接触の状態にあって、多数の接触子を使用する場合にも、検査治具の内部接続の信頼性を確保する。又、接触子保持体の筒状空洞部の孔が最大径となり、接触子の配置密度が良い。
第8の手段に依れば、高密度に小さな検査端子がある4端子測定に好適である。
各々の手段に依って上述した効果は、第1の手段が共通しているので、他の手段に係るものの効果になることがある。
図1は本発明の実施形態を示す検査治具の全体の構成を示す説明図。 図2は本発明の実施の形態1における検査治具と接触子の説明図。 図3(a)、図3(b)は本発明の接触針の側面を拡大した説明図。 図4は本発明の接触子の上面からの拡大図。 図5は本発明の接触針が係止した状態の説明図。 図6は本発明の係止部(カシメ)の説明図。
本発明は特に4端子測定用の接触子を軸状部材(棒状部材)に拡幅(カシメ)のある接触針とコイルばねで構成することで、製造容易であって、保守も容易な検査治具を実現した。以下、本発明の実施形態に係る検査治具1及び接触子10について、関連する添付図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
本実施の形態による接触子10を使用する検査治具1は、図1に示すように、複数の接触子10が接触子保持体30に保持されて、電極板42に着脱可能に装着されている。電極板42には図2に示す電極41が、接触子10のコイルばね12と同軸に配設されて支持体43に固着されている。支持体43はコネクタ45と共に治具ベース板46に固着されている。電極41とコネクタ45はリード線44で配線されて電極部40を形成している。検査治具1が検査装置に搭載されて、コネクタ45を介して電気的に接続される。接触子10の先端111が被検査プリント配線板の検査端子に圧接することにより、電気特性を測定することが可能となる。4端子測定においては1つの検査端子に左右対称に対向して 、2つの接触子10が配置されることになる。
図2、3を参照しつつ、内部の構成を説明する。接触針11は断面円形の軸状でベリリューム銅等の導電性金属でからなる。電子部品に接触する先端111から連続して、突出部112、係止部113、中継部114からなっている。
先端111は、2つの接触子10の接触点111aの間隔を最少にするために45度の断面となっている。突出部112は接触子保持体30の第1案内板31の第1案内孔311から伸縮可能に突出することにより、被検査プリント配線板の検査端子との圧接を確保している。係止部113は所定の位置でカシメ(プレス)加工されて拡幅されて係止幅113wとなっており先端111の突出量を第2案内板32の第2案内孔321に係止して定めている。係止部113の偏平面は傾斜して動作軸が偏心している。続く中継部114の外周にはコイルばね12が配置されている。係止部113にコイルばね12の一端部121は係止されて接触針11と電極41に付勢を掛けている。
第1案内孔311と同軸に第2案内板32に第2案内孔321があり、突出部112の垂直な運動を案内している。この2層の案内孔は本発明の「案内部」の一具体例に相当する。2層の細径の案内孔の間に、径の大きい間隔孔312、322を設けることにより、垂直な運動の案内と位置精度を容易にしている。
コイルばね12と接触針11は、コイル保持板33のコイル保持孔331に伸縮可能に保持されて軸方向の運動を案内している。案内孔とコイル保持孔331とは、コイルばね12の線径分と伸縮可能なクリアランスの半分を加算した間隔の軸移動offがある。コイル保持孔331は、本発明の「筒状空洞部」の一具体例に相当する。
絶縁性の第1案内板31、第2案内板32、及び、コイル保持板33は一体に固定されることにより、接触子保持体30を構成している。図2は、多数の接触子10を接触子保持体30に実装し、接触子保持体30を電極板42に着脱可能に固定した状態を示している。係止部113は、第2案内孔321によって押圧され、それによりコイルばね12は圧縮する。その結果、初期荷重が電極41に架るので、検査治具1の内部の導電接続が確実なものとなっている。
本発明の接触針11について、図3、4を参照しつつ、詳細を説明する。図3(a)はカシメ面の正面図、図3(b)は右側面図の拡大した説明図である。接触針11の径はコイルばね12の本体部122の内径より少し小さくコイルばね12の伸縮を内側から摺動して案内する針径11dとなっている。カシメされた偏平面は拡幅されて係止幅113wとなっており両側の肩部113sが係止の機能をする。円形軸が偏平状に圧延されたカシメ(プレス)の区間で動作軸を移動するために急激に曲げることを回避する所定の長さの係止長113hとなっている。
係止長113hは所定の長さを有して、傾斜して軸移動off分を偏心しており、傾斜の角度を小さくして、荷重の軸方向の伝達を容易にしている。又、カシメの偏平面は厚さが接触針の針径11dからカシメ(プレス)されて小さくなっており、傾斜(曲げ)を容易にしている。傾斜角(正接角=off/113h)を小さくして接触針11の製作と動作を容易にしている。表面処理は、導電接触を確実にするために金めっきが望ましい。
図4に接触子10を拡大した上面からの位置関係が示されている。先端111、突出部112の中心である突出軸112cが係止部113を経由して、中継部114(コイルばね12、接触子10)の中心である中継軸114cに軸移動off分、偏心している。接触針11の偏心軸11aとコイルばね12(接触子10)の外径が交差する位置に検査端子に接触する接触点111aがある。接触点移動4wは接触子10の外径の半分となる。又、4w=(11d/2)+offであって、off=(コイルばね12の線径)+(コイルばね12の伸縮に要する第1クリアランスc1/2)となっている。
係止部113はコイルばね12の外径より立体的に内側にあって、コイル保持孔331に干渉しない幅が好ましい。係止幅113wはコイル中心径を目安とする。係止部113はプレス加工されるので、肩部113sは略左右対象に針径11dから係止幅113wに滑らかに傾斜して拡幅されることになる。検査治具1に実装された場合、(図5を参照)第2案内孔321に付勢を掛けるので、両肩113sは、突出部112を第2案内孔321の中心に位置するように案内する。これは、接触針11の回転を小さくして接触点移動4wのある接触点111aの回転バラツキを大きく改善する。
コイルばね12はピアノ線等の導電性金属であって、断面円形の線材を螺旋することで形成する。図2において、一方は接触針11の中継部114に圧入されて、係止部113に係止されて同軸に連結するために密着巻きに縮径されている一端部121。続いて中継部114を内側に摺動して案内されてばね特性を有する疎巻き部122aと、両側に所定巻き数の密着巻き部122bとがある本体部122。他方は縮径して最少巻線径にされて電極41と接触する最端部123aがある他端部123となっている。
最端部123aを縮径にて本体部122のコイル内径の内側にして、電極41との接続(位置合わせ)を確実にしている。中継部114の端部は密着巻き部122bの内周と導電接触して疎巻き部122aの線抵抗を改善する。表面処理は、導電接触を確実にするために金めっきが望ましい。
電極部40について、図2を参照しつつ説明する。絶縁性の電極板42にコイル保持孔331と同軸に電極孔411が形成されている。この電極孔411にエナメル線などのリード線44が挿入され、かつ接着剤411aによりで固定された後に、平面加工されることによって、電極41が形成されている。電極41の表面処理は、導電接触を確実にするために金めっきが望ましい。
検査治具1の組立と保守の手順について、図1、2を参照しつつ説明する。前もって、コイルばね12の一端部121に接触針11の中継部114を圧入して連結した接触子10を準備する。第1案内板31、第2案内板32、コイル保持板33を重ねて螺子止めし接触子保持体30とする。コイル保持板33を上側にして、かつ接触子10の先端111を前方(下方)にして、全てのコイル保持孔331から第2案内孔321と第1案内孔311に、接触子10を挿入する。次に、電極41の形成も含めて組立完了した電極部40を90度に設置して、接触子10が装着された接触子保持体30を電極板42に整合させ、螺子により互いを固定する。これにより組立は完了する。
不良の接触子10の交換、保守は、接触子保持体30を取り外して接触子10を取り出し、良品に交換する。各板を整合する場合、図には示していないが、複数の位置合わせピンと位置合わせ孔を整合することにより機械的な位置が決まる構成になっている。
(実施の形態1の設計例)
コイルばね12は、接触子の外径となって配置密度が決まる。線径d=0.05、ばね指数C=コイル径D/d=4.3(図4に相当する)とすると、コイル径D=d*C=0.22、コイル外径Dout=d*(C+1)=0.27、コイル内径Din=d*(C−1)=0.17となる。両端の縮径は、C=(C−1)=3.3を目安とする。次に、ばね定数k=10gf/mmとして、有効巻数などの必要な値がばねの計算式から算出できる。必要な密着巻き部122bを指定する。
接触針11は、図5のクリアランスc1を0.02取ると針径11d=0.17−0.02=0.15となる。又、軸移動off=d+c1/2=0.05+0.01=0.06となる。係止長113h=0.6とすると、傾斜Tan=off/113h=0.06/0.6=0.1となる。係止幅112w=11d+d=0.20となる。又、カシメ厚さは0.09となる。
接触子保持体30について、コイル保持孔331の径は、コイル外径Dout=0.27に摺動のクリアランスc2を0.03取ると0.3となる。絶縁間隔0.06の場合、接触子10の配置の間隔は0.36となる。又、4wの時の接触点111aの間隔は0.06+0.03=0.09となる。
(接触点の回転誤差の検証)
接触点111aの回転誤差Eyは、4wの場合に最大となる。案内孔321のクリアランスc3を0.03とすると、クリアランスの合計cは(c1+c2+c3)となる。一端部121の蜜巻き縮径でc1=0、最悪のクリアランスは(0+c2+c3)となる。この場合Ey023≒±0.07(=(((c/2)*(Dout/2))/off)−c2/2)となるが、肩部113sで第2案内孔321の中心に案内されて、c3=0、Ey020≒±0.03となる。偏心軸11a方向の誤差Ex=c3/2=±0.02となる。そして、これらに製造の誤差が加算されるが、接触点111aの間隔が0.09から適合の範囲にあることが解る。
実施について、設定値を要求仕様に合わせて適正に変えることでと所望の接触子10と検査治具1が得られる。
(実施の形態2)
接触針11のカシメについて、図6において説明する。プレス装置のカシメの一対の金型圧部61,62の表裏のカシメ長さは同じで実質的にカシメ後に係止長113hとなる。係止幅113wはカシメの偏平面の厚さにより決まる。一対の金型圧部61,62は接触針11の軸方向に中心が相互に少し移動している。これに依って、接触針11がプレスされると突出部112と中継部114は係止部113(偏平面)にたいして傾斜して押し出される。傾斜角は方向が反対の同じになって、突出部112と中継部114は平行になる。その軸移動off(傾斜角)は一対の金型圧部61,62の軸方向の相互の移動量によって主に決まる。
一対の金型圧部61,62のコーナーをアール(丸)としているが細部は最適化することが好ましい。アールの表裏の半径を変えると傾斜角が変わる等がある。これからは、円形の軸状部材が圧延されて変形した部分に表裏に軸方向のずれ(移動)がある様にすることで傾斜角を変えられる。偏平面を図6では一対の金型圧部61,62のみで図示しているが突出部112と中継部114の軸移動off(傾斜角)と平行を確保するために、一対の金型圧部61,62の周辺に補助の壁(当て板)があることが好ましい。このプレス装置でカシメを行うと1回のプレスで所望の接触針11の係止部113が得られる。
(その他の実施の形態)
接触針11の係止部113を図3ではカシメの偏平面を傾斜としたが、滑らかな曲がりでも良い。要は、係止部113の傾斜(off/113h<0.5)が大きくなければ製作と使用に好都合である。係止部113の形成は1回目のプレスにて軸上に偏平面を形成して、次に2回目のプレスにて軸を平行移動しても良いが、1回のプレスにて形成するのがより好ましい。
接触針11の先端111の形状は、中継部114と同様の円錐としても良い。回転誤差Eyが最少(=Ex)になる。又、突出部12の軸と直角に交差する平面にしても良い。この形状は、例えば、検査端子が半球の半田バンプの接触に適応する。先端111の平面形状は、直角のほかに、45度平面、多角錐、偏心多角錐、クラウン(先割り)などのその他の形状であっても良い。
接触子保持体30の案内板は第1案内板31のみでも良い。ただし、接触子10に荷重に軸方向のアンバランスもあるので、第2案内板32を設ける方が望ましい。
コイルばね12の他端部123の端末を縮径して最端部123aを本体部122のコイル径の内側にしたが、内径の内側した方がより好ましい。又、端末のピッチを増しながら立体的に巻く、又は曲げる等によって、最端部123aをコイルばね12の中心にしても良い。これに依って、より小さな径の電極41に対応することが出来る。
本接触子10は4端子測定に適応するが、通常の2端子測定に使用しても良い。接触子10を共用化すると、製造と保守が容易になる。また、接触子10は、他の種類の接触子の併用を妨げるものではない。必要に依り併用が可能である。
本発明の特定の実施形態についての上述の説明は、例示を目的として提示したものである。それらは、網羅的であったり、記載した形態そのままに本発明を制限したりすることを意図したものではない。数多くの変形や変更が、上述の記載内容に照らして可能であることは当業者に自明である。
本発明の接触子は、プリント配線基板、ICパッケージ、IC等の電子部品に備えられた検査端子に導電接触させる通電治具と通電装置全般に用いることができる。
1・・・・検査治具
10・・・接触子
11・・・接触針、11a・・偏心軸、off・軸移動(偏心)
111・・先端、 111a・接触点
112・・突出部、112c・突出軸
113・・係止部、113w・係止幅、113h・係止長
114・・中継部、114c・中継軸(コイル軸、接触子軸)
12・・・コイルばね
121・・一端部
122・・本体部、122a・疎巻き部、122b・密着巻き部
123・・他端部、123a・最端部
30・・・接触子保持体
40・・・電極部
41・・・電極
61、62・一対の金型圧部

Claims (8)

  1. 電子部品の検査に用いられる検査治具に組み込まれて使用される接触子であって、導電性の接触針とコイルばねからなり、
    前記コイルばねは、一端に前記接触針を内側に連結する一端部と、当該一端部に続いて伸縮してばね特性のある本体部と、当該本体部の他端にコイル径の内側に最端部のある他端部とを有し、
    前記接触針は円形の軸状部材であって、電子部品に接触する先端と、当該先端に続く突出部と、前記一端部と連結されて前記本体部の伸縮を内側から同軸に案内する中継部と、前記突出部と前記中継部の間にあって、偏平状に所定長さ圧延されて軸幅が拡大した偏平面には傾斜が有って前記コイルばねの線径分強、前記突出部と前記中継部との軸が偏心した係止部とを有し、
    連結された前記突出部と前記本体部の外周側面は実質的に同一面にあることを特徴とする接触子。
  2. 請求項1に記載の接触子において、先端の形状が、検査部位と接触する接触点が偏心方向の外周にある。
  3. 請求項1又は2に記載の接触子において、前記接触針の前記係止部はプレス加工により形成されている。
  4. 請求項1乃至3の何れかに記載の接触子において、前記接触針の前記係止部の端部には、略左右対称な傾斜のある肩部がある。
  5. 請求項1乃至4の何れかに記載の接触子において、前記係止部の圧延部分の表裏は軸方向に相互に移動がある。
  6. 請求項1乃至5の何れかに記載の接触子において、前記コイルばねの前記一端部は密着巻きにて前記本体部から縮径されている。
  7. 電子部品の検査に用いられる検査治具であって、請求項1乃至5の何れかに記載の接触子と、当該接触子を保持する接触子保持体と、当該接触子保持体に連結された電極部とを備え、
    前記接触子保持体は、前記先端が露出するように前記突出部を軸方向に摺動可能に支持する案内部と、接触子の前記係止部から前記コイルばねを軸方向に摺動可能に収納する筒状空洞部と、を含み、
    電極部は、前記接触子保持体に連結された電気絶縁性の電極板と、当該電極板を貫通するように当該電極板に固定され、一端面が前記他端部の前記最端部に当接することにより、前記他端部に電気的に接続されるとともに、前記本体部を付勢する軸状の導電性の電極が前記筒状空洞部と同軸にあることを特徴とする検査治具。
  8. 請求項7に記載の検査治具において、2個の前記接触子を偏心軸上に前記先端を内側に1対に配置している。
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