JP2015193424A - 基板保持用枠体と薄板基板の梱包体 - Google Patents

Abstract

【課題】 ２メートル角程度の大サイズ薄板基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】 本発明の基板保持用枠体１０は、矩形状の薄板基板の１枚を、枠体内に収め、当該薄板基板を収めた状態の該枠体を位置合わせして多段に積み重ねた状態で、搬送または保管の用途に供する基板保持用枠体であって、左右の辺が平坦で、前後の辺が基板の下方に湾曲している金属枠部１１と、金属枠部の四辺内周側に延出された基板支持部１３と、該金属枠部１１の四辺内周側に向かって下方に傾斜した嵌合部１２ａ及び１２ｂと、薄板基板接触面側に装着された樹脂製の基板保持部材１４と、からなることを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、剛性である矩形状（四角形状）の薄板基板を、同じく矩形状の基板保持用枠体の内周に設けた基板支持部に1枚ずつ載せ、該基板を載せた状態の基板保持用枠体を多段に積み重ねして保管・搬送する用途の保管・搬送装置、特には基板保持用枠体とそれを使用した薄板基板の梱包体に関する。
載せた薄板基板の相互間が接触しないようにし、かつ高い密度に集積する必要がある。
さらに、搬送または保管時における破損や割れから基板を保護し、塵埃の混入や汚染を防止する必要もある。
なお、基板の例としては薄板ガラス基板があり、特には、プラズマや液晶表示用のカラーフィルター、それらの中間製品、その他の各種基板等を挙げることができる。

このような保管・搬送装置には、基板保持用枠体と共に、基板支持部の先端に差し込みして基板を直接載せる部分となる基板保持部材、多段に積み重ねした基板保持用枠体全体の下面を受けるインナーパレット、最下段に用いる防振パレットが必要であり、さらには、基板保持用枠体の上面や周囲を保護する上蓋やカバー等が必要になる。
本発明はこれらの搬送・保管装置中、特に、基板保持用枠体とそれを使用した薄板基板の梱包体に関するものである。

液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネル、それらのカラーィルター等のように薄板ガラス基板の表面に機能層を備えた板状物は、その表面の機能層を損傷したり、汚したりすることなく搬送及び保管することが重要である。このような板状物を搬送等する際は、板状物表面の機能層を保護するため、表面同士や、表面と裏面間が接触しないように所定間隔で並列収納する必要がある。
しかし、これら薄板基板であるカラーフィルターやその中間製品等は表示装置自体が大型化しており、小サイズ物であっても多面付けの状態で製造されるため、大サイズ化しており、１メートル角程度のサイズにもなると、０．７ｍｍ厚のガラス基板でも対向する２辺または４辺を支持した場合は、中間部が１００ｍｍ程度以上下方（重力方向）に湾曲した状態になるのを避けられない。基板はさらに２メートル角以上の大サイズ化が求められており、保管スペースや取り扱い装置の問題からこのような基板を高密度で安全に保管し、取り扱いできるようにする必要がある。

薄板状基板を、枠体を使用して、衝撃による傷等を防止しながら搬送しようとするものに特許文献１がある。しかし、同文献のものは、ガラス搬送用枠体の上下面間に緩衝材を用いて振動や衝撃を防止しようとする考えのものである。緩衝材には、発泡樹脂やゴム等が用いられるが（段落［００２３］）、このような材料を使用した場合は、緩衝材自体が塵埃やごみの発生源になると考えられる。また、ガラス基板を保持する当接材６の使用も必須であり、同様な材料を使用するので、やはり塵埃等の発生源になると考えられる。又異なる問題として、特許文献１の載置部３及び係合部４は、同じ面にある為、ガラス基板を積載した枠体１を積層する際に枠体間の位置が多少ずれると枠体１の重量により載置部３及び係合部４が変形または破損し、積層の不具合又は搬送時の振動でガラス基板の破損する問題がある。

薄板状基板を、枠体を使用し、湾曲状態で多段に積み重ねて搬送するものに特許文献２がある。しかし、このものも、緩衝材７や当接材６の使用が必須であり、これには発泡樹脂やゴム等が使用されるので（段落［００２０］）塵埃等の発生は避けられない。
また、上下の枠体相互間の位置合わせを係合凸部９ａと係合凹部９ｂで行うので、このような箇所に塵埃が溜まり易く、この部分を清浄化するにも問題があると考えられる。特許文献２においても、載置部３及び係合凸部９ａの構造は、特許文献１と同様に同じ面にあるため、係合部の変形または破損の問題がある。

特許文献３や特許文献４にも、板状物を保持する各種形態トレイの実施例が概略記載されている。しかし、枠体の構造はいずれも本願と相違している。
なお、板状物の搬送方法、搬送装置等を記載したものに、特許文献５や特許文献６がある。

特開２００６−１６８７４８号公報 特開２００６−１６８７４９号公報 特開２００８−３０８１８号公報 特開２００８−６８９０２号公報 特開２００８−８１２６９号公報 特開２００８−８１２７０号公報

このような中、近年、特に、液晶表示用フラットパネルにおいては、より大型のカラーフィルター形成基板の製造が要求されており、カラーフィルター基板やその中間工程基板の輸送、保管装置に対して、さらに一層の、輸送効率向上による輸送コスト低減や保管場所の省スペース化、中間製品の安全な扱いが求められている。
ちなみに、第８世代といわれる基板は、２２００ｍｍ×２５００ｍｍのサイズ、第９世代は、２４００ｍｍ×２８００ｍｍのサイズとなっている。

カラーフィルター基板には、一定の剛性を有するガラス材料が使用されているが、本来、薄板材料でもあり、表示装置の大型化や多面付け化の要請に伴い、ガラス基板が大サイズ化し、基板の両辺を支持した場合は、中央部分でかなりの撓みが生じるのが実情である。
大サイズのガラスを平面状態で収納し、輸送時の振動が加わった場合、数百ｍｍ程度、上下に振動でうねり、跳ね上がり、収納間隔を極めて大きくとらないと基板同士で接触破損が生じる。あるいは、ガラス自体が振動で上下に数百ｍｍ跳ね上がり、変形しているうちに自壊する。
このようなガラス基板を嵩高にならないように、高い密度で集積して搬送・保管することは、保管スペースの節減のみだけではなく、取り扱い装置や搬送装置の大型化を防ぎ、ひいては、資源の節減や製造コストの低減に寄与することになる。
従来、使用されている基板保持枠では、積み重ねや取り出し操作時に、枠体相互間の位置合わせ部に変形が生じ易く、積み重ね時や搬送時の衝撃でガラス基板の破損が生じ易い問題があった。また、装置自体からの塵埃の発生や外部からの混入は、機能層を損ない、不良品を増大させる原因となるので、厳重な対策が要求されている。
第６世代（Ｇ６）のガラス基板は、一般的に０．７ｍｍｔ、１５００ｍｍ×１８５０ｍｍであり、１枚の重量が５ｋｇ、両端を支持した場合に撓み量が３５０ｍｍ程度となる。
第６世代（Ｇ６）のガラス基板の板厚は、これ以外にも０．４ｍｍｔや０．５ｍｍｔなどの薄板、及び１．１ｍｍや１．６ｍｍｔの厚板もある。外形サイズにおいても１５００ｍｍ×１８００ｍｍがある。
生産効率、輸送効率を高める為、この様な大型ガラス基板を大量に保管、輸送する省スペース化した基板保管装置、搬送装置が要求される。一方、輸送、ハンドリングでの大型ガラス基板の破損が1枚でも発生した場合、他のガラス基板へのガラス破片の付着、ガラス破片の付着したガラス基板が装置へ持ち込まれる事による他のガラスの破損、装置の破損や工程内で使用される高価なマスクや治具などへ傷を付けたり２次的な損失が発生する。
又１枚のガラス基板破損による２次的がダメージを防止する為、ガラス基板の破損が生じた場合は、生産を中断して装置、治具など徹底した清浄が必要であり、１枚のガラス破損による損失は、甚大なものとなる。
たとえガラス基板が破損しなくてもガラス基板周辺部などにキズが生じた場合においても後の工程での接触や加熱処理などのガラス基板へのストレスにより破損が発生する場合もあり、大型ガラス基板の取扱いに対しては、１枚でも破損が発生しない事が絶対必要条件である。
本発明は、このような課題を解決すべく、鋭意研究して完成されたものである。

上記課題を解決する本発明の要旨の第１は、矩形状の薄板基板の１枚を、平面視矩形状の金属枠部を有する基板保持用枠体内に収め、当該薄板基板を収めた状態の該枠体を位置合わせして多段に積み重ねた状態で、搬送または保管の用途に供する基板保持用枠体であって、（１）正方形または長方形の断面形状を有する金属枠部と、（２）該金属枠部の内周面の上面側に設けられ、内周下方側に傾斜した形態を有する第１嵌合部と、さらにその先に延出して形成された基板支持部と、（３）該金属枠部の内周面の下面側に設けられ、内周下方側に傾斜した形態を有する第２嵌合部と、を有し、前記基板支持部に薄板基板を載置した状態の基板保持用枠体を、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部の嵌め合わせにより、上下の金属枠部相互間の位置合わせをして、多段に積み重ね可能にしたことを特徴とする基板保持用枠体、にある。
この発明は、基板保持用枠体に薄板基板を載置し、その載置した状態の枠体を薄板基板相互間が接触することなく多段に積み重ね可能にし、嵌合部を金属枠部自体にではなく、基板保持用枠体自体や薄板基板の荷重を、直接には受けない金属枠部の内周側に形成しかつ密封状態を確保して、塵埃等の混入防止を図っている特徴がある。

上記課題を解決する本発明の要旨の第２は、矩形状の薄板基板の１枚を、平面視矩形状の金属枠部を有する基板保持用枠体内に収め、当該薄板基板を収めた状態の該枠体を位置合わせして多段に積み重ねた状態で、搬送または保管の用途に供する基板保持用枠体であって、（１）正方形または長方形の断面形状を有する金属枠部と、（２）該金属枠部の内周面の下面側に設けられ、内周下方側に傾斜した形態を有する第１嵌合部と、さらにその先に延出して形成された基板支持部と、（３）該金属枠部の内周面の上面側に設けられ、内周下方側に傾斜した形態を有する第２嵌合部と、を有し、前記基板支持部に薄板基板を載置した状態の基板保持用枠体を、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部の嵌め合わせにより、上下の金属枠部相互間の位置合わせをして、多段に積み重ね可能にしたことを特徴とする基板保持用枠体、にある。
この発明も、基板保持用枠体に薄板基板を載置し、その載置した状態の枠体を薄板基板相互間が接触することなく多段に積み重ね可能にし、嵌合部を金属枠部自体にではなく、基板保持用枠体自体や薄板基板の荷重を、直接には受けない金属枠部の内周側に形成しかつ密封状態を確保して、塵埃等の混入防止を図っている特徴がある。
構成自体は、第１の発明の基板保持用枠体と同様であるが、第２の発明の基板保持用枠体では、基板支持部が金属枠部の内周面の下面側に設けられ、内周下方側に傾斜した形態を有する第１嵌合部の先に延出し、第２嵌合部が金属枠部の内周面の下面側に設けられ、内周下方側に傾斜した形態を有することの違いがある。
なお以下、明細書中において基板保持用枠体を、単に「枠体」と略称する場合もある。

上記課題を解決する本発明の要旨の第３は、上記の基板保持用枠体に、薄板基板を各枠体間が平滑な金属枠部面の密接と嵌合部の嵌め合わせにより密封状態になるように多段に積み重ねし、最上段の基板保持用枠体の嵌合部に上蓋の嵌合部を嵌め合わせて面間を密封し、かつ上蓋が薄板基板に接触しないようにし、最下段の基板保持用枠体の嵌合部にインナーパレットの嵌合部を嵌め合わせて面間を密封し、かつインナーパレットの表面が薄板基板に接触しないようにされていることを特徴とする薄板基板の梱包体にある。
この発明は、上記基板保持用枠体の使用状態に関する。基板保持用枠体に薄板基板を載置した状態で多段に積み重ねし、上部に上蓋、下部にインナーパレットを用い、かつ上蓋とインナーパレットが共に基板との接触を防止するようにしてあることと、略密封状態にして塵埃等の混入防止を図っている特徴がある。

本発明の基板保持用枠体によれば、機能部を設けた薄板基板の一方の面を、他方面に接触させず、基板相互間に一定の間隔を保持した状態で、安全に保管、搬送することができる。また、搬送時の振動により、基板が跳たり、衝撃を受けず、割れや損傷が生じることがない。基板保持用枠体自体から塵埃や異物が発生することがなく、また、枠体間を密接して多段に積み重ねできるので、外部から塵埃が混入することもない。
本発明の基板保持枠体の構成は、金属枠部は、単純な正方形または長方形状の断面形状であり、第１の嵌合部（とさらにその先に延出して形成された基板支持部）、及び第２の嵌合部は、前記金属枠部から突出した構造となっている。
基板保持用枠体自体の強度と精度を受け持つ役割のみを金属枠部に付与している。そして、金属保持用枠体積層時の嵌合機能とガラス保持機能は、前記金属枠部から突出した第１の嵌合部（とさらにその先に延出して形成された基板支持部）、及び第２の嵌合部に負わせている。これにより大型基板保持用枠体で深刻な問題となる工作精度の問題、ハンドリング強度の問題、積層時の大重量に対する変形防止、積層輸送時の荷崩れに対する安定性の問題を解決する事が出来た。
金属枠部自体に嵌合部分を設けると、枠自体の加工精度が低下し、大型の金属枠とした場合に捩れ・歪みを生じて、積み重ねる事が出来なくなってしまった。本発明では、第１の嵌合部（とさらにその先に延出して形成された基板支持部）、及び第２の嵌合部は、金属枠部から突出した構造とし、金属枠本体を単純な正方形または長方形状の断面構造とした為、大型枠を精度良く作る事が可能となった。
またＧ６サイズなど大型で重いガラスを搭載した状態で基板保持用枠体をロボット等でハンドリングした時に基板保持用枠体の変形・捩れによるガラスの破損を防ぐ事が必要である。本発明は、金属枠部が単純な正方形または長方形状の断面形状として純粋に強度を受け持つ機能を持たせてハンドリング時の変形・捩れを防いでいる。（金属枠本体に嵌合部を持たせた構造では、その部分が強度的にウィークポイントとなる。）
使用時に基板保持用枠体にガラスを保持した状態で１５０段積層すると最下段の基板保持用枠体にかかる重量は、Ｇ６サイズで１．５トン以上となる。本発明の積層される金属枠同士で下側の金属枠の上面と上側の金属枠の下面とが水平に面で接する為、前記１．５トン以上にもなる大重量を安定して支えて、荷崩れや金属枠の重量による変形破損を生じなくなる。

嵌合部を金属枠部自体にではなく、枠体自体や薄板基板の荷重を、直接には受けない金属枠部の内周側に形成したので、誤って枠体を重ねた場合にも嵌合部が変形し難く、位置合わせが不完全になることが少ない。
嵌合部が、枠部内周方向に傾斜した面にされているので、多少位置ずれして重ねられた場合も自己調整（セルフアライメント）機能が働き、正しい位置合わせがされやすくなっている。また、嵌合部が金属枠部の内周に設けられているため、基板保持枠の平面サイズを小さくでき、その搬送装置の小型化、および省スペース化が可能となる。
金属枠部の断面形状を正方形または長方形状の中空構造にする場合は、無垢材を用いた場合にくらべ強度を有するとともに、軽量化が図られ、搬送の負荷を軽減できる。

本発明の薄板基板の梱包体によれば、薄板基板を相互の面間が接触することがなく、損傷を与えずに安全に輸送することができる。また、梱包体が密封されているので、外部から塵埃や異物が混入することがない。

基板保持用枠体を上面から見た平面図である。 基板保持用枠体を３段に積み重ねした左辺の金属枠部と嵌合部、および基板支持部の断面図である。 図２の基板支持部に対して、基板保持部材を装着し、薄板基板を載置してから、基板保持用枠体を３段に積み重ねした状態の断面図である。 薄板基板を基板保持用枠体に移載する装置の概略を説明する図である。 リフトピンが突出した際の高さ位置を説明する図である。 薄板基板の移載時（受け渡し時）の状態を示す図である。 薄板基板の移載時（受け取り時）の状態を示す図である。 基板保持用枠体の開口、薄板基板、移載用架台のそれぞれの大きさの関係を示す図である。 リフトピンの各種を説明する図である。 基板保持用枠体の外観を示す斜視図である。 基板保持用枠体に薄板基板を載せる状態の外観斜視図である。 基板保持用枠体に薄板基板を載せ、枠体を多段に積み重ねた状態で、上蓋を被せ、下側にインナーパレットと防振パレットをあてがう状態を示す斜視図である。 基板保持用枠体とインナーパレットとを結束材で梱包した状態を示す斜視図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明するが、理解を容易にするため、本発明の基板保持用枠体について詳細に説明する前に、基板保持用枠体を用いた薄板基板の搬送・保管装置の全体、すなわち、薄板基板の梱包体から説明することとする。

図１０は、基板保持用枠体の外観を示す斜視図である。基板保持用枠体１０は、平面視は矩形状の枠体であるが、斜視図では中央部が下方（重力方向）に湾曲した枠体となっている。四辺に、フレーム状の金属枠部１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄからなる）を有している。この金属枠部１１が、多段に積み重ねる基板保持用枠体１０自体と薄板基板の全重量を支える構造部材となっている。
金属枠部１１の左右の辺１１ａ、１１ｂは平坦な直線状の金属枠であるが、前後の辺１１ｃ、１１ｄは下方に湾曲した形状にされている。ここで、枠体の前後と左右は、本来、対向する２辺のいずれを前後または左右としても良いが、本明細書では、区別し易いように矩形状の基板の長辺側がのる２辺を左右辺としている。

金属枠部１１の内周上面側に嵌合部と一定幅の基板支持部１３が延出して形成されている。図１０では図示されないが、内周下面に沿っても嵌合部が形成されている（図１、図２参照）。基板支持部１３と嵌合部は、金属枠部１１と同質の材料からなっている。
基板支持部１３には、一定間隔でその金属面を覆うように、樹脂製の基板保持部材１４が装着されている。基板保持部材１４は、基板支持部１３に一定間隔で切り欠きまたは抜き穴を設けて、その切り欠き部等に取り付ける場合もあるので、その場合は、基板保持部材１４を含めた基板支持部１３が一定幅で内周側に延び出ることになる。ただし、基板保持部材１４は、一定間隔を置かず帯状に連続して装着してもよい。
基板支持部材３で囲まれた中央の領域Ｋは、何もない開口（空間域）である。

図１１は、基板保持用枠体に薄板基板を載せる状態の外観斜視図である。
基板保持用枠体１０に薄板基板Ａを載せる場合は、静止させた状態の基板保持用枠体１０に対して、上方から薄板基板Ａを下降させて載置しても良いが、製造装置から出された薄板基板Ａを一旦架台上に停止させ、その状態で基板保持用枠体１０を架台の下方から上昇させて薄板基板Ａを掬い上げるように載せる方法が一般に用いられる。
薄板基板Ａは基板保持部材１４面に接して置かれる。その際、機能層面は上面にされ、上段に載せた基板保持用枠体１０の基板保持部材１４面にも接しないようにされる。

図１２は、基板保持用枠体１０に薄板基板を載せ、枠体を多段に積み重ねた状態で、上蓋を被せ、下側にインナーパレットと防振パレットをあてがう状態を示す斜視図である。
基板保持用枠体１０を既に薄板基板Ａを載せた他の基板保持用枠体１０に順次重ねることにより、枠体の多段積み重ね体１００にすることができる。上下の枠体の積み重ねは、下方の基板保持用枠体１０の基板支持部１３の金属枠部１１に近い嵌合部上面と、上方の基板保持用枠体１０の嵌合部の下面とが係合することにより、嵌め合わせされ、位置合わせが確実に行われる。

インナーパレット３０は、最下段に載せられている薄板基板Ａに接触しないように基板の湾曲面に合わせた形状の金属または樹脂製の表面板を有している。また、多段に積み重ねた枠体と薄板基板Ａの全重量をパレットの四辺で受けるようにされている。枠体同様に、塵埃等を発生させない考慮がされている。密封構造とするため、最下段の基板保持用枠体１０の下面嵌合部と嵌合するパレット自体の嵌合部を有するものとする。

防振パレット４０は、基板に及ぼす搬送中の振動等を抑制するためのものである。一般的には、防振ゴムを使用して輸送中・荷役中の振動・衝撃を緩衝する働きをする。塵埃や異物を発生させないものであれば、市販品を用いてもよい。
上蓋２０にも、薄板基板Ａのたわみ形状に合わせ、下方に湾曲した表面板２１を有するものを使用する。これには、上方からの衝撃等に耐えるように強固な金属または樹脂材料を使用するのが好ましい。また、密封構造とするため、最上段の基板保持用枠体１０の上面と嵌合するように、上蓋２０自体にも嵌合部を有する構造のものとする。結束機構２２と結束ベルト２３が付いたものがさらに好ましい。

図１３は、基板保持用枠体とインナーパレットとを結束材で梱包した状態を示す斜視図である。基板保持用枠体１０の積み重ね体１００を上蓋２０とインナーパレット３０の間に挟み、結束機構２２と結束ベルト２３を用いて結束している。図示しない外カバーを被せて梱包体が完成する。この状態で保管することができ、貨物や航空便として輸送することもできる。

本願は、上記で説明した薄板基板の搬送・保管装置の全体説明中における基板保持用枠体とそれを用いた薄板基板の密封梱包体に関するものなので、以下、基板保持用枠体１０とその使用方法等に関して詳述する。

図１は、基板保持用枠体を上面から見た平面図である。
基板保持用枠体１０は、図１のように、平面状態で観察した場合の外形は、薄板基板Ａの形状をほぼ比例して拡大した形状の矩形状のものである。ただし、金属枠部１１は、左右の枠部１１ａ、１１ｂが直線状の平行枠であるのに対して、前後の枠部１１ｃ、１１ｄは、湾曲した形状にされている。
左右の金属枠部１１ａ、１１ｂの外側には、手掛部１５が形成されている。手掛部１５は、ロボットアーム等で把持する部分であり、辺の全長に沿って設ける必要はなく部分的な長さのものであっても良い。

基板保持用枠体１０は、枠部材に構造強度を有する金属材料等を使用する。基板保持用枠体１０自体と薄板基板Ａの合計荷重に耐える必要があるからである。例えば、前記第６世代（０．７ｍｍｔ、１５００ｍｍ×１８５０ｍｍ）の場合、１枚のガラス基板が５ｋｇ、基板保持用枠体が５．５ｋｇになるので、１５０段にした場合、１．５トン以上となる。
第６世代と言われるガラスは、段落[０００９]で前述したようにサイズや板厚が、若干異なるものがあり、当然の事であるが、ガラス基板の重量及び基板保持枠体１０の重量も若干異なり、総重量も変わってくる。
金属枠部１１の内周面の上面側からは内周側に向けて、一定幅の基板支持部１３が延出して形成されている。基板支持部１３の金属枠部１１に沿う部分は、上側の第１嵌合部１２ａであり、下側の第２嵌合部と嵌め込みできる傾斜面にされている。なお、第１嵌合部とは、その先に基板支持部１３が延出しているものを言い、第２嵌合部とは、嵌合用の突起片のみからなるものをいうものとする。金属枠部１１の内周面の下面側には、この傾斜面に沿って嵌合部が形成されているが、図１では図示されていない（図２または図３参照）。
嵌合部は、四辺の全てまたは少なくとも三辺に設けるのが好ましい。枠体１０の前後左右を位置合わせするためである。

基板支持部１３には、一定間隔で基板支持部１３の金属面を覆うように、樹脂製の基板保持部材１４が装着される。ガラスを代表する薄板基板は、金属面に対してよりも弾性体である樹脂材料に接していれば、衝撃を受けた際に損傷し難いからである。
基板保持部材１４は、その寸法によって異なるが、一の辺に５〜２０個程度、装着される。図１の場合は、左右辺に各６個、前後辺に各６個が装着されている。従って、１枚の基板保持部材１４は、幅５〜１０ｃｍ、長さ１０〜２５ｃｍ程度のものとなる。ただし、基板保持部材１４は間隔を置いて装着しなくても良いのは、前記のとおりである。
基板支持部１３と基板保持部材１４により囲まれる領域Ｋは開口域である。この領域の全体と基板保持部材面１４にかけて、薄板基板Ａが載せられることになる。

図２は、基板保持用枠体を３段に積み重ねした左辺の金属枠部と嵌合部、および基板支持部の断面図である。右辺側は対称形の断面形状になるが、図示していない。３段としたのは例示であり、実際はさらに多段にする。
金属枠部１１には、軽量化の目的からアルミやアルミ合金等の材料を使用する。図のように、断面が矩形状または正方形状であって、中空構造を好適に採用できる。
ロボットアーム等の把手部となる手掛部１５は、金属枠部１１の上面と平行な平滑面として、外方に定幅で延びている。平滑面にするのは、塵埃の発生防止と清浄化の容易の問題からである。

図２の場合、基板支持部１３は金属枠部１１の内周面の上面側から延出して設けられているが、下面側から延出して基板支持部１３としてもよい。基板支持部１３の金属枠部に沿う部分は、第１嵌合部１２aとなっている。第２嵌合部１２ｂは金属枠１１の内周面の下面側から短く延出する突起片として設けられている。基板支持部１３を下側にした場合は、この突起片は上面側から突出することになる。請求項１の基板保持用枠体では、上側から基板支持部１３が延出し、請求項２の基板保持用枠体では、下側から基板支持部１３が延出し、嵌合用の突起片が逆の位置になるだけの違いである。図は、請求項１のもののみを図示している。
どちらもあまり効果は変わらないが、基板支持部１３が上面側である場合が、薄板基板への塵埃の落下を少なくできると考えられる。

基板支持部１３は、一定幅Ｈ１で設ける。Ｈ１は、６〜１５ｃｍ程度となる。左右の金属枠部１１ａ、１１ｂに設ける基板支持部１３ａ、１３ｂは、角度αで下方に屈曲されている。第６世代のサイズで板厚０．７ｍｍｔのガラスの場合は、最も深く撓んだ中央部分で、両端からの撓み量は、１００ｍｍから１２０ｍｍ程度とするのが好ましい。その場合、角度αは、５度から２５度程度の範囲となる。前後の金属枠部１１ｃ、１１ｄにも基板支持部１３ｃ、１３ｄを設けるが、金属枠部１１ｃ、１１ｄ自体が湾曲しているので、長さ方向はその撓み形状に従うが、内周側下方には僅かに屈曲させる程度で良い。

図２の場合、第２嵌合部１２ｂは、金属枠部１１の下辺から傾斜屈曲して形成されている。このように、嵌合部１２ｂは、金属枠部１１自体にではなく、枠自体や基板の荷重を直接受けない枠部１１の内周部分に形成されている。段落［０００４］で前述したが、誤って枠体を多少ずらして重ねてしまった場合でも特許文献１及び特許文献２にある嵌合部（係合部）の変形を防ぐことができる。
金属枠部１１に沿う部分には第１嵌合部１２aが形成される。この部分は第２嵌合部１２ｂの形状に合致するように、同様に下方に傾斜した形状にされる。この第２嵌合部１２ｂの下面と第１嵌合部１２ａの上面の嵌め合わせにより、上下の基板保持用枠体１０相互間の位置合わせがされる。このように、嵌合部１２a及び１２ｂは、枠体を多段積みした場合に金属枠部１１自体の荷重を受けない内周部分に形成するのが好ましい。
なお、請求項２の場合は、基板支持部１３が下側の第１嵌合部１２aを延出して形成されるので、第１嵌合部１２aと第２嵌合部１２ｂの嵌め合わせにより、上下の基板保持用枠体１０相互間の位置合わせがされることになる。

嵌合部の傾斜面の金属枠の水平面に対する角度βは、５度から４５度程度、より好ましくは、１０度から２０度となる。また、その斜辺の幅ｈは５ｍｍ〜２０ｍｍ程度となる。適度な傾斜をつけることで、多少の位置ずれが生じてもその荷重で嵌合し、位置調整がされる（セルフアライメント）機能が生じることになる。
金属枠部１１の上下面を平滑な面仕上げにし、嵌合部１２ａ及び１２ｂと基板支持部の金属枠１１に沿う部分の上下面を正しく位置合わせして積み重ねることにより、枠間の間隔ｄを一定にするとともに、内部を略密封状態にすることができる。

図３は、図２の基板支持部に対して、基板保持部材を装着し、薄板基板を載置してから、基板保持用枠体を３段に積み重ねした状態の左端断面図である。
基板保持部材１４が基板支持部１３面に装着されている。基板保持部材１４の少なくとも先端側（開口Ｋにのぞむ側）は薄肉に形成するのが好ましい。厚肉であれば、上下の基板保持用枠体間の間隙を狭くしてしまうからである。ただし、基板保持部材１４の後端１４aは基板支持部間の間隙幅近くまで肉厚にして、薄板基板Ａの前後左右の揺動によるずれを抑える機能を果たさせるのが好ましい。

基板保持部材１４の基板支持部１３への装着は、各種の方法を採用できる。基板保持部材１４の先端（開口Ｋにのぞむ側）近くを蝶番状に開閉できる構造にし、後端（金属枠側）において、表裏の片を、基板支持部に設けた数個の小孔を通じて、嵌め合わせして装着しても良い。あるいは、前記のように、基板支持部１３に基板保持部材１４よりも小さく比例した形状の切り欠きや抜き孔を設け、薄い基板保持部材１４の後端と左右側面に形成したスライド溝により、該切り欠きや抜き孔内に差し込むようにすることもできる。いずれにしても、簡単には脱落しなく、塵埃等を発生させない構造にする必要がある。

図３の場合、基板保持部材１４は、基板支持部１３に複雑な構造により、嵌め込み固定されているが、図面に詳細構造は示されていない。また、基板保持部材１４の肉厚にされた最後端部１４ｆにより、薄板基板Ａが揺動するのを停止させるストッパーの機能を持たせている。このような、基板保持部材１４の構造により、薄板基板Ａの揺動を一定範囲に抑えることができる。図３中、上段の薄板基板Ａ１は、最後端部１４ｆに接触しており、下段の薄板基板Ａ２は右側によっていることを示している。
薄板基板Ａの揺動範囲を±５ｍｍとした場合、撓み曲線に沿う左右のストッパー１４ｆ間の距離は、薄板基板Ａの幅＋１０ｍｍとすることができる。

前記の図２の場合、１５００ｍｍ×１８５０ｍｍサイズのガラス基板（厚み、０．７ｍｍ）で、段ピッチ間隔ｄを５ｍｍ〜２０ｍｍとすることができる。薄板基板のサイズが一層大型化又は、板厚が薄くなれば、撓み量は大きくなるが、撓みの程度が一定（同一品種内でばらつきがない。）であれば、均一な撓み量となるので同一の段ピッチ間隔を採用できる。ただし、大サイズ化や薄板化と共に、衝撃や振動等を受けた際の揺動や上下のはね等も大きくなるので、間隔はその場合の考慮が必要になる。

金属枠部１１の四隅は、図１に図示のように、樹脂製等のコーナーピース１６を端部に嵌め込みして連結できるが、可能であれば溶接等で接合してもよい。コーナーピースの場合、金属枠部１１との連結部が平滑に接続されるように注意する。
コーナーピース１６内に差し込みされる金属枠部１１は切削するかプレスして薄肉化し、コーナーピース１６の表面と金属枠部１１の表面との間に段差が生じないようにする。
コーナーピース１６自体にも表裏の嵌合溝を形成するのが好ましい。金属枠部１１とコーナーピース１６は、２辺の角度が直角に維持されるように、ボルトとナットで強く固定される。
なお、特許請求の範囲では、格納される基板を薄板基板としているが、典型的には、薄板ガラス基板、薄板プラスチック基板、またはそれらに表示装置用の機能層を設けた各種基板や中間製品が対象となるのは、明らかなことである。

（材質と製法に関する実施形態）
金属枠部１１に使用する材料には、軽量で腐食を生じない金属材料を使用できる。具体的には、純アルミニウム、ジュラルミン（アルミ、銅（３．５〜５．５％）、マグネシウム）系、アルミニウム−マンガン系等のアルミニウム合金等を使用できる。これらの材料を中空押し出し加工して枠形を製造することができる。
基板保持部材１４には、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂材料、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷ−ＰＥ）、ナイロン６６、ナイロン６１０といったポリアミド系樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の材料を使用できる。これらの材料を、金型を用いインジェクション成形して製造できる。
コーナーピース１６にも基板保持部材１４と同様な材料を同様に加工して製造することができる。

次に、図４〜図９を参照して、製造装置から排出される完成品または中間製品である薄板基板Ａを基板保持用枠体１０に移載する際の装置とその操作について説明することとする。

図４は、薄板基板を基板保持用枠体に移載する装置の概略を説明する図であって、図４（Ａ）は平面図、図４（Ｂ）は正面図である。
図４（Ａ）のように、薄板基板Ａを基板保持用枠体１０に移載（受け渡しおよび受け取り）する際は、移載用架台５０と図４には、図示しないロボットアームを使用する。
移載用架台５０は、薄板基板Ａを載置できる大きさを有する平面視が略矩形状の架台である。略矩形状とするのは、薄板基板Ａを搬送する回転軸Ｗ（Ｗ１、Ｗ２、・・Ｗｎ）とそれに取り付けられた回転輪ｓｗ、回転軸受けＪ、薄板基板Ａを昇降させる多数本のリフトピンＰ（ｐ１、ｐ２、・・ｐｎ）、およびそれらの駆動機構等からなり、テーブルのような明確な外形形状を有しないからである。
薄板基板Ａを搬送する各回転軸Ｗには複数の回転輪ｓｗが取り付けされており、各回転輪ｓｗの頂点（最上面）を結ぶ面が、水平面を形成するようにされている。

移載用架台５０の外形形状は、基板保持用枠体１０の基板支持部１３が囲んで形成する開口部Ｋ（図４中破線で示す。）よりも小さい寸法である必要がある。移載用架台５０を通して、架台表面より下側の周囲に空（基板を載せていない）の基板保持用枠体１０を重ねて準備しておく必要があり、薄板基板Ａを移載する際は、該基板保持用枠体１０の開口部Ｋを通じて架台５０を通過させる必要があるからである。

回転軸Ｗは、薄板基板Ａの搬送方向に直交して多数本配列されている。前工程の製造装置９０により処理を終えた薄板基板Ａ（図４において、１点鎖線で示される。）は、この回転軸の回転輪ｓｗに載せられて、滑らかに架台面に排出される。従って、回転輪ｓｗは等速度で回転し基板を矢印Ｙ方向に運ぶことになる。回転輪ｓｗの基板Ａと接触する面には、超高分子量ポリエチレン等の材質を用いる。摩耗等を少なくするためである。
移載用架台５０面上では、薄板基板Ａは、左右前後の各辺のいずれもが架台５０よりも外側に張り出した位置で停止しなければならない。基板Ａの下側にある枠体１０が上昇した際に手際よく基板Ａが枠体１０の基板支持部１３に掬われる必要があるからである。
そのため、移載用架台５０には薄板基板Ａの位置検査装置や位置補正装置が設けられていてもよい。
前工程の製造装置９０と移載用架台５０の接続部は、基板保持用枠体１０の後辺１１ｄを移載時に通過させるため、所定幅の間隔において回転軸Ｗは、基板保持用枠体１０が通過する際は、退避可能な構造にされている。

移載用架台５０には、さらに、薄板基板Ａを移載の際、湾曲形状にすることができるリフトピンＰ（ｐ１、ｐ２、・・ｐｎ）が垂直に起立した状態で、縦・横に整列して設けられている。リフトピンＰは、薄板基板Ａが、回転輪ｓｗ上を移動している際は、輪の頂点が形成する水平面から突出しないように待機状態にされている（図４（Ｂ）参照）。
図４では、１列（左右方向の）に４本のリフトピンが配列しているが、ピン数は必要な限度で自由に設定できる。ただし、最低中央の１本と左右の２本の合計３本が必要であり、１０本程度まで増やすことができる。移載時は、薄板基板Ａを左辺端と右辺端を高く上昇させ、中央部分が下側（重力方向）に撓んだ状態にするため、第１列（図４（Ａ）において下側）のｐ２とｐ３のピンは、最も低い位置にあり、ｐ１とｐ４のリフトピンは、最も高い位置に上昇させられる。リフトピンＰを使用しなくても、基板保持用枠体１０への移載はできるが、平面状態の基板Ａが、いきなり撓み形状にされると急激な応力変化を与え、割れ等が生じ易くなるからである。ピン高さについては、後に詳述する。

ｐ２とｐ３のリフトピンは、最も低い位置にあるので、移載時に架台５０面から、それほど突出する必要はなく、架台５０面から僅かに突出できる程度でもよい。
ｐ２とｐ３のピンには、先端を半球状にしたピンを使用するが、負圧により吸着するピンを使用してもよい。左右端に近いピンは、薄板基板Ａを撓ませ動作に伴い裏面を擦過し易いので、逆に加圧空気により、基板を非接触で上昇保持するピンの使用が好ましい。もっとも空気圧を使わないで、ピンの先端に回転自在な球体を装填したリフトピンを使用することもできる。

リフトピンＰは、空気圧を使用しない場合は、先端が半球状にされた金属または樹脂製の小径（５ｍｍ〜５０ｍｍ程度）の単なる直棒状のものでも良いが、空気圧を利用する場合は、ポンプに接続した配管が必要になる。いずれの場合も基板の中心線に対して、左右の対称位置にあるリフトピンＰは、一対にされて同等の上昇高さに調整されることになる。
図４（Ｂ）において、リフトピンＰに接続する各配管またはロッドは、それぞれサーボシリンダ等による駆動機構に接続される。なお、図において配管等は、摸式的に図示したものであり、実際の構造を示したものではない。

図５は、リフトピンが突出した際の高さ位置を説明する図である。
前記のように、ｐ２とｐ３のリフトピンは最も低い位置にされ、ｐ１とｐ４のピンは最も高い位置に上昇させられる。
勿論、第１列のピンにならい、後続のピン列も原則としてほぼ同一高さに調整される。各リフトピンｐ１〜ｐ４の頂点を結ぶ線Ｌは、薄板基板Ａを基板保持用枠体１０で支持した場合の薄板基板Ａの湾曲形状に、概略一致する形状にされる。移載の際は、予め設定した高さ位置に各ピンが突出するように制御される。その際、基板Ａの左右中心線に対して対称位置にあるリフトピンは、同一高さに制御される。

図６は、薄板基板の移載時（受け渡し時）の状態を示す図である。
移載用架台５０面から、リフトピンＰにより所定の高さに上昇され、撓み形状にされた薄板基板Ａ（図６（Ａ））に対して、ロボットアームが架台５０の表面下に積まれている基板保持用枠体１０を、その手掛部１５を把持して上昇する。
薄板基板Ａは、基板保持用枠体１０の基板支持部１３によって掬われる状態で枠体１０内に納まる（図６（Ｂ））。その後、ロボットアームは、基板Ａを所定の場所に搬送する。各リフトピンＰは、移載用架台５０の表面下に沈み、次の薄板基板Ａが回転輪ｓｗによって運ばれて来る（図６（Ｃ））。

図７は、薄板基板の移載時（受け取り時）の状態を示す図である。
受け取り時は、受け渡し時とは逆に、基板保持用枠体１０内に撓んだ状態で納まっている薄板基板Ａが架台５０の上に運ばれてくる（図７（Ａ））。薄板基板Ａを予め設定した高さ位置に突出して待機するリフトピンＰ上に受け取りする（図７（Ｂ））。
ロボットアームは、空になった枠体１０の手掛部１５を把持した状態で、一旦、移載用架台５０の表面下に降下する。
基板を受け取ったリフトピンは、移載用架台５０の表面下に沈降する（図７（Ｃ））。
回転輪ｓｗ面に載った薄板基板Ａは次工程の製造装置に搬送される。
その後、ロボットアームは、空になった枠体をそのまま、架台５０の表面下に積み重ねるか、把持して再び上昇し、他の必要な箇所に運搬する。

図８は、基板保持用枠体の開口、薄板基板、移載用架台のそれぞれの大きさの関係を示す図である。
以上の説明で明らかなように、基板保持用枠体１０の開口Ｋ、薄板基板Ａ、移載用架台５０のそれぞれの大きさ（平面外形）の関係は、図８のようになる。すなわち、薄板基板Ａの平面外形が最大であって、その次が開口Ｋの大きさであり、移載用架台５０は最小でなければならない。ただし、基板保持用枠体１０の外形は、薄板基板Ａよりも大きいのは当然なことである。移載用架台５０に備え置きされる基板保持用枠体１０は、移載用架台５０を中に置いて、その周囲であって架台の表面下に置かれることになる。
また、ロボットアームは基板保持用枠体１０を左右辺１１ａ，１１ｂの手掛部で把持し、ロボットアームが、薄板基板ＡをリフトピンＰ上に置いて架台面で平面にされた直後では、アームの後方（次工程装置）側は薄板基板Ａの通過を妨げない構造にされている。

図９は、リフトピンの各種を説明する図である。
図９（Ａ）は、半球状の先端２を有する金属または樹脂製の小径の単なる直棒状の形態のものである。リフトピンＰの断面直径は、５ｍｍ〜５０ｍｍ程度が好ましい。材質としては、ステインレススチールや樹脂系、超高分子量ポリエチレン等が好ましく、特に、先端の材質は基板に損傷を与えないものが選択される。
図９（Ｂ）は、先端に微小な回転球体３を有するピンの形態である。ボールベアリングにより回転する回転球体３は、固定部３１により固定され、軸体３２に接続している。回転球体３の材質には、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の材質が用いられる。

図９（Ｃ）は、空気圧を利用するピンであり、吸着目的のものと、非接触支持を目的とする用途とがある。いずれも先端に小さい開口４を有している。吸着目的の場合は移載時の薄板基板Ａを固定する目的で使用され、パイプ配管は真空ポンプに接続される。
非接触支持を目的とする場合は、先端から空気を吹き出して開口４から近接距離に基板Ａを非接触で支持する目的であり、パイプ配管は加圧ポンプに接続される。非接触支持状態は、基板Ａが枠体に納まるまでの間継続される。
図９（Ｄ）のように、薄板基板Ａの左右端近くでは基板Ａの滑りが生じ易いので、回転球体３を有するもので、基板Ａ面を直角に支持するように、ピンの先端を内側に屈曲させたものを用いることも好ましい。

ロボットアームは、大型の基板保持用枠体１０の手掛部１５を把持できる構造を有している。ロボットアームはアームの伸縮や上下動・回転が自在に可能なものである。
まず、第１の位置に、積み重ねてある基板保持用枠体１０を1段から数段（５〜６枚）単位で運び、枠体１０の開口Ｋにより移載用架台５０を通してその表面より下面に位置するように積み置きをする。枠体１０は、平面状態で運ばれるので、最下段の手掛部を把持すれば、数段単位を一括して移動させることができる。
次に、前記した動作で、移載用架台５０上の薄板基板Ａを１枚単位で、積み置きした枠体１０に載せ、第２の位置に運び積み重ねする。枠体の多段積み重ね体１００は目的により、保管・輸送のために梱包され、あるいは次工程の用途に供給される。

アルミニウム合金材料を使用して、１５００ｍｍ×１８５０ｍｍサイズの基板保持用枠体１０を製造した。まず、図２図示の断面形状の金属枠を中空押し出し加工して製造した。
左右の金属枠部１１ａ、１１ｂはそのまま使用したが、前後の金属枠部１１ｃ、１１ｄは押し出し後、曲げ加工を行った。曲げ量Ｄは、１００ｍｍから１５０ｍｍとなるようにした。金属枠部１１の厚み（段ピッチ）ｄを１０ｍｍとし、金属枠幅Ｗ１を３０ｍｍとし第２嵌合部１２ｂの幅Ｗ２を２０ｍｍとした。各部の肉厚は、３ｍｍから５ｍｍとなった。
四隅の金属枠部を加工し、ポリアミド樹脂製のコーナーピース１６に嵌め込みできるようにして接続した。基板支持部１３面にポリプロピレン樹脂製の基板保持部材１４を装着した。完成した基板保持用枠体１０の外形は、１６７０ｍｍ×１９８０ｍｍ程度となった。

完成した基板保持用枠体１０と前記の移載用架台５０を用いて薄板基板Ａ（厚み０．７ｍｍ、１５００ｍｍ×１８５０ｍｍガラス基板）の移載試験を行ったが、円滑に、基板の受け渡し、受け取りができることが確認された。なお、薄板基板Ａの撓み量は、１２０ｍｍ程度となるようにした。

１０ 基板保持用枠体
１１ 金属枠部
１２ａ 第１嵌合部
１２ｂ 第２嵌合部
１３ 基板支持部
１４ 基板保持部材
１５ 手掛部
１６ コーナーピース
２０ 上蓋
２１ 表面板
２２ 結束機構
２３ 結束ベルト
３０ インナーパレット
４０ 防振パレット
５０ 移載用架台
９０ 前工程の製造装置
１００ 枠体の多段積み重ね体
Ａ 薄板基板
Ｗ 回転軸
Ｊ 軸受け
ｓｗ 回転輪
Ｄ 金属枠体曲げ量

Claims (12)

1. 矩形状の薄板基板の１枚を、平面視矩形状の金属枠部を有する基板保持用枠体内に収め、当該薄板基板を収めた状態の該枠体を位置合わせして多段に積み重ねた状態で、搬送または保管の用途に供する基板保持用枠体であって、
   （１）正方形または長方形の断面形状を有する金属枠部と、
   （２）該金属枠部の内周面の上面側に設けられ、内周下方側に傾斜した形態を有する第１嵌合部と、さらにその先に延出して形成された基板支持部と、
   （３）該金属枠部の内周面の下面側に設けられ、内周下方側に傾斜した形態を有する第２嵌合部と、
   を有し、前記基板支持部に薄板基板を載置した状態の基板保持用枠体を、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部の嵌め合わせにより、上下の金属枠部相互間の位置合わせをして、多段に積み重ね可能にしたことを特徴とする基板保持用枠体。
2. 矩形状の薄板基板の１枚を、平面視矩形状の金属枠部を有する基板保持用枠体内に収め、当該薄板基板を収めた状態の該枠体を位置合わせして多段に積み重ねた状態で、搬送または保管の用途に供する基板保持用枠体であって、
   （１）正方形または長方形の断面形状を有する金属枠部と、
   （２）該金属枠部の内周面の下面側に設けられ、内周下方側に傾斜した形態を有する第１嵌合部と、さらにその先に延出して形成された基板支持部と、
   （３）該金属枠部の内周面の上面側に設けられ、内周下方側に傾斜した形態を有する第２嵌合部と、
   を有し、前記基板支持部に薄板基板を載置した状態の基板保持用枠体を、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部の嵌め合わせにより、上下の金属枠部相互間の位置合わせをして、多段に積み重ね可能にしたことを特徴とする基板保持用枠体。
3. 前記嵌合部が、枠体を多段積みした場合に金属枠部体自体の荷重を受けない部分に形成されており、金属枠部の水平面に対して、５度から４５度の傾斜角で枠体の内面側に下降する傾斜面を有するようにされていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の基板保持用枠体。
4. 前記金属枠部自体の断面形状が正方形または長方形状の中空構造からなることを特徴とする請求項１または請求項２記載の基板保持用枠体。
5. 左右の辺が平坦であって、前後の辺が下方に湾曲している平面視矩形状の枠体であって、左右の辺の前記基板支持部が下向きに傾斜していることを特徴とする請求項１または請求項２記載の基板保持用枠体。
6. 平面視矩形状の前記金属枠部の四隅が、樹脂製のコーナーピースで連結されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の基板保持用枠体。
7. 前記基板支持部の少なくとも薄板基板接触面側に樹脂製の基板保持部材が装着されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の基板保持用枠体。
8. 前記金属枠部の左右の辺から外周側に手掛部を突出して設けたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の基板保持用枠体。
9. 薄板基板が、薄板ガラス基板、薄板プラスチック基板、またはそれらに表示装置用の機能層を設けた基板であることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか１の請求項記載の基板保持用枠体。
10. 請求項１乃至請求項８のいずれか１の請求項記載の基板保持用枠体に、薄板基板を載置した状態の基板保持用枠体を、各枠体間が平滑な金属枠部面の密接と嵌合部の嵌め合わせにより密封状態になるように多段に積み重ねし、最上段の基板保持用枠体の嵌合部に上蓋の嵌合部を嵌め合わせて面間を密封し、かつ上蓋が薄板基板に接触しないようにし、最下段の基板保持用枠体の嵌合部にインナーパレットの嵌合部を嵌め合わせて面間を密封し、かつインナーパレットの表面が薄板基板に接触しないように、されていることを特徴とする薄板基板の梱包体。
11. 上蓋とインナーパレットの間に多段に重ねた基板保持用枠体を挟んで、上蓋とインナーパレット間を結束ベルトで結束したことを特徴とする請求項１０記載の薄板基板の梱包体。
12. 薄板基板が、薄板ガラス基板、薄板プラスチック基板、またはそれらに表示装置用の機能層を設けた基板であることを特徴とする請求項１０または請求項１１記載の薄板基板の梱包体。

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